JP5052313B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
反応室と、基板載置台と、基板載置台に高周波電力を印加する電源と、基板載置台と電源間に介挿されたブロッキングコンデンサと、を備える半導体製造装置を用いて、表面に順次に堆積された、有機材料膜およびシリコン化合物膜並びに前記シリコン化合物膜の上にパターニングされたレジスト膜を備える基板に、同一の反応室内で複数のドライエッチング処理を連続して行う半導体装置の製造方法であって、
前記基板を前記基板載置台に設置し、フルオロカーボン系の第1のガスを供給しつつ複数の高周波電力を前記基板載置台に印加して前記基板に第1のドライエッチング処理を行い、前記レジスト膜をマスクとして前記シリコン化合物膜を加工する工程と、
前記第1のドライエッチング処理の後に、第2のガスを供給しつつ前記複数の高周波電力のうち少なくとも一つの高周波電力の前記基板載置台への印加を停止して前記基板に生成する自己バイアス電圧を弱めて前記反応室内のフルオロカーボン系の堆積物を除去するとともに前記基板に第2のドライエッチング処理を行う工程と、
を備える、半導体装置の製造方法が提供される。
1)フルオロカーボン系ガスがプラズマ中に供給される。
2)被処理基板のあるカソード側に自己バイアスによってイオンが加速されて引き込まれる。
11:真空反応室(アノード)
13:基板載置台(カソード)
15:ブロッキングコンデンサ
17,31:高周波電源
19:ガス排気口
51:シリコン基板
61:有機材料膜
63:塗布型シリコン酸化膜
65:レジスト膜
AP:プラズマ形成領域
S5:被処理基板
Claims (5)
- 反応室と、基板載置台と、基板載置台に高周波電力を印加する電源と、基板載置台と電源間に介挿されたブロッキングコンデンサと、を備える半導体製造装置を用いて、表面に順次に堆積された、有機材料膜およびシリコン化合物膜並びに前記シリコン化合物膜の上にパターニングされたレジスト膜を備える基板に、同一の反応室内で複数のドライエッチング処理を連続して行う半導体装置の製造方法であって、
前記基板を前記基板載置台に設置し、フルオロカーボン系の第1のガスを供給しつつ複数の高周波電力を前記基板載置台に印加して前記基板に第1のドライエッチング処理を行い、前記レジスト膜をマスクとして前記シリコン化合物膜を加工する工程と、
前記第1のドライエッチング処理の後に、第2のガスを供給しつつ前記複数の高周波電力のうち少なくとも一つの高周波電力の前記基板載置台への印加を停止して前記基板に生成する自己バイアス電圧を弱めて前記反応室内のフルオロカーボン系の堆積物を除去するとともに前記基板に第2のドライエッチング処理を行う工程と、
を備える、半導体装置の製造方法。 - 前記第1のドライエッチング処理は、第1の周波数の高周波電力と、前記第1の周波数よりも高い第2の周波数の高周波電力とを用いて行われ、
前記第2のドライエッチング処理は、前記第1の周波数の高周波電力の印加を停止して行われ、
前記第2の周波数は100MHz以上であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記フルオロカーボン系の堆積物を除去するとともに前記基板に第2のドライエッチング処理を行う工程に引き続き、前記基板に第3のドライエッチング処理を行う工程をさらに備え、
前記第3のドライエッチング処理は、前記第2のドライエッチング処理における処理圧力よりも低い圧力で行われることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2のドライエッチング処理を行う工程は、前記堆積物の除去の終点を検出する工程を含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シリコン化合物膜はSOG(Spin on Glass)膜であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
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