JP4726440B2 - 有機又は無機トランジスタ及びその製造方法並びに画像表示装置 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 74
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 29
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000007743 anodising Methods 0.000 claims description 10
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 10
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 63
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 5
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 4
- 238000002848 electrochemical method Methods 0.000 description 4
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229920001665 Poly-4-vinylphenol Polymers 0.000 description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N pentacene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC5=CC=CC=C5C=C4C=C3C=C21 SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- XBDYBAVJXHJMNQ-UHFFFAOYSA-N Tetrahydroanthracene Natural products C1=CC=C2C=C(CCCC3)C3=CC2=C1 XBDYBAVJXHJMNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- IFLREYGFSNHWGE-UHFFFAOYSA-N tetracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC=CC=C4C=C3C=C21 IFLREYGFSNHWGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229920003026 Acene Polymers 0.000 description 1
- XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N C60 fullerene Chemical compound C12=C3C(C4=C56)=C7C8=C5C5=C9C%10=C6C6=C4C1=C1C4=C6C6=C%10C%10=C9C9=C%11C5=C8C5=C8C7=C3C3=C7C2=C1C1=C2C4=C6C4=C%10C6=C9C9=C%11C5=C5C8=C3C3=C7C1=C1C2=C4C6=C2C9=C5C3=C12 XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004373 Pullulan Substances 0.000 description 1
- 229920001218 Pullulan Polymers 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 description 1
- VIQCGTZFEYDQMR-UHFFFAOYSA-N fluphenazine decanoate Chemical compound C1CN(CCOC(=O)CCCCCCCCC)CCN1CCCN1C2=CC(C(F)(F)F)=CC=C2SC2=CC=CC=C21 VIQCGTZFEYDQMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003472 fullerene Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000813 microcontact printing Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical class N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 235000019423 pullulan Nutrition 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002174 soft lithography Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Description
Id=(Cox・μ/2)・(W/L)・(Vg−Vth)2 (1)
f=μ・(Vg−Vth)/2πL2 (2)
基板と、
その基板上に形成されたゲート電極と、
そのゲート電極を被覆するとともに、複数のナノホールを有する多孔質絶縁膜とを具え、
前記ゲート電極及び多孔質絶縁膜は、前記基板上にAl層を形成した後、該Al層を陽極酸化し、表面にアルミナ酸化皮膜が形成されたAlのポーラス膜からなり、
さらに、ソース電極、有機又は無機半導体層及びドレイン電極の積層構造を前記ナノホールに設けて、前記基板と垂直方向にチャネルを形成したことを特徴とする。
基板と、
その基板上に形成され、ナノスケールの微細な間隔を有するドット状のゲート電極と、
そのゲート電極を被覆する絶縁膜とを具え、
前記ゲート電極は、スルーホール化したポーラスアルミナ膜からなるマスクを前記基板上に配置し、金属材料を該マスクを通じて堆積してなり、前記絶縁膜は、前記ゲート電極が形成された基板を陽極酸化して得られる多孔質膜からなり、
さらに、ソース電極、有機又は無機半導体層及びドレイン電極の積層構造を、前記絶縁膜が被覆されたゲート電極の周辺に設けて、前記基板と垂直方向にチャネルを形成したことを特徴とする。
基板上にAl層を形成し、該Al層を陽極酸化することで、ゲート電極、及び、該ゲート電極を被覆するとともに複数のナノホールを有する多孔質絶縁膜を、基板上に形成するステップと、
ソース電極、有機又は無機半導体層及びドレイン電極の積層構造を前記ナノホールに設けて、前記基板と垂直方向にチャネルを形成するステップとを具えることを特徴とする。
該ゲート電極が形成された基板を陽極酸化することで、前記ゲート電極を絶縁膜で被覆するステップと、
ソース電極、有機又は無機半導体層及びドレイン電極の積層構造を、前記絶縁膜が被覆されたゲート電極の周辺に設けて、前記基板と垂直方向にチャネルを形成するステップとを具えることを特徴とする。
行列配置された複数の画素と、
これら画素にそれぞれ対応する有機又は無機トランジスタとを具え、
その有機又は無機トランジスタが、
基板と、
その基板上に形成されたゲート電極と、
そのゲート電極を被覆するとともに、複数のナノホールを有する多孔質絶縁膜とを具え、
前記ゲート電極及び多孔質絶縁膜は、前記基板上にAl層を形成した後、該Al層を陽極酸化し、表面にアルミナ酸化皮膜が形成されたAlのポーラス膜からなり、
さらに、ソース電極、有機又は無機半導体層及びドレイン電極の積層構造を前記ナノホールに設けて、前記基板と垂直方向にチャネルを形成し、
前記ソース電極、ゲート電極、又はドレイン電極を、画素間配線として用いるためにライン状に形成したことを特徴とする。
行列配置された複数の画素と、
これら画素にそれぞれ対応する有機又は無機トランジスタとを具え、
その有機又は無機トランジスタが、
基板と、
その基板上に形成され、ナノスケールの微細な間隔を有するドット状のゲート電極と、
そのゲート電極を被覆する絶縁膜とを具え、
前記ゲート電極は、スルーホール化したポーラスアルミナ膜からなるマスクを前記基板上に配置し、金属材料を該マスクを通じて堆積してなり、前記絶縁膜は、前記ゲート電極が形成された基板を陽極酸化して得られる多孔質膜からなり、
さらに、ソース電極、有機又は無機半導体層及びドレイン電極の積層構造を、前記絶縁膜が被覆されたゲート電極の周辺に設けて、前記基板と垂直方向にチャネルを形成し、
前記ソース電極、ゲート電極、又はドレイン電極を、画素間配線として用いるためにライン状に形成したことを特徴とする。
図1Aは、本発明による有機トランジスタの一実施の形態の断面図である。この有機トランジスタは、基板1と、導電層2と、絶縁層3と、ゲート電極4と、ゲート絶縁膜5と、ソース又はドレイン電極6と、有機半導体層7と、ドレイン又はソース電極8とを具える。
例えば、上記実施の形態において、有機トランジスタの場合について説明したが、一部で高温プロセスが可能である場合には、本発明を無機トランジスタに適用することもできる。なお、無機材料としては、例えばシリコンを用いる。また、PVPの希釈を、上記実施の形態で説明したものに限らず、種々の溶媒及び濃度で行うことができる。
2,12 導電層
3 絶縁層
4,13 ゲート電極
5,14 ゲート絶縁膜
6,15 ソース又はドレイン電極
7,16 有機半導体層
8,17 ドレイン又はソース電極
9 Al層
10,19 ナノホール(孔)
18 アルミ膜
20 バリア層部分
21 マスク
31,41 ソース又はドレイン電極ライン
32,42 ドレイン又はソース電極ライン
33 画素電極
51 発光層
52 有機トランジスタ
53 ドレイン電極
a,b 動作領域
Claims (7)
- 基板と、
その基板上に形成されたゲート電極と、
そのゲート電極を被覆するとともに、複数のナノホールを有する多孔質絶縁膜とを具え、
前記ゲート電極及び多孔質絶縁膜は、前記基板上にAl層を形成した後、該Al層を陽極酸化し、表面にアルミナ酸化皮膜が形成されたAlのポーラス膜からなり、
さらに、ソース電極、有機又は無機半導体層及びドレイン電極の積層構造を前記ナノホールに設けて、前記基板と垂直方向にチャネルを形成したことを特徴とする有機又は無機トランジスタ。 - 基板と、
その基板上に形成され、ナノスケールの微細な間隔を有するドット状のゲート電極と、
そのゲート電極を被覆する絶縁膜とを具え、
前記ゲート電極は、スルーホール化したポーラスアルミナ膜からなるマスクを前記基板上に配置し、金属材料を該マスクを通じて堆積してなり、前記絶縁膜は、前記ゲート電極が形成された基板を陽極酸化して得られる多孔質膜からなり、
さらに、ソース電極、有機又は無機半導体層及びドレイン電極の積層構造を、前記絶縁膜が被覆されたゲート電極の周辺に設けて、前記基板と垂直方向にチャネルを形成したことを特徴とする有機又は無機トランジスタ。 - 基板上にAl層を形成し、該Al層を陽極酸化することで、ゲート電極、及び、該ゲート電極を被覆するとともに複数のナノホールを有する多孔質絶縁膜を、基板上に形成するステップと、
ソース電極、有機又は無機半導体層及びドレイン電極の積層構造を前記ナノホールに設けて、前記基板と垂直方向にチャネルを形成するステップとを具えることを特徴とする有機又は無機トランジスタの製造方法。 - スルーホール化したポーラスアルミナ膜からなるマスクを基板上に配置し、金属材料を、該マスクを通じて堆積させることで、ナノスケールの微細な間隔を有するドット状のゲート電極を形成するステップと、
該ゲート電極が形成された基板を陽極酸化することで、前記ゲート電極を絶縁膜で被覆するステップと、
ソース電極、有機又は無機半導体層及びドレイン電極の積層構造を、前記絶縁膜が被覆されたゲート電極の周辺に設けて、前記基板と垂直方向にチャネルを形成するステップとを具えることを特徴とする有機又は無機トランジスタの製造方法。 - 前記マスクは、アルミ膜を陽極酸化してナノホール及びバリア層を形成し、該ナノホール底部にあるアルミ膜及びバリア層を選択的エッチングにより除去することで作製されることを特徴とする請求項4に記載の有機又は無機トランジスタの製造方法。
- 行列配置された複数の画素と、
これら画素にそれぞれ対応する有機又は無機トランジスタとを具え、
その有機又は無機トランジスタが、
基板と、
その基板上に形成されたゲート電極と、
そのゲート電極を被覆するとともに、複数のナノホールを有する多孔質絶縁膜とを具え、
前記ゲート電極及び多孔質絶縁膜は、前記基板上にAl層を形成した後、該Al層を陽極酸化し、表面にアルミナ酸化皮膜が形成されたAlのポーラス膜からなり、
さらに、ソース電極、有機又は無機半導体層及びドレイン電極の積層構造を前記ナノホールに設けて、前記基板と垂直方向にチャネルを形成し、
前記ソース電極、ゲート電極、又はドレイン電極を、画素間配線として用いるためにライン状に形成したことを特徴とする画像表示装置。 - 行列配置された複数の画素と、
これら画素にそれぞれ対応する有機又は無機トランジスタとを具え、
その有機又は無機トランジスタが、
基板と、
その基板上に形成され、ナノスケールの微細な間隔を有するドット状のゲート電極と、
そのゲート電極を被覆する絶縁膜とを具え、
前記ゲート電極は、スルーホール化したポーラスアルミナ膜からなるマスクを前記基板上に配置し、金属材料を該マスクを通じて堆積してなり、前記絶縁膜は、前記ゲート電極が形成された基板を陽極酸化して得られる多孔質膜からなり、
さらに、ソース電極、有機又は無機半導体層及びドレイン電極の積層構造を、前記絶縁膜が被覆されたゲート電極の周辺に設けて、前記基板と垂直方向にチャネルを形成し、
前記ソース電極、ゲート電極、又はドレイン電極を、画素間配線として用いるためにライン状に形成したことを特徴とする画像表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004188068A JP4726440B2 (ja) | 2004-06-25 | 2004-06-25 | 有機又は無機トランジスタ及びその製造方法並びに画像表示装置 |
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---|---|---|---|
JP2004188068A JP4726440B2 (ja) | 2004-06-25 | 2004-06-25 | 有機又は無機トランジスタ及びその製造方法並びに画像表示装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006013128A JP2006013128A (ja) | 2006-01-12 |
JP4726440B2 true JP4726440B2 (ja) | 2011-07-20 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004188068A Expired - Fee Related JP4726440B2 (ja) | 2004-06-25 | 2004-06-25 | 有機又は無機トランジスタ及びその製造方法並びに画像表示装置 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4726440B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013038336A (ja) * | 2011-08-10 | 2013-02-21 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
KR101339385B1 (ko) * | 2012-02-21 | 2013-12-09 | 고려대학교 산학협력단 | 수직형 유기 발광 트랜지스터 및 그의 제조방법 |
TWI707438B (zh) * | 2019-07-19 | 2020-10-11 | 力晶積成電子製造股份有限公司 | 電路架構 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6050064B2 (ja) * | 1982-08-24 | 1985-11-06 | 株式会社東芝 | 相補型mos半導体装置及びその製造方法 |
JPH0284775A (ja) * | 1987-03-02 | 1990-03-26 | Toshiba Corp | 縦型薄膜トランジスタの製造方法 |
JP3390704B2 (ja) * | 1999-08-26 | 2003-03-31 | 株式会社半導体理工学研究センター | 強誘電体不揮発性メモリ |
JP2001326356A (ja) * | 2000-05-15 | 2001-11-22 | Canon Inc | Tftマトリックスパネル、および、これを用いた画像表示装置、光電変換装置 |
JP2003209122A (ja) * | 2002-01-16 | 2003-07-25 | Seiko Epson Corp | 有機半導体装置 |
JP4136730B2 (ja) * | 2002-03-15 | 2008-08-20 | キヤノン株式会社 | 細孔を有する構造体及びその製造方法 |
JP2004111872A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Ricoh Co Ltd | 縦型電界効果トランジスタ及びその製造方法並びにそれを有する演算素子 |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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