JP2018046148A - 端子構造、半導体装置、電子装置及び端子の形成方法 - Google Patents

端子構造、半導体装置、電子装置及び端子の形成方法 Download PDF

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Abstract

【課題】シードエッチングによるサイドエッチングを抑制し、且つ、接合のために十分な厚さのはんだ層を形成してもはんだこぼれが発生しないようにする。【解決手段】端子構造を、Cuピラー1と、Cuピラーの上方に設けられたはんだ層2と、少なくともNi及びBを含み、Cuピラーの側面を覆う下側部分3Xと、少なくともBを含み、はんだ層の側面を覆う上側部分3Yとを有するカバー層3とを備えるものとする。【選択図】図1

Description

本発明は、端子構造、半導体装置、電子装置及び端子の形成方法に関する。
近年の半導体素子(半導体チップ)のテクノロジーノードが進むにつれ、半導体チップ同士又は半導体チップと基板(回路基板)とを接続する端子(接続端子)の微細化が進む傾向にある。
従来の端子構造としては、例えばマイクロバンプなどが用いられている。
特開2010−109103号公報 特開2004−47510号公報
ところで、従来の端子構造であるマイクロバンプでは、端子の微細化が進むと、端子の高さが低くなり、例えば、アンダーフィル材を注入するための半導体チップと基板との間のギャップを確保できなくなる。
また、例えば、マイクロバンプでは、はんだが太鼓形状になるため、ギャップを確保するためにはんだ量を多くすると、隣り合う端子のはんだ同士の短絡(ブリッジ)が起きやすくなる。
このため、半導体チップの微細化に対応する端子構造として、Cuピラー(Cuピラーバンプ)が用いられるようになってきている。
そして、近年、半導体チップの高機能化が進んでいるため、Cuピラーの端子径が小径化(小口径化)する傾向にある。
しかしながら、シードエッチングによってCuピラーもサイドエッチングされ、小径化した端子径に対するサイドエッチング量の割合が非常に大きくなり、端子の接合強度が大きく低下してしまうことがわかった。
また、端子径が小さくなると、Cuピラー上に形成されたはんだ層のウェットバックによってはんだこぼれが発生してしまうため、はんだ層を厚くすることができず、はんだ層が薄いと、ほとんどIMC層(Intermetallic layer)になってしまい、接合できなくなることがわかった。
本発明は、シードエッチングによるサイドエッチングを抑制し、且つ、接合のために十分な厚さのはんだ層を形成してもはんだこぼれが発生しないようにすることを目的とする。
1つの態様では、端子構造は、Cuピラーと、Cuピラーの上方に設けられたはんだ層と、少なくともNi及びBを含み、Cuピラーの側面を覆う下側部分と、少なくともBを含み、はんだ層の側面を覆う上側部分とを有するカバー層とを備える。
1つの態様では、半導体装置は、上述の端子構造を備える半導体チップ同士、又は、上述の端子構造を備える半導体チップと上述の端子構造を備える基板がはんだ接合されて、半導体チップ同士又は半導体チップと基板が電気的に接続されている。
1つの態様では、電子装置は、上述の半導体装置を備える。
1つの態様では、端子の形成方法は、シード層上にCuピラーを形成する工程と、Cuピラーの上方にはんだ層を形成する工程と、少なくともNi及びBを含み、Cuピラー及びはんだ層の側面を覆うカバー層を形成する工程と、シード層をエッチングする工程と、はんだ層をウェットバックする工程とを含み、はんだ層をウェットバックする工程を経て、カバー層が、少なくともNi及びBを含み、Cuピラーの側面を覆う下側部分と、少なくともBを含み、はんだ層の側面を覆う上側部分とを有するものとなる。
1つの側面として、シードエッチングによるサイドエッチングを抑制し、且つ、接合のために十分な厚さのはんだ層を形成してもはんだこぼれが発生しないようにすることができるという効果を有する。
本実施形態にかかる端子構造の構成を示す模式的断面図である。 本実施形態にかかる端子構造の構成を示す模式的断面図である。 本実施形態にかかる端子構造の具体的な構成例を示す模式的断面図である。 (A)〜(E)は、本実施形態にかかる端子構造の具体的な構成例の形成方法を説明するための模式的断面図である。 (A)〜(D)は、本実施形態にかかる端子構造の具体的な構成例の形成方法を説明するための模式的断面図である。 本実施形態にかかる端子構造の具体的な構成例を示す模式的断面図である。 (A)〜(E)は、本実施形態にかかる端子構造の具体的な構成例の形成方法を説明するための模式的断面図である。 (A)〜(C)は、本実施形態にかかる端子構造の具体的な構成例の形成方法を説明するための模式的断面図である。 (A)、(B)は、Cuピラーバンプの構成を示す模式的断面図である。 (A)、(B)は、Cuピラーバンプにおける課題を説明するための模式的断面図である。 (A)、(B)は、Cuピラーバンプにおける課題を説明するための模式的断面図である。
以下、図面により、本発明の実施の形態にかかる端子構造、半導体装置、電子装置及び端子の形成方法について、図1〜図11を参照しながら説明する。
本実施形態の端子構造は、半導体チップ(例えばLSIチップ)や半導体ウェハなどの半導体素子、あるいは、回路基板、配線基板、パッケージ基板、ビルドアップ基板などの基板の表面上に形成される端子の構造であって、フリップチップボンディングで接続するのに用いられる端子の構造である。
なお、端子を、突起状端子、柱状端子、接続端子、電極、電極端子、突起状電極、柱状電極、突起電極又は柱状バンプともいう。また、端子構造を、接続端子構造、電極構造又は電極端子構造ともいう。また、半導体チップや半導体ウェハなどの半導体素子、半導体素子同士を接続した半導体部品を、半導体装置ともいう。
本端子構造は、図1に示すように、Cuピラー1と、はんだ層2と、カバー層3とを備える。
なお、ここでは、Siウェハ(基板)4に備えられるAL電極5上に設けられた端子構造を例示している。また、図1中、符号6は、IMC層を示している。また、シード層は図示を省略している。
ここで、Cuピラー1は、Cu(銅)を含むピラーであって、Cu又はCu合金からなるピラーである。なお、ピラーをピラーバンプともいう。また、Cuピラー1は、柱状のCu層である。
ここでは、Cuピラー1は、例えば電解めっき(電解Cuめっき)や無電解めっき(無電解Cuめっき)などで形成することができる。
但し、Cuピラー1には大電流が流れることが想定されるため、Cuピラー1を構成するCu層は緻密であることが好ましい。つまり、Cuピラー1を構成するCu層が緻密になるように、Cuピラー1は電解めっきで形成することが好ましい。これに対し、無電解めっきでは、Cuピラー1を構成するCu層はポーラス状になってしまい、緻密にならない。
また、Cuピラー1は、直径に対して高さを高くすること、即ち、アスペクト比を高くすることができる。例えば、直径と高さの比を約1:1とすることができる。また、例えば、Cuピラー1は、アスペクト比が1以上であることが好ましい。
はんだ層2は、Cuピラー1上に設けられている。つまり、柱状のCu層1上にはんだ層2が形成されている。
ここで、はんだ層2は、B(ホウ素;ボロン)と化合物を形成せず、かつ、Cuと合金を形成する材料を含むことが好ましい。
特に、はんだ層2は、Snを含むはんだ層とするのが好ましい。例えば、はんだの種類としては、例えば、Sn−Ag系、Sn−Bi系、Sn−Ag−Cu系などのSnを主成分とするものを用いるのが好ましい。
カバー層3は、少なくともNi及びBを含み、Cuピラー1の側面を覆う下側部分3Xと、少なくともBを含み、はんだ層2の側面を覆う上側部分3Yとを有する。なお、カバー層3を壁層ともいう。
なお、カバー層3は、はんだ層2の上方には設けられていない。つまり、はんだ層2の上面はカバー層3によって覆われていない。
このように、はんだ層2の上方にカバー層3を設けずに、はんだ層2の上面を露出させることで、はんだ接合できるようにしている。これに対し、はんだ層2の上面までカバー層3で覆われていると、はんだ接合することができない。
ここでは、カバー層3の下側部分3Xは、Ni−B層になっており、カバー層3の上側部分3Yは、B層になっている。つまり、Cuピラー1の側面(側壁)は、カバー層3の下側部分3XであるNi−B層で覆われており、はんだ層2の側面(側壁)は、カバー層3の上側部分3YであるB層で覆われている。
そして、カバー層3の下側部分3XであるNi−B層、即ち、Cuピラー1の側面を覆うNi−B層は、後述するシードエッチング工程において、Cuシードエッチング液と反応することはない。
このため、このカバー層3の下側部分3XであるNi−B層によって、Cuピラー1のサイドエッチングを抑制することができる。
また、カバー層3の上側部分3YであるB層、即ち、はんだ層2の側面を覆うB層は、後述するウェットバック工程(リフロー工程)において加熱しても、Bとはんだ(ここではSn)は合金を形成しないため、はんだ(ここではSnを主成分とするはんだ)と反応することはなく、また、非常に強固であり、溶けないため、形状が崩れることはない。
このため、接合のために十分な厚さのはんだ層2を形成しても、カバー層3の上側部分3YであるB層によって、はんだこぼれを抑制することができる。つまり、Cuピラー1上に形成するはんだ層2のはんだ量を多くしても、カバー層3の上側部分3YであるB層によって、はんだこぼれを抑制することができ、はんだがCuピラー1の側方へ回り込むことがないようにすることができる。
なお、はんだこぼれが発生すると、はんだ層2の厚さが薄くなり、はんだ接合が難しくなり、また、Cuピラー1の下側に設けられる電極(例えばAL電極)が腐食してしまうことになる。
なお、ここでは、カバー層3の下側部分3XをNi−B層とし、カバー層3の上側部分3YをB層としているが、これに限られるものではなく、例えば、カバー層3の下側部分3Xは、Ni−B−P層又はNi−B−W層であっても良く、また、カバー層3の上側部分3Yは、B−P層又はB−W層であっても良い。
つまり、カバー層3の下側部分3Xは、Ni及びBを含み、さらに、P又はWを含むものであっても良く、また、カバー層3の上側部分3Yは、Bを含み、さらに、P又はWを含むものであっても良い。このように、カバー層3は、さらにP又はWを含むものであっても良い。
この場合、カバー層3の下側部分3Xは、Ni及びBを含み、さらに、P又はWを含むものとなるが、主成分はNi及びBであり、カバー層3の上側部分3Yは、Bを含み、さらに、P又はWを含むものとなるが、主成分はBである。
このようなカバー層3は、後述するように、例えば無電解めっき(無電解Niめっき)などで、Cuピラー1及びはんだ層2の側面を覆うように、Ni−B層(あるいはNi−B−P層又はNi−B−W層)を形成し、はんだ層2をウェットバック(リフロー)することで、カバー層3のはんだ層2の側面を覆う上側部分3Yに含まれるNiがはんだ層2中に拡散して、カバー層3の上側部分3YがB層(あるいはB−P層又はB−W層)になることで形成される。
このようにしてカバー層3の上側部分3YをB層(あるいはB−P層又はB−W層)とする場合、カバー層3の上側部分3YにB層が確実に形成されるように、カバー層3に含まれるBの濃度(即ち、カバー層3の下側部分3Xに含まれるBの濃度)を約0.1wt%以上とするのが好ましい。
また、カバー層3の被膜応力が高くなりすぎないようにしてカバー層3が確実に形成されるように、カバー層3に含まれるBの濃度(即ち、カバー層3の下側部分3Xに含まれるBの濃度)を約6wt%以下とするのが好ましい。
このように、カバー層3に含まれるBの濃度(即ち、カバー層3の下側部分3Xに含まれるBの濃度)は、約0.1wt%以上約6wt%以下であることが好ましい。
特に、カバー層3に含まれるBの濃度(即ち、カバー層3の下側部分3Xに含まれるBの濃度)は、約0.5wt%以上とするのがより好ましい。これにより、カバー層3の上側部分3Yにある程度の厚さを有するB層が確実に形成されることになる。
また、カバー層3の厚さは、約1μm程度とすれば良い。つまり、カバー層3の下側部分3XであるNi−B層(あるいはNi−B−P層又はNi−B−W層)の厚さは、約1μm程度とすれば良く、また、カバー層3の上側部分3YであるB層(あるいはB−P層又はB−W層)の厚さも、約1μm程度とすれば良い。
特に、カバー層3の厚さ(特に、カバー層3の上側部分3の厚さ)は、約0.5μm以下とすることが好ましい。これにより、カバー層3に含まれるNiが少なくなるため、はんだ層2の側面近傍(側部)にIMC層(合金層)が多く形成されてしまうのを防ぐことができ、はんだ量が少なくなってしまうのを防止することができる。
なお、ここでは、カバー層3の上側部分3YはB層(あるいはB−P層又はB−W層)になっているが、これに限られるものではなく、カバー層3の上側部分3YにNiが残っていても良い。
この場合、カバー層3の上側部分3Yは、Niを含むものとなるが、主成分はBである。つまり、カバー層3の下側部分3Xの主成分はNi及びBであり、カバー層3の上側部分3Yの主成分はBである。この場合、カバー層3の下側部分3Xと上側部分3YとでBの濃度が異なるものとなり、カバー層3の上側部分3Yは下側部分3XよりもBの濃度が高くなる。
また、ここでは、はんだ層2は、Cuピラー1上に設けられているが、これに限られるものではなく、はんだ層2はCuピラー1の上方に設けられていれば良い。
例えば、図2に示すように、Cuピラー1とはんだ層2との間にバリア層7を備えるものとしても良い。
この場合、バリア層7は、Niを含むものとするのが好ましい。
例えば、バリア層7は、NiからなるNiバリア層とすれば良い。これにより、Niははんだに対する拡散速度が遅いため、はんだ層2がすべてIMC層6になることを防止できる。
ここで、バリア層7は、純Niからなるものとしても良いし、例えばBなどを含むものとしても良い。但し、バリア層7は、はんだと接合するため、はんだ濡れ性が良好な金属からなるものとするのが好ましく、例えば、純NiやB濃度が約0.3wt%以下のNi−Bなどからなるものとするのが好ましい。
また、バリア層7をNi−B層とする場合、カバー層3のBの濃度と異なるものとし、バリア層7はカバー層3よりもBの濃度が低くなっていることが好ましい。また、はんだ層2は、Bと化合物を形成せず、かつ、Cu及びNiと合金を形成する材料を含むことが好ましい。
このような構造を有する端子は、以下のようにして形成することができる。
つまり、本実施形態の端子の形成方法は、シード層上にCuピラー1を形成する工程と、Cuピラー1の上方にはんだ層2を形成する工程と、少なくともNi及びBを含み、Cuピラー1及びはんだ層2の側面を覆うカバー層3を形成する工程と、シード層をエッチングする工程と、はんだ層2をウェットバックする工程とを含む(例えば図1〜図8参照)。
そして、はんだ層2をウェットバックする工程を経て、カバー層3が、少なくともNi及びBを含み、Cuピラー1の側面を覆う下側部分3Xと、少なくともBを含み、はんだ層2の側面を覆う上側部分3Yとを有するものとなる(例えば図1〜図8参照)。
なお、上述したように、カバー層3は、さらにP又はWを含むものとしても良い。また、Cuピラー1とはんだ層2との間にバリア層7を形成する工程を含むものとしても良い。この場合、バリア層7は、Niを含むものとするのが好ましい。また、カバー層3を形成する工程において、Bの濃度が約0.1wt%以上約6wt%以下のカバー層を形成するのが好ましい。また、はんだ層2は、Bと化合物を形成せず、かつ、Cuと合金を形成する材料を含むことが好ましい。
以下、Siウェハ(基板)4に設けられた電極パッド(ここではAL電極5)の上方に設けられ、Cuピラー1及びはんだ層2の側面を覆うカバー層3(下側部分3XがNi−B層であり、上側部分3YがB層である)を備える端子について、具体例を挙げて、図3〜図5を参照しながら説明する。なお、図3〜図5では、IMC層は図示を省略している。
ここでは、図3に示すように、AL電極5を備えるSiウェハ4の表面上に、AL電極5の上方が開口されている絶縁層8が設けられている。
そして、AL電極5上に、例えばΦ約10μm且つ高さ約10μmのCuピラー(Cu層)1と、Cuピラー1上に設けられた例えばΦ約10μm且つ高さ約10μmのはんだ層2と、Cuピラー1の側面を覆う、厚さ約0.5μmのNi−B層(カバー層3の下側部分3X)と、はんだ層2の側面を覆う、厚さ約0.2μmのB層(カバー層3の上側部分3Y)とを有する端子構造を備える。
ここで、Ni−B層のB濃度は例えば約1.0wt%とし、はんだの種類は例えばSn−2.0Agとする。
これにより、Cuピラー1の側面を覆うNi−B層によって、シードエッチングに用いられるCuのエッチング液によるCuピラー1のサイドエッチングを防ぐことができ、また、はんだ層2の側面を覆うB層によって、はんだのウェットバックによるはんだこぼれを抑制することができる。
次に、このような端子の形成方法について、図4、図5を参照しながら説明する。
まず、図4(A)に示すように、電極パッド(ここではAL電極5)が設けられているSiウェハ4上の全面に、シード層9を、例えばスパッタ装置などによって形成する。
ここで、シード層9は、ウェハに電解めっきを施すための薄膜層である。ここでは、シード層9として、Ti層9X及びCu層9Yからなるシード層を形成する。つまり、シード層9として、密着層としてのTi層9Xとピラー材料であるCuからなるCu層9Yを、例えば約1μm以下の膜厚で形成する。
具体的には、シード層9として、厚さ約200nmのCu層9Yと、厚さ約100nmのTi層9Xを形成する。
次に、図4(B)に示すように、Siウェハ4上の全面に、フォトレジスト10を塗布し、露光装置と現像装置を用いて、パターンニングを行なって、Cuピラー1を形成するためのパターンを形成する。
具体的には、厚さ約40μmのフォトレジスト10を塗布し、Φ約10μm且つピッチ約20μmでCuピラー1を形成するためのパターンを形成する。
次に、図4(C)に示すように、パターンニング後、例えば電解Cuめっきによって、Cuピラー(Cu層)1を形成する。
具体的には、パターンを用いて厚さ約10μmのCu層1を形成することによって、Φ約10μm、厚さ(高さ)約10μmのCuピラー1をピッチ約20μmで形成する。
次に、図4(D)に示すように、例えば電解はんだめっきによって、Cuピラー1上にはんだ層2を形成する。
具体的には、Cuピラー1上に厚さ約10μmのはんだ層2を形成する。
このような電解めっき工程がすべて終わった後に、図4(E)に示すように、レジスト剥離を行ない、Cuピラー1を露出させる。
そして、図5(A)に示すように、例えば無電解Ni−Bめっきによって、カバー層3となるNi−B層3Zを形成する。ここでは、ウェハ全体を、例えば無電解Ni−Bめっき液に浸漬し、ウェハ全面に、カバー層3となるNi−B層(無電解めっき膜)3Zを形成する。
具体的には、厚さが約0.5μm、B濃度が約1.0wt%のNi−B層3Zを形成する。
次に、図5(B)に示すように、Siウェハ4の上方からSiウェハ4に対して垂直方向にカバー層3となるNi−B層3Zのドライエッチングを行なう。ここで、Ni−B層3Zのドライエッチングは、例えばAr系のガスをプラズマ化して行なえば良い。
このような垂直方向のドライエッチングによって、シード層9上のNi−B層3Z及びはんだ層2上のNi−B層3Zは除去されるが、Cuピラー1及びはんだ層2の側面のNi−B層3Zは、エッチングされずに残存することになる。そして、Cuピラー1及びはんだ層2の側面に残存したNi−B層3Zがカバー層3となる。
次に、図5(C)に示すように、このようなドライエッチングを行なった後、ウェハ全体をCu及びTiのエッチング液に浸漬し、Cu層9YとTi層9Xとからなるシード層9をエッチング(シードエッチング)する。
この際、カバー層3、即ち、Cuピラー1の側面を覆うNi−B層によってCuピラー1のサイドエッチングが抑制される。
つまり、カバー層3によってCuピラー1の側面が覆われていないと、Cuのエッチング液によってCuピラー1もサイドエッチングされてしまい、端子の小口径化が進んでしまう。これに対し、ここでは、カバー層3によってCuピラー1の側面が覆われているため、Cuピラー1のサイドエッチングが抑制される。
これにより、例えばΦ約10μmの微細なCuピラー1を形成する場合であっても、端子の接合強度が大きく低下してしまうのを防止することができる。
次に、図5(D)に示すように、シードエッチング後、ウェハ全体をリフロー装置に入れ、はんだをウェットバックし、はんだを球状にする。
具体的には、リフロー装置において、約250℃で溶融時間約30秒の条件にてはんだのウェットバックを行なう。
ここで、はんだのウェットバックは、はんだ層2を外観検査装置にて確認できるように光沢状にし、また、はんだ層2中のガスを抜くことではんだ接合後のボイドを除去するために行なわれる。
この際、はんだ層2の側面を覆うNi−B層中のNiははんだ層2中に拡散するが、Ni−B層中のBははんだ層2中に拡散せず、はんだ層2の側方に偏析してその位置に留まり、B層を形成する。
これにより、はんだ層2の側面を覆うNi−B層、即ち、カバー層3の上側部分3YはB層となる。つまり、はんだのウェットバックによって、はんだ層2の側面を覆うようにB層が設けられることになる。なお、カバー層3の下側部分3X、即ち、Cuピラー1の側面を覆うNi−B層は、Ni−B層のままである。
そして、このB層は、非常に強固で、且つ、はんだと合金を形成せず、反応することがないため、はんだのウェットバックによって崩れることはない。このため、このB層によってはんだこぼれが抑制される。
これにより、例えばΦ約10μmの微細なCuピラー1を形成する場合であっても、はんだ量を多くしてはんだ層2を形成しても、Cuピラー1の側方へのはんだこぼれを抑制することが可能となる。
次に、Siウェハ(基板)4に設けられた電極パッド(ここではAL電極5)の上方に設けられ、Cuピラー1及びはんだ層2の側面を覆うカバー層3(下側部分3XがNi−B−P層であり、上側部分3YがB−P層である)を備え、さらに、Niバリア層7を備える端子について、具体例を挙げて、図6〜図8を参照しながら説明する。なお、図6〜図8では、IMC層は図示を省略している。
ここでは、図6に示すように、AL電極5を備えるSiウェハ4の表面上に、AL電極5の上方が開口されている絶縁層8が設けられている。
そして、AL電極5上に、例えばΦ約15μm且つ高さ約15μmのCuピラー(Cu層)1と、Cuピラー1上に設けられた例えばΦ約15μm且つ厚さ約3μmの純NiからなるNiバリア層7と、Niバリア層7上に設けられた例えばΦ約15μm且つ高さ約15μmのはんだ層2と、Cuピラー1の側面を覆う、厚さ約0.5μmのNi−B−P層(カバー層3の下側部分3X)と、Niバリア層7及びはんだ層2の側面を覆う、厚さ約0.2μmのB−P層(カバー層3の上側部分3Y)とを有する端子構造を備える。
ここで、Ni−B−P層のB濃度は例えば約0.5wt%とし、P濃度は例えば約2.0wt%とし、はんだの種類は例えばSn−2.0Agとする。
これにより、Cuピラー1の側面を覆うNi−B−P層によって、シードエッチングに用いられるCuのエッチング液によるCuピラー1のサイドエッチングを防ぐことができ、また、はんだ層2の側面を覆うB−P層によって、はんだのウェットバックによるはんだこぼれを抑制することができる。
次に、このような端子の形成方法について、図7、図8を参照しながら説明する。
まず、図7(A)に示すように、電極パッド(ここではAL電極5)が設けられているSiウェハ4上の全面に、シード層9を、例えばスパッタ装置などによって形成する。
ここでは、シード層9として、Ti層9X及びCu層9Yからなるシード層を形成する。具体的には、シード層9として、厚さ約200nmのCu層9Yと、厚さ約100nmのTi層9Xを形成する。
次に、図7(B)に示すように、Siウェハ4上の全面に、フォトレジスト10を塗布し、露光装置と現像装置を用いて、パターンニングを行なって、Cuピラー1を形成するためのパターンを形成する。
具体的には、厚さ約40μmのフォトレジスト10を塗布し、Φ約15μm且つピッチ約30μmでCuピラー1を形成するためのパターンを形成する。
次に、図7(C)に示すように、パターンニング後、例えば電解Cuめっきによって、Cuピラー(Cu層)1を形成する。
具体的には、パターンを用いて厚さ約15μmのCu層1を形成することによって、Φ約15μm、厚さ(高さ)約15μmのCuピラー1をピッチ約30μmで形成する。
次に、例えば電解Niめっきを行なって、Cuピラー1上に純NiからなるNiバリア層7を形成し、その後に、例えば電解はんだめっきを行なって、Niバリア層7上にはんだ層2を形成する。これにより、Cuピラー1とはんだ層2との間にNiバリア層7が設けられる。
具体的には、Cuピラー1上に厚さ約3μmのNiバリア層7を形成し、さらに、Niバリア層7上に厚さ約15μmのはんだ層2を形成する。
このような電解めっき工程がすべて終わった後に、図7(D)に示すように、レジスト剥離を行ない、Cuピラー1を露出させる。
そして、図7(E)に示すように、例えば無電解Ni−B−Pめっきによって、カバー層3となるNi−B−P層3Zを形成する。ここでは、ウェハ全体を、例えば無電解Ni−B−Pめっき液に浸漬し、ウェハ全面に、カバー層3となるNi−B−P層(無電解めっき膜)3Zを形成する。
具体的には、厚さが約0.5μm、B濃度が約0.5wt%、P濃度が約2.0wt%のNi−B−P層3Zを形成する。
次に、図8(A)に示すように、Siウェハ4の上方からSiウェハ4に対して垂直方向にカバー層3となるNi−B−P層3Zのドライエッチングを行なう。ここで、Ni−B−P層3Zのドライエッチングは、例えばAr系のガスをプラズマ化して行なえば良い。
このような垂直方向のドライエッチングによって、シード層9上のNi−B−P層3Z及びはんだ層2上のNi−B−P層3Zは除去されるが、Cuピラー1及びはんだ層2の側面のNi−B−P層3Zは、エッチングされずに残存することになる。そして、Cuピラー1及びはんだ層2の側面に残存したNi−B−P層3Zがカバー層3となる。
次に、図8(B)に示すように、このようなドライエッチングを行なった後、ウェハ全体をCu及びTiのエッチング液に浸漬し、Cu層9YとTi層9Xとからなるシード層9をエッチング(シードエッチング)する。
この際、カバー層3、即ち、Cuピラー1の側面を覆うNi−B−P層によってCuピラー1のサイドエッチングが抑制される。
これにより、例えばΦ約15μmの微細なCuピラーを形成する場合であっても、端子の接合強度が大きく低下してしまうのを防止することができる。
次に、図8(C)に示すように、シードエッチング後、ウェハ全体をリフロー装置に入れ、はんだをウェットバックし、はんだを球状にする。
具体的には、リフロー装置において、約250℃で溶融時間約30秒の条件にてはんだのウェットバックを行なう。
この際、はんだ層2の側面を覆うNi−B−P層中のNiははんだ層2中に拡散するが、Ni−B−P層中のB、Pははんだ層2中に拡散せず、はんだ層2の側方に偏析してその位置に留まり、B−P層を形成する。
これにより、はんだ層2の側面を覆うNi−B−P層、即ち、カバー層3の上側部分3YはB−P層となる。つまり、はんだのウェットバックによって、はんだ層2の側面を覆うようにB−P層が設けられることになる。なお、カバー層3の下側部分3X、即ち、Cuピラー1の側面を覆うNi−B−P層は、Ni−B−P層のままである。
そして、このB−P層は、非常に強固で、且つ、はんだと合金を形成せず、反応することがないため、はんだのウェットバックによって崩れることはない。このため、このB−P層によってはんだこぼれが抑制される。
これにより、例えばΦ約15μmの微細なCuピラー1を形成する場合であっても、はんだ量を多くしてはんだ層2を形成しても、Cuピラー1の側方へのはんだこぼれを抑制することが可能となる。
ところで、上述のような構成及び製造方法を採用しているのは、以下の理由による。
従来の端子構造であるマイクロバンプでは、端子の微細化が進むと、端子の高さが低くなり、例えば、アンダーフィル材を注入するための半導体チップと基板との間のギャップを確保できなくなる。
また、例えば、マイクロバンプでは、はんだが太鼓形状になるため、ギャップを確保するためにはんだ量を多くすると、隣り合う端子のはんだ同士の短絡(ブリッジ)が起きやすくなる。
このため、半導体チップの微細化に対応する端子構造として、Cuピラー(Cuピラーバンプ)が用いられるようになってきている[例えば図9(A)、図9(B)参照]。
そして、近年、半導体チップの高機能化が進んでいるため、Cuピラーの端子径が小径化(小口径化)する傾向にある。
しかしながら、シードエッチングによってCuピラーもサイドエッチングされ、小径化した端子径に対するサイドエッチング量の割合が非常に大きくなり、端子の接合強度が大きく低下してしまうことがわかった[例えば図10(A)、図10(B)参照]。
つまり、シードエッチングでは、Ti及びCuのエッチング液にウェハを浸漬させるため、Cuのエッチング液によってCuピラー自身もエッチングされ(サイドエッチング)、端子径が小さくなってしまう。
このサイドエッチングの量はシード層の厚さに依存するが、約1μm程度である。このサイドエッチングの量は、シード層の厚さが一定なら端子径に関わらず一定である。
このため、例えば、Cuピラー径が約20μm程度では、サイドエッチングによって、Cuピラーが小径化しても端子の接合強度への影響は小さいが、Cuピラー径が約10μm〜約15μm程度あるいは約10μm以下になると、端子径に対するサイドエッチング量の割合が非常に大きくなるため、端子の接合強度が大きく低下してしまうことがわかった[例えば図10(A)、図10(B)参照]。
また、端子径が小さくなると、Cuピラー上に形成されたはんだ層のウェットバックによってはんだこぼれが発生してしまうため、はんだ層を厚くすることができず、はんだ層が薄いと、ほとんどIMC層になってしまい、接合できなくなることがわかった[例えば図11(A)、図11(B)参照]。
つまり、はんだ層をめっきした後にウェットバックを行なうが、はんだ層が厚すぎるとはんだこぼれが発生してしまうため、微細化した端子では、はんだ層を厚くすることができない。
一方、ウェットバックによって形成されるIMC層ははんだ層の厚さや端子径に関わらず一定である。
このため、例えば、Cuピラー径が約10μm〜約15μm程度あるいは約10μm以下になり、はんだ層の厚さが薄いと、はんだのウェットバック後に、はんだ層がほとんどIMC層になってしまい、接合できなくなることがわかった[例えば図11(A)、図11(B)参照]。
そこで、例えばCuピラーを小径化する場合であっても、シードエッチングによるCuピラーのサイドエッチングを抑制し、且つ、接合のために十分な厚さのはんだ層を形成してもはんだこぼれが発生しないようにすべく、上述のような構成及び製造方法を採用している(例えば図1、図2参照)。
つまり、カバー層3の下側部分3X、即ち、Cuピラー1の側面を覆うNi−B層が、エッチング液によるCuピラー1のサイドエッチングを抑制する。
また、カバー層3の上側部分3Y、即ち、はんだ層2の側面を覆うB層は、はんだ層2と反応することがなく、非常に硬く、溶けないため、リフローを行なってもB層によってはんだこぼれが抑制される。
このため、接合に十分な厚さのはんだ層2を形成し、リフローによるウェットバックを行なってもはんだこぼれを抑制することができる。
したがって、例えば約10μm〜約15μm程度あるいは約10μm以下の微細なCuピラー1を形成する場合であっても、Cuピラー1のサイドエッチングを抑制し、はんだ接合に必要なはんだ層を確保することが可能となる。
これにより、例えば約10μm〜約15μm程度あるいは約10μm以下の微細なCuピラーを、高い信頼性で形成し、確実にはんだ付けできるようになり、半導体装置の高性能化を実現することが可能となる。
ところで、本実施形態の半導体装置は、上述のような構造を有する端子を用いて、半導体チップ同士又は半導体チップと基板を電気的に接続したものである。なお、半導体装置を半導体パッケージともいう。
つまり、本半導体装置は、上述のような構造を有する端子を備える半導体チップ同士、又は、上述のような構造を有する端子を備える半導体チップと上述のような構造を有する端子を備える基板がはんだ接合されて、半導体チップ同士又は半導体チップと基板が電気的に接続されているものである。
このように、本半導体装置は、上述のような端子構造を備える半導体チップ同士、又は、上述のような端子構造を備える半導体チップと上述のような端子構造を備える基板がはんだ接合されて、半導体チップ同士又は半導体チップと基板が電気的に接続されているものである。
また、本実施形態の電子装置は、このような半導体装置を備えるものである。なお、電子装置を電子機器ともいう。例えば、本電子装置は、このような半導体装置を備えるサーバなどである。
したがって、本実施形態にかかる端子構造、半導体装置、電子装置及び端子の形成方法は、シードエッチングによるサイドエッチングを抑制し、且つ、接合のために十分な厚さのはんだ層2を形成してもはんだこぼれが発生しないようにすることができるという効果を有する。
なお、本発明は、上述した実施形態に記載した構成に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形することが可能である。
以下、上述の実施形態に関し、更に、付記を開示する。
(付記1)
Cuピラーと、
前記Cuピラーの上方に設けられたはんだ層と、
少なくともNi及びBを含み、前記Cuピラーの側面を覆う下側部分と、少なくともBを含み、前記はんだ層の側面を覆う上側部分とを有するカバー層とを備えることを特徴とする端子構造。
(付記2)
前記カバー層は、さらにP又はWを含むことを特徴とする、付記1に記載の端子構造。
(付記3)
前記Cuピラーと前記はんだ層との間にバリア層を備えることを特徴とする、付記1又は2に記載の端子構造。
(付記4)
前記バリア層は、Niを含むことを特徴とする、付記3に記載の端子構造。
(付記5)
前記カバー層の前記下側部分に含まれるBの濃度は、0.1wt%以上6wt%以下であることを特徴とする、付記1〜4のいずれか1項に記載の端子構造。
(付記6)
前記はんだ層は、Bと化合物を形成せず、かつ、Cuと合金を形成する材料を含むことを特徴とする、付記1〜5のいずれか1項に記載の端子構造。
(付記7)
付記1〜6のいずれか1項に記載された端子構造を備える半導体チップ同士、又は、付記1〜6のいずれか1項に記載された端子構造を備える半導体チップと付記1〜6のいずれか1項に記載された端子構造を備える基板がはんだ接合されて、前記半導体チップ同士又は前記半導体チップと前記基板が電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
(付記8)
付記7に記載の半導体装置を備えることを特徴とする電子装置。
(付記9)
シード層上にCuピラーを形成する工程と、
前記Cuピラーの上方にはんだ層を形成する工程と、
少なくともNi及びBを含み、前記Cuピラー及び前記はんだ層の側面を覆うカバー層を形成する工程と、
前記シード層をエッチングする工程と、
前記はんだ層をウェットバックする工程とを含み、
前記はんだ層をウェットバックする工程を経て、前記カバー層が、少なくともNi及びBを含み、前記Cuピラーの側面を覆う下側部分と、少なくともBを含み、前記はんだ層の側面を覆う上側部分とを有するものとなることを特徴とする端子の形成方法。
(付記10)
前記カバー層は、さらにP又はWを含むことを特徴とする、付記9に記載の端子の形成方法。
(付記11)
前記Cuピラーと前記はんだ層との間にバリア層を形成する工程を含むことを特徴とする、付記9又は10に記載の端子の形成方法。
(付記12)
前記バリア層は、Niを含むことを特徴とする、付記11に記載の端子の形成方法。
(付記13)
前記カバー層を形成する工程において、Bの濃度が0.1wt%以上6wt%以下のカバー層を形成することを特徴とする、付記9〜12のいずれか1項に記載の端子の形成方法。
(付記14)
前記はんだ層は、Bと化合物を形成せず、かつ、Cuと合金を形成する材料を含むことを特徴とする、付記9〜13のいずれか1項に記載の端子の形成方法。
1 Cuピラー
2 はんだ層
3 カバー層
3X 下側部分
3Y 上側部分
3Z Ni−B層又はNi−B−P層(無電解めっき膜)
4 Siウェハ(基板)
5 AL電極
6 IMC層
7 バリア層(Ni層;Niバリア層)
8 絶縁層
9 シード層
9X Ti層
9Y Cu層
10 フォトレジスト

Claims (9)

  1. Cuピラーと、
    前記Cuピラーの上方に設けられたはんだ層と、
    少なくともNi及びBを含み、前記Cuピラーの側面を覆う下側部分と、少なくともBを含み、前記はんだ層の側面を覆う上側部分とを有するカバー層とを備えることを特徴とする端子構造。
  2. 前記カバー層は、さらにP又はWを含むことを特徴とする、請求項1に記載の端子構造。
  3. 前記Cuピラーと前記はんだ層との間にバリア層を備えることを特徴とする、請求項1又は2に記載の端子構造。
  4. 前記バリア層は、Niを含むことを特徴とする、請求項3に記載の端子構造。
  5. 前記カバー層の前記下側部分に含まれるBの濃度は、0.1wt%以上6wt%以下であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の端子構造。
  6. 前記はんだ層は、Bと化合物を形成せず、かつ、Cuと合金を形成する材料を含むことを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載の端子構造。
  7. 請求項1〜6のいずれか1項に記載された端子構造を備える半導体チップ同士、又は、請求項1〜6のいずれか1項に記載された端子構造を備える半導体チップと請求項1〜6のいずれか1項に記載された端子構造を備える基板がはんだ接合されて、前記半導体チップ同士又は前記半導体チップと前記基板が電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
  8. 請求項7に記載の半導体装置を備えることを特徴とする電子装置。
  9. シード層上にCuピラーを形成する工程と、
    前記Cuピラーの上方にはんだ層を形成する工程と、
    少なくともNi及びBを含み、前記Cuピラー及び前記はんだ層の側面を覆うカバー層を形成する工程と、
    前記シード層をエッチングする工程と、
    前記はんだ層をウェットバックする工程とを含み、
    前記はんだ層をウェットバックする工程を経て、前記カバー層が、少なくともNi及びBを含み、前記Cuピラーの側面を覆う下側部分と、少なくともBを含み、前記はんだ層の側面を覆う上側部分とを有するものとなることを特徴とする端子の形成方法。
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