JP5063875B2 - 光半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、受光素子表面に反射防止膜が形成された従来の光半導体装置の例について図面を参照しながら説明する。
以下に、受光するレーザ光の波長に応じて受光素子の埋め込み深さを変えることにより、同一基板上に複数の受光素子を形成し、1チップで複数の入射光に対応可能な光ピックアップ装置について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る光半導体装置101について説明するための模式図である。
次に、本発明の第2の実施形態に係る光半導体装置101bについて図面を参照して説明する。
次に、本発明の第3の実施形態に係る光半導体装置101cについて、図面を参照して説明する。
次に、本発明の第4の実施形態に係る光半導体装置101dについて図面を参照して説明する。
次に、本発明の第5の実施形態に係る光半導体装置101eについて図面を参照して説明する。
続いて、以下の実施形態では、本発明の光半導体装置の製造方法について図面を参照して説明する。但し、コンタクト工程(コンタクトを形成する工程)以降に形成されるコンタクト、メタル配線及び層間絶縁膜等については図示及び説明を省略する。
以下、第6の実施形態として、第1の受光領域Aには3層構造の反射防止膜、第2の受光領域Bには単層構造の反射防止膜がそれぞれ形成された光半導体装置を製造する方法を説明する。
次に、本発明の第7の実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明する。本実施形態では、第1の受光領域Aには3層構造の反射防止膜、第2の受光領域Bには2層構造の反射防止膜が形成された光半導体装置を製造する。
次に、本発明の第8の実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明する。本実施形態では、図3(a)に示した第2の実施形態に係る光半導体装置と同様の、第1の受光領域Aにおいて基板102表面に不純物領域を形成することにより、それぞれ異なる膜厚の熱酸化膜が形成された光半導体装置を製造する。
次に、本発明の第9の実施形態に係る光半導体装置の製造方法を説明する。本実施形態では、図4(a)に示した第3の実施形態に係る光半導体装置と同様の、第1及び第2の受光領域A及びBに同じ材料からなる反射防止膜を形成し且つ第1の受光領域Aにおいて該反射防止膜に不純物を導入した構造の光半導体装置を製造する。
次に、本発明の第9の実施形態に係る光半導体装置の製造方法を説明する。本実施形態では、図5(a)に示した第4の光半導体装置と同様の、第1の受光領域Aには2層構造の反射防止膜が形成され且つ第2の受光領域Bには単層の反射防止膜が形成された光半導体装置を製造する。
次に、本発明の第11の実施形態に係る光半導体装置の製造方法を説明する。本実施形態では、図2(a)に示した第1の実施形態に係る光半導体装置と同様の、2つの受光領域にそれぞれ異なる材料から形成された単層の反射防止膜が形成された光半導体装置を製造する。
次に、本発明の第11の実施形態に係る光半導体装置の製造方法を説明する。本実施形態では、第1及び第2の受光領域A及びBにおいて、共に2層構造であるが、各層の種類が異なる反射防止膜がそれぞれ形成された光半導体装置を製造する。
101a〜101e 光半導体装置
102 基板
102a P型Si基板
102b N型エピタキシャル層
103 P+ 型埋め込み層
104 P+ 型拡散層
105 N+ 型拡散層
A 第1の受光領域
B 第2の受光領域
111、121、131、141、151 第1の反射防止膜
112、122、132、142、152 第2の反射防止膜
141a、151a シリコン酸化膜
141b、151b シリコン窒化膜
211 第1のシリコン酸化膜(第1の絶縁膜の第1層)
212 シリコン窒化膜(第1の絶縁膜の第2層)
213 開口
214 第2のシリコン酸化膜(第2の絶縁膜)
221 第1のシリコン酸化膜(第1の絶縁膜)
222 開口
223 シリコン窒化膜(第2の絶縁膜の第1層)
224 第2のシリコン酸化膜(第2の絶縁膜の第2層)
231 フォトレジスト
231a 開口
232 高濃度不純物領域
233、233a、233b 熱酸化膜
241 シリコン窒化膜
242 フォトレジスト
242a 開口
243 不純物導入シリコン窒化膜
251 シリコン酸化膜
252 シリコン窒化膜
253 開口
261 シリコン酸化膜
262 第1の開口
263 シリコン窒化膜
264 第2の開口
271 第1のシリコン酸化膜
272 第1の開口
273 シリコン窒化膜
274 第2のシリコン酸化膜
275 第2の開口
Claims (8)
- 基板上に定められた第1の受光領域及び第2の受光領域に、それぞれ受光素子を形成する工程(a)と、
前記基板上の前記第1の受光領域に第1の反射防止膜を形成すると共に、前記基板上の第2の受光領域に第2の反射防止膜を形成する工程(b)とを備え、
第1の波長帯の光に対し、前記第1の反射防止膜の反射率は前記第2の反射防止膜の反射率よりも小さく、
前記第1の波長帯とは異なる第2の波長帯の光に対し、前記第2の反射防止膜の反射率は前記第1の反射防止膜の反射率よりも小さく、
前記工程(b)は、
前記第1の受光領域及び前記第2の受光領域を含む前記基板上にシリコン窒化膜を同時に形成する工程と、
前記シリコン窒化膜を形成した後、前記第1の受光領域の前記シリコン窒化膜に選択的なイオン注入によって不純物を導入することにより、前記第1の受光領域の前記シリコン窒化膜の屈折率を変化させる工程とを含み、
前記イオン注入によって導入する前記不純物は、前記基板における前記第1の反射防止膜直下の部分において、当該部分の導電型を決定している不純物と同一の導電型を生じさせる不純物であることを特徴とする光半導体装置の製造方法。 - 請求項1において、
前記工程(b)は、
前記基板の前記第1の受光領域の部分に不純物を導入する工程と、
前記基板を酸化することにより、前記第1の受光領域及び前記第2の受光領域を含む前記基板上に酸化膜を形成する工程とを含み、
前記基板に前記不純物の導入された前記第1の受光領域に形成される前記酸化膜は、前記第2の受光領域に形成される前記酸化膜よりも厚いことを特徴とする光半導体装置の製造方法。 - 請求項1において、
前記工程(b)は、
前記第1の受光領域及び前記第2の受光領域を含む前記基板上に第1の材料膜を形成する工程と、
前記第1の材料膜のうち前記第1の受光領域に形成された部分を除去する工程と、
前記第1の受光領域及び前記第2の受光領域を含む前記基板上に、前記第1の材料膜とは異なる第2の材料膜を形成する工程とを含むことを特徴とする光半導体装置の製造方法。 - 請求項3において、
前記第1の材料膜を形成する工程は、異なる2以上の膜を積層して形成する工程を含むことを特徴とする光半導体装置の製造方法。 - 請求項3又は4において、
前記第2の材料膜を形成する工程は、異なる2以上の膜を積層して形成する工程を含むことを特徴とする光半導体装置の製造方法。 - 請求項1において、
前記工程(b)は、
前記第1の受光領域及び前記第2の受光領域を含む前記基板上に第1の材料膜を形成する工程と、
前記第1の材料膜上に、前記第1の材料膜とは異なる第2の材料膜を形成する工程と、
前記第2の材料膜のうち前記第1の受光領域に形成された部分を、前記第1の材料膜をエッチングストップ膜として用いて除去する工程とを含むことを特徴とする光半導体装置の製造方法。 - 請求項1において、
前記工程(b)は、
前記第1の受光領域及び前記第2の受光領域を含む前記基板上に第1の材料膜を形成する工程と、
前記第1の材料膜のうち前記第1の受光領域に形成された部分を除去する工程と、
前記第1の受光領域及び前記第2の受光領域を含む前記基板上に、前記第1の材料膜とは異なる第2の材料膜を形成する工程と、
前記第2の材料膜上に、前記第2の材料膜とは異なる第3の材料膜を形成する工程と、
前記第3の材料膜のうち前記第2の受光領域に形成された部分を、前記第2の材料膜をエッチングストップ膜として用いて除去する工程とを含むことを特徴とする光半導体装置の製造方法。
置の製造方法。 - 請求項7において、
前記第3の材料膜のうち前記第2の受光領域に形成された部分を除去する工程の後、
前記第2の材料膜のうち前記第2の受光領域において露出した部分を、前記第1の材料膜をエッチングストップ膜として用いて除去する工程を更に含むことを特徴とする光半導体装置の製造方法。
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