JP2007048919A - バンプの形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板1上に設けられた電極部2の表面を露出させる状態で、開口部5aが設けられたレジストマスク5を、基板1上に形成する工程を行う。次いで、開口部5aの少なくとも側壁を覆う状態で、はんだ濡れ性を有する密着膜7を形成する工程を行う。続いて、密着膜7が設けられた開口部5aに、レジストマスク5の表面よりも上方にはみ出す状態で、はんだを埋め込んではんだ層8を形成するとともに、はんだ層8のリフロー処理を行う。その後、研磨により、レジストマスク5の表面と略同等の高さになるまで、リフロー処理後のはんだ層8’の余剰部分を除去することで、はんだ層8’からなるバンプ9を形成した後、レジストマスク5を除去する。
【選択図】図2
Description
図1(a)に示すように、半導体ウェーハからなる基板1上に、例えばアルミニウム(Al)からなるパッド状の電極部2が設けられている。基板1上にはこの電極部2の表面を開口する状態で、例えばシリコン窒化膜からなるパッシベーション膜3が設けられている。
本実施形態では、堆積法によるバンプ形成方法に、本発明を適用した例について、図3を用いて説明する。なお、図1(a)から図1(d)を用いて説明した密着膜7の形成までは、第1実施形態と同様の方法により行うこととする。
なお、上述した第2実施形態では、底面側にメッキ層6が露出された開口部5aの内壁を覆う状態で、レジストマスク5上に密着膜7を形成したが、開口部5aの内壁のみに密着膜7を形成してもよい。
Claims (8)
- 基板上に設けられた電極部の表面を露出させる状態で、開口部が設けられたマスクパターンを、基板上に形成する第1工程と、
前記開口部の少なくとも側壁を覆う状態で、はんだ濡れ性を有する密着膜を形成する第2工程と、
前記密着膜が設けられた前記開口部に、前記マスクパターンの表面よりも上方にはみ出す状態で、はんだを埋め込んではんだ層を形成するとともに、当該はんだ層のリフロー処理を行う第3工程と、
研磨により、前記マスクパターンの表面と略同等の高さになるまで前記はんだ層の余剰部分を除去することで、当該はんだ層からなるバンプを形成した後、前記マスクパターンを除去する第4工程とを有する
ことを特徴とするバンプの形成方法。 - 請求項1記載のバンプの形成方法において、
前記第1工程と前記第2工程との間に、
前記開口部の途中までをメッキ層で埋め込む工程を行い、
前記第4工程では、前記メッキ層と前記はんだ層とを積層してなるバンプを形成する
ことを特徴とするバンプの形成方法。 - 請求項1記載のバンプの形成方法において、
前記第3工程では、前記開口部に前記はんだを埋め込んで前記はんだ層を形成した後、当該はんだ層のリフロー処理を行う
ことを特徴とするバンプの形成方法。 - 請求項3記載のバンプの形成方法において、
前記第3工程では、印刷方式により、前記開口部に前記はんだを埋め込んではんだ層を形成する
ことを特徴とするバンプの形成方法。 - 請求項3記載のバンプの形成方法において、
第2工程では、前記開口部の内壁を覆う状態で、前記マスクパターン上に前記密着膜を形成する
ことを特徴とするバンプの形成方法。 - 請求項1記載のバンプの形成方法において、
前記第3工程では、熱処理雰囲気下で、前記はんだのリフロー処理を行いつつ、前記開口部に前記はんだを埋め込んで前記はんだ層を形成する
ことを特徴とするバンプの形成方法。 - 請求項1記載のバンプの形成方法において、
前記第3工程では、前記開口部に選択的に前記はんだを埋め込んで前記はんだ層を形成するとともに、当該はんだ層のリフロー処理を行う
ことを特徴とするバンプの形成方法。 - 請求項1記載のバンプの形成方法において、
前記第3工程では、前記開口部を埋め込む状態で、前記マスクパターン上に前記はんだ層を形成するとともに、当該はんだ層のリフロー処理を行い、
前記第4工程では、研磨により、前記マスクパターンの表面が露出するまで前記はんだ層の余剰部分を除去することで、前記バンプを形成する
ことを特徴とするバンプの形成方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2005
- 2005-08-10 JP JP2005231435A patent/JP2007048919A/ja active Pending
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