JP4774679B2 - 有機半導体装置 - Google Patents
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Description
Nature,Vol.371,p.141(1994) Appl.Phys.Lett.,Vol.73,No.25,p.3733(1998)
基板11は、絶縁性の材料であれば広い範囲の材料から選択することができる。例えば、ガラス、アルミナ焼結体などの無機材料、ポリイミド膜、ポリエステル膜、ポリエチレン膜、ポリフェニレンスルフィド膜、ポリパラキシレン膜等の各種の絶縁性材料を挙げることができる。特に、高分子化合物からなる膜を用いると、軽量でフレシキブルな有機半導体装置を作製することができるので、極めて有用である。なお、本発明で適用される基板11の厚さは、25μm〜1.5mm程度である。
ゲート電極12は、ポリアニリン、ポリチオフェン等の有機材料からなる電極又は導電性インキを塗布して形成した電極であることが好ましい。これらの電極は、有機材料や導電性インキを塗布して形成できるので、電極形成プロセスが極めて簡便となるという利点がある。塗布法の具体的な手法としては、スピンコート法、キャスト法、引き上げ法等のほか、インクジェット印刷法、スクリーン印刷法、グラビア印刷法等の印刷法が挙げられ、これらの印刷法によりパターン印刷することもできる。
ゲート絶縁層13は、上記のゲート電極12と同じように、有機系材料を塗布して形成したものであることが好ましく、使用される有機系材料としては、ポリクロロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリオキシメチレン、ポリビニルクロライド、ポリフッ化ビニリデン、シアノエチルプルラン、ポリメチルメタクリレート、ポリサルフォン、ポリカーボネート、ポリビニルフェノール、ポリスチレン、ポリイミド等を挙げることができる。塗布法の具体的な手法としては、スピンコート法、キャスト法、引き上げ法等のほか、インクジェット印刷法、スクリーン印刷法、グラビア印刷法、フレキソ印刷法等の印刷法が挙げられ、これらの印刷法によりパターン印刷することもできる。
ソース電極は有機半導体層に電荷を注入するものであり、ドレイン電極はソース電極から注入された電荷を取り込むものである。
有機半導体層14は、図1に示すようにドレイン電極16又はソース電極15との間のチャネル領域(電荷輸送経路領域)に形成されている。
電荷注入促進層17、18は、有機半導体層14とソース電極15及びドレイン電極16うち少なくとも一方の電極との間に設けられるものであり、電極15,16の仕事関数と有機半導体層14の仕事関数との差を小さくするように作用する。すなわち、有機半導体層14とソース電極15及びドレイン電極16のうち少なくとも一方の電極との間に存在する電荷注入障壁を小さくするように作用する。このような作用により、電極から有機半導体層への電荷の注入が容易に促進される。
有機半導体装置10には、層間絶縁層を設けることが望ましい。層間絶縁層は、ゲート絶縁層13上にソース電極15及びドレイン電極16を形成する際に、ゲート電極12の表面の汚染を防ぐことを目的として形成される。したがって、層間絶縁層は、ソース電極15及びドレイン電極16を形成する前にゲート絶縁層13の上に形成される。そして、ソース電極15及びドレイン電極16が形成された後においては、チャネル領域上方に位置する部分を完全に除去又は一部を除去するように加工される。除去される層間絶縁層領域は、ゲート電極12のサイズと同等であることが望ましい。
上記のような構成を有する本発明の有機半導体装置10においては、ソース電極15及びドレイン電極16のうち少なくとも一方の電極と有機半導体層14との間に電荷注入促進層17,18が形成されているので、有機半導体層14に容易に電荷が注入される。特に、有機半導体層14が液晶性有機半導体材料により形成された場合には、この層に充分な量の電荷が供給されるので、多くの電荷が高速で移動する有機半導体装置10となる。さらに、有機半導体装置10では、有機半導体層14とソース電極15及びドレイン電極16との間のオーミックコンタクトの改善が求められているが、本発明の有機半導体装置では、電極の仕事関数と有機半導体層の仕事関数との差を小さくすることができるので、良好なオーミックコンタクトの形成を実現することができ、その結果、有機半導体装置が動作するしきい電圧を低減させることができる。
他の構造を有する有機トランジスタとしては、例えば、図6や図7に示す有機トランジスタ素子が挙げられる。
実施例1の有機半導体装置として、スタガ型の有機トランジスタ素子を作成した。
実施例2の有機半導体装置として、コプラナー型に電極が配置された有機トランジスタ素子を作製した。
実施例3の有機半導体装置として、有機半導体層の厚さ方向に電荷を輸送する有機トランジスタ素子を作製した。
実施例4の有機半導体装置として、有機ダイオード素子を作製した。
実施例1の有機半導体装置の作製において、電荷注入促進層を形成しない以外は実施例1と同様にして、比較例1の有機半導体装置を得た。この有機半導体装置の有機半導体層は室温で結晶相を呈していた。また、有機半導体装置の静電容量を測定した結果、有機半導体層の膜厚は0.5μm程度であった。
実施例2の有機半導体装置の作製において、電荷注入促進層を形成しない以外は実施例2と同様にして、比較例2の有機半導体装置を得た。この有機半導体装置の有機半導体層は室温で結晶相を呈していた。また、X線回折により有機半導体層を解析した結果、この有機半導体層を構成する液晶性分子はゲート電極基板に対して垂直に配向していることが確認された。
実施例3の有機半導体装置の作製において、電荷注入促進層を形成しない以外は実施例3と同様にして、比較例3の有機半導体装置を得た。この有機半導体装置の有機半導体層は室温で結晶相を呈していた。また、有機半導体装置の静電容量を測定した結果、有機半導体層の膜厚は0.5μm程度であった。
正孔を注入し易くするためのClBPからなる電荷注入促進層が形成された電極及びそのような電荷注入促進層が形成されていない電極の仕事関数を測定した。
実施例及び比較例の有機半導体装置を用い、ゲート電極及びソース電極−ドレイン電極間に電圧を印加して、ドレイン−ソース電圧を一定に保った際のゲート電圧−ドレイン電流特性を評価した。測定の温度条件は、有機半導体層を構成する8−PNP−O4がスメクティック液晶相(SmE相)を示す温度(90℃)及び室温(30℃)とした。
11 基板
12 ゲート電極
13 ゲート絶縁層
14 有機半導体層
15 ソース電極
16 ドレイン電極
17,18 電荷注入促進層
Claims (6)
- 互いに対向する第1の電極及び第2の電極と、当該第1の電極及び当該第2の電極の間に設けられた有機半導体層とを有する有機半導体装置であって、
前記第1の電極及び前記第2の電極のうち少なくとも一方の電極と前記有機半導体層との間に、単分子層の電荷注入促進層が形成され、
前記電荷注入促進層が、絶対値で1デバイ以上50デバイ以下の間に絶対値を持つベクトルで表される電気双極子モーメントを有する有機化合物で形成されており、
前記ベクトルの向きは、前記有機化合物の正極が前記第1の電極及び前記第2の電極のうち正孔を注入する電極側に位置し、前記有機化合物の負極が前記有機半導体層側に位置することになる向きであり、
前記電荷注入促進層が、4−Chlorophenyl−Phosphorodichloridate(C1BPで表される。)であり、前記有機半導体層が、6−(4‘−octylphenyl)−2−buthyloxynaphthalene(8−PNP−O4と表される。)であることを特徴とする有機半導体装置。 - 互いに対向する第1の電極及び第2の電極と、当該第1の電極及び当該第2の電極の間に設けられた有機半導体層とを有する有機半導体装置であって、
前記第1の電極及び前記第2の電極のうち少なくとも一方の電極と前記有機半導体層との間に、電荷注入促進層が形成され、
前記電荷注入促進層が、絶対値で1デバイ以上50デバイ以下の間に絶対値を持つベクトルで表される電気双極子モーメントを有する有機化合物で形成されており、
前記ベクトルの向きは、前記有機化合物の負極が前記第1の電極及び前記第2の電極のうち電子を注入する電極側に位置し、前記有機化合物の正極が前記有機半導体層側に位置することになる向きであり、
前記電荷注入促進層が、4−Chlorophenyl−Phosphorodichloridate(C1BPで表される。)であり、前記有機半導体層が、6−(4‘−octylphenyl)−2−buthyloxynaphthalene(8−PNP−O4と表される。)であることを特徴とする有機半導体装置。 - 前記有機半導体層が、10−6cm2/V・s以上の電荷移動度を示すことを特徴とする請求項1又は2に記載の有機半導体装置。
- 前記第1の電極がソース電極であり、前記第2の電極がドレイン電極であり、前記有機半導体層が前記ソース電極及び前記ドレイン電極の間のチャネル領域に形成されており、基板、ゲート電極及びゲート絶縁層を更に有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の有機半導体装置。
- 前記基板上に前記ソース電極及び前記ドレイン電極が形成されており、
前記電荷注入促進層が、前記ソース電極及び前記ドレイン電極の少なくとも一方の電極上、又は、前記ソース電極及び前記ドレイン電極の少なくとも一方の電極の近傍の前記チャネル領域内に形成されていることを特徴とする請求項4に記載の有機半導体装置。 - 前記基板は前記ソース電極が形成された第1の電極基板であり、前記ドレイン電極が形成された第2の電極基板を更に備え、前記第1の電極基板と前記第2の電極基板とが対向して設けられており、
前記電荷注入促進層が、前記ソース電極及び前記ドレイン電極の少なくとも一方の電極上、又は、前記ソース電極及び前記ドレイン電極の少なくとも一方の電極の近傍の前記チャネル領域内に形成されていることを特徴とする請求項4に記載の有機半導体装置。
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US20080111131A1 (en) * | 2006-11-10 | 2008-05-15 | Nam-Choul Yang | Organic thin film transistor, method of fabricating the same, and display device including the same |
JP5151122B2 (ja) * | 2006-11-22 | 2013-02-27 | ソニー株式会社 | 電極被覆材料、電極構造体、及び、半導体装置 |
US7923718B2 (en) * | 2006-11-29 | 2011-04-12 | Xerox Corporation | Organic thin film transistor with dual layer electrodes |
JP2008140883A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Asahi Kasei Corp | 有機薄膜トランジスタ |
WO2008144758A2 (en) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Plextronics, Inc. | Organic electrodes and electronic devices |
JP5111949B2 (ja) * | 2007-06-18 | 2013-01-09 | 株式会社日立製作所 | 薄膜トランジスタの製造方法及び薄膜トランジスタ装置 |
JP5419337B2 (ja) * | 2007-09-02 | 2014-02-19 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ネマティック液晶性有機半導体材料 |
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JP2010040897A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Sony Corp | 有機薄膜トランジスタ、有機薄膜トランジスタの製造方法、および電子機器 |
GB0814534D0 (en) * | 2008-08-08 | 2008-09-17 | Cambridge Display Tech Ltd | Transistors |
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WO2011052434A1 (ja) * | 2009-11-02 | 2011-05-05 | シャープ株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
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JP4006951B2 (ja) * | 2001-03-08 | 2007-11-14 | 正道 藤平 | 有機電界発光素子およびその製造方法 |
EP1482561B1 (en) * | 2002-02-08 | 2012-03-28 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | A process for producing an organic semiconductor structure |
JP4180833B2 (ja) * | 2002-04-30 | 2008-11-12 | 株式会社リコー | インバータ |
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