JP2007157909A - 半導体受光素子、半導体受光素子を備えた光ピックアップ装置 - Google Patents
半導体受光素子、半導体受光素子を備えた光ピックアップ装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明の半導体受光素子、半導体受光素子を備えた光ピックアップ装置は、同一半導体基板上に形成され、それぞれ異なる複数の波長に対応したフォトダイオードを有する半導体受光素子、半導体受光素子を備えたピックアップ装置である。特に、本発明の半導体受光素子においては、異なる複数の波長に対応したフォトダイオードそれぞれの受光面上に、最適化された積層構成を有する反射防止膜が一体形成される。
【選択図】図4
Description
本発明の実施の形態1に係わる半導体受光素子の概略構成を図3および図4に示す。図3は、本実施の形態に係わる半導体受光素子に形成されたフォトダイオード部の受光面上部からみた概略構造を示したものである。また、図4は、フォトダイオード部の断面概略構造を示したものである。
本発明の実施の形態2に係わる半導体受光素子を備えた光ピックアップ装置は、実施の形態1に係わる半導体受光素子と、図示せぬBLU−RAY用の青色(405nm)レーザと、図示せぬDVD用の赤色(655nm)レーザーと、図示せぬCD用の近赤外(780nm)レーザと、それぞれのレーザからのレーザー光をCDおよびDVDディスクに入射させる図示せぬ入射光学系と、CDおよびDVDで反射された反射光を当該半導体受光素子に出力する図示せぬ出射光学系とを備えている。また、本実施の形態に係わる光ピックアップ装置は、フォーカシング制御およびトラッキング制御を行うための図示せぬ制御部を有している。制御部は、実施の形態1により取得された、フォーカシング用およびトラッキング用の制御信号に基づき、入射光学系あるいは出射光学系に備わる、フォーカシング用およびトラッキング用の駆動機構、あるいは、CDおよびDVDの回転駆動機構に制御信号を出力し、フォーカシング制御およびトラッキング制御を実行する。
2…DVD用フォトダイオード(PD)
3…青色用フォトダイオード(PD)
4…n型シリコン基板
8…シリコン酸化膜
9…シリコン窒化膜
10…シリコン酸化窒化膜
Claims (6)
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に形成され、それぞれ異なる複数の波長の光に対応した複数のフォトダイオードと、
前記複数のフォトダイオードに設けられた反射防止膜と
を具備し、
前記複数のフォトダイオードのなかで、少なくともひとつのフォトダイオードの前記反射防止膜の構造が、他のいずれかのフォトダイオードの前記反射防止膜の構造と異なる半導体受光素子。 - 請求項1に記載の半導体受光素子において、
前記フォトダイオードは、青色(400nm帯)の光に対応する青色フォトダイオードと、赤色(600nm帯)の光に対応する赤色フォトダイオードと、近赤外(700nm帯)の光に対応する近赤外フォトダイオードとを備える半導体受光素子。 - 請求項2に記載の半導体受光素子において、
前記赤色フォトダイオードと、前記近赤外フォトダイオードとの受光面上に形成される反射防止膜は、前記受光面の上に形成されるシリコン酸化膜と、前記シリコン酸化膜の上に形成されるシリコン窒化膜との2層構造を有し、
前記青色フォトダイオードの受光面上に形成される反射防止膜は、前記受光面の上に形成されるシリコン酸化膜と、前記シリコン酸化膜の上に形成されるシリコン窒化膜と、前記シリコン窒化膜の上に形成されるシリコン酸化窒化膜との3層構造を有する半導体受光素子。 - 請求項3に記載の半導体受光素子において、
特に、前記シリコン酸化窒化膜の膜厚は、35nm〜80nmに設定される半導体受光素子。 - 請求項2から4までのいずれか一項に記載の半導体受光素子において、
前記赤色フォトダイオードと前記近赤外フォトダイオードと前記青色フォトダイオードとで生成される電流信号を電圧信号に変換し、増幅、信号演算を行うICが集積されている半導体受光素子。 - 請求項1から5までのいずれか一項に記載の半導体受光素子と、
前記半導体受光素子の対応する、それぞれ異なる波長の光を出力するための発光部と、
前記それぞれ異なる波長の光を、CDおよびDVDディスクなどの情報記憶媒体に入射させるための第1光学系と、
前記情報記憶媒体で反射された反射光を前記半導体受光素子に出力するための第2光学系と、
前記半導体素子により取得された、フォーカシング用およびトラッキング用の制御信号に基づき、前記第1光学系あるいは前記第2光学系に備わる、フォーカシング用およびトラッキング用の駆動機構、あるいは、前記情報記憶媒体の回転駆動機構に制御信号を出力し、フォーカシング制御およびトラッキング制御を行うための制御部と
を具備する光ピックアップ装置。
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