JP5104460B2 - 突起電極を有する基板の製造方法 - Google Patents
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Description
(a)表面にパッドが形成された基板の該表面に、該パッドを覆うように樹脂膜を形成する工程と、
(b)前記樹脂膜をエッチバックすることにより、前記パッドの上面を露出させる工程と、
(c)上面が露出した前記パッド、及び該パッドが形成されていない領域に残っている前記樹脂膜の上に、金属ナノ粒子を含む金属ペーストを塗布する工程と、
(d)前記基板を加熱することにより、前記金属ペーストに含有されていた金属を前記パッドの上面の上に凝集させる工程と
を有し、
前記パッドの上面における前記金属ペーストの濡れ性が、前記樹脂膜の表面における前記金属ペーストの濡れ性よりも高い。
・パワー 300W
・圧力 13Pa
・酸素ガス流量 100sccm
図1Dに示すように、パッド11及び樹脂膜15の上に、金属ナノ粒子ペースト(導電性ナノ粒子ペースト)20を、スクリーン印刷法により塗布する。金属ナノ粒子ペースト20には、例えば溶媒としてエチレングリコールを用いた約80重量%のSnナノ粒子ペーストを用いることができる。なお、金属ナノ粒子ペースト20として、金属成分の含有量が20〜80重量%のはんだ粒子ペースト等を用いてもよい。また、スクリーン印刷法に代えて、カーテンコート法、ロールコート法等を採用してもよい。
(a)表面にパッドが形成された基板の該表面に、該パッドを覆うように樹脂膜を形成する工程と、
(b)前記樹脂膜をエッチバックすることにより、前記パッドの上面を露出させる工程と、
(c)上面が露出した前記パッド、及び該パッドが形成されていない領域に残っている前記樹脂膜の上に、金属ペーストを塗布する工程と、
(d)前記基板を加熱することにより、前記金属ペーストに含有されていた金属を前記パッドの上面の上に凝集させる工程と
を有する突起電極を有する基板の製造方法。
前記パッドの上面における前記金属ペーストの濡れ性が、前記樹脂膜の表面における前記金属ペーストの濡れ性よりも高い請求項1に記載の突起電極を有する基板の製造方法。
前記工程(d)が、前記パッドが形成されていない領域に残っている前記樹脂膜を除去する工程を含む請求項1または2に記載の突起電極を有する基板の製造方法。
前記工程(d)において、前記基板の加熱により、前記樹脂膜が分解して除去される請求項1乃至3のいずれか1項に記載の突起電極を有する基板の製造方法。
前記工程(d)が、前記金属ペーストを凝集させた後、有機溶剤を用いて前記樹脂膜を除去する工程を含む請求項1乃至3のいずれか1項に記載の突起電極を有する基板の製造方法。
前記金属ペーストがはんだ微粒子を含む請求項1乃至5のいずれか1項に記載の突起電極を有する基板の製造方法。
前記工程(b)において、前記パッドの上面を露出させたとき、前記パッドの側面、及び該パッドが形成されていない領域の前記基板の表面が、前記樹脂膜で被覆されたままである請求項1乃至6のいずれか1項に記載の突起電極を有する基板の製造方法。
11 パッド
15 樹脂膜
16 酸素プラズマ
20 金属ナノ粒子ペースト
20a 突起電極
30 半導体チップ
32 端子電極
Claims (5)
- (a)表面にパッドが形成された基板の該表面に、該パッドを覆うように樹脂膜を形成する工程と、
(b)前記樹脂膜をエッチバックすることにより、前記パッドの上面を露出させる工程と、
(c)上面が露出した前記パッド、及び該パッドが形成されていない領域に残っている前記樹脂膜の上に、金属ナノ粒子を含む金属ペーストを塗布する工程と、
(d)前記基板を加熱することにより、前記金属ペーストに含有されていた金属を前記パッドの上面の上に凝集させる工程と
を有し、
前記パッドの上面における前記金属ペーストの濡れ性が、前記樹脂膜の表面における前記金属ペーストの濡れ性よりも高い、突起電極を有する基板の製造方法。 - 前記樹脂膜は疎水性材料で形成され、前記金属ペーストは親水性の溶媒を含む請求項1に記載の突起電極を有する基板の製造方法。
- 前記工程(d)が、前記パッドが形成されていない領域に残っている前記樹脂膜を除去する工程を含む請求項1または2に記載の突起電極を有する基板の製造方法。
- 前記工程(d)において、前記基板の加熱により、前記樹脂膜が分解して除去される請求項1乃至3のいずれか1項に記載の突起電極を有する基板の製造方法。
- 前記工程(d)が、前記金属ペーストを凝集させた後、有機溶剤を用いて前記樹脂膜を除去する工程を含む請求項1乃至3のいずれか1項に記載の突起電極を有する基板の製造方法。
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JP2008085469A JP5104460B2 (ja) | 2008-03-28 | 2008-03-28 | 突起電極を有する基板の製造方法 |
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