JP4934995B2 - 有機半導体材料、有機半導体構造物及び有機半導体装置 - Google Patents

有機半導体材料、有機半導体構造物及び有機半導体装置 Download PDF

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Description

本発明は、成膜時の環境下での安定性に優れると共に、塗布等により容易に成膜できる液晶性有機半導体材料、有機半導体構造物及び有機半導体装置に関するものである。
近年、有機半導体材料を用いた有機半導体構造物についての研究が注目され、各種のデバイスへの応用が期待されている。そうした応用として、大面積のフレキシブルディスプレイ装置等に利用可能な薄膜トランジスタ(有機TFTともいう。)、発光素子、太陽電池等が研究対象となっている。
有機半導体構造物が実用レベルで利用されるためには、有機半導体材料からなる有機半導体層が広い使用温度範囲において安定した電荷移動度を示すことが必要であると共に、広い面積で均一な薄膜を容易に作製できることが必要である。特に、従来のような蒸着等による成膜ではなく、塗布形成による成膜が可能であると共に成膜時の環境化での特性安定性に優れ、且つ、常温を含む広い使用温度範囲(−40〜+90℃程度)で安定した高い電荷移動度を示すことが望ましい。
なお、本発明に関連する先行技術文献としては、例えば非特許文献1には、下記化学式3で表される非線形光学材料としてのオリゴチオフェン化合物が記載されている。また、非特許文献2には、下記化学式4で表される非液晶性のオリゴチオフェン化合物が記載されている。また、非特許文献4には、下記化学式5で表される金属錯体前駆体として合成されたオリゴチオフェン化合物(液晶性の有無は不明)が記載されている。
Figure 0004934995
Figure 0004934995
Figure 0004934995
H.Zhang, T.Ikeda, et al., Adv.Mater., vol.12, No.18, p.1336-1339(2000). M.Melucci, G.Barbarella, et al., J.Org.Chem., vo.69, p.4821-4828(2004). T.S.Jung, J.H.Kim, et al., J.Organometal.Chem., vol.599, No.2, p.232-237(2000).
大面積のフレキシブルディスプレイ装置等に利用可能な有機TFTを実用レベルで形成できる有機半導体材料としては、溶媒溶解性を有して容易に塗布液にすることができること、成膜時の環境下で特性が安定していること、常温を含む広い使用温度範囲で安定した電荷移動度を示す膜を形成できることが望ましく、そうした有機半導体材料の開発が期待されている。
本発明は、上記要請に応えるべくなされたものであって、その目的は、成膜時の環境下での安定性に優れると共に、塗布等により容易に成膜できる液晶性有機半導体材料を提供することにある。また、本発明の他の目的は、そうした有機半導体材料からなる有機半導体層を有する有機半導体構造物及び有機半導体装置を提供することにある。
上記目的を達成するための本発明の有機半導体材料は、チオフェンが3〜6個直鎖状に繋がるチオフェン骨格を有し、当該チオフェン骨格の両側に炭素数1〜20の同一のアルキル基を有する有機半導体材料であって、前記アセチレン骨格が、前記チオフェン骨格と前記アルキル基との間に又は前記チオフェン骨格内に対称的に導入されていることを特徴とする。
(i)この発明によれば、直鎖状のチオフェン骨格の両側に炭素数1〜20の同一のアルキル基を有するので、液晶性と溶媒溶解性を有している。この有機半導体材料を溶媒に溶かして塗布液を調製すれば、大面積のフレキシブルディスプレイ装置等に利用可能な有機半導体層を容易に形成することができる。(ii)また、弱電子吸引性のアセチレン骨格(オリゴチオフェン骨格に導入されたアセチレン骨格は弱電子吸引基として振舞う)が電子供与性のチオフェン骨格とアルキル基との間に又は電子供与性のチオフェン骨格内に対称的に導入されているので、本発明の有機半導体材料は、π電子が非局在化され、HOMO(最高被占有分子軌道;Highest Occupied Molecular Orbital)の上昇を抑え、LUMO(最低未占有分子軌道;Lowest Unoccupied Molecular Orbital)を減少させることができる。その結果、本発明の有機半導体材料の狭バンドギャップ化に有利であると共に、イオン化ポテンシャルの上昇を抑制することができる。特にイオン化ポテンシャル上昇の抑制は、成膜時の環境下での酸化を抑制できるので、この有機半導体材料で有機半導体層を形成すれば、酸化等が抑制された安定した有機半導体層を形成できる。(iii)また、アセチレン骨格を有するので、本発明の液晶性有機半導体材料の相転移温度が低下し、塗布による有機半導体層の成膜がより容易になる。
上記本発明の有機半導体材料は、下記化学式1で表され、式中、R1及びR2は炭素数1〜20の同一のアルキル基であり、n1は3〜6であることを特徴とする。
Figure 0004934995
上記本発明の有機半導体材料は、下記化学式2で表され、式中、R3及びR4は炭素数1〜20の同一のアルキル基であり、n2は1〜4であることを特徴とする。
Figure 0004934995
上記課題を解決するための本発明の有機半導体構造物は、上記本発明の有機半導体材料からなる有機半導体層を有する有機半導体構造物であって、前記有機半導体層は、少なくとも常温領域でスメクチック液晶相又は結晶相を有することを特徴とする。
この発明によれば、上記本発明の有機半導体材料は溶媒溶解性に優れた液晶性材料であるので、その有機半導体材料を有する塗布液で有機半導体層を成膜すれば、大面積のフレキシブルディスプレイ装置等に利用可能な有機半導体構造物を容易に形成することができる。また、上記本発明の有機半導体材料からなる有機半導体層は、少なくとも常温領域でスメクチック液晶相又は結晶相を有するので、例えば有機半導体材料を有する塗布液を加温して等方相又は液晶相とした後に塗布し、その後、常温まで冷やすことにより、チオフェン骨格部分とアルキル鎖部分がそれぞれ並ぶように整列したスメクチック液晶相又は結晶相となり、少なくとも常温領域で安定した電荷移動特性を実現できる。
上記課題を解決するための本発明の有機半導体装置は、少なくとも基板、ゲート電極、ゲート絶縁層、有機半導体層、ドレイン電極、及びソース電極を有する有機半導体装置であって、前記有機半導体層が、上記本発明の有機半導体材料で形成されていることを特徴とする。この発明によれば、成膜時の環境下での安定性に優れると共に塗布等により容易に成膜できる液晶性有機半導体材料で有機半導体層を形成するので、大面積のフレキシブルディスプレイ装置等に利用可能な有機半導体装置を容易に形成することができる。
また、本発明は、上述した本発明の有機半導体構造物を、有機トランジスタ、有機EL素子、有機電子デバイス又は有機太陽電池として使用する。
本発明の有機半導体材料によれば、液晶性と溶媒溶解性を有しているので、この有機半導体材料を溶媒に溶かして塗布液を調製すれば、大面積のフレキシブルディスプレイ装置等に利用可能な有機半導体層を容易に形成することができる。また、π電子が非局在化され、HOMOの上昇を抑え、LUMOを減少させることができるので、狭バンドギャップ化に有利であると共に、イオン化ポテンシャルの上昇を抑制することができる。特に酸化等が抑制された安定した有機半導体層を形成できる。また、アセチレン骨格を有するので、液晶性有機半導体材料の相転移温度が低下し、塗布による有機半導体層の成膜がより容易になる。
本発明の有機半導体構造物によれば、大面積のフレキシブルディスプレイ装置等に利用可能な有機半導体構造物を容易に形成することができる。また、有機半導体材料を有する塗布液を加温して等方相又は液晶相とした後に塗布し、その後、常温まで冷やすことにより、チオフェン骨格部分とアルキル鎖部分がそれぞれ並ぶように整列したスメクチック液晶相又は結晶相となり、安定した電荷移動特性を実現できる。
また、本発明の有機半導体装置は、大面積のフレキシブルディスプレイ装置等に利用可能な薄膜トランジスタ、発光素子、太陽電池等に使用可能となる。
以下、本発明の有機半導体材料、有機半導体構造物及び有機半導体装置について説明する。
(有機半導体材料)
本発明の有機半導体材料は、チオフェンが3〜6個直鎖状に繋がるチオフェン骨格を有し、そのチオフェン骨格の両側に炭素数(以下、Cと表す。)C1〜C20の同一のアルキル基を有する有機半導体材料であって、前記のアセチレン骨格が、前記チオフェン骨格と前記アルキル基との間にそれぞれ導入されていること(これを、「骨格末端導入型」ということがある。)、又は前記チオフェン骨格内に対称的に導入されていること(これを、「骨格内部導入型」ということがある。)、に特徴がある。なお、本願では、本発明の有機半導体材料を「オリゴチオフェン化合物」ということがある。
骨格末端導入型の有機半導体材料は、チオフェンが3〜6個直鎖状に繋がるチオフェン骨格の両端にC1〜C20の同一のアルキル基を有したアセチレン骨格が結合したオリゴチオフェン化合物であり、言い換えれば、上記のように、アセチレン骨格がチオフェン骨格とアルキル基との間にそれぞれ導入されているオリゴチオフェン化合物である。具体的には、上記化学式1で表される。式中、R1及びR2はC1〜C20の同一のアルキル基であり、直鎖であっても分岐鎖を有するものであってもよいが、直鎖のアルキル基が好ましい。また、n1は3〜6である。
また、骨格内部導入型の有機半導体材料は、チオフェンが3〜6個直鎖状に繋がるチオフェン骨格の両側にC1〜C20の同一のアルキル基を有し、チオフェン骨格の内部にはアセチレン骨格が対称的に導入されているオリゴチオフェン化合物である。具体的には、上記化学式2で表される。式中、R3及びR4はC1〜C20の同一のアルキル基であり、直鎖であっても分岐鎖を有するものであってもよいが、直鎖のアルキル基が好ましい。また、n2は1〜4である。
上記化学式1及び化学式2で表される有機半導体材料は、その製法上、アルキル基は左右対称となるので、チオフェン骨格の両端には同一のアルキル基がそれぞれ存在する。なお、好ましいアルキル基の炭素数は、液晶性と溶媒溶解性の観点から、C1〜C16の範囲である。
本発明の有機半導体材料は、上記化学式1、2からわかるように、直鎖状のチオフェン骨格の両側にC1〜C20の同一のアルキル基を有するので、液晶性を示すと共に溶媒溶解性を示す。こうした有機半導体材料を、トルエン、キシレン、メシチレン、テトラリン、モノクロロベンゼン、o−ジクロロベンゼン等の溶媒に溶かして塗布液を調製した後、各種の膜が必要に応じて成膜されてなるプラスチック基板やガラス基板等の所定の基材上に塗布すれば、大面積のフレキシブルディスプレイ装置等に利用可能な有機半導体層を容易に形成することができる。特に本発明の有機半導体材料を加温して等方相状態又は液晶相状態とし、その状態で塗布した後に冷却すれば、本発明に係るオリゴチオフェン化合物(有機半導体材料)は直鎖状のチオフェン骨格部分とアルキル鎖部分がそれぞれ並ぶように整列するので、例えばチオフェン骨格部分でのホッピング伝導等により、安定した電荷移動特性を実現できる。
また、本発明の有機半導体材料は、上記化学式1、2からわかるように、弱電子吸引性のアセチレン骨格(オリゴチオフェン骨格に導入されたアセチレン骨格は弱電子吸引基として振舞う)が、電子供与性のチオフェン骨格とアルキル基との間に又は電子供与性のチオフェン骨格内に対称的に導入されているので、π電子がオリゴチオフェン化合物内で非局在化され、オリゴチオフェン化合物のHOMOの上昇を抑え、LUMOを減少させることができる。したがって、オリゴチオフェン化合物へのアセチレン骨格の導入は、オリゴチオフェン化合物の狭バンドギャップ化に有利であると共に、イオン化ポテンシャルの上昇を抑制することができる。特にイオン化ポテンシャル上昇の抑制は、有機半導体層の成膜時の環境下(例えば大気雰囲気下)での酸化を抑制できるので、この有機半導体材料で有機半導体層を形成すれば、酸化等が抑制された安定した有機半導体層を形成できる。
本発明の有機半導体材料であるオリゴチオフェン化合物のHOMO及びLUMOの値は、DFT計算(B3LYP/6-31G(d)method)により求められる。例えば、本発明の有機半導体材料ではない5,5’’-dimethyl-2,2’:5’,2’’-terthiopheneは、HOMO=−4.97eV、LUMO=−1.53eVであるが、(a)化合物2で表され、R3とR4がメチル基でn2が1のオリゴチオフェン化合物である2,5-bis(5-methyl-2-thienylethynyl)-thiophene(1T-yne-T-yne-T1)は、HOMO=−5.00eV、LUMO=−1.92eVであり、(b)化合物1で表され、R1とR2がメチル基でn1が3のオリゴチオフェン化合物である5,5’’-bis(methyl-2-yne)-2,2’:5’,2’’-terthiophene(1-yne-TTP-yne-1)は、HOMO=−4.96eV、LUMO=−1.92eVである。このように、本発明の有機半導体材料であるオリゴチオフェン化合物のHOMO及びLUMOの値は、弱電子吸引性のアセチレン骨格がチオフェン骨格とアルキル基との間に導入された場合であっても、チオフェン骨格内に対称的に導入された場合であっても、その導入位置にはあまり影響されない。
また、本発明の有機半導体材料は、チオフェン骨格の両側又はチオフェン骨格内にアセチレン骨格が左右対称的に含まれているので、アセチレン骨格を含まない化合物やアセチレン骨格が1つしか含まない化合物に比べて、液晶性有機半導体材料の相転移温度が低下する。その結果、有機半導体材料を加温して等方相状態又は液晶相状態にできる温度を低くすることができるので、その後の塗布及び冷却による有機半導体層の成膜をより容易に行うことができる。
(有機半導体構造物)
本発明の有機半導体構造物は、上記の有機半導体材料からなる有機半導体層を有するものであり、その有機半導体層は、少なくとも常温領域でスメクチック液晶相又は結晶相を有している。なお、本発明において、常温領域とは、有機TFT等の半導体素子の使用温度範囲として一般的な、−40℃〜90℃の範囲を言うものとする。
DSC(示差走査型熱量計:Differential Scanning Calorimeter、NETZSCH社製DSC204 u-Sensor)測定によれば、例えば、下記化学式6で表されるオリゴチオフェン化合物 5,5’’-bis(decyl-2-yne)-2,2’:5’,2’’-terthiophene(8-yne-TTP-yne-8ともいう。)の相転移温度は結晶相/30.6℃/スメクチックG相(SmG相)/65.8℃/等方相であり、下記化学式7で表されるオリゴチオフェン化合物5,5’’’-bis(decyl-2-yne)-2,2’:5’,2’’:5’’,2’’’-Quaterthiophene(8-yne-QT-yne-8ともいう。)の相転移温度は結晶相/101.2℃/SmG相/164.7℃/等方相であり、下記化学式8で表されるオリゴチオフェン化合物5,5’-bis(5-octyl-2-thienylethynyl)-2,2’-bithiophene(8T-yne-TT-yne-T8ともいう。)の相転移温度は結晶相/88.9℃/スメクチックX1相(SmX1相)/94.3℃/等方相であり、下記化学式9で表されるオリゴチオフェン化合物5,5’’-bis(5-octyl-2-thienylethynyl)-2,2’:5’,2’’-terthiophene(8T-yne-TTP-yne-T8ともいう。)の相転移温度は結晶相/77.2℃/SmX2相/111.2℃/SmX1相/136.5℃/ネマチック相/159.4℃/等方相である。なお、各相間の温度は、その温度の左右の相間の転移温度を示しており、例えば、「結晶相/30.6℃/SmG相」とあるのは、結晶相とSmG相との間の相転移温度が30.6℃であることを示している。
Figure 0004934995
上述した有機半導体材料を有する塗布液を、少なくとも結晶化温度を超える温度に加温して等方相又は液晶相とした後に基板上に塗布し、その後、常温まで冷やすことにより、各オリゴチオフェン化合物のチオフェン骨格部分とアルキル鎖部分がそれぞれ並ぶように整列したスメクチック液晶相又は結晶相となり、少なくとも常温領域(−40℃〜90℃)で安定した電荷移動特性を実現できる。このときの塗布方法としては、各種の塗布方法及び印刷方法を適用できる。
なお、有機半導体材料を基板上に塗布する際の配向は、有機半導体材料をポリイミド系材料からなる液晶配向層上に塗布したり、微少な凹凸を表面に有した硬化性樹脂からなる液晶配向層上に塗布したりすることにより行うことができる。
本発明の有機半導体構造物は、第一の態様として、基板、液晶配向層、有機半導体層を順次積層したものを挙げることができ、第二の態様として、基板、有機半導体層、液晶配向層を順次積層したものを挙げることができ、第三の態様として、基板、液晶配向層、有機半導体層、液晶配向層を順次積層したものを挙げることができる。本発明においては、有機半導体層を、配向処理を施した層と接するように構成することによって、有機半導体層に高い配向性を付与することができる。
以上説明したように、本発明の有機半導体構造物は、有機半導体材料を有する塗布液を加温して等方相又は液晶相とした後に塗布し、その後、常温まで冷やすことにより、チオフェン骨格部分とアルキル鎖部分がそれぞれ並ぶように整列したスメクチック液晶相又は結晶相となり、少なくとも常温領域(−40℃〜90℃)で安定した電荷移動特性を実現できる。その結果、大面積のフレキシブルディスプレイ装置等に利用可能な薄膜トランジスタや電界効果型トランジスタ等の半導体層への応用が期待できる。
(有機半導体装置)
本発明の有機半導体装置101は、例えば図1に示すように、少なくとも基板11、ゲート電極12、ゲート絶縁層13、有機半導体層14、ドレイン電極15及びソ−ス電極16で構成される。この有機半導体装置101は、有機半導体層14が、上述した本発明の有機半導体構造物を構成する有機半導体材料で形成されている。
構成の一例としては、基板11上に、ゲート電極12、ゲート絶縁層13、配向した有機半導体層14、ドレイン電極15とソ−ス電極16、保護膜17の順に構成される逆スタガー構造(図示しない)、又は、基板11上に、ゲート電極12、ゲート絶縁層13、ドレイン電極15とソース電極16、有機半導体層14、保護膜(図示しない。)の順に構成されるコプラナー構造(図1を参照)、を挙げることができる。こうした構成からなる有機半導体装置101は、ゲート電極12に印加される電圧の極性に応じて、蓄積状態又は空乏状態の何れかで動作する。以下、有機半導体装置の構成部材について詳細に説明する。
(基板)
基板11は、絶縁性の材料であれば広い範囲の材料から選択することができる。例えば、ガラス、アルミナ焼結体などの無機材料、ポリイミド膜、ポリエステル膜、ポリエチレン膜、ポリフェニレンスルフィド膜、ポリパラキシレン膜等の各種の絶縁性材料を挙げることができる。特に、高分子化合物からなるフィルム状又はシート状の基板を用いると、軽量でフレシキブルな有機半導体装置を作製することができるので、極めて有用である。なお、本発明で適用される基板11の厚さは、25μm〜1.5mm程度である。
(ゲート電極)
ゲート電極12は、ポリアニリン、ポリチオフェン等の有機材料からなる電極又は導電性インキを塗布して形成した電極であることが好ましい。これらの電極は、有機材料や導電性インキを塗布して形成できるので、電極形成プロセスが極めて簡便となるという利点がある。塗布法の具体的な手法としては、スピンコート法、キャスト法、引き上げ法、転写法、インクジェット法等が挙げられる。
なお、電極として金属膜を形成する場合には、既存の真空成膜法を用いることができ、具体的には、マスク成膜法又はフォトリソグラフ法を用いることができる。この場合には、金、白金、クロム、パラジウム、アルミニウム、インジウム、モリブデン、ニッケル等の金属、これら金属を用いた合金、ポリシリコン、アモリファスシリコン、錫酸化物、酸化インジウム、インジウム・錫酸化物(ITO)等の無機材料を、電極形成用の材料として挙げることができる。また、これらの材料を2種以上併用してもよい。
ゲート電極の膜厚は、その材質の導電率によるが、50〜1000nm程度であることが好ましい。ゲート電極の厚さの下限は、電極材料の導電率及び下地基板との密着強度によって異なる。ゲート電極の厚さの上限は、後述のゲート絶縁層及びソース・ドレイン電極対を設けた際に、下地基板とゲート電極の段差部分におけるゲート絶縁層による絶縁被覆が十分で、かつその上に形成する電極パターンに断線を生ぜしめないことが必要である。特に、可とう性がある基板を使用した場合には、応力のバランスを考慮する必要がある。
(ゲート絶縁層)
ゲート絶縁層13は、上記のゲート電極12と同じように、有機材料を塗布して形成したものであることが好ましく、使用される有機材料としては、ポリクロロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリオキシメチレン、ポリビニルクロライド、ポリフッ化ビニリデン、シアノエチルプルラン、ポリメチルメタクリレート、ポリサルフォン、ポリカーボネート、ポリイミド等を挙げることができる。塗布法の具体的な手法としては、スピンコート法、キャスト法、引き上げ法、転写法、インクジェット法等が挙げられる。なお、CVD法等の既存パターンプロセスを用いて形成してもよく、その場合には、SiO、SiN、A1等の無機材料が好ましく使用される。また、これらの材料を2種以上併用してもよい。
有機半導体装置の電荷移動度は電界強度に依存するので、ゲート絶縁層の膜厚は、50〜300nm程度であることが好ましい。このときの絶縁耐圧は、2MV/cm以上であることが望ましい。
(ドレイン電極及びソース電極)
ドレイン電極15及びソース電極16は、仕事関数の大きい金属で形成されることが好ましい。その理由としては、本発明の液晶性有機半導体材料は、電荷を輸送するキャリヤがホールであることから、有機半導体層14とオーミック接触していることが必要となるからである。ここでいう仕事関数とは、固体中の電子を外部に取り出すのに必要な電位差であり、真空準位とフェルミ準位とのエネルギー差として定義される。好ましい仕事関数としては、4.6〜5.2eV程度であり、具体的には、金、白金、透明導電膜(インジウム・スズ酸化物、インジウム・亜鉛酸化物等)等が挙げられる。透明導電膜は、スパッタリング法、電子ビーム(EB)蒸着法で形成することができる。なお、本発明で適用されるドレイン電極15及びソース電極16の厚さは、50nm程度である。
(有機半導体層)
有機半導体層14は、上述した本発明の有機半導体材料により形成された層である。形成される有機半導体層14は、少なくとも常温を含む温度範囲においてチオフェン骨格部分とアルキル鎖部分がそれぞれ並ぶように整列したスメクチック液晶相又は結晶相を呈し、均一な大面積の有機半導体層を形成することができるという特徴的な効果がある。
なお、有機半導体材料を形成する被形成面がゲート絶縁層又は基板である場合には、そのゲート絶縁層又は基板をラビング処理することにより、配向処理膜と、ゲート絶縁層又は基板とを一体のものとすることができる。
(層間絶縁層)
有機半導体装置101には、層間絶縁層を設けることが望ましい。層間絶縁層は、ゲート絶縁層13上にドレイン電極15及びソース電極16を形成する際に、ゲート電極12の表面の汚染を防ぐことを目的として形成される。したがって、層間絶縁層は、ドレイン電極15及びソース電極16を形成する前にゲート絶縁層13の上に形成される。そして、ソース電極15及びドレイン電極16が形成された後においては、チャネル領域上方に位置する部分を完全に除去又は一部を除去するように加工される。除去される層間絶縁層領域は、ゲート電極12のサイズと同等であることが望ましい。
材料としては、SiO、SiN、Al等の無機材料や、ポリクロロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリオキシメチレン、ポリビニルクロライド、ポリフッ化ビニリデン、シアノエチルプルラン、ポリメチルメタクリレート、ポリスルホン、ポリカーボネート、ポリイミド等の有機材料が挙げられる。
(有機半導体装置の他の態様)
本発明の有機半導体装置においては、その構成として、(i)基板/ゲート電極/ゲート絶縁層(液晶配向層を兼ねる。)/ソース・ドレイン電極/有機半導体層(/保護層)、(ii)基板/ゲート電極/ゲート絶縁層/ソース・ドレイン電極/液晶配向層/有機半導体層(/保護層)、(iii)基板/ゲート電極/ゲート絶縁層(液晶配向層を兼ねる)/有機半導体層/ソース・ドレイン電極/(保護層)、(iv)基板/ゲート電極/ゲート絶縁層(液晶配向層を兼ねる)/有機半導体層/ソース・ドレイン電極がパタニングされた基板(保護層を兼ねる)、(v)基板/ソース・ドレイン電極/有機半導体層/ゲート絶縁層(液晶配向層を兼ねる)/ゲート電極/基板(保護層を兼ねる)、(vi)基板(配向層を兼ねる)/ソース・ドレイン電極/有機半導体層/ゲート絶縁層/ゲート電極/基板(保護層を兼ねる)、又は、(vii)基板/ゲート電極/ゲート絶縁層/ソース・ドレイン電極/有機半導体層/基板(配向層を兼ねる)、とすることもできる。
こうした有機半導体装置においては、本発明の有機半導体材料を用いることによって、塗布方式で有機半導体層を容易に形成することができる。
以下に、本発明についてさらに詳しく説明する。
(実施例1)
実施例1では、化学式2で表され、式中、R3及びR4がC8の同一の直鎖アルキル基であり、n2が1〜3の有機半導体材を作製した。
<2-Octylthiopheneの合成>
Figure 0004934995
先ず、200ml滴下ロートと還流管を付した1000mlの3つ口フラスコに、Thiophene(59.9g, 0.713mol)と脱水Tetrahydrofran(以後、THFという。)(200ml)を入れ、-78℃に冷却し、n-Butyllithium(2.6M)を含むn-Hexane Solution(200ml)を約1時間かけて滴下した。滴下終了後、-78℃にて約1時間攪拌し、その後室温まで反応温度を上昇させ、再度、1時間攪拌し、1-Bromooctane(91.8g, 0.475mol)を0℃にて約1時間かけて滴下した。滴下終了後、室温まで反応温度を上昇させ、終夜攪拌を行った。反応終了後、水(200ml)を加え、有機層をジエチルエーテルで抽出し、硫酸ナトリウムで乾燥させた後、カラムクロマトグラフィー(n-Hexane)に供することで、目的物である黄色液体、2-Octylthiopheneを99.9g(収率97.8%)得た。得られた化合物のNMRスペクトルを、室温において、日本電子株式会社製のJNM−LA400W型NMRスペクトロメータを用いて測定した(以後同じ。)。H-NMR(CDCl, TMS/ppm): 0.88(t,3H,J=6.83Hz), 1.28(m,10H), 1.67(m,2H), 2.81(t,2H,J=7.32Hz), 6.77(dd,1H,J=0.976Hz,J=3.90Hz), 6.91(dd,1H,J=3.90Hz, J=4.88Hz), 7.10(dd,1H,J=0.976Hz,J=4.88Hz).
<2-Bromo-5-octylthiopheneの合成>
Figure 0004934995
200ml滴下ロートと還流管を付した1000mlの3つ口フラスコに、上記のようにして得られた2-Octylthiophene(96.1g, 0.489mol)と脱水N,N-Dimethylfolmamide(以後、DMFという。)(300ml)を入れ、室温及びアルゴン気流中で、約1時間かけてN-Bromosuccinimide(以後、NBSという。)(87.1g, 0.489mol)とDMF(200ml)からなる溶液を滴下した。滴下終了後、約2時間、100℃にて加熱攪拌を行った。反応終了後、反応溶液に水(300ml)を加え、有機層をジエチルエーテルで抽出し、硫酸ナトリウムで乾燥させた後、カラムクロマトグラフィー(n-Hexane)に供することで、目的物である黄色液体、2-Bromo-5-octylthiopheneを125.4g(収率93.2%)得た。得られた化合物のNMRスペクトルを、室温において、日本電子株式会社製のJNM−LA400W型NMRスペクトロメータを用いて測定した。H-NMR(CDCl, TMS/ppm): 0.88(t,3H,J=6.83Hz), 1.28(m,10H), 1.60(m,2H), 2.73(t,2H,J=7.32Hz), 6.52(d,1H,J=3.90Hz), 6.83(d,1H,J=3.90Hz).
<2-(trimethylsily)ethynyl-5-octylthiopheneの合成>
Figure 0004934995
還流管を付した1000mlのフラスコに、上記のようにして得られた2-Bromo-5-octylthiophene(40.0g, 0.145mol)、Trimethylsilyacetylene(14.3g, 0.145mol)、Bis(triphenylphosphine)palladium(II) dichloride(2.0g, 2.90mmol)、Copper(I) Iodide(550mg, 2.90mmol)、Triethylamine(90ml)、及びTHF(300ml)を入れ、アルゴン気流中で約6時間かけて還流した。反応終了後、反応溶液に水(200ml)を加え、有機層をジエチルエーテルで抽出し、硫酸ナトリウムで乾燥させた後、カラムクロマトグラフィー(n-Hexane)に供することで、目的物である薄黄色液体、2-(trimethylsily)ethynyl-5-octylthiopheneを42.4g(収率100%)得た。得られた化合物のNMRスペクトルを、室温において、日本電子株式会社製のJNM−LA400W型NMRスペクトロメータを用いて測定した。H-NMR(CDCl, TMS/ppm): 0.231(s,9H), 0.88(t,3H,J=6.83Hz), 1.28(m,10H), 1.64(m,2H), 2.75(t,2H,J=7.32Hz), 6.60(d,1H,J=3.42Hz), 7.04(d,1H,J=3.42Hz).
<2-ethynyl-5-octylthiopheneの合成>
Figure 0004934995
還流管を付した1000mlのフラスコに、上記のようにして得られた2-(trimethylsily)ethynyl-5-octylthiophene(44.8g, 0.153mol)、Potassium Carbonate(30.0g)、水(50ml)、THF(400ml)、及びメタノール(100ml)を入れ、アルゴン気流中で約6時間かけて還流した。反応終了後、反応溶液に水(200ml)を加え、有機層をジエチルエーテルで抽出し、硫酸ナトリウムで乾燥させた後、カラムクロマトグラフィー(n-Hexane)に供することで、目的物である薄黄色液体、2-ethynyl-5-octylthiopheneを33.2g(収率98.5%)得た。得られた化合物のNMRスペクトルを、室温において、日本電子株式会社製のJNM−LA400W型NMRスペクトロメータを用いて測定した。H-NMR(CDCl, TMS/ppm): 0.88(t,3H,J=6.83Hz), 1.29(m,10H), 1.64(m,2H), 2.76(t,2H,J=7.32Hz), 3.28(s,1H), 6.63(dd,1H,J=0.976Hz,J=3.42Hz), 7.09(d,1H,J=3.42Hz).
<2,5-bis(5-octyl-2-thienylethynyl)-thiophene(8T-yne-T-yne-T8)の合成>
Figure 0004934995
還流管を付した500mlのフラスコに、上記のようにして得られた2-ethynyl-5-ocytylthiophene(11.2g, 50.8mmol)、2,5-Dibromothiophene(6.0g, 24.8mmol)、Bis(triphenylphosphine)palladium(II) dichloride(870mg, 1.24mmol)、Copper(I) Iodide(240mg, 1.24mmol)、Triethylamine(20ml)、及びTHF(100ml)を入れ、アルゴン気流中で約6時間かけて還流した。反応終了後、反応溶液に水(200ml)を加え、有機層をクロロホルムにて抽出し、硫酸ナトリウムで乾燥させた後、カラムクロマトグラフィー(n-Hexane)に供することで、目的物である薄黄色粉末、2,5-bis(5-octyl-2-thienylethynyl)-thiophene(8T-yne-T-yne-T8)を3.6g(収率27.9%)得た。得られた化合物のNMRスペクトルを、室温において、日本電子株式会社製のJNM−LA400W型NMRスペクトロメータを用いて測定した。H-NMR(CDCl, TMS/ppm): 0.88(t,6H,J=6.83Hz), 1.30(m,20H), 1.67(m,4H), 2.79(t,4H,J=7.32Hz), 6.68(d,2H,J=3.90Hz), 7.10(s,2H), 7.11(d,2H,J=3.90Hz).
<5,5’-bis(5-octyl-2-thienylethynyl)-2,2’-bithiophene(8T-yne-TT-yne-T8)の合成>
Figure 0004934995
還流管を付した500mlのフラスコに、上記のようにして得られた2-ethynyl-5-ocytylthiophene(11.8g, 53.5mmol)、5,5’-Dibromo-2,2’-bithiophene(8.46g, 26.1mmol)、Bis(triphenylphosphine)palladium(II) dichloride(917mg, 1.31mmol)、Copper(I) Iodide(250mg, 1.31mmol)、Triethylamine(30ml)、及びTHF(100ml)を入れ、アルゴン気流中で約6時間かけて還流した。反応終了後、反応溶液に水(200ml)を加え、有機層をクロロホルムにて抽出し、硫酸ナトリウムで乾燥させた後、カラムクロマトグラフィー(n-Hexane)に供することで、目的物である薄黄色粉末、5,5’-bis(5-octyl-2-thienylethynyl)-2,2’-bithiophene(8T-yne-TT-yne-T8)を5.9g(収率37.6%)得た。得られた化合物のNMRスペクトルを、室温において、日本電子株式会社製のJNM−LA400W型NMRスペクトロメータを用いて測定した。H-NMR(CDCl, TMS/ppm): 0.88(t,6H,J=6.83Hz), 1.30(m,20H), 1.66(m,4H), 2.79(t,4H,J=7.32Hz), 6.68(d,2H,J=3.90Hz), 7.06(d,2H,J=3.90Hz), 7.10(d,2H,J=3.90Hz), 7.13(d,2H,J=3.90Hz).
<5,5’’-dibromo-2,2’:5’,2’’-terthiopheneの合成>
Figure 0004934995
100ml滴下ロートと還流管を付した500mlの3つ口フラスコに、2,2’:5’,2’’-terthiophene(5.20g, 20.9mmol)及びDMF(200ml)を入れ、室温及びアルゴン気流中で約1時間かけてNBS(7.63g, 42.9mmol)及びDMF(100ml)からなる溶液を滴下した。滴下終了後、約2時間、100℃にて加熱攪拌を行った。反応終了後、反応溶液を水(1000ml)にあけ、析出した黄色粉末を濾取、真空乾燥することで、目的物である5,5’’-dibromo-2,2’:5’,2’’-terthiopheneを8.56g(収率100%)得た。得られた化合物のNMRスペクトルを、室温において、日本電子株式会社製のJNM−LA400W型NMRスペクトロメータを用いて測定した。H-NMR(CDCl, TMS/ppm): 6.90(d,2H,J=3.90Hz), 6.97(d,2H,J=3.90Hz), 6.99(s,2H).
<5,5’’-bis(5-octyl-2-thienylethynyl)-2,2’:5’,2’’-terthiophene(8T-yne-TTP-yne-T8)の合成>
Figure 0004934995
還流管を付した500mlのフラスコに、上記のようにして得られた5,5’’-dibromo-2,2’:5’,2’’-terthiophene(16.0g, 39.5mmol)、2-ethynyl-5-ocytylthiophene(26.1g, 119mmol)、Bis(triphenylphosphine)palladium(II) dichloride(737mg, 1.05mmol)、Copper(I) Iodide(200mg, 1.05mmol)、Triethylamine(30ml)、及びToluene(100ml)を入れ、アルゴン気流中で約6時間かけて還流した。反応終了後、反応溶液に水(200ml)を加え、有機層をクロロホルムにて抽出し、硫酸ナトリウムで乾燥させた後、カラムクロマトグラフィー(n-Hexane)に供することで、目的物である薄黄色粉末、5,5’’-bis(5-octyl-2-thienylethynyl)-2,2’:5’,2’’-terthiophene(8T-yne-TTP-yne-T8)を12.5g(収率46.3%)得た。得られた化合物のNMRスペクトルを、室温において、日本電子株式会社製のJNM−LA400W型NMRスペクトロメータを用いて測定した。H-NMR(CDCl, TMS/ppm): 0.89(t,6H,J=6.83Hz), 1.36(m,20H), 1.66(m,4H), 2.80(t,4H,J=7.32Hz), 6.68(d,2H,J=3.90Hz), 7.05(d,2H,J=3.90Hz), 7.09(s,2H), 7.10(d,2H,J=3.90Hz), 7.14(d,2H,J=3.90Hz).
<FET素子の作製>
試験デバイスに使用したウエハは、株式会社エレクトロニクスエンドマテリアルズコーポレーションから購入したものを用いた。これは、n-ドープシリコンウエハであり、その上に厚さ約3000Å(300nm)の酸化ケイ素層を熱生成させたものである。ウエハがゲート電極として機能する一方、酸化ケイ素層はゲート誘電体として働き、その静電容量は約11nF/cm(ナノファラッド/平方センチメートル)であった。このウエハを、0.1MのPhenyltrichlorosilaneの脱水トルエン溶液に、60℃で20分間浸した。次いで、このウエハをトルエンで洗い、残液を窒素エアガンで除いた後、100℃で1時間乾燥した。
次に、金のソース及びドレイン電極を、酸化ケイ素誘電体層の上に、様々なチャネル長さと幅のシャドウマスクを通して真空蒸着し、様々な大きさの一連のトランジスタ電極を作製した。その後、このウエハを60℃に加熱し、有機半導体層を、速さ2000rpm、約10秒間のスピンコーティングにより、溶液温度60℃にて塗布した。有機半導体層の製造に使用した溶液は、トルエンに、上記のようにして得られた5,5’’-bis(5-octyl-2-thienylethynyl)-2,2’:5’,2’’-terthiophene(8T-yne-TTP-yne-T8)を1.0重量%溶解したものである。これらの操作は周囲条件中で行い、周囲の酸素、湿気、又は光への材料と装置の暴露を防止する対策は何ら講じなかった。
FET特性評価は、KEITHLEY製237 HIGH VOLTAGE SOURCE MEASURE UNITで行った。キャリヤ移動度(μ)は、飽和領域(ゲート電圧V<ソース・ドレイン電圧VSD)におけるデータより、下記式(1)に従って計算した。式(1)中、ISDは飽和領域におけるドレイン電流であり、WとLはそれぞれ半導体チャネルの幅と長さであり、Cはゲート誘電体層の単位面積当たりの静電容量であり、V及びVはそれぞれ、ゲート電圧及び閾電圧である。この装置のVは、飽和領域におけるISDの平方根と、測定データからISD=0を外挿して求めた装置のVとの関係から求めた。電流オン/オフ比は、ゲート電圧Vがドレイン電圧Vと等しいかそれ以上であるときの飽和ソース・ドレイン電流と、ゲート電圧Vがゼロの時のソース・ドレイン電流との比である。
Figure 0004934995
なお、W(幅)=1200μm、L(長さ)=50μmの大きさのトランジスタを用い、5個以上のトランジスタから得た平均特性値は、正孔移動度:1.0×10−2cm/Vs、電流オン/オフ比:10(Vds=−80V)であった。こうした大きなオン/オフ比を示すポリマー材料は、酸化し難いことを示唆するものであり、大気安定性に優れ、良好なプロセス特性を示すものと考えられる。
図2は、8T-yne-TTP-yne-T8を注入したガラスセルを使って偏光顕微鏡によるテクスチャー観察結果である。なお、FET素子の作製において、8T-yne-TTP-yne-T8単体における結晶相とSmX2相との相転移温度は77.2℃であるが、上記のような8T-yne-TTP-yne-T8とトルエンとの溶液は混合効果により相転移温度が低下するので、約60℃の加熱であっても混合液晶状態にある8T-yne-TTP-yne-T8の塗布膜を形成することができた。
(実施例2)
実施例2では、化学式1で表され、式中、R1及びR2がC8の同一の直鎖アルキル基であり、n1が3及び4の有機半導体材を作製した。
<5,5’’-bis(decyl-2-yne)-2,2’:5’,2’’-terthiophene(8-yne-TTP-yne-8)の合成>
Figure 0004934995
還流管を付した1000mlのフラスコに、5,5’-dibromo-2,2’:5’,2’’-terthiophene(4.5g, 11.1mmol)、1-Decyne(3.37g, 24.4mmol)、Bis(triphenylphosphine)palladium(II) dichloride(390mg, 0.550mmol)、Copper(I) Iodide(105mg, 0.550mmol)、Triethylamine(20ml)、及びTHF(100ml)を入れ、アルゴン気流中で約6時間かけて還流した。反応終了後、反応溶液に水(200ml)を加え、有機層をクロロホルムにて抽出し、硫酸ナトリウムで乾燥させた後、カラムクロマトグラフィー(n-Hexane)に供することで、目的物である薄黄色粉末、5,5’’-bis(decyl-2-yne)-2,2’:5’,2’’-terthiophene(8-yne-TTP-yne-8)を6.2g(収率56.8%)得た。得られた化合物のNMRスペクトルを、室温において、日本電子株式会社製のJNM−LA400W型NMRスペクトロメータを用いて測定した。H-NMR(CDCl, TMS/ppm): 0.89(t,6H,J=6.83Hz), 1.38(overlapped peaks, 20H), 1.59(m,4H), 2.43(t,4H,J=6.83Hz), 6.90(d,2H,J=3.42Hz), 7.00(d,2H,J=3.42Hz), 7.03(s,2H).
<5,5’’’-Dibromo-2,2’:5’,2’’:5’’,2’’’-Quaterthiopheneの合成>
Figure 0004934995
100ml滴下ロートと還流管を付した1000mlの3つ口フラスコに、2,2’:5’,2’’:5’’,2’’’-Quaterthiophene(20.0g,60.5mmol)及びDMF(500ml)を入れ、120℃及びアルゴン気流中で約1時間かけてNBS(22.1g, 124mmol)とDMF(100ml)からなる溶液を滴下した。滴下終了後、約2時間、120℃にて加熱攪拌を行った。反応終了後、反応溶液を水(1000ml)にあけ、析出した黄茶色粉末を濾取、真空乾燥することで、目的物である5,5’’’-Dibromo-2,2’:5’,2’’:5’’,2’’’-Quaterthiopheneを29.5g(収率100%)得た。得られた化合物の質量分析を、株式会社島津製作所製のGCMS-QP5000を用いて測定した。EI-MS: m/e=487.90(C16HBrS, M, 100%).
<5,5’’’-bis(decyl-2-yne)-2,2’:5’,2’’:5’’,2’’’-Quaterthiophene(8-yne-QT-yne-8)の合成>
Figure 0004934995
還流管を付した1000mlのフラスコに、上記のようにして得られた5,5’’’-Dibromo-2,2’:5’,2’’:5’’,2’’’-Quaterthiophene(10.0g, 20.5mmol)、1-Decyne(11.3g, 81.9mmol)、Bis(triphenylphosphine)palladium(II) dichloride(720mg, 1.02mmol)、Copper(I) Iodide(194mg, 1.02mmol)、Triethylamine(100ml)、及びToluene(200ml)を入れ、アルゴン気流中で約6時間かけて還流を行った。反応終了後、反応溶液に水(200ml)を加え、有機層をクロロホルムにて抽出し、硫酸ナトリウムで乾燥させた後、カラムクロマトグラフィー(n-Hexane:CHCl3=9:1)に供することで、目的物である黄色粉末、5,5’’’-bis(decyl-2-yne)-2,2’:5’,2’’:5’’,2’’’-Quaterthiophene(8-yne-QT-yne-8)を7.2g(収率58.1%)得た。得られた化合物のNMRスペクトルを、室温において、日本電子株式会社製のJNM−LA400W型NMRスペクトロメータを用いて測定した。H-NMR(CDCl, TMS/ppm): 0.89(t,6H,J=6.83Hz), 1.36(overlapped peaks, 20H), 1.60(m,4H), 2.44(t,4H,J=7.32Hz), 7.02(m,8H).
<FET素子の作製>
試験デバイスに使用したウエハは、上記の実施例1と同様、株式会社エレクトロニクスエンドマテリアルズコーポレーションから購入したものを用いた。このウエハ上に、ソース及びドレイン電極を、クロム(5nm)、金(50nm)の順で、様々なチャネル長さと幅のシャドウマスクを通して真空蒸着し、様々な大きさの一連のトランジスタ電極を作製した。次に、このウエハを、0.1MのPhenyltrichlorosilaneの脱水トルエン溶液に、60℃で20分間浸した。次いで、このウエハをトルエンで洗い、残液を窒素エアガンで除いた後、100℃で1時間乾燥した。
次に、このウエハを90℃に加熱し、有機半導体層を、速さ2000rpm、約10秒間のスピンコーティングにより、溶液温度90℃にて塗布した。有機半導体層の製造に使用した溶液は、キシレンに、上記のようにして得られた5,5’’’-bis(decyl-2-yne)-2,2’:5’,2’’:5’’,2’’’-Quaterthiophene(8-yne-QT-yne-8)を1.0重量%溶解したものである。これらの操作は周囲条件中で行い、周囲の酸素、湿気、又は光への材料と装置の暴露を防止する対策は何ら講じなかった。
FET特性評価は、実施例1と同様の、KEITHLEY製237 HIGH VOLTAGE SOURCE MEASURE UNITで行った。キャリヤ移動度(μ)も、上記の実施例1と同様、飽和領域(ゲート電圧V<ソース・ドレイン電圧VSD)におけるデータより、上記式(1)に従って計算した。なお、W(幅)=1200μm、L(長さ)=25μmの大きさのトランジスタを用い、5個以上のトランジスタから得た平均特性値は、正孔移動度:1.7×10−2cm/Vs、電流オン/オフ比:10(Vds=−80V)であった。こうした大きなオン/オフ比を示すポリマー材料は、酸化し難いことを示唆するものであり、大気安定性に優れ、良好なプロセス特性を示すものと考えられる。
図3は、8-yne-TTP-yne-8を注入したガラスセルを使って偏光顕微鏡(オリンパス株式会社製BH2-UMA)と加熱ステージ(メトラー・ドレド社製 FP82HT、FP80HT)によるテクスチャー観察結果であり、図4は、8-yne-QT-yne-8を注入したガラスセルを使って偏光顕微鏡(オリンパス株式会社製BH2-UMA)と加熱ステージ(メトラー・ドレド社製 FP82HT、FP80HT)によるテクスチャー観察結果である。なお、FET素子の作製において、8-yne-QT-yne-8単体における結晶相とSmG相との相転移温度は101.2℃であるが、上記のような8-yne-QT-yne-8とキシレンとの溶液は混合効果により相転移温度が低下するので、約90℃の加熱であっても混合液晶状態にある8-yne-QT-yne-8の塗布膜を形成することができた。
本発明の有機半導体装置の一例を示す断面図である。 8T-yne-TTP-yne-T8を注入したガラスセルを使って偏光顕微鏡と加熱ステージによるテクスチャー観察結果である。 8-yne-TTP-yne-8を注入したガラスセルを使って偏光顕微鏡と加熱ステージによるテクスチャー観察結果である。 8-yne-QT-yne-8を注入したガラスセルを使って偏光顕微鏡と加熱ステージによるテクスチャー観察結果である。
符号の説明
101 有機半導体装置
11 基板
12 ゲート電極
13 ゲート絶縁層
14 高分子有機半導体層
15 ドレイン電極
16 ソ−ス電極

Claims (4)

  1. チオフェンが3〜6個直鎖状に繋がるチオフェン骨格を有し、当該チオフェン骨格の両側に炭素数〜20の同一のアルキル基を有する下記化学式1で表される有機半導体材料であって、アセチレン骨格が、前記チオフェン骨格と前記アルキル基との間に導入されていることを特徴とする有機半導体材料(式中、R1及びR2は炭素数〜20の同一のアルキル基であり、n1は3〜6である。)。
    Figure 0004934995
  2. 請求項1に記載の有機半導体材料からなる有機半導体層を有する有機半導体構造物であって、前記有機半導体層は、少なくとも−40℃〜90℃の範囲でスメクチック液晶相又は結晶相を有することを特徴とする有機半導体構造物。
  3. 少なくとも基板、ゲート電極、ゲート絶縁層、有機半導体層、ドレイン電極、及びソース電極を有する有機半導体装置であって、前記有機半導体層が、請求項1に記載の有機半導体材料で形成されていることを特徴とする有機半導体装置。
  4. 請求項2に記載の有機半導体構造物の、有機トランジスタ、有機EL素子、有機電子デバイス又は有機太陽電池としての使用。
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JP5380831B2 (ja) * 2007-12-07 2014-01-08 株式会社リコー 有機トランジスタ及びその製造方法
KR101069585B1 (ko) * 2009-01-15 2011-10-05 포항공과대학교 산학협력단 표면처리된 잉크젯 프린트용 기판
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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KR100911136B1 (ko) * 2001-07-09 2009-08-06 메르크 파텐트 게엠베하 반응성 티에노티오펜
WO2003067667A1 (en) * 2002-02-08 2003-08-14 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Organic semiconductor structure, process for producing the same, and organic semiconductor device
DE60302025T2 (de) * 2002-09-14 2006-07-13 Merck Patent Gmbh Mono-,Oligo- und Poly(3-Alkynylthiophene) und ihre Verwendung als Ladungstransportmaterialien
JP4415541B2 (ja) * 2002-11-25 2010-02-17 三菱化学株式会社 電界効果トランジスタ及びその製造方法
JP4325479B2 (ja) * 2003-07-17 2009-09-02 セイコーエプソン株式会社 有機トランジスタの製造方法、アクティブマトリクス装置の製造方法、表示装置の製造方法および電子機器の製造方法
JP4867135B2 (ja) * 2004-03-31 2012-02-01 大日本印刷株式会社 有機半導体構造物の製造方法
JP4736340B2 (ja) * 2004-03-31 2011-07-27 大日本印刷株式会社 有機半導体構造物、その製造方法及び有機半導体装置
JP4774679B2 (ja) * 2004-03-31 2011-09-14 大日本印刷株式会社 有機半導体装置
CN101120457B (zh) * 2005-02-18 2011-04-27 皇家飞利浦电子股份有限公司 电子器件
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