JP5051937B2 - 誘電体磁器及びその製法並びに積層セラミックコンデンサ - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、誘電体磁器及びその製法並びに積層セラミックコンデンサに関し、特に、積層セラミックコンデンサに最適な誘電体磁器及びその製法並びに積層セラミックコンデンサに関するものである。
【0002】
【従来技術】
従来の積層セラミックコンデンサは、複数のセラミック層と、複数の長方形状の内部電極を交互に積層してなる積層体の上下面に、上側端面セラミック層および下側端面セラミック層が形成されて、コンデンサ本体が形成されており、このコンデンサ本体の両端部に外部電極を設けて構成されていた。
【0003】
このような積層セラミックコンデンサは、例えば、先ず、PETフィルム上に、セラミック粉末、有機バインダーおよび溶剤を含むセラミックスラリーを塗布し、乾燥後、これをPETフィルムから剥離して複数のセラミックグリーンシーを形成し、これらを複数積層して下側と上側の端面セラミックグリーンシートを形成する。この下側端面セラミックグリーンシートを台板上に配置し、プレス機により圧着して貼り付ける。
【0004】
一方、PETフィルム上に上記と同様のセラミックスラリーを塗布し、乾燥後、このセラミックグリーンシート上に、例えば、Ni、Cu、Ag−Pdのうち一種を含む内部電極ペーストを塗布して、セラミックグリーンシート上に長方形状の内部電極パターンを複数形成した後、この内部電極パターンが形成されたグリーンシートをPETフィルムから剥離する。
【0005】
この後、下側端面セラミックグリーンシートの上に、内部電極パターンが形成されたグリーンシートを積層し、プレス機により加圧して仮固定する工程を繰り返して内部電極パターンが形成されたグリーンシートを所定枚数積層し、次に、上側端面セラミックグリーンシートを積層し、複数のセラミックグリーンシートと、複数の長方形状の内部電極パターンを交互に積層してなる積層成形体の上下面に、端面セラミックグリーンシート層が積層されたコンデンサ本体成形体を作製する。
【0006】
次に、セラミックグリーンシートと内部電極パターンが交互に積層されたコンデンサ本体成形体を、セラミックグリーンシートおよび内部電極パターンが軟化する温度に一挙に加熱した状態で積層方向からプレス機により加圧して圧着し、さらに、この後、コンデンサ本体成形体の上部にゴム型を配置し、上記と同様の温度に加熱した状態で静水圧成形する。
【0007】
この後、所定のチップ形状にカットし、1×10-9Pa以下の酸素分圧で1100〜1300℃で焼成し、この後、降温過程において、1000〜300℃で、酸素分圧を1×10-7Pa以上として酸化処理し、コンデンサ本体が作製される。
【0008】
この後、コンデンサ本体の両端面に外部電極ペーストを塗布して、焼き付けることにより、積層セラミックコンデンサが形成されていた。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
一般に、積層セラミックコンデンサの体積当たりの静電容量を大きくするためには、誘電体層を薄層化したり、誘電体層の高誘電率化を図ることが行われているが、誘電体層を薄層化、例えば、3μm以下にしようとすると、セラミックグリーンシートがプレス機の加圧力に応じて伸び、層厚が薄くなり、ショートの発生率が増加するという問題があった。特に、セラミックグリーンシートを薄くすればする程ショート発生率が増加し、信頼性が低下するという問題があった。
【0010】
また、従来から知られているチタン酸バリウムを主成分とし、マグネシウム、マンガン、及び希土類元素を含む誘電体材料は、平坦な温度特性を有するものの、比誘電率は4200以下であり、さらに高誘電率化が要求されていた。
【0011】
本発明は、比誘電率を大きくできる誘電体磁器及びその製法を提供することを目的とし、さらには誘電体層を薄層化することなく単位体積当たりの静電容量を大きくすることができ、信頼性の高い積層セラミックコンデンサを提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明の誘電体磁器は、BaTiO3100モル部と、該BaTiO3100モル部に対して、YをY2O3換算で0.4〜3.0モル部、MgをMgO換算で0.5〜8.0モル部、MnをMnO換算で0.04〜0.5モル部含有するとともに、ガラス成分として、Si、Ba、CaおよびLiのモル比による組成式を、aSiO 2 +bBaO+cCaO+dLi 2 Oと表したとき、a、b、cおよびdが、0.30≦a≦0.70、0.10≦b≦0.40、0.10≦c≦0.40、0.05≦d≦0.30、a+b+c+d=1を満足する成分を、BaTiO 3 100重量部に対して1〜4重量部含有し、25℃における比誘電率が4300以上であることを特徴とする。
【0013】
このような25℃における比誘電率が4300以上の誘電体磁器は、チタン酸バリウムを主成分とし、酸化マグネシウム、酸化マンガン及び希土類元素酸化物を含有する成形体を焼結した後、一旦焼結温度から700℃以下まで冷却し、再度900℃以上まで温度を上げて熱処理する誘電体磁器の製法において、焼結後1000℃から700℃までの降温過程における酸素分圧を1×10-17〜1×10-10Paとすることにより得られる。
【0014】
このように、焼成後1000℃から700℃までの降温過程における酸素分圧を1×10-17〜1×10-10Paとすることにより、1000℃から700℃までの降温過程で還元処理し、その後、再度900℃以上まで温度を上げて熱処理することにより、酸素拡散速度が大きくなって誘電体磁器に効率的に酸素が補給され、平坦な温度特性を有しながら比誘電率を4300以上とできる。
【0015】
ここで、20℃の比誘電率に対する−25〜85℃での比誘電率の温度変化率が±15%以内であることが望ましい。
【0017】
本発明の積層セラミックコンデンサは、卑金属を主成分とする内部電極と誘電体層を交互に積層してなる積層セラミックコンデンサであって、前記誘電体層が、上記誘電体磁器からなるものである。
【0018】
【発明の実施の形態】
本発明の誘電体磁器は、チタン酸バリウムを主成分とし、酸化マグネシウム、酸化マンガン及び希土類元素酸化物を含有するとともに、25℃における比誘電率が4300以上、特に4500以上のものである。20℃の比誘電率に対する−25〜85℃での比誘電率の温度変化率が±15%以内であることが望ましい。
【0019】
希土類元素としては、Y,La,Ce,Pr,Nd,Sm,Dy,Ho,Er,Yb等があるが、これらのうちでも、Y,Ho,Er,Ybが高温負荷寿命の延長という点から望ましい。また、本発明の誘電体磁器を形成する元素として、焼結性という点から、ガラス成分としてSi、BaおよびCaを含有すること、さらにはこれにLiを含有することが望ましく、さらには、焼結性向上という点からK,B等を添加しても良い。
【0020】
本発明の誘電体磁器は、BaTiO3100モル部と、BaTiO3100モル部に対して、YをY2O3換算で0.4〜3.0モル部、MgをMgO換算で0.5〜8.0モル部、MnをMnO換算で0.04〜0.5モル部含有するとともに、ガラス成分として、Si、Ba、CaおよびLiのモル比による組成式を、aSiO 2 +bBaO+cCaO+dLi 2 Oと表したとき、a、b、cおよびdが、0.30≦a≦0.70、0.10≦b≦0.40、0.10≦c≦0.40、0.05≦d≦0.30、a+b+c+d=1を満足する成分を、BaTiO 3 100重量部に対して1〜4重量部含有する。
【0021】
本発明の誘電体磁器は、少なくともBaおよびTiを含有するペロブスカイト型複合酸化物からなる主結晶粒子と、この主結晶粒子中に、Y、Mg、Mnが固溶しており、また、粒界にも、Y2O3、MgO、MnO相を含む場合がある。
また、粒界には、Si、BaおよびCaを含むガラス相が形成されている。ガラス相中にはLiを含むことが望ましい。
【0022】
さらに、本発明の誘電体磁器には、Fe、Al等の原料中の不可避不純物が混入したり、例えば粉砕ボールのボール成分、例えばZrO2等が製造工程中に混入する場合がある。
【0024】
ここで、Y2O3を0.4〜3.0モル部含有したのは、0.4モル部未満では絶縁抵抗が低くなり、CR積が小さくなる傾向があり、3.0モル部を越える場合には比誘電率が低下する傾向があるからである。比誘電率の観点から、Y2O3は、BaTiO3100モル部に対して0.5〜2.0モル部含有することが好ましい。
【0025】
MgOを0.5〜8.0モル部含有したのは、0.5モル部未満の場合には絶縁抵抗が低くなり、CR積が小さくなる傾向があり、8.0モル部を越える場合には比誘電率が低下する傾向があるからである。とりわけ、MgOは、BaTiO3100モル部に対して0.5〜2.0モル部が好ましい。
【0026】
MnOを0.04〜0.5モル部含有したのは、0.04モル部未満の場合には絶縁抵抗が低くなり、CR積が小さくなる傾向があり、0.5モル部を越える場合には容量の経時変化が大きくなる傾向があるからである。とりわけ、MnOはBaTiO3100モル部に対して0.1〜0.4モル部含有することが好ましい。
【0027】
さらに、モル比による組成式が、aSiO2+bBaO+cCaO+dLi2Oで表わされる副成分(ガラス成分)を、BaTiO3100重量部に対して1〜4重量部含有したのは、副成分が1重量部未満の場合には焼結性が低下し、絶縁抵抗が低くなり、CR積が小さくなる傾向があり、4重量部を越える場合には、比誘電率、絶縁抵抗が低くなる傾向があるからである。副成分は、BaTiO3100重量部に対して1〜2.5重量部であることが望ましい。
【0028】
副成分のうち、SiO2のモル比を示すaを、0.30≦a≦0.70としたのは、モル比aが0.30未満の場合には焼結性が低下する傾向があり、0.70を越える場合には比誘電率が低下する傾向があるからである。SiO2のモル比aは、より効果を得るためには0.40≦a≦0.60が好ましい。
【0029】
また、BaOのモル比を示すbを0.10≦b≦0.40としたのは、モル比bが0.10未満の場合には焼結性が低下する傾向があり、0.40を越える場合には焼結性が低下し、比誘電率が低下する傾向があるからである。とりわけ、BaOのモル比を示すbは0.10≦b≦0.25が好ましい。
【0030】
CaOのモル比を示すcを0.10≦c≦0.40としたのは、モル比cが0.10未満の場合には焼結性が低下する傾向があり、0.40を越える場合には焼結性が低下し、比誘電率が低下する傾向があるからである。とりわけ、CaOのモル比を示すcは、0.10≦c≦0.25が好ましい。
【0031】
Li2Oのモル比を示すdを0.05≦d≦0.30としたのは、モル比dが0.05未満の場合には焼結性が低下する傾向があり、0.30を越える場合には絶縁抵抗が低下する傾向があるからである。
【0032】
本発明の比誘電率が4300以上の誘電体磁器は、チタン酸バリウムを主成分とし、酸化マグネシウム、酸化マンガン及び希土類元素酸化物を含有する成形体を焼結した後、一旦焼結温度から700℃以下まで冷却し、再度900℃以上まで温度を上げて熱処理する誘電体磁器の製法において、焼結後1000℃から700℃までの降温過程における酸素分圧を1×10-17〜1×10-10Paとすることにより得られる。
【0033】
本発明の誘電体磁器は、具体的には、例えば、BaTiO3粉末に、MnCO3粉末、Y2O3粉末、およびMgO粉末、ガラス成分(SiO2、BaO、CaO、Li2O)を加えた粉末に、水および分散剤を加え、ボールミルにて混合粉砕した後、有機バインダーを混合し、所定厚みのシート状に成形した後、例えば、酸素分圧3×10-8〜3×10-3Pa、温度1100〜1300℃で0.5〜3時間焼結する。
【0034】
即ち、図1に示すように、例えば、昇温速度150〜400℃/hで昇温し、焼成温度1100〜1300℃で0.5〜3時間焼成した後、焼結温度から700℃以下、特には600〜300℃まで降温し、この後、酸素分圧1×10-2〜2×104Paで900℃以上、特には、温度900〜1100℃で0.5〜7時間熱処理を行うが、この際に、700℃以下までの降温工程において、1000℃から700℃以下の降温度に降温する際の酸素分圧を1×10-17〜1×10-10Paとし、還元処理する必要がある。
【0035】
1000℃から700℃での降温時における酸素分圧を1×10-17〜1×10-10Paとしたのは、1000℃から700℃での降温時における酸素分圧が1×10-17よりも低いと、磁器強度が低下するからであり、1×10-10Paよりも高いと誘電率が低下するからである。
【0036】
また、酸素分圧を1×10-17〜1×10-10Paに制御する温度を1000℃から700℃としたのは、粒成長を抑制しながら還元処理を行うことができるからである。
【0037】
1000℃から700℃までの降温速度は、還元処理を進めるという点から、50〜500℃/hが望ましく、この際の酸素分圧は、信頼性を高めるという点から1×10-16〜3×10-11Paが望ましい。特に、高誘電率とするためには、900℃から750℃の降温過程において酸素分圧を1×10-15〜1×10-11Paの間に制御することが望ましい。
【0038】
降温度700℃以下までの降温速度は200〜300℃/hが信頼性を高めるという点から望ましい。また、降温度から熱処理温度までの昇温速度は200〜300℃/hが信頼性を向上するという点から望ましい。熱処理条件は900〜1050℃が望ましい。
【0039】
尚、MnCO3粉末の代わりにMnO2粉末、MgO粉末の代わりにMgCO3粉末、BaO、CaO、Li2Oとして炭酸塩粉末を用いても良いことは勿論である。
【0040】
本発明の誘電体磁器は、上記した誘電体磁器と、卑金属、特にNiを主成分とする内部電極層とを交互に積層した積層体に、一対の外部電極を形成した積層セラミックコンデンサに好適に用いられる。
【0041】
本発明における誘電体磁器のBaTiO3粒子は、誘電損失低減と誘電率向上という観点から平均粒径0.2〜1μmのものが望ましい。
【0042】
【実施例】
先ず、BaTiO3を主成分とし、この主成分100モル部に対して、Y2O3、MgO、MnCO3を、それぞれY2O3、MgO、MnO換算で表1に示す量だけ添加した誘電体粉末に、SiO2粉末、BaCO3粉末、CaCO3粉末、Li2CO3粉末が、SiO2、BaO、CaO、Li2O換算で表1で示したモル比となる副成分を、BaTiO3100重量部に対して、表1に示す割合だけ添加し、これに、水および分散剤を加え、ボールミルにて混合粉砕した後、ZrO2を用いたボールミルにて混合粉砕し、有機バインダーを混合し、得られたスラリーを厚み5μmのフィルム状シートに成形した。
【0043】
このフィルム状シートに、ニッケル粉末に有機可塑剤を加えたNiペーストをスクリーン印刷法により印刷した後、これを100層積層し、最上層にNiペーストを印刷していないフィルム状シートを積層し、熱圧着後、切断した。
【0044】
これを大気中、300℃の温度で4時間加熱して脱バインダー処理し、引き続いて、昇温速度300℃/hで温度を上げて、温度1260℃、酸素分圧1×10-6Paで2時間焼成し、焼結した。この後、表1に示す降温度まで300℃/hで降温したが、この際に表1に示す温度範囲で、表1に示す酸素分圧で降温し、還元処理した。
【0045】
次に、表1に示す温度まで300℃/hで温度を上げて加熱し、酸素分圧1×10Paで2時間熱処理し、磁器の寸法2.0mm×1.1mm×0.9mm、1層の有効電極面積1.05mm2、誘電体層厚み4μm×100層のコンデンサ本体を得た。その後、このコンデンサ本体の両端面に銅ペーストを塗布し、900℃で焼き付けて外部電極を形成し、さらにその上にNiメッキ及びSnメッキを施し、本発明の積層セラミックコンデンサを得た。
【0046】
比較例として、焼結温度からの降温過程において酸素分圧を1×10-7〜1×10-4Paとし、熱処理した試料も用意した。尚、表2では、熱処理の酸素分圧を還元処理の欄に記載した。
【0047】
次にこれらの評価試料を、LCRメーター4284Aを用いて、周波数1.0kHz、入力信号レベル1.0Vrmsにて−25℃、20℃、25℃及び85℃における静電容量および誘電損失を測定し、比誘電率を算出するとともに、20℃の比誘電率に対する−25℃、85℃での比誘電率の温度変化率を算出した。
【0048】
また、絶縁抵抗計DSM8103を用いて、DC10Vを60秒間印加した後に、電極間の絶縁抵抗値を測定した。これらの結果を表1にまとめた。
【0049】
【表1】
【0050】
【表2】
【0051】
この表1、2から、焼結温度からの降温過程において酸素分圧を1×10-7〜1×10-4Paとした比較例の場合、+25℃における誘電率は3500程度であったのに対して、1000℃から700℃の降温過程において酸素分圧を1×10-17〜1×10-10Paに制御して還元処理した本発明の試料では、誘電率は4300以上であった。
【0052】
【発明の効果】
本発明の誘電体磁器は、チタン酸バリウムを主成分とし、マグネシウム、マンガン及び希土類元素を含有する成形体を焼結させた後、一旦700℃以下まで冷却した後、再度900℃以上まで温度を上げて熱処理する製造方法において、1000℃から700℃までの降温過程における酸素分圧を、1×10-17〜1×10-10Paとすることによって、25℃における比誘電率を4300以上とすることができ、このような誘電体磁器を用いて積層セラミックコンデンサを作製することにより、誘電体層を薄層化することなく単位体積当たりの静電容量を大きくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の焼成パターンを示すグラフである。
Claims (4)
- BaTiO3100モル部と、該BaTiO3100モル部に対して、YをY2O3換算で0.4〜3.0モル部、MgをMgO換算で0.5〜8.0モル部、MnをMnO換算で0.04〜0.5モル部含有するとともに、ガラス成分として、Si、Ba、CaおよびLiのモル比による組成式を、aSiO2+bBaO+cCaO+dLi2Oと表したとき、a、b、cおよびdが、0.30≦a≦0.70、0.10≦b≦0.40、0.10≦c≦0.40、0.05≦d≦0.30、a+b+c+d=1を満足する成分を、BaTiO3100重量部に対して1〜4重量部含有し、25℃における比誘電率が4300以上であることを特徴とする誘電体磁器。
- 20℃の比誘電率に対する−25〜85℃での比誘電率の温度変化率が±15%以内であることを特徴とする請求項1記載の誘電体磁器。
- 請求項1または2に記載の誘電体磁器の製法であって、チタン酸バリウムを主成分とし、酸化マグネシウム、酸化マンガン及び酸化イットリウムを含有する成形体を焼結した後、1000℃から700℃までの降温過程における酸素分圧を1×10−17〜1×10−10Paとして、700℃以下まで冷却し、再度900℃以上まで温度を上げて熱処理することを特徴とする誘電体磁器の製法。
- 卑金属を主成分とする内部電極と誘電体層とを交互に積層してなる積層セラミックコンデンサであって、前記誘電体層が、請求項1または2に記載の誘電体磁器からなることを特徴とする積層セラミックコンデンサ。
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