JP5105332B2 - 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 - Google Patents
磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5105332B2 JP5105332B2 JP2008206752A JP2008206752A JP5105332B2 JP 5105332 B2 JP5105332 B2 JP 5105332B2 JP 2008206752 A JP2008206752 A JP 2008206752A JP 2008206752 A JP2008206752 A JP 2008206752A JP 5105332 B2 JP5105332 B2 JP 5105332B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- magnetic recording
- crystal
- recording medium
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims description 283
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 346
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 154
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 63
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 62
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 60
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 17
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 230000001788 irregular Effects 0.000 claims description 6
- 229910002695 AgAu Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910015371 AuCu Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 4
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 2
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229960001716 benzalkonium Drugs 0.000 claims 1
- CYDRXTMLKJDRQH-UHFFFAOYSA-N benzododecinium Chemical compound CCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)CC1=CC=CC=C1 CYDRXTMLKJDRQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- UCNNJGDEJXIUCC-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)iron;iron Chemical compound [Fe].O[Fe]=O.O[Fe]=O UCNNJGDEJXIUCC-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 33
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 24
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 17
- 229910017944 Ag—Cu Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 6
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 238000004581 coalescence Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005290 antiferromagnetic effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000003921 particle size analysis Methods 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 229910018134 Al-Mg Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018467 Al—Mg Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 229910019222 CoCrPt Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000684 Cobalt-chrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002546 FeCo Inorganic materials 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007476 Maximum Likelihood Methods 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002065 alloy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005354 aluminosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000010952 cobalt-chrome Substances 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000006249 magnetic particle Substances 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 1
- 238000010587 phase diagram Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000001552 radio frequency sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/74—Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
- G11B5/82—Disk carriers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/658—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing oxygen, e.g. molecular oxygen or magnetic oxide
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/7368—Non-polymeric layer under the lowermost magnetic recording layer
- G11B5/7379—Seed layer, e.g. at least one non-magnetic layer is specifically adapted as a seed or seeding layer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
このような中、長手磁気記録方式の線記録密度改良に答える技術として、最近ではAFC(Anti−Ferromagnetic Coupling)媒体が提案され、長手磁気記録で問題となる熱磁気緩和の問題を回避しようという努力がなされている。
しかしながら、垂直磁気記録媒体は、比較的厚い磁気記録層を使用できるという利点がある反面、媒体全体の積層薄膜の総膜厚が現行の長手磁気記録媒体に比べて大きくなりがちであり、そのために媒体積層の過程において結晶構造を乱す要因を内包しやすいという欠点があった。
また、特許文献4には、配向制御膜として、C11b構造をとる組成材料を用いることが記載されており、C11b構造をとる配向制御膜として、少なくともAl、Ag、Au、Cu、Ge、Hf、Ni、Si、Ti、Zn、Zrの1種または2種以上を含む材料が記載されている。
しかし、今後の更なる面記録密度の向上のためには、磁気記録層の高い結晶c軸配向性と、磁気記録層の結晶粒径の均一化および微細化は不可欠である。
また、本発明は、本発明の磁気記録媒体を備え、高記録密度特性に優れた磁気記録再生装置を提供することを目的とする。
(1)非磁性基板上に少なくとも、アモルファス構造の軟磁性の裏打ち層と配向制御層と磁気記録層と保護層とが下から順に設けられた垂直磁気記録媒体において、前記配向制御層が、六方最密構造の中間層と、前記中間層よりも前記非磁性基板側に配置され、前記裏打ち層に接するシード層とを含む2層以上の積層構造を有するものであり、前記シード層が、面心立方構造を有する2種類の元素からなるAgCu、AgAuあるいはAuCuのいずれかからなり、膜厚3nm以上10nm以下であり、基板面に対して垂直方向に面心立方(111)面結晶配向すると共に擬似六方晶構造を有し、前記磁気記録層が六方最密構造とされたことを特徴とする磁気記録媒体。
(3) 前記中間層が、fcc構造を有する元素から選ばれる少なくとも1種を主成分とし、体心立方(bcc)構造を有する元素から選ばれる元素を含む合金からなり、(111)結晶面配向する結晶構造と、面心立方(fcc)構造と体心立方(bcc)構造の混合による層状不整格子(積層欠陥)を併せもつ合金層を含むことを特徴とする(1)または(2)に記載の磁気記録媒体。
(4) 前記中間層が、fcc構造を有する元素から選ばれる少なくとも1種を主成分とし、六方最密(hcp)構造を有する元素から選ばれる元素を含む合金材料からなり、(111)結晶面配向する結晶構造と、fcc構造と六方最密(hcp)構造の混合による層状不整格子(積層欠陥)を併せもつ合金層を含むことを特徴とする(1)または(2)に記載の磁気記録媒体。
(6) 前記シード層が、AgとCuを含む合金からなり、Agが30〜80at%、Cuが20〜70at%の範囲で含まれることを特徴とする(1)乃至(5)の何れかに記載の磁気記録媒体。
(7) 前記シード層が、AgとAuを含む合金からなり、Agが20〜70at%、Auが30〜80at%の範囲で含まれることを特徴とする(1)乃至(5)の何れかに記載の磁気記録媒体。
(8) 前記シード層が、AuとCuを含む合金からなり、Auが30〜80at%、Cuが20〜70at%の範囲で含まれることを特徴とする(1)乃至(5)の何れかに記載の磁気記録媒体。
(10) 磁気記録媒体と、該磁気記録媒体に情報を記録再生する磁気ヘッドとを備えた磁気記録再生装置であって、前記磁気記録媒体が、(1)乃至(8)の何れか1項に記載の磁気記録媒体であることを特徴とする磁気記録再生装置。
したがって、本発明の磁気記録媒体においてシード層上に配置された六方最密構造の中間層および磁気記録層は、シード層によって配向が制御されて、均一かつ微細な結晶粒径を有し、なおかつ優れた結晶配向性を有するものとなる。
「磁気記録媒体」
図1は、本発明の磁気記録媒体の一例である垂直磁気記録媒体を示した縦断面図である。図1に示す垂直磁気記録媒体10は、非磁性基板1上に少なくとも、軟磁性裏打ち層2と配向制御層31と磁気記録層5と保護層6とが下から順に設けられたものである。
軟磁性裏打ち層2は、磁気記録媒体10に信号を記録する際に、記録ヘッドからの記録磁界を導き、磁気記録層5に対して記録磁界の垂直成分を効率よく印加する働きをするものである。
軟磁性裏打ち層2の材料としては、軟磁気特性を有する材料であればよく、例えば、FeCo系合金、CoZrNb系合金、CoTaZr系合金などを使用することができる。また、軟磁性裏打ち層2は、単層の軟磁性層からなるものであってもよいが、2層の軟磁性層の間にRuなどからなる極薄い非磁性薄膜をはさみ込んでなるAFC(Anti-Ferromagnetic Coupling)構造とされていてもよい。
また、軟磁性裏打ち層2の総膜厚は、10nm〜50nm程度とされ、記録再生特性とOW(Over-Write)特性とのバランスにより適宜決定される。
ここで、基板面に対して垂直方向にfcc(111)面結晶配向すると共に擬似六方晶構造を有する合金とは、インプレーン(In−plane:表面面方向)X線回折において、基板面に対して垂直方向のfcc(111)面結晶配向に相当するfcc(220)面からの回折ピークだけでなく、fcc(220)面からの回折ピークの低角側に、もうひとつの回折ピークが現れる合金であることを意味している。
シード層3が、AgとCuを含む合金からなるものである場合、Agが30〜80at%、Cuが20〜70at%の範囲で含まれることが好ましい。
また、シード層3が、AgとAuを含む合金からなるものである場合、Agが20〜70at%、Auが30〜80at%の範囲で含まれることが好ましい。
また、シード層3が、AuとCuを含む合金からなるものである場合、Auが30〜80at%、Cuが20〜70at%の範囲で含まれることが好ましい。
中間層4は、単層であってもよいし2層以上積層されたものであってもよい。図1に示す垂直磁気記録媒体10においては、中間層4として、基板側に設けられた第1中間層41と、第1中間層41上に設けられ、磁気記録層5に接する第2中間層42の2層からなる中間層4が設けられている。中間層4を第1中間層41と第2中間層42の2層からなるものとすることで、中間層4としてシード層3側と磁気記録層5側にそれぞれ適したものを配置することができる。
また、第1中間層41は、fcc構造を有する元素から選ばれる少なくとも1種を主成分とし、体心立方(bcc)構造を有する元素から選ばれる元素を含む合金からなり、(111)結晶面配向する結晶構造と、fcc構造とbcc構造の混合による層状不整格子(積層欠陥)を併せもつ合金層からなるものであってもよい。このような合金層としては、例えば、Pt(fcc):W(bcc)=50:50や、Au(fcc):Mo(bcc)=60:40などからなるものが挙げられる。
さらに、第1中間層41は、fcc構造を有する元素から選ばれる少なくとも1種を主成分とし、hcp構造を有する元素群から選ばれる元素を含む合金材料からなり、(111)結晶面配向する結晶構造と、fcc構造とhcp構造の混合による層状不整格子(積層欠陥)を併せもつ合金層からなるものであってもよい。このような合金層としては、例えば、Ir(fcc):Re(hcp)=50:50などからなるものが挙げられる。
第1中間層41が上記のいずれかの合金層からなるものである場合、優れた結晶配向性を有するとともに微細な結晶粒を有する第1中間層41となり好ましい。
本発明においては、シード層3および中間層4によって磁気記録層5の結晶配向が制御されるので、ロッキングカーブの半値幅Δθ50の小さい磁気記録層が容易に得られる。
また、磁気記録層5は、単層であってもよいし2層以上積層されたものであってもよく、強磁性の結晶粒と非磁性である酸化物の結晶粒界とから形成されるグラニュラ構造を有するものであって、透過型電子顕微鏡(TEM)による結晶粒の粒径解析において平均粒径が7.5nm以下であるグラニュラ層を含むものであることが好ましい。特に、磁気記録層5が、強磁性のCo結晶粒の周りを酸化物で取り囲んでなるグラニュラ構造を有するものである場合、Co結晶粒同士の磁気的相互作用が弱まり、磁気記録層5のノイズを減少させることができるため好ましい。
また、グラニュラ層の平均粒径は小さい程好ましく、グラニュラ層の平均粒径が7.5nm以下である場合、記録ビット遷移境界線がスムーズな直線状になり、より一層優れた高記録密度特性が得られるものとなる。
次に、本発明の磁気記録媒体の製造方法の一例として、図1に示す垂直磁気記録媒体の製造方法を説明する。
図1に示す垂直磁気記録媒体を製造するには、まず、非磁性基板1の洗浄・乾燥を行う。非磁性基板1の洗浄・乾燥を行うことにより、非磁性基板1上に形成される各層の密着性を十分に確保することができる。ここでの洗浄方法としては、水洗浄や、エッチング(逆スパッタ)による洗浄などの方法が挙げられる。
なお、シード層3を、スパッタリング法を用いて形成する場合には、結晶配向性に優れたものとするために、スパッタガスの圧力を0.4〜0.8Paの範囲内とすることが好ましい。
具体的には、例えば、磁気記録層5の結晶配向性に最も影響を与える中間層4では、結晶配向性を向上させるために、中間層4を形成する初期段階である第1中間層42の成膜時のスパッタガスの圧力を1Pa以下に低くすることが好ましい。
このため、中間層4の第2中間層42においては、成膜時のスパッタガスの圧力を1.5Pa以上と高くすることが好ましい。第2中間層42の成膜時のスパッタガスの圧力を1.5Pa以上とすることで、結晶粒間に空隙を生じさせることができ、結晶粒同士の合体を抑制することができる。
このように、第1中間層42のスパッタガスの圧力を1Pa以下、第2中間層42のスパッタガスの圧力を1.5Pa以上とすることで、配向制御性に優れた中間層4を形成することができる。
以上のようにして、図1に示す磁気記録媒体10が得られる。
次に、本発明の磁気記録再生装置の実施形態について説明する。
図2は、本発明の磁気記録再生装置の一例を示した概略構成図である。図2に示す磁気記録再生装置は、図1に示す構成の磁気記録媒体10と、磁気記録媒体10を回転駆動させる媒体駆動部11と、磁気記録媒体10に情報を記録再生する磁気ヘッド12と、この磁気ヘッド12を磁気記録媒体10に対して相対運動させるヘッド駆動部13と、記録再生信号処理系14とを備えて構成されている。
ガラス基板上にスパッタリング法により、Ag(Ag:100at%)、Cu(Ag:0at%)、Ag−Cu合金(Ag:30at%)、Ag−Cu合金(Ag:50at%)、Ag−Cu合金(Ag:70at%)からなる金属層をそれぞれ形成し、インプレーン(In−plane:表面面方向)X線回折を行った。その結果を図3に示す。
HD用ガラス基板を、スパッタリング装置の真空チャンバにセットし、真空チャンバ内を1.0×10−5Pa以下に真空排気した。
次に、真空チャンバ内をAr雰囲気とし、ガラス基板上に、ガス圧0.6Paでスパッタリング法により、Co10Ta5Zrからなる膜厚50nmの軟磁性裏打ち層を成膜した。
このようにして得られたシード層のインプレーン(In−plane:表面面方向)X線回折を行ない、シード層の構造を調べた。その結果を表1に示す。
なお、実施例1〜9、比較例1〜3の合金組成式において、各元素の前に付した全角数字は、合金中に含まれる各元素の割合(at%)を示し、数字が付されていない元素の割合は他の元素の割合の残部であるものとする。
「記録再生特性」
各磁気記録媒体について、GUZIK社製リードライトアナライザ1632及びスピンスタンドS1701MPを用い、SNRを測定することによって評価した。
「静磁気特性」
各磁気記録媒体について、Kerr測定装置を用い、保磁力Hcを測定することによって評価した。
「結晶配向性」
各磁気記録層について、X線回折装置を用いてロッキングカーブを観測し、その半値幅Δθ50を計測することによって評価した。
「平均結晶粒径」
各磁気記録層を透過型電子顕微鏡(TEM)によって観察し、観察された磁気記録層の平面画像について、グラニュラ構造の合金結晶粒の粒径解析を行うことによって求めた。
また、表1に示すように、実施例1〜9の垂直磁気記録媒体は、比較例1〜3の垂直磁気記録媒体に比べて、磁気記録層の結晶配向性が優れ(Δθ50が小さく)、磁気記録層の平均結晶粒径が小さく、記録再生特性の評価であるSNRが高いことが確認できた。
実施例1と同様にしてガラス基板上に軟磁性裏打ち層を成膜し、表2に示す組成および膜厚としたこと以外は、実施例1と同様にしてシード層を成膜した。
このようにして得られたシード層のインプレーン(In−plane:表面面方向)X線回折を行ない、シード層の構造を調べた。その結果を表2に示す。
なお、実施例10〜18、比較例4〜18の合金組成式において、各元素の前に付した全角数字は、合金中に含まれる各元素の割合(at%)を示し、数字が付されていない元素の割合は他の元素の割合の残部であるものとする。
これに対し、シード層がfcc構造である比較例4〜15、シード層がhcp構造である比較例16〜18の垂直磁気記録媒体では、膜厚を厚くすることによって、磁気記録層の結晶配向性が向上(Δθ50が小さく)しているが、結晶粒径の増大も顕著になっており、SNRが低下している。
Claims (10)
- 非磁性基板上に少なくとも、アモルファス構造の軟磁性の裏打ち層と配向制御層と磁気記録層と保護層とが下から順に設けられた垂直磁気記録媒体において、前記配向制御層が、六方最密構造の中間層と、前記中間層よりも前記非磁性基板側に配置され、前記裏打ち層に接するシード層とを含む2層以上の積層構造を有するものであり、前記シード層が、面心立方構造を有する2種類の元素からなるAgCu、AgAuあるいはAuCuのいずれかからなり、膜厚3nm以上10nm以下であり、基板面に対して垂直方向に面心立方(111)面結晶配向すると共に擬似六方晶構造を有し、前記磁気記録層が六方最密構造とされたことを特徴とする磁気記録媒体。
- 前記中間層が、Ru、Reまたはその合金からなることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
- 前記中間層が、fcc構造を有する元素から選ばれる少なくとも1種を主成分とし、体心立方構造を有する元素から選ばれる元素を含む合金からなり、(111)結晶面配向する結晶構造と、面心立方構造と体心立方構造の混合による層状不整格子を併せもつ合金層を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の磁気記録媒体。
- 前記中間層が、fcc構造を有する元素から選ばれる少なくとも1種を主成分とし、六方最密構造を有する元素から選ばれる元素を含む合金材料からなり、(111)結晶面配向する結晶構造と、fcc構造と六方最密構造の混合による層状不整格子を併せもつ合金層を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の磁気記録媒体。
- 前記磁気記録層が、強磁性の結晶粒と非磁性である酸化物の結晶粒界とから形成されるグラニュラ構造を有するものであり、透過型電子顕微鏡による結晶粒の粒径解析において平均粒径が7.5nm以下であるグラニュラ層を含むことを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- 前記シード層が、AgとCuを含む合金からなり、Agが30〜80at%、Cuが20〜70at%の範囲で含まれることを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載の磁気記録媒体。
- 前記シード層が、AgとAuを含む合金からなり、Agが20〜70at%、Auが30〜80at%の範囲で含まれることを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載の磁気記録媒体。
- 前記シード層が、AuとCuを含む合金からなり、Auが30〜80at%、Cuが20〜70at%の範囲で含まれることを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載の磁気記録媒体。
- 非磁性基板上に少なくとも、アモルファス構造の軟磁性の裏打ち層と配向制御層と磁気記録層と保護層とが下から順に設けられ、前記配向制御層が、六方最密構造の中間層と、前記中間層よりも前記非磁性基板側に配置され、前記裏打ち層に接するシード層とを含む2層以上の積層構造を有し、前記磁気記録層が六方最密構造とされた磁気記録媒体の製造方法において、前記シード層を形成する工程が、面心立方構造を有する2種類の元素からなるAgCu、AgAuあるいはAuCuのいずれかからなり、膜厚3nm以上10nm以下であり、基板面に対して垂直方向に面心立方(111)面結晶配向すると共に擬似六方晶構造を有するシード層を形成する工程であることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
- 磁気記録媒体と、該磁気記録媒体に情報を記録再生する磁気ヘッドとを備えた磁気記録再生装置であって、前記磁気記録媒体が、請求項1乃至8の何れか1項に記載の磁気記録媒体であることを特徴とする磁気記録再生装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008206752A JP5105332B2 (ja) | 2008-08-11 | 2008-08-11 | 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 |
US12/536,225 US8034471B2 (en) | 2008-08-11 | 2009-08-05 | Magnetic recording medium, method of manufacturing magnetic recording medium and magnetic recording reproducing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008206752A JP5105332B2 (ja) | 2008-08-11 | 2008-08-11 | 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010044813A JP2010044813A (ja) | 2010-02-25 |
JP5105332B2 true JP5105332B2 (ja) | 2012-12-26 |
Family
ID=41652716
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008206752A Expired - Fee Related JP5105332B2 (ja) | 2008-08-11 | 2008-08-11 | 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8034471B2 (ja) |
JP (1) | JP5105332B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8999206B2 (en) * | 2008-08-11 | 2015-04-07 | Osaka Municipal Technical Research Institute | Composite nanoparticles and manufacturing method thereof |
JP5105333B2 (ja) * | 2008-08-18 | 2012-12-26 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 |
JP6026261B2 (ja) * | 2012-12-19 | 2016-11-16 | 山陽特殊製鋼株式会社 | Cu系磁気記録用合金およびスパッタリングターゲット材並びにそれを使用した垂直磁気記録媒体 |
JP2015111482A (ja) * | 2013-12-06 | 2015-06-18 | 株式会社東芝 | 垂直磁気記録媒体、及び磁気記録再生装置 |
US9990940B1 (en) | 2014-12-30 | 2018-06-05 | WD Media, LLC | Seed structure for perpendicular magnetic recording media |
CN104630727B (zh) * | 2015-01-28 | 2017-02-01 | 西安交通大学 | 一种控制金属纳米Cu/Ru多层膜相结构的方法 |
US10910556B2 (en) * | 2016-03-29 | 2021-02-02 | Intel Corporation | Magnetic and spin logic devices based on Jahn-Teller materials |
JP7283273B2 (ja) * | 2019-07-01 | 2023-05-30 | 株式会社レゾナック | 磁気記録媒体およびその製造方法ならびに磁気記録再生装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3822387B2 (ja) | 1999-06-17 | 2006-09-20 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体 |
US6599559B1 (en) * | 2000-04-03 | 2003-07-29 | Bausch & Lomb Incorporated | Renewable surface treatment of silicone medical devices with reactive hydrophilic polymers |
JP3652976B2 (ja) | 2000-09-28 | 2005-05-25 | 株式会社日立製作所 | 垂直磁気記録媒体及びこれを用いた磁気記憶装置 |
JP4127775B2 (ja) | 2002-07-12 | 2008-07-30 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記録再生装置 |
US7083870B2 (en) * | 2002-07-12 | 2006-08-01 | Showa Denko K. K. | Magnetic recording medium, method of manufacturing the same, and magnetic recording and reproduction apparatus |
JP2005190517A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-14 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 垂直磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
JP4580817B2 (ja) * | 2005-05-27 | 2010-11-17 | 株式会社東芝 | 垂直磁気記録媒体及び垂直磁気記録再生装置 |
US20090147401A1 (en) * | 2006-05-08 | 2009-06-11 | Migaku Takahashi | Magnetic recording medium, method of manufacturing the same, and magnetic recording/reproducing apparatus |
JP5105333B2 (ja) * | 2008-08-18 | 2012-12-26 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 |
-
2008
- 2008-08-11 JP JP2008206752A patent/JP5105332B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-08-05 US US12/536,225 patent/US8034471B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100033873A1 (en) | 2010-02-11 |
US8034471B2 (en) | 2011-10-11 |
JP2010044813A (ja) | 2010-02-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5397926B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 | |
JP5105333B2 (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 | |
JP5103097B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記録再生装置 | |
JP4169663B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP5061307B2 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
US8133601B2 (en) | Magnetic recording medium and magnetic recording and reproducing apparatus | |
JP5105332B2 (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 | |
JP2009087500A (ja) | 垂直磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JP2009087501A (ja) | 垂直磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JPWO2009014205A1 (ja) | 垂直磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 | |
JP2009032356A (ja) | 垂直磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 | |
JP4534711B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP2006155865A (ja) | 垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録再生装置 | |
JP4772015B2 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JP2008192249A (ja) | 垂直磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 | |
JP2008276859A (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 | |
JP5019955B2 (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 | |
US20100014191A1 (en) | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording/reproduction apparatus | |
JP2009146507A (ja) | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
JP4782047B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JP5345543B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法および磁気記録再生装置 | |
JP2009064501A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JP4243758B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録装置 | |
JP2012022759A (ja) | 垂直磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
JP2009116964A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110801 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20110801 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120419 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120424 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120619 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120828 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120924 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151012 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |