JP2007189153A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ArFレジストをマスクとして、シリコン酸化膜とシリコン窒化膜の堆積膜をドライエッチングする際、良好にパターンを加工できる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ArFレジストをマスクとして、シリコン窒化膜2及びシリコン酸化膜3の順に堆積された積層膜をドライエッチングする際、シリコン酸化膜3のエッチング時にCF4及び水素の混合ガスをエッチングガスとして用い、シリコン窒化膜2のエッチングの際にCHxFy(x=0〜3、y=4〜1)をエッチングガスとして用いてドライエッチングを行う。
【選択図】図1
【解決手段】ArFレジストをマスクとして、シリコン窒化膜2及びシリコン酸化膜3の順に堆積された積層膜をドライエッチングする際、シリコン酸化膜3のエッチング時にCF4及び水素の混合ガスをエッチングガスとして用い、シリコン窒化膜2のエッチングの際にCHxFy(x=0〜3、y=4〜1)をエッチングガスとして用いてドライエッチングを行う。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置の製造方法に関し、詳しくは、ArFレジストをマスク材として、シリコン窒化膜とシリコン酸化膜の積層膜にドライエッチングを行なう方法に関する。
近年の半導体微細加工技術の発展に伴い、短波長(193nm)のArFエキシマレーザ光でパターニングされるArFレジストが用いられている。ArFレジストは、KrFエキシマレーザ光で露光されるKrFレジストに比べてプラズマ耐性が低く、また、露光機の焦点深度が浅いため、レジスト膜厚も薄くなっている。このため、ArFレジストをマスクとして微細な配線加工を行うことは一般に難しいとされている。
ここで、従来技術として、配線加工のためのマスク材に、シリコン窒化膜にシリコン酸化膜を積層した積層材料を用い、この積層材料に配線加工パターンを形成する方法を図3に示す。図3(a)に示すように、配線材料であるタングステン21の上にシリコン窒化膜22とシリコン酸化膜23と反射防止膜24をこの順番に積層する。反射防止膜24上にKrFレジスト25をパターニングする。このKrFレジスト25をマスクとして、ドライエッチング法によりCF4ガスを用いて図3(b)に示すように反射防止膜24を加工する。その後、CF4、CHF3、およびCH2F2のガスを用いてシリコン酸化膜23及びシリコン窒化膜22を加工し、図3(c)に示すように、KrFレジスト25及び反射防止膜24をプラズマアッシング及び有機除去ウェット装置を用いて剥離する。しかし、レジストの薄膜化及びArFレジストへの移行に伴い、この方法は困難となった。
また、特許文献1には、CF4ガスと水素ガスを用いてシリコン酸化膜及びシリコン窒化膜の積層膜をドライエッチングする方法が開示されている。具体的には図4の(a)〜(c)に示すように、シリコン31上にシリコン酸化膜32、シリコン窒化膜33およびシリコン酸化膜34をこの順番に堆積する。そして、パターニングしたレジスト35をマスクとしてシリコン酸化膜32、シリコン窒化膜33およびシリコン酸化膜34の積層膜を、CF4ガスと水素ガスの混合ガスを用いた反応性イオンエッチング法によってエッチングする。
この特許文献1に開示された方法は、シリコン酸化膜34に対してシリコン窒化膜33が薄い場合に限り用いることができる。その理由は次の通りである。シリコン窒化膜34をCF4ガスと水素ガスの混合ガスを用いてエッチングすると、C原子とF原子の重合体がウエハ表面に堆積する。この堆積物をエッチングデポジションと呼ぶ。このエッチングデポジションの生成によりシリコン窒化膜34のエッチング側壁はテーパー形状となるが、窒化膜が薄い場合は、このテーパーが無視できるからである。
また、特許文献2には、水素イオンをレジストに照射し、ArFレジストのドライエッチング耐性を改善する方法が示されている。具体的には図5の(a)〜(d)に示すように、シリコン41の上にシリコン酸化膜42と反射防止膜43をこの順番に積層する。反射防止膜43上にArFレジスト44をフォトリソグラフィ法によりパターニングする。このArFレジスト44にプラスの水素イオンを照射して、ArFレジスト44を、ドライエッチ耐性の向上したレジスト層45に改質する。その後、このレジスト層45をマスクとして、反射防止膜43とシリコン酸化膜42を順次エッチングする。
しかし、この特許文献2に開示された方法はイオン注入工程を増加させる必要があり、製造コストが上昇するといった問題がある。
また、特許文献3には有機系反射防止膜のエッチング時にArFレジストを改質させながら、エッチングを行うことが出来ると記載されているが、実施例において具体的にはエッチングガスの種類が特定されていないため、再現することが困難であった。
特開昭61−88554号公報(第5図(B)参照)
特開2004−163451号公報
特開2005−72518号公報
半導体装置の製造方法において、KrFレジストに対してドライエッチ耐性の低いArFレジストをマスクとしてシリコン酸化膜とシリコン窒化膜の堆積膜を加工する際、CF4及び酸素及びCHF3(もしくはCH2F2)をエッチングガスとして用いた場合、対レジスト選択比が低く、パターンの加工が困難であった。
また、C4F6、C4F8、C5F8等のエッチングガスを用いたドライエッチング技術では、シリコン酸化膜の加工は可能であるが、シリコン窒化膜の加工は困難であることが当業者において周知である。
また、最初にArFレジストに水素イオンを照射して該レジストを変質させ、対レジスト選択比を向上させる方法では、酸化膜エッチング時にC4F6、C4F8、C5F8等のガスを用いた場合にのみ効果を示すため、シリコン窒化膜の加工はできない。また、レジストに水素イオンを注入する為には、高密度のプラズマを生成でき、1MHz以下の高周波バイアスを印加することが可能な特殊なプラズマ装置が必要である。
そこで本発明は、上記従来技術の課題に鑑み、ArFレジストをマスクとして、シリコン酸化膜とシリコン窒化膜の堆積膜をドライエッチングする際、良好にパターンを加工できる半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明では、ArFレジストをマスクとして、シリコン窒化膜及びシリコン酸化膜がこの順番で積層された積層膜をドライエッチングする際、前記シリコン酸化膜のエッチング時にCF4及び水素の混合ガスをエッチングガスとして用い、前記シリコン窒化膜のエッチング時にはCHxFy(x=0〜3、y=4〜1)をエッチングガスとして用いた。
このようにシリコン酸化膜のエッチングガスに水素ガスを含んでいることにより、ArFレジストが変質してエッチング耐性が向上するため、シリコン窒化膜エッチング時のレジストの削れ量が少なくなる。
さらに、上記シリコン窒化膜のエッチング時に、ウェハ中央におけるエッチングレートがウェハ外周のそれよりも大きくなるように、ウェハ中央とウェハ外周に吹き出すガスの組成もしくは組成比を変えた。
すなわち、CF4及び水素ガスの混合ガスにより、シリコン酸化膜層をエッチングする場合には、ウェハ表面上にC原子とF原子からなる重合体であるエッチングデポジションは生じないが、このエッチングが下地のシリコン窒化膜層に達した瞬間に、ウェハ表面にエッチングデポジションが生成される。特に、一般的なRIE装置の構成ではこのディポジションはウェハ中央の方がウェハ外周よりも多く生成されることが確認されている。このため、シリコン窒化膜のエッチング時にウェハ面内の均一性を良好に保つことが困難になる。そこで、ウェハ中央のエッチングレートがウェハ外周のそれよりも大きくなるように、ウェハ中央とウェハ外周に吹き出すガスの組成もしくは組成比を変え、エッチングデポジションの不均一性を打ち消すことで、最終的なエッチング形状の面内均一性を良好にすることが可能となる。
以上説明したように本発明によれば、KrFレジストよりもドライエッチ耐性の低いArFレジストをマスクとして、シリコン窒化膜及びシリコン酸化膜の積層膜をドライエッチングする際、対レジスト選択比が向上し、シリコン窒化膜及びシリコン酸化膜に対して良好にパターン加工を行なうことができる。
次に、本発明の実施形態について図1及び図2を参照して説明する。
図1は本発明の実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程図、図2は本発明の製造方法を実施するためのドライエッチング装置の模式図である。
本実施形態では、微細配線加工のためのマスク材として、シリコン窒化膜とシリコン酸化膜の積層膜を用いた場合に、この積層膜を、ArFレジストを用いたドライエッチング法によりパターニングする例を説明する。
図1(a)において、始めに配線材料であるタングステン1上にシリコン窒化膜2及びシリコン酸化膜3をこの順番でプラズマCVD法を用いて成膜する。次に、シリコン酸化膜3上に有機系反射防止膜4を塗布し、さらに反射防止膜4上にArFレジスト5をリソグラフィ技術を用いてパターニングする。
ArFレジスト5はアクリル系のJSR製AR1221Jを用い、反射防止膜4は日産化学製AR29Aを用いる。
図2に上記の積層膜に加工を行うドライエッチング装置の模式図を示す。このドライエッチング装置は一般的な平行平板型のRIE(リアクティブイオンエッチング)装置である。被加工物であるシリコンウェハ15がプラズマチャンバー10内においてウェハステージ(静電チャックステージ)12に載置されている。シリコンウェハ15の下部にはカソード電極である平面電極13が設置され、これに相対してシリコンウェハ15の上部には、アノード電極である対向電極16が設置されている。平面電極13は13.56MHzの高周波電源(RF電源)に接続され、対向電極16はアースに接続されている。
対向電極16には、シリコンウェハ12上に一様にガスを吹き出せるようにガス吹き出し口17が設けられている。対向電極16の上部空間には、ウェハ中央に対応する位置からガスを導入するセンターガスライン18が設置され、ウェハ外周に対応する位置からガスを導入するエッジガスライン19が設置されている。ガスライン18,19は上流側で1本に繋がっているが、エッジガスライン19には所望の組成のガスを更に添加できる構成である。したがって、基本的にはガスライン18,19の両方から同一組成のガスを導入し、対向電極16のガス吹き出し口17によってウェハ15上に一様に当該ガスを吹き出せる構成になっているが、エッジガスライン19中に所望のガス成分が更に添加されると、ウェハ外周とウェハ中央に吹き出すガスの組成もしくは組成比が変わる。
また、プラズマチャンバー10における雰囲気ガスは、平面電極13が設けられたウェハステージ12の周囲の排気口11より排気されるようになっている。
このドライエッチング装置を用い、パターニングされたArFレジスト5をマスクとして、図1(b)に示すように反射防止膜4を加工する。ドライエッチングガスとしてCF4を用い、CF4ガス流量は240sccm(240mil/min(normal))、チャンバー圧力(プラズマチャンバー10の真空度)は100mTorr(13.33Pa)、高周波電源14のRFパワーは400W、ウェハステージ12の温度は60℃とした。
次に、図1(c)に示すようにシリコン酸化膜3をCF4ガス及び水素ガスの混合ガスを用いて加工する。このとき、CF4ガス流量は140sccm(140mil/min(normal))、水素ガス流量は30sccm(30mil/min(normal))、チャンバー圧力は60mTorr(7.98Pa)、高周波電源14のRFパワーは500Wとした。ここで、CF4ガス及び水素ガスは図2のRIE装置ではガスライン18,19の上流側で繋がった1本のガスライン(不図示)で混合されて、夫々のガスライン18,19からCF4ガスと水素ガスの混合ガスが導入され、ガス吹き出し口17によりウェハ15上に一様に吹き出されている。
また、シリコン酸化膜3のエッチングガスに水素ガスを含んでいるため、このエッチング時にArFレジスト5が、ドライエッチ耐性の向上した変質レジスト層6に改質される。このため、次工程におけるシリコン窒化膜2のエッチング時にArFレジスト5の削れ量が少ないといった効果がある。この効果が生じる理由は明確では無いが、レジスト材料はCH基を有しており、CF4に含まれるカーボン原子と水素ガスの水素原子とにより重合反応が生じ、レジストが変質するためと考えられる。したがって、ArFレジスト5が改質され、レジストの表面及び内部にカーボン原子と水素原子の重合体が生成されると、次工程のシリコン窒化膜エッチング時に対レジスト選択比が向上する。このレジスト改質効果は、CF4ガス及び水素ガスの組み合わせがCHF3またはCH2F2等のガスを用いた場合よりも有効であった。
次に、図1(d)に示すようにシリコン窒化膜2の加工を行う。なお、前工程のシリコン酸化膜3のエッチング終点はプラズマ中のイオンやラジカルなどの発光強度の変化を監視して検出している。
この窒化膜のエッチング加工には、CF4ガスとCH2F2ガスの混合ガスを用いた。このとき、CF4ガス流量は80sccm(80mil/min(normal))、CH2F2ガス流量が20sccm(20mil/min(normal))、チャンバー圧力は140mTorr(18.62Pa)、高周波電源14のRFパワーは500Wとした。
ここで、CF4ガス及びCH2F2ガスは図2のRIE装置ではガスライン18,19の上流側で繋がった1本のガスライン(不図示)で混合されて、夫々のガスライン18,19からCF4ガスとCH2F2ガスの混合ガスが導入され、ガス吹き出し口17によりウェハ15上に一様に吹き出される。このとき、ウェハ面内のエッチングレート均一性を制御するために、エッジガスライン19中に更にCH2F2ガスを2sccm(2mil/min(normal))添加して、ウェハ中央に比べてウェハ外周に吹き出されるCH2F2ガスを多くした。
このように、ウェハ外周とウェハ中央に吹き出すガスの組成(本例のように当該各ガスが同一組成の混合ガスの場合は組成比)を変えた理由は次の通りである。
CF4及び水素ガスの混合ガスにより、シリコン酸化膜層をエッチングする場合には、ウェハ表面上にC原子とF原子からなる重合体であるエッチングデポジションは生じないが、このエッチングが下地のシリコン窒化膜層に達した瞬間に、ウェハ表面にエッチングデポジションが生成される。特に、図2のような一般的なRIE装置の構成ではこのデポジションはウェハ中央の方がウェハ外周よりも多く生成されることが確認されている。このため、シリコン窒化膜2のエッチング時にウェハ面内の均一性を良好に保つことが困難になる。そこで、上記の窒化膜エッチング時において、ウェハ外周にはウェハ中央側よりもCH2F2ガス量が多いCF4ガスとCH2F2ガスの混合ガスを用いること、言い換えればウェハ中央にはウェハ外周側よりもCH2F2ガス量が少ないCF4ガスとCH2F2ガスの混合ガスを用いることで、ウェハ中央におけるエッチングレートをウェハ外周のそれよりも大きくした。すなわち、ガス組成(混合ガスの場合は組成比)のウェハ面内分布を変化させ、エッチングデポジションの不均一性を打ち消すことで、最終的なエッチング形状の面内均一性を良好にすることが可能になる。
また、前工程のシリコン酸化膜エッチング時にArFレジスト5が改質され、対レジスト選択比が向上しているため、CF4ガスとCH2F2ガスの混合ガスで良好にシリコン窒化膜2の加工を行なえた。
なお、以上説明した実施形態では、シリコン窒化膜2の加工に用いるエッチングガスとしてCF4ガスとCH2F2ガスの混合ガスを用いているが、本発明の効果を奏するシリコン窒化膜エッチング用のガスはこれに限られず、CHxFy(x=0〜3、y=4〜1)をエッチングガスとして用いればよい。つまり、CF4、CHF3、CH2F2、またはCH3Fの単独ガスを用いても、あるいは、CF4、CHF3、CH2F2、またはCH3Fのうちの2以上の任意の組み合わせの混合ガスを用いても本発明の効果を奏する。
さらに、窒化膜エッチング形状のウェハ面内均一性を向上するために、ウェハ外周とウェハ中央に吹き出すガスの組成を変える、もしくは、そのガスが同一組成の混合ガスの場合に組成比を変えるとき、そのガスの選定は、ウェハ中央におけるエッチングレートがウェハ外周のそれよりも大きくなるという効果が得られれば任意である。
本発明の活用例として、記憶装置に用いるDRAM半導体装置の製造方法が挙げられる。
1 タングステン
2 シリコン窒化膜
3 シリコン酸化膜
4 反射防止膜
5 ArFレジスト
6 変質レジスト層
10 プラズマチャンバー
11 排気口
12 ウェハステージ(静電チャックステージ)
13 平面電極
14 高周波電源(RF)
15 シリコンウェハ
16 対向電極
17 ガス吹き出し口
18 センターガスライン
19 エッジガスライン
2 シリコン窒化膜
3 シリコン酸化膜
4 反射防止膜
5 ArFレジスト
6 変質レジスト層
10 プラズマチャンバー
11 排気口
12 ウェハステージ(静電チャックステージ)
13 平面電極
14 高周波電源(RF)
15 シリコンウェハ
16 対向電極
17 ガス吹き出し口
18 センターガスライン
19 エッジガスライン
Claims (3)
- ドライエッチング法を用いてArFレジストをマスクとして、シリコン窒化膜及びシリコン酸化膜がこの順番で積層された積層膜をエッチングする際、前記シリコン酸化膜のエッチング時にCF4及び水素の混合ガスをエッチングガスとして用い、前記シリコン窒化膜のエッチング時にはCHxFy(x=0〜3、y=4〜1)をエッチングガスとして用いる半導体装置の製造方法。
- シリコン窒化膜のエッチング時に、ウェハ中央におけるエッチングレートがウェハ外周のそれよりも大きくなるように、ウェハ中央とウェハ外周に吹き出すガスの組成もしくは組成比を変えることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ドライエッチングにはリアクティブイオンエッチング装置を用いることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006007522A JP2007189153A (ja) | 2006-01-16 | 2006-01-16 | 半導体装置の製造方法 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8865580B2 (en) | 2012-02-22 | 2014-10-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pattern forming method, semiconductor device manufacturing method, and coating apparatus |
KR20150053926A (ko) | 2012-09-13 | 2015-05-19 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 피처리 기체를 처리하는 방법 및 플라즈마 처리 장치 |
WO2018037799A1 (ja) * | 2016-08-25 | 2018-03-01 | 日本ゼオン株式会社 | プラズマエッチング方法 |
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2006
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US9583361B2 (en) | 2012-09-13 | 2017-02-28 | Tokyo Electron Limited | Method of processing target object and plasma processing apparatus |
WO2018037799A1 (ja) * | 2016-08-25 | 2018-03-01 | 日本ゼオン株式会社 | プラズマエッチング方法 |
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