JP4111754B2 - セラミックコンデンサ及びその誘電体組成物並びにその製造方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、セラミックコンデンサの誘電体層の材料として好適な誘電体組成物とこの誘電体組成物を誘電体層に有するセラミックコンデンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子回路の小型化、高密度化に伴い、積層セラミックコンデンサも小型化、大容量化が強く求められている。それらを解決する方法として誘電体層を薄膜或いはできるだけ薄い誘電体層にする手法があるが、その際、誘電体層に用いられる誘電体組成物としては比抵抗や機械的強度が高いことが望ましい。
【０００３】
また、積層セラミックコンデンサ等に用いられる誘電体組成物は、還元性の雰囲気下で焼成すると還元され、半導体化するという性質を有している。このため、還元性の雰囲気下と異なる高い酸素分圧化において焼成しても酸化されないような内部電極、例えば、パラジウム、白金、銀−パラジウム等の貴金属材料がこれに用いられてきた。
【０００４】
しかし、これらの貴金属は高価であるため積層セラミックコンデンサの低価格化、高容量化を図る上で妨げとなっていた。
【０００５】
内部電極の材料としてＮｉ（ニッケル）などの卑金属を用いた場合、内部電極の酸化を防止するためには、誘電体組成物と内部電極とを交互に積層した積層体の焼成を還元雰囲気中で行わなければならない。
【０００６】
しかし、還元雰囲気中で焼成すると、上述のように誘電体層が還元され、比抵抗が低下するなど、セラミックコンデンサとしての所望の電気特性が得られないという問題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、高い比誘電率並びにその他の優れた電気的特性及び優れた機械的特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長い誘電体組成物及びこの誘電体組成物を用いたセラミックコンデンサを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、主成分の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる物質からなり、副成分物質が少なくともＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物とであることを特徴とする誘電体組成物（但し、Ｓｉはシリコン、Ｍｎはマンガン、Ｃｒはクロムを表す）である。
【０００９】
このような組成の誘電体組成物は還元雰囲気中において焼結し、静電容量の温度係数が安定した範囲にあり、比誘電率及び比抵抗が高く、抗折強度も良好な特性を有した非還元性の誘電体組成物として提供することができる。
【００１０】
請求項２の発明は、誘電体組成物からなる１又は２以上の誘電体層とこの誘電体層を挟持している内部電極とを備えたセラミックコンデンサにおいて、前記誘電体層の組成物が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる主成分物質に少なくとも副成分物質として、Ｓｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物とを有した誘電体組成物であることを特徴とするセラミックコンデンサである。
【００１１】
このようなセラミックコンデンサは、上述のように高い比誘電率及びその他の優れた電気特性や優れた機械的特性を有した誘電体組成物を用いているので、誘電体層を薄膜や薄層化し、セラミックコンデンサの小型化と大容量化とを図ることができる。
【００１２】
請求項３の発明は、主成分物質の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる物質に、副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質をＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で加え、これらの物質を非酸化性雰囲気中乃至は還元性雰囲気中で混合焼成した後、酸化雰囲気中で熱処理することにより、焼成物とし、該焼成物中における上記組成中のＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値を０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値を０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値を０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にした誘電体組成物の製造方法である。
【００１３】
このような誘電体組成物の製造方法を用いることにより、従来と同様な製造工程を用いつつ、高い比誘電率で優れた諸電気特性や優れた機械的特性を有した誘電体組成物を製造し、高性能のセラミックコンデンサの提供を実現することができる。
【００１４】
請求項４の発明は、主成分の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる物質と、該主成分の物質に副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質をＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で添加し、これらを混合焼成して得られる誘電体組成物であって、該誘電体組成物中におけるＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値が０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値が０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値が０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にあり、かつ、該誘電体組成物中のＳｉの酸化物の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にある誘電体組成物である。
【００１５】
このような組成の誘電体組成物は還元雰囲気中において１２５０℃以下で焼結し、２５℃基準で１２５℃の静電容量の温度係数が±３０ｐｐｍ／℃の範囲にあり、２５℃での比誘電率が３５以上、１５０℃での比抵抗ρが１×１０の１３乗Ωｃｍ以上、抗折強度が１４０００ｋｇｆ／ｍｍ２（キログラム重／平方ミリメートル）以上の特性を有した非還元性の誘電体組成物として提供することができる。
【００１６】
請求項５の発明は、誘電体組成物からなる１又は２以上の誘電体層とこの誘電体層を挟持している内部電極とを備えたセラミックコンデンサにおいて、前記誘電体組成物が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる主成分物質と、副成分物質として少なくともＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物を有し、該誘電体組成物の中のＳｉの酸化物の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にある誘電体組成物として前記誘電体層に配されているセラミックコンデンサである。
【００１７】
このようなセラミックコンデンサは、上述のように高い比誘電率及びその他の優れた電気特性や優れた機械的特性を有した誘電体組成物を用いているので、誘電体層を薄膜や薄層化し、セラミックコンデンサの小型化と大容量化とを図ることができる。
【００１８】
請求項６の発明は、誘電体組成物からなる１又は２以上の誘電体層とこの誘電体層を挟持している内部電極とを備えたセラミックコンデンサにおいて、前記誘電体組成物が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる物質からなる主成分物質と、少なくとも副成分物質としてＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物からなり、誘電体組成物は、該誘電体組成物中のＳｉの酸化物の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲の誘電体組成物として誘電体層に配され、かつ、前記内部電極が卑金属を主成分とする金属で形成されていることを特徴とするセラミックコンデンサである。
【００１９】
このようなセラミックコンデンサは、コンデンサの性能の低下を抑制しつつセラミックコンデンサの内部電極に卑金属材料を用いてセラミックコンデンサの低価格化を実現することができる。なお、内部電極を形成する卑金属としてＮｉ（ニッケル）を用いているが、これ以外に、Ｎｉ合金、Ｃｕ（銅）、Ｃｕ合金、その他の卑金属を使用することもできる。
【００２０】
請求項７の発明は、主成分物質の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる主成分物質と、副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質をＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態の混合物として非酸化性雰囲気中乃至は還元性雰囲気中で焼成した後、酸化雰囲気中で熱処理して、焼成物とし、該焼成物中におけるＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値を０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値を、０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比をｙの値を０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にし、かつ、前記誘電体組成物中のＳｉの酸化物の含有割合ｓを０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔを０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕを０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にした誘電体組成物の製造方法である。
【００２１】
このような誘電体組成物の製造方法を用いることにより、従来と同様な製造工程を用いつつ、上述のように高い比誘電率で優れた諸電気特性や優れた機械的特性を有した誘電体組成物を製造し、高性能のセラミックコンデンサの提供を実現することができる。
【００２２】
請求項８の発明は、主成分の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる物質と、該主成分の物質に副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質をＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で添加する第一の添加物と、Ｓｃ（スカンジウム）およびＹ（イットリウム）を含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ（ニオブ）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｔａ（タンタル）およびＷ（タングステン）の酸化物を１種または２種以上、酸化物或いは水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で添加する第二の添加物とを添加し、これらを混合焼成して得られる誘電体組成物であって、該誘電体組成物中におけるＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値が０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値が０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値が０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にあり、かつ、該誘電体組成物中のＳｉの酸化物の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にあり、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物の含有割合ｖが０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％の範囲にある誘電体組成物である。
【００２３】
但し、Ｌａはランタン、Ｃｅはセリウム、Ｐｒはプラセオジウム、Ｎｄはネオジウム、Ｓｍはサマリウム、Ｅｕはユウロピウム、Ｇｄはガドリニウム、Ｔｂはテルビウム、Ｄｙはジスプロシウム、Ｈｏはホルミウム、Ｅｒはエルビウム、Ｔｍはツリウム、Ｙｂはイッテルビウム、Ｌｕはルテチウムを表す。
【００２４】
このような組成の誘電体組成物は還元雰囲気中において１２５０℃以下で焼結し、２５℃基準で１２５℃の静電容量の温度係数が±３０ｐｐｍ／℃の範囲にあり、２５℃での比誘電率が３５以上、１５０℃での比抵抗ρが１×１０の１３乗Ωｃｍ以上、抗折強度が１４０００ｋｇｆ／ｍｍ２（キログラム重／平方ミリメートル）以上の特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長い非還元性の誘電体組成物として提供することができる。
【００２５】
請求項９の発明は、誘電体組成物からなる１又は２以上の誘電体層とこの誘電体層を挟持している内部電極とを備えたセラミックコンデンサにおいて、前記誘電体層の組成物が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる主成分物質と、副成分物質として少なくともＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物を含有する第一の添加物と、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物を有し、該誘電体組成物中のＳｉの酸化物の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にあり、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物の含有割合ｖが０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％の範囲にある誘電体組成物として誘電体層に配されているセラミックコンデンサである。
【００２６】
このようなセラミックコンデンサは、上述のように高い比誘電率及びその他の優れた電気特性や優れた機械的特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長い誘電体組成物を用いているので、誘電体層を薄膜や薄層化し、セラミックコンデンサの小型化と大容量化および高信頼性化を図ることができる。
【００２７】
請求項１０の発明は、誘電体組成物からなる１又は２以上の誘電体層とこの誘電体層を挟持している内部電極とを備えたセラミックコンデンサにおいて、前記誘電体層の組成物が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる物質からなる主成分物質と、少なくとも副成分物質としてＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物からなる第一の添加物と、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物を有し、誘電体組成物は、該誘電体組成物中のＳｉの酸化物の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にあり、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物の含有割合ｖが０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％の範囲にある誘電体組成物として誘電体層に配され、かつ、前記内部電極が卑金属を主成分とする金属で形成されていることを特徴とするセラミックコンデンサである。
【００２８】
このようなセラミックコンデンサは、コンデンサの性能の低下を抑制しつつセラミックコンデンサの内部電極に卑金属材料を用いてセラミックコンデンサの低価格化を実現することができる。なお、内部電極を形成する卑金属としてＮｉ（ニッケル）を用いているが、これ以外に、Ｎｉ合金、Ｃｕ（銅）、Ｃｕ合金、その他の卑金属を使用することもできる。
【００２９】
請求項１１の発明は、主成分物質の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる主成分物質と、副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質を含有する第一の添加物を、Ｓｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で混合し、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上を含有する第二の添加物を、酸化物或いは水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で混合し、混合物として非酸化性雰囲気中乃至は還元性雰囲気中で焼成した後、酸化雰囲気中で熱処理して、焼成物とし、該焼成物中におけるＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値を０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値を０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値がを０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にし、かつ、該誘電体組成物中のＳｉの酸化物の含有割合ｓを０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔを０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕを０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にし、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物の含有割合ｖを０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％の範囲にあるようにした誘電体組成物の製造方法である。
【００３０】
このような誘電体組成物の製造方法を用いることにより、従来と同様な製造工程を用いつつ、上述のように高い比誘電率で優れた諸電気特性や優れた機械的特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長い誘電体組成物を製造し、高性能のセラミックコンデンサの提供を実現することができる。
【００３１】
請求項１２の発明は、主成分の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる物質からなり、副成分物質が少なくともＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物とを含有する第一の添加物と、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物とであることを特徴とする誘電体組成物である。
【００３２】
このような組成の誘電体組成物は還元雰囲気中において焼結し、静電容量の温度係数が安定した範囲にあり、比誘電率及び比抵抗が高く、抗折強度も良好な特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長い非還元性の誘電体組成物として提供することができる。
【００３３】
請求項１３の発明は、誘電体組成物からなる１又は２以上の誘電体層とこの誘電体層を挟持している内部電極とを備えたセラミックコンデンサにおいて、前記誘電体層の組成物が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる主成分物質に少なくとも副成分物質として、Ｓｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物とを含有する第一の添加物と、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物とを有した誘電体組成物であることを特徴とするセラミックコンデンサである。
【００３４】
このようなセラミックコンデンサは、上述のように高い比誘電率及びその他の優れた電気特性や優れた機械的特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長い誘電体組成物を用いているので、誘電体層を薄膜や薄層化し、セラミックコンデンサの小型化と大容量化および高信頼性化を図ることができる。
【００３５】
請求項１４の発明は、主成分物質の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる物質に、副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質をＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で加え、これらの物質を非酸化性雰囲気中乃至は還元性雰囲気中で混合焼成した後、酸化雰囲気中で熱処理することにより、焼成物とし、該焼成物中における上記組成中のＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値を０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値を０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値を０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にした誘電体組成物の製造方法である。
【００３６】
このような誘電体組成物の製造方法を用いることにより、従来と同様な製造工程を用いつつ、高い比誘電率で優れた諸電気特性や優れた機械的特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長い誘電体組成物を製造し、高性能のセラミックコンデンサの提供を実現することができる。
【００３７】
ここで、主成分の組成式（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３において、Ｍｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比であるｘの値は、０．７≦ｘ≦０．９５が好ましい。ｘの値が０．９５を超えると比誘電率εsが低下し、また、ｘの値が０．７未満になると温度係数ＴＣがマイナス側に大きくなり過ぎるという不都合を生ずるからである。
【００３８】
なお、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒを意味し、ＣａとＳｒは、両材料の組み合わせでも良いし、いずれか一方の材料だけでも良い。
【００３９】
また、主成分の組成式（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３において、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値は、０．９≦ｋ≦１．１が好ましい。ｋの値が０．９未満になったり、１．１を超えると誘電体組成物を積層した積層体の焼結性が悪化し、１２５０℃以下で緻密な焼結体が得られなくなるからである。
【００４０】
また、主成分の組成式（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３において、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値は、０．０２≦ｙ≦０．１が好ましい。ｙの値が０．０２未満になると比誘電率εsが低下し、また、ｙの値が０．１を超えると温度係数ＴＣがマイナス側に大きくなり過ぎるという不都合を生ずるからである。
【００４１】
誘電体組成物中におけるＳｉの酸化物 の含有割合であるｓは、０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％が望ましい。ｓが０．５０ａｔｍ％未満になると、積層体の焼結性が悪化し、２．０ａｔｍ％を超えると、焼結性を阻害し積層体の強度が低下するからである。
【００４２】
また、誘電体組成物中におけるＭｎの酸化物の含有割合tは、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％が望ましい。tが０．５ａｔｍ％未満になると、積層体の焼結性が悪化し、３．０ａｔｍ％を超えると、積層体の強度が低下するためである。
【００４３】
また、誘電体組成物中におけるＣｒの酸化物の含有割合ｕは、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％が望ましい。０．０６ａｔｍ％未満になると、積層体の強度が低下し、０．５ａｔｍ％を超えると、１５０℃における比抵抗が低下するためである。
【００４４】
また、誘電体組成物中におけるＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する割合ｖは、０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％が望ましい。０．２ａｔｍ％未満になると、比抵抗の加速寿命時間延長効果が得難くなり、１．０ａｔｍ％を超えると、積層体の焼結性が悪化するためである。
【００４５】
この発明の誘電体組成物及びセラミックコンデンサの製造方法の一例を説明する。
【００４６】
誘電体組成物の原材料として、ＭｅＣＯ３、ＢａＣＯ３、ＺｒＯ２、ＴｉＯ２等を秤量して、焼成後の主成分物質の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる物質となるように混ぜるとともに、この原材料を分散媒、水、ビーズの入った容器に入れて混合し、これらの主成分物質を粉砕し、混合させつつ微細粉末化する。主成分物質が均質に微細粉末化され混合されたら、これを容器から取り出し、乾燥させた後、約１２００℃で仮焼成して誘電体のベース材を作る。
【００４７】
次に、この主成分物質のベース材に副成分物質として、Ｓｉ酸化物とＭｎ酸化物とＣｒ酸化物とを含有する第一の添加物が上述した所定の含有量の範囲で得られるように、ＳｉＯ２等のＳｉの酸化物その他のＳｉの酸化物及び／又は水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩をこれらのいずれかの形態で加え、Ｍｎ２Ｏ３等のＭｎの酸化物その他のＭｎの酸化物及び／又は水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩をこれらのいずれかの形態で加え、Ｃｒ２Ｏ３等のＣｒの酸化物その他のＣｒの酸化物及び／又は水酸化物、酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩をこれらのいずれかの形態で秤量して加え、第二の添加物として、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔａあるいは、Ｗの酸化物のうちの１種または２種以上を、酸化物或いは水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で上述した所定の含有量の範囲で得られるように秤量して加え、これらを分散媒、水、ビーズの入った容器に入れて混合して粉砕し、主成分物質と第一の添加物および第二の添加物からなる副成分物質とを均質に混合させつつ微細粉末化する。
【００４８】
主成分物質と第一の添加物および第二の添加物からなる副成分物質とが微細粉末化され均質に混合されたら、この混合物を容器から取り出し、乾燥させると主成分物質と副成分物質とからなる未焼結の磁器粉末からなる誘電体の混合物材料が得られる。
【００４９】
この誘電体の混合物材料を、バインダ、溶剤、分散剤、ビーズの入った容器に入れ、混合、再粉砕してスラリー化し、このスラリーを、ドクターブレード法等によって薄膜状のセラミック未焼結シート（セラミックグリーンシート）に成形し、乾燥させて巻き取る。
【００５０】
この後、セラミック未焼結シート上には、金属粉末を糊状にした導電ペーストで内部電極のパターンを印刷する。
【００５１】
導電ペーストとしては、樹脂中にＮｉ、Ｎｉ合金やＣｕその他の安価な卑金属粉末を分散させた導電ペーストが用いられる。
【００５２】
内部電極が印刷されたセラミック未焼結シートを複数、積み重ねることにより、誘電体層は、積み重ねられた数の内部電極で挟持された構造のセラミックシートの積層体が得られる。
【００５３】
このようにして積み重ねられたセラミック未焼結シートの積層体は加圧圧着された後、セラミックコンデンサの大きさの素子（積層体チップ）に分割される。
【００５４】
積層体チップは、さらに、非酸化性雰囲気中乃至はＨ２（水素）等が混入されて、やや還元性の雰囲気となるように調整された雰囲気中において、導電ペースト内の金属が酸化されないようにしつつ、バインダーが加熱除去され、１２５０℃以下の温度で焼成、焼結などの熱処理が施される。
【００５５】
ここで、非酸化性雰囲気乃至は還元性の雰囲気としては、Ｈ２やＣＯ（一酸化炭素）等の還元性雰囲気のみならず、Ｎ２（窒素）やＡｒ（アルゴン）などの中性雰囲気であってもよい。
【００５６】
また、非酸化性雰囲気中における焼成温度は、内部電極の金属材料の種類を考慮して種々変更することができる。Ｎｉを内部電極の材料とする場合には、１０５０〜１２５０℃の範囲であればニッケル粒子の凝集をほとんど生じさせることなく焼成、焼結させることができる。
【００５７】
バインダーが除去された積層体チップは、さらに、酸化性雰囲気中において熱処理されることによりセラミックコンデンサの素子（チップ）が得られる。
【００５８】
酸化性雰囲気中における熱処理温度は、非酸化性雰囲気中における焼成温度より低い温度であればよく、５００℃〜１０００℃の範囲が好ましい。
【００５９】
酸化性雰囲気としては、大気雰囲気に限定することなく、例えば、Ｎ２に数ｐｐｍのＯ２（酸素）を混合したような低酸素濃度の雰囲気から任意の酸素濃度の雰囲気を使用することができる。
【００６０】
どのような温度あるいはどのような酸素濃度の雰囲気にするかは、内部電極（ニッケル等）の酸化と誘電体層の酸化とを考慮して種々変更する必要がある。
【００６１】
後述した実施例ではこの熱処理の温度を６００℃としたが、この温度に限定されるものではない。
【００６２】
このようにして酸化性雰囲気中において熱処理されたセラミックコンデンサ素子は、この後、その端部に外部電極を取付けられてセラミックコンデンサが得られる。
【００６３】
また、後述する実施例では、非酸化性雰囲気中における熱処理と、酸化性雰囲気中における熱処理を一つの連続した焼成プロファイルの中で行なっているが、もちろん非酸化性雰囲気中における焼成工程と、酸化性雰囲気における熱処理工程とを独立した工程に分けて行なうことも可能である。
【００６４】
さらにまた、誘電体組成物を形成する出発原料は、後述する実施例で示したもの以外の、酸化物、水酸化物又はその他の化合物としてもよい。
【００６５】
また、外部電極としてＮｉ電極を使用しているが、電極焼付け条件を選択することによりＮｉ合金、Ａｇ（銀）、Ｃｕ、Ｃｕ合金、Ｐｄ（パラジウム）、Ａｇ／Ｐｄ（銀パラジウム）等の電極を用いることができるのはもちろん、Ｎｉ外部電極を未焼結積層体の端面に塗布して積層体の焼成と外部電極の焼付けを同時に行うことも可能である。
【００６６】
このようにして焼成、焼結された誘電体組成物は、主成分の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる物質からなり、該主成分の物質にＳｉとＭｎとＣｒとの酸化物等の第一の添加物とＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物からなる副成分物質とを混合、焼成して得られる誘電体組成物であって、誘電体組成物中におけるＳｉの酸化物の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲で、かつ、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔａ或いはＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物の含有割合ｖが０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％の範囲にある誘電体組成物となる。
【００６７】
図１は、積層セラミックコンデンサの構成を模式的に示す断面図である。
【００６８】
上述のようにして得られた誘電体組成物を誘電体層１に有するセラミックコンデンサ素子２の端面に導電ペースト３を焼き付け、内部電極４が誘電体層１を挟んで外部電極５、５に交互に電気的に連通するように外部電極５を対向して形成させてセラミックコンデンサが完成する。
【００６９】
なお、この発明は積層タイプのセラミックコンデンサ以外の一般的な単層のセラミックコンデンサにも勿論適用可能である。
【００７０】
【実施例】
純度９９．９％の炭酸カルシウム（ＣａＣＯ３）炭酸ストロンチウム（ＳｒＣＯ３）、炭酸バリウム（ＢａＣＯ３）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、酸化チタン（ＴｉＯ２）を主成分の出発原料として用意し、これらを混合、焼結した後に得られる誘電体組成物が、表１の試料Ｎｏ．１１および表３の試料Ｎｏ．８２に示された条件を満足するように、各々秤量した。
【００７１】
ここで、表１、表２（表１の続き）及び表３（表２の続き）のｘの欄は主成分の組成式（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３におけるＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘを、ｙの欄は主成分の組成式におけるＴｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙを、ｋの欄は主成分の組成式における（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）の比ｋを示している。なお、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒを意味している。
【００７２】
【表１】
【００７３】
【表２】
【００７４】
【表３】
【００７５】
次に、これら主成分の出発原料１００重量部とジルコニアボール３００重量部と純水３００重量部をポットミルに入れ、湿式で１５時間撹拌し、得られたスラリーをステンレスバットに移し、これを熱風乾燥機に入れ、１５０℃で４時間乾燥させた。
【００７６】
この乾燥によって得られた固形物を粗粉砕し、得られた粗粉をトンネル炉に入れ、大気雰囲気中において、１２００℃で、２時間仮焼して主成分材料（誘電体のベース材）を得た。
【００７７】
次に、試料Ｎｏ．１１については、この主成分材料と副成分物質材料とを混合、焼結した後の誘電体組成物が表１の試料Ｎｏ．１１に示された割合となるように各々の材料の量を秤量し、混合した。
【００７８】
試料Ｎｏ．８２についてはこの主成分材料と副成分物質としての第一の添加物の材料と第二の添加物の材料とを混合、焼結した後の誘電体組成物が表３の試料Ｎｏ．８２に示された割合となるように各々の材料の量を秤量し、混合した。
【００７９】
試料Ｎｏ．１１および試料Ｎｏ．８２において、副成分物質の材料の酸化珪素（ＳｉＯ２）は純度９９％のものを、三二酸化マンガン（Ｍｎ２Ｏ３）、酸化クロム（Ｃｒ２Ｏ３）はいずれも、純度９９．９％のものを使用した。
【００８０】
また、添加物質の材料の酸化ホルミウム（Ｈｏ２Ｏ３）は、純度９９％のものを使用した。
【００８１】
次に、試料Ｎｏ．１１および試料Ｎｏ．８２、それぞれの誘電体材料１００重量部に対して、有機バインダーとしてポリブチルフタレートを１５重量部、可塑剤としてジオクチルフタレート（ＤＯＰ）を４０重量部、溶剤としてトルエンを１５０重量部添加し、ボールミルを用いて１５時間、撹拌混合し、スラリーを作成した。
【００８２】
次に、このスラリーを真空脱泡機に入れて脱泡し、このスラリーをリバースコーターによってポリエステルフィルム上に薄膜状に塗布し、これを１００℃で乾燥し、厚さ約６μｍのセラミック未焼結シート（セラミックグリーンシート）を得た。
【００８３】
一方、平均粒径０．５μｍのＮｉ粉末と、エチルセルロースをブチルカルビトールに溶解させたものとを撹拌器に入れ、十分に混合、混練して内部電極用の導電ペーストを得た。
【００８４】
そして、この導電ペーストを用いて、未焼結シート上に、短冊状の導電パターンをスクリーン印刷した。この時、導電パターンが、長手方向に約１／３ずれるよう、２種類の導電パターンを印刷した。
【００８５】
次に、２種類の導電パターンを印刷した２種類の未焼結シートを交互に５１枚（誘電体５０層）積層し、この積層によって得られた積層物の上下に、導電パターンが印刷されていない未焼結シートを積層した。
【００８６】
そして、この積層体を７０℃の温度の下で５０ＭＰａの圧力を加えて押圧し、これらを圧着した。その後、この積層体を格子状に切断し、試料Ｎｏ．１１の積層体チップ（素子）および試料Ｎｏ．８２の積層体チップ（素子）を得た。
【００８７】
次に、これらの積層体チップを大気雰囲気中において１００℃／時間の速度で６００℃まで昇温させ、積層体チップの内部に含まれている有機バインダを加熱除去させた。そして、炉の雰囲気を大気雰囲気からＨ２（２体積％）＋Ｎ２（９８体積％）の混合雰囲気に切り替え、１００℃／時間の速度で１２５０℃（焼成温度）まで昇温させ、２時間保持した後、１００℃／時間の速度で６００℃まで降温し、雰囲気を大気雰囲気に切り替え、６００℃で３０分間保持して酸化処理を行ない、その後、室温まで冷却した。
【００８８】
このようにして、積層体チップを焼成し、電極が露出した状態で焼結された焼結体チップの側面に、Ｎｉ粉末とガラスフリットとビヒクルからなる導電ペーストを塗布して乾燥し、大気中５５０℃、１５分間焼き付けてＮｉ電極層を形成する。
【００８９】
更に、この上に無電解メッキによりＣｕを被着させ、この上に電解メッキによりＰｂ−Ｓｎ半田層を被着させて、一対の外部電極を形成して試料Ｎｏ．１１の積層セラミックコンデンサと試料Ｎｏ．８２の積層セラミックコンデンサを得た。
【００９０】
なお、得られたそれぞれの積層セラミックコンデンサは、２ｍｍ（Ｌ）×１．２５ｍｍ（Ｗ）×１ｍｍ（Ｔ）（２１２タイプ）であり、内部電極の交差面積は１ｍｍ2 、誘電体層の１層当たりの厚みは４μｍであった。
【００９１】
次に、完成した積層セラミックコンデンサの比誘電率εs 、温度係数ＴＣ、比抵抗ρ、抗折強度を測定したところ、試料Ｎｏ．１１の積層セラミックコンデンサは、表４の試料Ｎｏ．１１に示すように、比誘電率εs が３８、温度係数ＴＣが＋１２、比抵抗ρが２．１９×１０の１３乗 Ωｃｍ（表４では２．１９Ｅ＋１３と表示してある。）、抗折強度が１５３００ｋｇｆ／ｍｍ2、比抵抗の加速寿命時間が６３３分であった。
【００９２】
一方、試料Ｎｏ．８２の積層セラミックコンデンサは、表６の試料Ｎｏ．８２に示すように、比誘電率εs が３８、温度係数ＴＣが＋１３、比抵抗ρが２．４０×１０の１３乗 Ωｃｍ（表６では２．１９Ｅ＋１３と表示してある。）、抗折強度が１４９００ｋｇｆ／ｍｍ2、比抵抗の加速寿命時間が１０００分以上であった。
【００９３】
なお、電気的特性及び機械的特性は次の要領で測定した。
【００９４】
（Ａ）比誘電率εs
ＬＣＲメータを用い、温度２５℃、周波数１ＭＨｚ、交流電圧１Ｖ（実効値）の条件で、静電容量を測定した。得られた静電容量と内部電極の交差面積と誘電体層１層当りの厚みから、比誘電率εs を算出した。
【００９５】
（Ｂ）温度係数ＴＣ
２５℃および１２５℃の場合の静電容量を上記のようにして測定し、この静電容量から温度変化に対する容量変化率を算出した。
【００９６】
（Ｃ）比抵抗ρ
温度１５０℃、測定電圧１００ｋＶの条件から、メガオームメータにより抵抗値を測定し、内部電極の交差面積と誘電体層１層当たりの厚みから算出した。
（Ｄ）抗折強度
グリーンシートのみを積層した積層体を、上述の積層体チップと同条件で焼成し、試料を作製した。これを用いて3点曲げ試験を行い、抗折強度（ｋｇｆ／ｍｍ２）を求めた。
【００９７】
（Ｅ）比抵抗の加速寿命時間
温度２００℃にて、６０Ｖ／μｍの直流電界下で加速試験を行ない、比抵抗が１．００×１０の１２乗Ωｃｍ以下になるまでの時間を寿命時間とした。
【００９８】
以上、試料Ｎｏ．１１と試料Ｎｏ．８２の試料の場合について述べたが、試料番号１〜１０、１２〜８１及び８３〜１２３についても、主成分及び副成分および添加物の組成及び割合を表１、表２及び表３に示すように変えた他は、試料Ｎｏ．１１および試料Ｎｏ．８２の試料の場合と同様にして積層セラミックコンデンサを作成し、同一の方法で電気的特性及び機械的特性を測定した。
【００９９】
焼成温度及び電気的特性並びに機械的特性は表４、表５（表４の続き）及び表６（表５の続き）に示す通りとなった。
【０１００】
【表４】
【０１０１】
【表５】
【０１０２】
【表６】
【０１０３】
以上の結果から明らかなように、この発明に従う試料によれば、還元雰囲気中における１２５０℃以下の焼成により、２５℃基準で１２５℃の静電容量の温度係数ＴＣが−３０ｐｐｍ／℃〜＋３０ｐｐｍ／℃の範囲にあり、２５℃での比誘電率εs が３５以上、１５０℃での比抵抗ρが１×１０の１３乗Ωｃｍ以上の電気的諸特性および機械的特性を有する非還元性の誘電体磁器組成物及びこれを用いたセラミックコンデンサを得ることができるものである。
【０１０４】
特に、このような本発明の組成物に、さらに、ＳｃおよびＹを含む希土類元素あるいはＮｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｗの酸化物の１種または２種以上を添加し、これらを混合焼成して得らた試料によれば、還元雰囲気中における１２５０℃以下の焼成により、２５℃基準で１２５℃の静電容量の温度係数ＴＣが−３０ｐｐｍ／℃〜＋３０ｐｐｍ／℃の範囲にあり、２５℃での比誘電率εs が３５以上、１５０℃での比抵抗ρが１×１０の１３乗Ωｃｍ以上の電気的諸特性及び抗折強度が１４０００ｋｇｆ／ｍｍ２以上の機械的特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長い非還元性の誘電体磁器組成物及びこれを用いたセラミックコンデンサを得ることができるものである。
【０１０５】
次に、この発明に係るセラミックコンデンサに用いられている誘電体組成物の組成範囲の限定理由について、実験結果を参照しながら説明する。
【０１０６】
この組成限定理由は、主成分物質と副成分物質としての第一の添加物と第二の添加物との混合物を還元雰囲気中において１２５０℃以下で焼結して得られた誘電体組成物が、２５℃基準で１２５℃の静電容量の温度係数が±３０ｐｐｍ／℃の範囲にあり、２５℃での比誘電率が３５以上、１５０℃での比抵抗ρが１×１０の１３乗Ωｃｍ以上、抗折強度が１４０００ｋｇｆ／ｍｍ２以上の特性を有した非還元性の誘電体組成物として提供されるような組成の組合わせとして設定したものである。
【０１０７】
これを表１、表２及び表３に示す組成並びに表１、表２及び表３の各試料Ｎｏ．に対応する実験結果を示す表４、表５及び表６を参照しながら説明する。
【０１０８】
ｘの値の範囲は、表１及び表４の試料Ｎｏ．１〜８で示すように、ｘの値を変えて試料を得ると、試料Ｎｏ．1（ｘ＝１．００）では比誘電率εsが３４で比誘電率εsが３５という特性に満たず、試料Ｎｏ．８（ｘ＝０．６５）では温度係数ＴＣが−４７の値となって、いずれも温度係数ＴＣが−３０〜＋３０の範囲外の特性となる。試料Ｎｏ．２〜７（０．７≦ｘ≦０．９５）では上述した全ての特性を満足する。これらのことから、ｘの範囲は０．７≦ｘ≦０．９５の範囲が良い。
【０１０９】
ｋの値の範囲は、表１及び表４の試料Ｎｏ．１１、１４〜１７で示すように、試料Ｎｏ．１４（ｋ＝０．８５）と試料Ｎｏ．１７（ｋ＝１．１５）では１２５０℃で焼成しても緻密な焼結体が得られない。試料Ｎｏ．１１、１５、１６（０．９≦ｋ≦１．１）では表４にみられるように、全ての特性を満足する。よってｋの範囲は０．９≦ｋ≦１．１の範囲が良い。
【０１１０】
ｙの値の範囲は、表１及び表４の試料Ｎｏ．９〜１３で示すように、試料Ｎｏ．９（ｙ＝０．００）では比誘電率εsが３３で比誘電率εsが３５に満たない特性であり、試料Ｎｏ．１３（ｙ＝０．１５）では温度係数ＴＣが−５９の値で−３０〜＋３０の範囲外となる。試料Ｎｏ．１０〜１２（０．０２≦ｙ≦０．１）では表４に示すように全ての特性を満足する。よってｙの範囲は０．０２≦ｙ≦０．１の範囲が良い。
【０１１１】
ｓの値の範囲は、表１及び表２並びに表４及び表５の試料Ｎｏ．１１、３０〜３６、４７〜５２、５４〜６１で示すように、試料Ｎｏ．３０、４７、５４（ｓ＝０．２０）では１２５０℃で焼成しても緻密な焼結体が得られない。試料Ｎｏ．３６、５２、６１（ｓ＝２．３０）では抗折強度が、それぞれ、１２１００ｋｇｆ／ｍｍ２（平方ミリメートル）、１３５００ｋｇｆ／ｍｍ２、１３７００ｋｇｆ／ｍｍ２で１４０００ｋｇｆ／ｍｍ２に満たない。
【０１１２】
試料Ｎｏ．１１、３１〜３５、４８〜５１、５５〜６０（０．５≦ｓ≦２．０）では全ての特性を満足する。よってｓの値は０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲が良い。
【０１１３】
tの値は、同様に、表１及び表２並びに表４及び表５の試料Ｎｏ．１１、２４〜２９、３７〜４３、６５〜７４で示すように、試料Ｎｏ．２４、３７、６５、７０（ｔ＝０．２５）では１２５０℃で焼成しても緻密な焼結体が得られない。
【０１１４】
試料Ｎｏ．２９、４３、６９、７４（ｔ＝４．０）では抗折強度が、それぞれ、１３５００ｋｇｆ／ｍｍ２、１２１００ｋｇｆ／ｍｍ２、１３４００ｋｇｆ／ｍｍ２、１３９００ｋｇｆ／ｍｍ２でいずれも所期の抗折強度１４０００ｋｇｆ／ｍｍ２に満たない値である。
【０１１５】
試料Ｎｏ．１１、２５〜２８、３８〜４２、６６〜６８、７１〜７３（０．５≦ｔ≦３．０）では全ての電気的特性及び機械的特性を満足している。よってｔの範囲は０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲が良い。
【０１１６】
ｕの値は、同様に、試料Ｎｏ．１１、１８〜２３で示すように、試料Ｎｏ．１８（ｕ＝０．０５）では抗折強度が１３８００ｋｇｆ／ｍｍ２で１４０００ｋｇｆ／ｍｍ２に満たない。試料Ｎｏ．２３（ｕ＝０．６）では１５０℃での比抵抗ρが１・６２×１０の１２乗Ωｃｍで１．０×１０の１３乗Ωｃｍ以下となる。
【０１１７】
試料Ｎｏ．１１、１９〜２２（０．１≦ｕ≦０．５）では全ての電気的特性及び機械的特性を満足している。よつてｕの範囲は０．１ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲が良い。
【０１１８】
ｖの値は、表１及び表３並びに表４及び表６の試料Ｎｏ．１１、８１〜１２３で示すように、資料Ｎｏ．８４、８７、８９、９１、９３、９５、９７、９９、１０１、１０３、１０５、１０７、１０９、１１１、１１３、１１５、１１７、１１９、１２１、１２３（ｖ＝１．５０）では１２５０℃で焼成しても緻密な焼結体が得られない。
【０１１９】
試料Ｎｏ．８１〜８３、８５、８６、８８、９０、９２、９４、９６、９８、１００、１０２、１０４、１０６、１０８、１１０、１１２、１１４、１１６、１１８、１２０、１２２（０．０２≦ｖ≦１．０）では全ての電気的特性および機械的特性を満足し、かつ、試料Ｎｏ．１１（添加物なし）より比抵抗の加速寿命が長い。よって、ｖの範囲は、０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％の範囲が良い。
【０１２０】
誘電体組成物が、その主成分の組成を、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる物質とし、該主成分の物質にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物等を含有する第一の添加物を有する副成分物質を混合、焼成して得られる誘電体組成物であって、該誘電体組成物中における前記主成分の組成の、Ｍｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比を表すｘの値の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比を表わすｋの値の範囲及びＴｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比を表すｙの値の範囲を上記のように決め、さらに、Ｓｉの酸化物の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲にあり、かつ、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にあり、さらに、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物の含有割合ｖが０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％の範囲となるように、材料組成を最適化することで、還元雰囲気中において１２５０℃以下で焼結し、２５℃基準で１２５℃の静電容量の温度係数が−３０ｐｐｍ／℃〜＋３０ｐｐｍ／℃の範囲にあり、２５℃での比誘電率εsが３５以上、１５０℃での比抵抗ρが１×１０の１３乗Ωｃｍ以上、抗折強度が１４０００ｋｇｆ／ｍｍ２以上の特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長い非還元性の誘電体組成物或いはこれを用いたセラミックコンデンサも提供することができる。
【０１２１】
このように本発明の構成によれば、ＥＩＡ規格の最高水準であるＣ０Ｇを実現できるようなセラミックコンデンサ或いはＪＩＳ規格の温度補償用材に相当するような性能の誘電体組成物やセラミックコンデンサを得ることができる。
【０１２２】
また、これにより、容量精度の要求が厳しい用途（高周波回路等）にも十分対応が可能となり、かつ、Ｎｉ（又は卑金属）内部電極を用いて高積層化することで、従来の貴金属系電極を使用したセラミックコンデンサより、Ａｇのマイグレーションがなく、高容量を実現したセラミックコンデンサを提供できるものである。
【０１２３】
【発明の効果】
この発明によれば、高い比誘電率並びにその他の優れた電気的特性及び優れた機械的特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長いセラミック誘電体組成物及びこの誘電体組成物を用いたセラミックコンデンサを得ることができる。
【０１２４】
また、この誘電体組成物材料を用いれば内部電極としてＮｉ等の卑金属を使用した温度補償用の積層コンデンサ材料（誘電体組成物）を提供することができ、これにより、積層コンデンサの大容量化に伴う電極コストの増大を軽減し、低価格の積層セラミックコンデンサを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】積層セラミックコンデンサの構成を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
１ 誘電体層
２ コンデンサ素子
３ 導電ペースト
４ 内部電極
５ 外部電極
【発明の属する技術分野】
この発明は、セラミックコンデンサの誘電体層の材料として好適な誘電体組成物とこの誘電体組成物を誘電体層に有するセラミックコンデンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子回路の小型化、高密度化に伴い、積層セラミックコンデンサも小型化、大容量化が強く求められている。それらを解決する方法として誘電体層を薄膜或いはできるだけ薄い誘電体層にする手法があるが、その際、誘電体層に用いられる誘電体組成物としては比抵抗や機械的強度が高いことが望ましい。
【０００３】
また、積層セラミックコンデンサ等に用いられる誘電体組成物は、還元性の雰囲気下で焼成すると還元され、半導体化するという性質を有している。このため、還元性の雰囲気下と異なる高い酸素分圧化において焼成しても酸化されないような内部電極、例えば、パラジウム、白金、銀−パラジウム等の貴金属材料がこれに用いられてきた。
【０００４】
しかし、これらの貴金属は高価であるため積層セラミックコンデンサの低価格化、高容量化を図る上で妨げとなっていた。
【０００５】
内部電極の材料としてＮｉ（ニッケル）などの卑金属を用いた場合、内部電極の酸化を防止するためには、誘電体組成物と内部電極とを交互に積層した積層体の焼成を還元雰囲気中で行わなければならない。
【０００６】
しかし、還元雰囲気中で焼成すると、上述のように誘電体層が還元され、比抵抗が低下するなど、セラミックコンデンサとしての所望の電気特性が得られないという問題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、高い比誘電率並びにその他の優れた電気的特性及び優れた機械的特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長い誘電体組成物及びこの誘電体組成物を用いたセラミックコンデンサを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、主成分の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる物質からなり、副成分物質が少なくともＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物とであることを特徴とする誘電体組成物（但し、Ｓｉはシリコン、Ｍｎはマンガン、Ｃｒはクロムを表す）である。
【０００９】
このような組成の誘電体組成物は還元雰囲気中において焼結し、静電容量の温度係数が安定した範囲にあり、比誘電率及び比抵抗が高く、抗折強度も良好な特性を有した非還元性の誘電体組成物として提供することができる。
【００１０】
請求項２の発明は、誘電体組成物からなる１又は２以上の誘電体層とこの誘電体層を挟持している内部電極とを備えたセラミックコンデンサにおいて、前記誘電体層の組成物が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる主成分物質に少なくとも副成分物質として、Ｓｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物とを有した誘電体組成物であることを特徴とするセラミックコンデンサである。
【００１１】
このようなセラミックコンデンサは、上述のように高い比誘電率及びその他の優れた電気特性や優れた機械的特性を有した誘電体組成物を用いているので、誘電体層を薄膜や薄層化し、セラミックコンデンサの小型化と大容量化とを図ることができる。
【００１２】
請求項３の発明は、主成分物質の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる物質に、副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質をＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で加え、これらの物質を非酸化性雰囲気中乃至は還元性雰囲気中で混合焼成した後、酸化雰囲気中で熱処理することにより、焼成物とし、該焼成物中における上記組成中のＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値を０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値を０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値を０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にした誘電体組成物の製造方法である。
【００１３】
このような誘電体組成物の製造方法を用いることにより、従来と同様な製造工程を用いつつ、高い比誘電率で優れた諸電気特性や優れた機械的特性を有した誘電体組成物を製造し、高性能のセラミックコンデンサの提供を実現することができる。
【００１４】
請求項４の発明は、主成分の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる物質と、該主成分の物質に副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質をＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で添加し、これらを混合焼成して得られる誘電体組成物であって、該誘電体組成物中におけるＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値が０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値が０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値が０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にあり、かつ、該誘電体組成物中のＳｉの酸化物の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にある誘電体組成物である。
【００１５】
このような組成の誘電体組成物は還元雰囲気中において１２５０℃以下で焼結し、２５℃基準で１２５℃の静電容量の温度係数が±３０ｐｐｍ／℃の範囲にあり、２５℃での比誘電率が３５以上、１５０℃での比抵抗ρが１×１０の１３乗Ωｃｍ以上、抗折強度が１４０００ｋｇｆ／ｍｍ２（キログラム重／平方ミリメートル）以上の特性を有した非還元性の誘電体組成物として提供することができる。
【００１６】
請求項５の発明は、誘電体組成物からなる１又は２以上の誘電体層とこの誘電体層を挟持している内部電極とを備えたセラミックコンデンサにおいて、前記誘電体組成物が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる主成分物質と、副成分物質として少なくともＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物を有し、該誘電体組成物の中のＳｉの酸化物の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にある誘電体組成物として前記誘電体層に配されているセラミックコンデンサである。
【００１７】
このようなセラミックコンデンサは、上述のように高い比誘電率及びその他の優れた電気特性や優れた機械的特性を有した誘電体組成物を用いているので、誘電体層を薄膜や薄層化し、セラミックコンデンサの小型化と大容量化とを図ることができる。
【００１８】
請求項６の発明は、誘電体組成物からなる１又は２以上の誘電体層とこの誘電体層を挟持している内部電極とを備えたセラミックコンデンサにおいて、前記誘電体組成物が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる物質からなる主成分物質と、少なくとも副成分物質としてＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物からなり、誘電体組成物は、該誘電体組成物中のＳｉの酸化物の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲の誘電体組成物として誘電体層に配され、かつ、前記内部電極が卑金属を主成分とする金属で形成されていることを特徴とするセラミックコンデンサである。
【００１９】
このようなセラミックコンデンサは、コンデンサの性能の低下を抑制しつつセラミックコンデンサの内部電極に卑金属材料を用いてセラミックコンデンサの低価格化を実現することができる。なお、内部電極を形成する卑金属としてＮｉ（ニッケル）を用いているが、これ以外に、Ｎｉ合金、Ｃｕ（銅）、Ｃｕ合金、その他の卑金属を使用することもできる。
【００２０】
請求項７の発明は、主成分物質の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる主成分物質と、副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質をＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態の混合物として非酸化性雰囲気中乃至は還元性雰囲気中で焼成した後、酸化雰囲気中で熱処理して、焼成物とし、該焼成物中におけるＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値を０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値を、０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比をｙの値を０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にし、かつ、前記誘電体組成物中のＳｉの酸化物の含有割合ｓを０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔを０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕを０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にした誘電体組成物の製造方法である。
【００２１】
このような誘電体組成物の製造方法を用いることにより、従来と同様な製造工程を用いつつ、上述のように高い比誘電率で優れた諸電気特性や優れた機械的特性を有した誘電体組成物を製造し、高性能のセラミックコンデンサの提供を実現することができる。
【００２２】
請求項８の発明は、主成分の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる物質と、該主成分の物質に副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質をＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で添加する第一の添加物と、Ｓｃ（スカンジウム）およびＹ（イットリウム）を含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ（ニオブ）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｔａ（タンタル）およびＷ（タングステン）の酸化物を１種または２種以上、酸化物或いは水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で添加する第二の添加物とを添加し、これらを混合焼成して得られる誘電体組成物であって、該誘電体組成物中におけるＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値が０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値が０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値が０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にあり、かつ、該誘電体組成物中のＳｉの酸化物の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にあり、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物の含有割合ｖが０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％の範囲にある誘電体組成物である。
【００２３】
但し、Ｌａはランタン、Ｃｅはセリウム、Ｐｒはプラセオジウム、Ｎｄはネオジウム、Ｓｍはサマリウム、Ｅｕはユウロピウム、Ｇｄはガドリニウム、Ｔｂはテルビウム、Ｄｙはジスプロシウム、Ｈｏはホルミウム、Ｅｒはエルビウム、Ｔｍはツリウム、Ｙｂはイッテルビウム、Ｌｕはルテチウムを表す。
【００２４】
このような組成の誘電体組成物は還元雰囲気中において１２５０℃以下で焼結し、２５℃基準で１２５℃の静電容量の温度係数が±３０ｐｐｍ／℃の範囲にあり、２５℃での比誘電率が３５以上、１５０℃での比抵抗ρが１×１０の１３乗Ωｃｍ以上、抗折強度が１４０００ｋｇｆ／ｍｍ２（キログラム重／平方ミリメートル）以上の特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長い非還元性の誘電体組成物として提供することができる。
【００２５】
請求項９の発明は、誘電体組成物からなる１又は２以上の誘電体層とこの誘電体層を挟持している内部電極とを備えたセラミックコンデンサにおいて、前記誘電体層の組成物が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる主成分物質と、副成分物質として少なくともＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物を含有する第一の添加物と、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物を有し、該誘電体組成物中のＳｉの酸化物の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にあり、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物の含有割合ｖが０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％の範囲にある誘電体組成物として誘電体層に配されているセラミックコンデンサである。
【００２６】
このようなセラミックコンデンサは、上述のように高い比誘電率及びその他の優れた電気特性や優れた機械的特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長い誘電体組成物を用いているので、誘電体層を薄膜や薄層化し、セラミックコンデンサの小型化と大容量化および高信頼性化を図ることができる。
【００２７】
請求項１０の発明は、誘電体組成物からなる１又は２以上の誘電体層とこの誘電体層を挟持している内部電極とを備えたセラミックコンデンサにおいて、前記誘電体層の組成物が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる物質からなる主成分物質と、少なくとも副成分物質としてＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物からなる第一の添加物と、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物を有し、誘電体組成物は、該誘電体組成物中のＳｉの酸化物の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にあり、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物の含有割合ｖが０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％の範囲にある誘電体組成物として誘電体層に配され、かつ、前記内部電極が卑金属を主成分とする金属で形成されていることを特徴とするセラミックコンデンサである。
【００２８】
このようなセラミックコンデンサは、コンデンサの性能の低下を抑制しつつセラミックコンデンサの内部電極に卑金属材料を用いてセラミックコンデンサの低価格化を実現することができる。なお、内部電極を形成する卑金属としてＮｉ（ニッケル）を用いているが、これ以外に、Ｎｉ合金、Ｃｕ（銅）、Ｃｕ合金、その他の卑金属を使用することもできる。
【００２９】
請求項１１の発明は、主成分物質の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる主成分物質と、副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質を含有する第一の添加物を、Ｓｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で混合し、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上を含有する第二の添加物を、酸化物或いは水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で混合し、混合物として非酸化性雰囲気中乃至は還元性雰囲気中で焼成した後、酸化雰囲気中で熱処理して、焼成物とし、該焼成物中におけるＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値を０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値を０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値がを０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にし、かつ、該誘電体組成物中のＳｉの酸化物の含有割合ｓを０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔを０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕを０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にし、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物の含有割合ｖを０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％の範囲にあるようにした誘電体組成物の製造方法である。
【００３０】
このような誘電体組成物の製造方法を用いることにより、従来と同様な製造工程を用いつつ、上述のように高い比誘電率で優れた諸電気特性や優れた機械的特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長い誘電体組成物を製造し、高性能のセラミックコンデンサの提供を実現することができる。
【００３１】
請求項１２の発明は、主成分の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる物質からなり、副成分物質が少なくともＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物とを含有する第一の添加物と、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物とであることを特徴とする誘電体組成物である。
【００３２】
このような組成の誘電体組成物は還元雰囲気中において焼結し、静電容量の温度係数が安定した範囲にあり、比誘電率及び比抵抗が高く、抗折強度も良好な特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長い非還元性の誘電体組成物として提供することができる。
【００３３】
請求項１３の発明は、誘電体組成物からなる１又は２以上の誘電体層とこの誘電体層を挟持している内部電極とを備えたセラミックコンデンサにおいて、前記誘電体層の組成物が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる主成分物質に少なくとも副成分物質として、Ｓｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物とを含有する第一の添加物と、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物とを有した誘電体組成物であることを特徴とするセラミックコンデンサである。
【００３４】
このようなセラミックコンデンサは、上述のように高い比誘電率及びその他の優れた電気特性や優れた機械的特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長い誘電体組成物を用いているので、誘電体層を薄膜や薄層化し、セラミックコンデンサの小型化と大容量化および高信頼性化を図ることができる。
【００３５】
請求項１４の発明は、主成分物質の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる物質に、副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質をＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で加え、これらの物質を非酸化性雰囲気中乃至は還元性雰囲気中で混合焼成した後、酸化雰囲気中で熱処理することにより、焼成物とし、該焼成物中における上記組成中のＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値を０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値を０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値を０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にした誘電体組成物の製造方法である。
【００３６】
このような誘電体組成物の製造方法を用いることにより、従来と同様な製造工程を用いつつ、高い比誘電率で優れた諸電気特性や優れた機械的特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長い誘電体組成物を製造し、高性能のセラミックコンデンサの提供を実現することができる。
【００３７】
ここで、主成分の組成式（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３において、Ｍｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比であるｘの値は、０．７≦ｘ≦０．９５が好ましい。ｘの値が０．９５を超えると比誘電率εsが低下し、また、ｘの値が０．７未満になると温度係数ＴＣがマイナス側に大きくなり過ぎるという不都合を生ずるからである。
【００３８】
なお、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒを意味し、ＣａとＳｒは、両材料の組み合わせでも良いし、いずれか一方の材料だけでも良い。
【００３９】
また、主成分の組成式（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３において、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値は、０．９≦ｋ≦１．１が好ましい。ｋの値が０．９未満になったり、１．１を超えると誘電体組成物を積層した積層体の焼結性が悪化し、１２５０℃以下で緻密な焼結体が得られなくなるからである。
【００４０】
また、主成分の組成式（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３において、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値は、０．０２≦ｙ≦０．１が好ましい。ｙの値が０．０２未満になると比誘電率εsが低下し、また、ｙの値が０．１を超えると温度係数ＴＣがマイナス側に大きくなり過ぎるという不都合を生ずるからである。
【００４１】
誘電体組成物中におけるＳｉの酸化物 の含有割合であるｓは、０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％が望ましい。ｓが０．５０ａｔｍ％未満になると、積層体の焼結性が悪化し、２．０ａｔｍ％を超えると、焼結性を阻害し積層体の強度が低下するからである。
【００４２】
また、誘電体組成物中におけるＭｎの酸化物の含有割合tは、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％が望ましい。tが０．５ａｔｍ％未満になると、積層体の焼結性が悪化し、３．０ａｔｍ％を超えると、積層体の強度が低下するためである。
【００４３】
また、誘電体組成物中におけるＣｒの酸化物の含有割合ｕは、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％が望ましい。０．０６ａｔｍ％未満になると、積層体の強度が低下し、０．５ａｔｍ％を超えると、１５０℃における比抵抗が低下するためである。
【００４４】
また、誘電体組成物中におけるＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する割合ｖは、０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％が望ましい。０．２ａｔｍ％未満になると、比抵抗の加速寿命時間延長効果が得難くなり、１．０ａｔｍ％を超えると、積層体の焼結性が悪化するためである。
【００４５】
この発明の誘電体組成物及びセラミックコンデンサの製造方法の一例を説明する。
【００４６】
誘電体組成物の原材料として、ＭｅＣＯ３、ＢａＣＯ３、ＺｒＯ２、ＴｉＯ２等を秤量して、焼成後の主成分物質の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる物質となるように混ぜるとともに、この原材料を分散媒、水、ビーズの入った容器に入れて混合し、これらの主成分物質を粉砕し、混合させつつ微細粉末化する。主成分物質が均質に微細粉末化され混合されたら、これを容器から取り出し、乾燥させた後、約１２００℃で仮焼成して誘電体のベース材を作る。
【００４７】
次に、この主成分物質のベース材に副成分物質として、Ｓｉ酸化物とＭｎ酸化物とＣｒ酸化物とを含有する第一の添加物が上述した所定の含有量の範囲で得られるように、ＳｉＯ２等のＳｉの酸化物その他のＳｉの酸化物及び／又は水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩をこれらのいずれかの形態で加え、Ｍｎ２Ｏ３等のＭｎの酸化物その他のＭｎの酸化物及び／又は水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩をこれらのいずれかの形態で加え、Ｃｒ２Ｏ３等のＣｒの酸化物その他のＣｒの酸化物及び／又は水酸化物、酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩をこれらのいずれかの形態で秤量して加え、第二の添加物として、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔａあるいは、Ｗの酸化物のうちの１種または２種以上を、酸化物或いは水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で上述した所定の含有量の範囲で得られるように秤量して加え、これらを分散媒、水、ビーズの入った容器に入れて混合して粉砕し、主成分物質と第一の添加物および第二の添加物からなる副成分物質とを均質に混合させつつ微細粉末化する。
【００４８】
主成分物質と第一の添加物および第二の添加物からなる副成分物質とが微細粉末化され均質に混合されたら、この混合物を容器から取り出し、乾燥させると主成分物質と副成分物質とからなる未焼結の磁器粉末からなる誘電体の混合物材料が得られる。
【００４９】
この誘電体の混合物材料を、バインダ、溶剤、分散剤、ビーズの入った容器に入れ、混合、再粉砕してスラリー化し、このスラリーを、ドクターブレード法等によって薄膜状のセラミック未焼結シート（セラミックグリーンシート）に成形し、乾燥させて巻き取る。
【００５０】
この後、セラミック未焼結シート上には、金属粉末を糊状にした導電ペーストで内部電極のパターンを印刷する。
【００５１】
導電ペーストとしては、樹脂中にＮｉ、Ｎｉ合金やＣｕその他の安価な卑金属粉末を分散させた導電ペーストが用いられる。
【００５２】
内部電極が印刷されたセラミック未焼結シートを複数、積み重ねることにより、誘電体層は、積み重ねられた数の内部電極で挟持された構造のセラミックシートの積層体が得られる。
【００５３】
このようにして積み重ねられたセラミック未焼結シートの積層体は加圧圧着された後、セラミックコンデンサの大きさの素子（積層体チップ）に分割される。
【００５４】
積層体チップは、さらに、非酸化性雰囲気中乃至はＨ２（水素）等が混入されて、やや還元性の雰囲気となるように調整された雰囲気中において、導電ペースト内の金属が酸化されないようにしつつ、バインダーが加熱除去され、１２５０℃以下の温度で焼成、焼結などの熱処理が施される。
【００５５】
ここで、非酸化性雰囲気乃至は還元性の雰囲気としては、Ｈ２やＣＯ（一酸化炭素）等の還元性雰囲気のみならず、Ｎ２（窒素）やＡｒ（アルゴン）などの中性雰囲気であってもよい。
【００５６】
また、非酸化性雰囲気中における焼成温度は、内部電極の金属材料の種類を考慮して種々変更することができる。Ｎｉを内部電極の材料とする場合には、１０５０〜１２５０℃の範囲であればニッケル粒子の凝集をほとんど生じさせることなく焼成、焼結させることができる。
【００５７】
バインダーが除去された積層体チップは、さらに、酸化性雰囲気中において熱処理されることによりセラミックコンデンサの素子（チップ）が得られる。
【００５８】
酸化性雰囲気中における熱処理温度は、非酸化性雰囲気中における焼成温度より低い温度であればよく、５００℃〜１０００℃の範囲が好ましい。
【００５９】
酸化性雰囲気としては、大気雰囲気に限定することなく、例えば、Ｎ２に数ｐｐｍのＯ２（酸素）を混合したような低酸素濃度の雰囲気から任意の酸素濃度の雰囲気を使用することができる。
【００６０】
どのような温度あるいはどのような酸素濃度の雰囲気にするかは、内部電極（ニッケル等）の酸化と誘電体層の酸化とを考慮して種々変更する必要がある。
【００６１】
後述した実施例ではこの熱処理の温度を６００℃としたが、この温度に限定されるものではない。
【００６２】
このようにして酸化性雰囲気中において熱処理されたセラミックコンデンサ素子は、この後、その端部に外部電極を取付けられてセラミックコンデンサが得られる。
【００６３】
また、後述する実施例では、非酸化性雰囲気中における熱処理と、酸化性雰囲気中における熱処理を一つの連続した焼成プロファイルの中で行なっているが、もちろん非酸化性雰囲気中における焼成工程と、酸化性雰囲気における熱処理工程とを独立した工程に分けて行なうことも可能である。
【００６４】
さらにまた、誘電体組成物を形成する出発原料は、後述する実施例で示したもの以外の、酸化物、水酸化物又はその他の化合物としてもよい。
【００６５】
また、外部電極としてＮｉ電極を使用しているが、電極焼付け条件を選択することによりＮｉ合金、Ａｇ（銀）、Ｃｕ、Ｃｕ合金、Ｐｄ（パラジウム）、Ａｇ／Ｐｄ（銀パラジウム）等の電極を用いることができるのはもちろん、Ｎｉ外部電極を未焼結積層体の端面に塗布して積層体の焼成と外部電極の焼付けを同時に行うことも可能である。
【００６６】
このようにして焼成、焼結された誘電体組成物は、主成分の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる物質からなり、該主成分の物質にＳｉとＭｎとＣｒとの酸化物等の第一の添加物とＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物からなる副成分物質とを混合、焼成して得られる誘電体組成物であって、誘電体組成物中におけるＳｉの酸化物の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲で、かつ、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔａ或いはＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物の含有割合ｖが０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％の範囲にある誘電体組成物となる。
【００６７】
図１は、積層セラミックコンデンサの構成を模式的に示す断面図である。
【００６８】
上述のようにして得られた誘電体組成物を誘電体層１に有するセラミックコンデンサ素子２の端面に導電ペースト３を焼き付け、内部電極４が誘電体層１を挟んで外部電極５、５に交互に電気的に連通するように外部電極５を対向して形成させてセラミックコンデンサが完成する。
【００６９】
なお、この発明は積層タイプのセラミックコンデンサ以外の一般的な単層のセラミックコンデンサにも勿論適用可能である。
【００７０】
【実施例】
純度９９．９％の炭酸カルシウム（ＣａＣＯ３）炭酸ストロンチウム（ＳｒＣＯ３）、炭酸バリウム（ＢａＣＯ３）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、酸化チタン（ＴｉＯ２）を主成分の出発原料として用意し、これらを混合、焼結した後に得られる誘電体組成物が、表１の試料Ｎｏ．１１および表３の試料Ｎｏ．８２に示された条件を満足するように、各々秤量した。
【００７１】
ここで、表１、表２（表１の続き）及び表３（表２の続き）のｘの欄は主成分の組成式（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３におけるＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘを、ｙの欄は主成分の組成式におけるＴｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙを、ｋの欄は主成分の組成式における（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）の比ｋを示している。なお、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒを意味している。
【００７２】
【表１】
【表２】
【表３】
次に、これら主成分の出発原料１００重量部とジルコニアボール３００重量部と純水３００重量部をポットミルに入れ、湿式で１５時間撹拌し、得られたスラリーをステンレスバットに移し、これを熱風乾燥機に入れ、１５０℃で４時間乾燥させた。
【００７６】
この乾燥によって得られた固形物を粗粉砕し、得られた粗粉をトンネル炉に入れ、大気雰囲気中において、１２００℃で、２時間仮焼して主成分材料（誘電体のベース材）を得た。
【００７７】
次に、試料Ｎｏ．１１については、この主成分材料と副成分物質材料とを混合、焼結した後の誘電体組成物が表１の試料Ｎｏ．１１に示された割合となるように各々の材料の量を秤量し、混合した。
【００７８】
試料Ｎｏ．８２についてはこの主成分材料と副成分物質としての第一の添加物の材料と第二の添加物の材料とを混合、焼結した後の誘電体組成物が表３の試料Ｎｏ．８２に示された割合となるように各々の材料の量を秤量し、混合した。
【００７９】
試料Ｎｏ．１１および試料Ｎｏ．８２において、副成分物質の材料の酸化珪素（ＳｉＯ２）は純度９９％のものを、三二酸化マンガン（Ｍｎ２Ｏ３）、酸化クロム（Ｃｒ２Ｏ３）はいずれも、純度９９．９％のものを使用した。
【００８０】
また、添加物質の材料の酸化ホルミウム（Ｈｏ２Ｏ３）は、純度９９％のものを使用した。
【００８１】
次に、試料Ｎｏ．１１および試料Ｎｏ．８２、それぞれの誘電体材料１００重量部に対して、有機バインダーとしてポリブチルフタレートを１５重量部、可塑剤としてジオクチルフタレート（ＤＯＰ）を４０重量部、溶剤としてトルエンを１５０重量部添加し、ボールミルを用いて１５時間、撹拌混合し、スラリーを作成した。
【００８２】
次に、このスラリーを真空脱泡機に入れて脱泡し、このスラリーをリバースコーターによってポリエステルフィルム上に薄膜状に塗布し、これを１００℃で乾燥し、厚さ約６μｍのセラミック未焼結シート（セラミックグリーンシート）を得た。
【００８３】
一方、平均粒径０．５μｍのＮｉ粉末と、エチルセルロースをブチルカルビトールに溶解させたものとを撹拌器に入れ、十分に混合、混練して内部電極用の導電ペーストを得た。
【００８４】
そして、この導電ペーストを用いて、未焼結シート上に、短冊状の導電パターンをスクリーン印刷した。この時、導電パターンが、長手方向に約１／３ずれるよう、２種類の導電パターンを印刷した。
【００８５】
次に、２種類の導電パターンを印刷した２種類の未焼結シートを交互に５１枚（誘電体５０層）積層し、この積層によって得られた積層物の上下に、導電パターンが印刷されていない未焼結シートを積層した。
【００８６】
そして、この積層体を７０℃の温度の下で５０ＭＰａの圧力を加えて押圧し、これらを圧着した。その後、この積層体を格子状に切断し、試料Ｎｏ．１１の積層体チップ（素子）および試料Ｎｏ．８２の積層体チップ（素子）を得た。
【００８７】
次に、これらの積層体チップを大気雰囲気中において１００℃／時間の速度で６００℃まで昇温させ、積層体チップの内部に含まれている有機バインダを加熱除去させた。そして、炉の雰囲気を大気雰囲気からＨ２（２体積％）＋Ｎ２（９８体積％）の混合雰囲気に切り替え、１００℃／時間の速度で１２５０℃（焼成温度）まで昇温させ、２時間保持した後、１００℃／時間の速度で６００℃まで降温し、雰囲気を大気雰囲気に切り替え、６００℃で３０分間保持して酸化処理を行ない、その後、室温まで冷却した。
【００８８】
このようにして、積層体チップを焼成し、電極が露出した状態で焼結された焼結体チップの側面に、Ｎｉ粉末とガラスフリットとビヒクルからなる導電ペーストを塗布して乾燥し、大気中５５０℃、１５分間焼き付けてＮｉ電極層を形成する。
【００８９】
更に、この上に無電解メッキによりＣｕを被着させ、この上に電解メッキによりＰｂ−Ｓｎ半田層を被着させて、一対の外部電極を形成して試料Ｎｏ．１１の積層セラミックコンデンサと試料Ｎｏ．８２の積層セラミックコンデンサを得た。
【００９０】
なお、得られたそれぞれの積層セラミックコンデンサは、２ｍｍ（Ｌ）×１．２５ｍｍ（Ｗ）×１ｍｍ（Ｔ）（２１２タイプ）であり、内部電極の交差面積は１ｍｍ2 、誘電体層の１層当たりの厚みは４μｍであった。
【００９１】
次に、完成した積層セラミックコンデンサの比誘電率εs 、温度係数ＴＣ、比抵抗ρ、抗折強度を測定したところ、試料Ｎｏ．１１の積層セラミックコンデンサは、表４の試料Ｎｏ．１１に示すように、比誘電率εs が３８、温度係数ＴＣが＋１２、比抵抗ρが２．１９×１０の１３乗 Ωｃｍ（表４では２．１９Ｅ＋１３と表示してある。）、抗折強度が１５３００ｋｇｆ／ｍｍ2、比抵抗の加速寿命時間が６３３分であった。
【００９２】
一方、試料Ｎｏ．８２の積層セラミックコンデンサは、表６の試料Ｎｏ．８２に示すように、比誘電率εs が３８、温度係数ＴＣが＋１３、比抵抗ρが２．４０×１０の１３乗 Ωｃｍ（表６では２．１９Ｅ＋１３と表示してある。）、抗折強度が１４９００ｋｇｆ／ｍｍ2、比抵抗の加速寿命時間が１０００分以上であった。
【００９３】
なお、電気的特性及び機械的特性は次の要領で測定した。
【００９４】
（Ａ）比誘電率εs
ＬＣＲメータを用い、温度２５℃、周波数１ＭＨｚ、交流電圧１Ｖ（実効値）の条件で、静電容量を測定した。得られた静電容量と内部電極の交差面積と誘電体層１層当りの厚みから、比誘電率εs を算出した。
【００９５】
（Ｂ）温度係数ＴＣ
２５℃および１２５℃の場合の静電容量を上記のようにして測定し、この静電容量から温度変化に対する容量変化率を算出した。
【００９６】
（Ｃ）比抵抗ρ
温度１５０℃、測定電圧１００ｋＶの条件から、メガオームメータにより抵抗値を測定し、内部電極の交差面積と誘電体層１層当たりの厚みから算出した。
（Ｄ）抗折強度
グリーンシートのみを積層した積層体を、上述の積層体チップと同条件で焼成し、試料を作製した。これを用いて3点曲げ試験を行い、抗折強度（ｋｇｆ／ｍｍ２）を求めた。
【００９７】
（Ｅ）比抵抗の加速寿命時間
温度２００℃にて、６０Ｖ／μｍの直流電界下で加速試験を行ない、比抵抗が１．００×１０の１２乗Ωｃｍ以下になるまでの時間を寿命時間とした。
【００９８】
以上、試料Ｎｏ．１１と試料Ｎｏ．８２の試料の場合について述べたが、試料番号１〜１０、１２〜８１及び８３〜１２３についても、主成分及び副成分および添加物の組成及び割合を表１、表２及び表３に示すように変えた他は、試料Ｎｏ．１１および試料Ｎｏ．８２の試料の場合と同様にして積層セラミックコンデンサを作成し、同一の方法で電気的特性及び機械的特性を測定した。
【００９９】
焼成温度及び電気的特性並びに機械的特性は表４、表５（表４の続き）及び表６（表５の続き）に示す通りとなった。
【０１００】
【表４】
【表５】
【表６】
以上の結果から明らかなように、この発明に従う試料によれば、還元雰囲気中における１２５０℃以下の焼成により、２５℃基準で１２５℃の静電容量の温度係数ＴＣが−３０ｐｐｍ／℃〜＋３０ｐｐｍ／℃の範囲にあり、２５℃での比誘電率εs が３５以上、１５０℃での比抵抗ρが１×１０の１３乗Ωｃｍ以上の電気的諸特性および機械的特性を有する非還元性の誘電体磁器組成物及びこれを用いたセラミックコンデンサを得ることができるものである。
【０１０４】
特に、このような本発明の組成物に、さらに、ＳｃおよびＹを含む希土類元素あるいはＮｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｗの酸化物の１種または２種以上を添加し、これらを混合焼成して得らた試料によれば、還元雰囲気中における１２５０℃以下の焼成により、２５℃基準で１２５℃の静電容量の温度係数ＴＣが−３０ｐｐｍ／℃〜＋３０ｐｐｍ／℃の範囲にあり、２５℃での比誘電率εs が３５以上、１５０℃での比抵抗ρが１×１０の１３乗Ωｃｍ以上の電気的諸特性及び抗折強度が１４０００ｋｇｆ／ｍｍ２以上の機械的特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長い非還元性の誘電体磁器組成物及びこれを用いたセラミックコンデンサを得ることができるものである。
【０１０５】
次に、この発明に係るセラミックコンデンサに用いられている誘電体組成物の組成範囲の限定理由について、実験結果を参照しながら説明する。
【０１０６】
この組成限定理由は、主成分物質と副成分物質としての第一の添加物と第二の添加物との混合物を還元雰囲気中において１２５０℃以下で焼結して得られた誘電体組成物が、２５℃基準で１２５℃の静電容量の温度係数が±３０ｐｐｍ／℃の範囲にあり、２５℃での比誘電率が３５以上、１５０℃での比抵抗ρが１×１０の１３乗Ωｃｍ以上、抗折強度が１４０００ｋｇｆ／ｍｍ２以上の特性を有した非還元性の誘電体組成物として提供されるような組成の組合わせとして設定したものである。
【０１０７】
これを表１、表２及び表３に示す組成並びに表１、表２及び表３の各試料Ｎｏ．に対応する実験結果を示す表４、表５及び表６を参照しながら説明する。
【０１０８】
ｘの値の範囲は、表１及び表４の試料Ｎｏ．１〜８で示すように、ｘの値を変えて試料を得ると、試料Ｎｏ．1（ｘ＝１．００）では比誘電率εsが３４で比誘電率εsが３５という特性に満たず、試料Ｎｏ．８（ｘ＝０．６５）では温度係数ＴＣが−４７の値となって、いずれも温度係数ＴＣが−３０〜＋３０の範囲外の特性となる。試料Ｎｏ．２〜７（０．７≦ｘ≦０．９５）では上述した全ての特性を満足する。これらのことから、ｘの範囲は０．７≦ｘ≦０．９５の範囲が良い。
【０１０９】
ｋの値の範囲は、表１及び表４の試料Ｎｏ．１１、１４〜１７で示すように、試料Ｎｏ．１４（ｋ＝０．８５）と試料Ｎｏ．１７（ｋ＝１．１５）では１２５０℃で焼成しても緻密な焼結体が得られない。試料Ｎｏ．１１、１５、１６（０．９≦ｋ≦１．１）では表４にみられるように、全ての特性を満足する。よってｋの範囲は０．９≦ｋ≦１．１の範囲が良い。
【０１１０】
ｙの値の範囲は、表１及び表４の試料Ｎｏ．９〜１３で示すように、試料Ｎｏ．９（ｙ＝０．００）では比誘電率εsが３３で比誘電率εsが３５に満たない特性であり、試料Ｎｏ．１３（ｙ＝０．１５）では温度係数ＴＣが−５９の値で−３０〜＋３０の範囲外となる。試料Ｎｏ．１０〜１２（０．０２≦ｙ≦０．１）では表４に示すように全ての特性を満足する。よってｙの範囲は０．０２≦ｙ≦０．１の範囲が良い。
【０１１１】
ｓの値の範囲は、表１及び表２並びに表４及び表５の試料Ｎｏ．１１、３０〜３６、４７〜５２、５４〜６１で示すように、試料Ｎｏ．３０、４７、５４（ｓ＝０．２０）では１２５０℃で焼成しても緻密な焼結体が得られない。試料Ｎｏ．３６、５２、６１（ｓ＝２．３０）では抗折強度が、それぞれ、１２１００ｋｇｆ／ｍｍ２（平方ミリメートル）、１３５００ｋｇｆ／ｍｍ２、１３７００ｋｇｆ／ｍｍ２で１４０００ｋｇｆ／ｍｍ２に満たない。
【０１１２】
試料Ｎｏ．１１、３１〜３５、４８〜５１、５５〜６０（０．５≦ｓ≦２．０）では全ての特性を満足する。よってｓの値は０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲が良い。
【０１１３】
tの値は、同様に、表１及び表２並びに表４及び表５の試料Ｎｏ．１１、２４〜２９、３７〜４３、６５〜７４で示すように、試料Ｎｏ．２４、３７、６５、７０（ｔ＝０．２５）では１２５０℃で焼成しても緻密な焼結体が得られない。
【０１１４】
試料Ｎｏ．２９、４３、６９、７４（ｔ＝４．０）では抗折強度が、それぞれ、１３５００ｋｇｆ／ｍｍ２、１２１００ｋｇｆ／ｍｍ２、１３４００ｋｇｆ／ｍｍ２、１３９００ｋｇｆ／ｍｍ２でいずれも所期の抗折強度１４０００ｋｇｆ／ｍｍ２に満たない値である。
【０１１５】
試料Ｎｏ．１１、２５〜２８、３８〜４２、６６〜６８、７１〜７３（０．５≦ｔ≦３．０）では全ての電気的特性及び機械的特性を満足している。よってｔの範囲は０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲が良い。
【０１１６】
ｕの値は、同様に、試料Ｎｏ．１１、１８〜２３で示すように、試料Ｎｏ．１８（ｕ＝０．０５）では抗折強度が１３８００ｋｇｆ／ｍｍ２で１４０００ｋｇｆ／ｍｍ２に満たない。試料Ｎｏ．２３（ｕ＝０．６）では１５０℃での比抵抗ρが１・６２×１０の１２乗Ωｃｍで１．０×１０の１３乗Ωｃｍ以下となる。
【０１１７】
試料Ｎｏ．１１、１９〜２２（０．１≦ｕ≦０．５）では全ての電気的特性及び機械的特性を満足している。よつてｕの範囲は０．１ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲が良い。
【０１１８】
ｖの値は、表１及び表３並びに表４及び表６の試料Ｎｏ．１１、８１〜１２３で示すように、資料Ｎｏ．８４、８７、８９、９１、９３、９５、９７、９９、１０１、１０３、１０５、１０７、１０９、１１１、１１３、１１５、１１７、１１９、１２１、１２３（ｖ＝１．５０）では１２５０℃で焼成しても緻密な焼結体が得られない。
【０１１９】
試料Ｎｏ．８１〜８３、８５、８６、８８、９０、９２、９４、９６、９８、１００、１０２、１０４、１０６、１０８、１１０、１１２、１１４、１１６、１１８、１２０、１２２（０．０２≦ｖ≦１．０）では全ての電気的特性および機械的特性を満足し、かつ、試料Ｎｏ．１１（添加物なし）より比抵抗の加速寿命が長い。よって、ｖの範囲は、０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％の範囲が良い。
【０１２０】
誘電体組成物が、その主成分の組成を、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる物質とし、該主成分の物質にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物等を含有する第一の添加物を有する副成分物質を混合、焼成して得られる誘電体組成物であって、該誘電体組成物中における前記主成分の組成の、Ｍｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比を表すｘの値の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比を表わすｋの値の範囲及びＴｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比を表すｙの値の範囲を上記のように決め、さらに、Ｓｉの酸化物の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲にあり、かつ、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にあり、さらに、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物の含有割合ｖが０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％の範囲となるように、材料組成を最適化することで、還元雰囲気中において１２５０℃以下で焼結し、２５℃基準で１２５℃の静電容量の温度係数が−３０ｐｐｍ／℃〜＋３０ｐｐｍ／℃の範囲にあり、２５℃での比誘電率εsが３５以上、１５０℃での比抵抗ρが１×１０の１３乗Ωｃｍ以上、抗折強度が１４０００ｋｇｆ／ｍｍ２以上の特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長い非還元性の誘電体組成物或いはこれを用いたセラミックコンデンサも提供することができる。
【０１２１】
このように本発明の構成によれば、ＥＩＡ規格の最高水準であるＣ０Ｇを実現できるようなセラミックコンデンサ或いはＪＩＳ規格の温度補償用材に相当するような性能の誘電体組成物やセラミックコンデンサを得ることができる。
【０１２２】
また、これにより、容量精度の要求が厳しい用途（高周波回路等）にも十分対応が可能となり、かつ、Ｎｉ（又は卑金属）内部電極を用いて高積層化することで、従来の貴金属系電極を使用したセラミックコンデンサより、Ａｇのマイグレーションがなく、高容量を実現したセラミックコンデンサを提供できるものである。
【０１２３】
【発明の効果】
この発明によれば、高い比誘電率並びにその他の優れた電気的特性及び優れた機械的特性を有し、かつ、比抵抗の加速寿命時間が長いセラミック誘電体組成物及びこの誘電体組成物を用いたセラミックコンデンサを得ることができる。
【０１２４】
また、この誘電体組成物材料を用いれば内部電極としてＮｉ等の卑金属を使用した温度補償用の積層コンデンサ材料（誘電体組成物）を提供することができ、これにより、積層コンデンサの大容量化に伴う電極コストの増大を軽減し、低価格の積層セラミックコンデンサを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】積層セラミックコンデンサの構成を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
１ 誘電体層
２ コンデンサ素子
３ 導電ペースト
４ 内部電極
５ 外部電極
Claims (14)
- 主成分の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる物質からなり、副成分物質が少なくともＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物とであることを特徴とする誘電体組成物。
- 誘電体組成物からなる１又は２以上の誘電体層とこの誘電体層を挟持している内部電極とを備えたセラミックコンデンサにおいて、前記誘電体層の組成物が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる主成分物質に少なくとも副成分物質として、Ｓｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物とを有した誘電体組成物であることを特徴とするセラミックコンデンサ。
- 主成分物質の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる物質に、副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質をＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で加え、これらの物質を非酸化性雰囲気中乃至は還元性雰囲気中で混合焼成した後、酸化雰囲気中で熱処理することにより、焼成物とし、該焼成物中における上記組成中のＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値を０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値を０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値を０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にした誘電体組成物の製造方法。
- 主成分の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる物質と、該主成分の物質に副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質をＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で添加し、これらを混合焼成して得られる誘電体組成物であって、該誘電体組成物中におけるＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値が０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値が０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値が０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にあり、かつ、該誘電体組成物中のＳｉの酸化物 の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にある誘電体組成物。
- 誘電体組成物からなる１又は２以上の誘電体層とこの誘電体層を挟持している内部電極とを備えたセラミックコンデンサにおいて、前記誘電体組成物が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる主成分物質と、副成分物質として少なくともＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物を有し、該誘電体組成物の中のＳｉの酸化物の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にある誘電体組成物として前記誘電体層に配されているセラミックコンデンサ。
- 誘電体組成物からなる１又は２以上の誘電体層とこの誘電体層を挟持している内部電極とを備えたセラミックコンデンサにおいて、前記誘電体組成物が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる物質からなる主成分物質と、少なくとも副成分物質としてＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物からなり、誘電体組成物は、該誘電体組成物中のＳｉの酸化物 の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲の誘電体組成物として誘電体層に配され、かつ、前記内部電極が卑金属を主成分とする金属で形成されていることを特徴とするセラミックコンデンサ。
- 主成分物質の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる主成分物質と、副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質をＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態の混合物として非酸化性雰囲気中乃至は還元性雰囲気中で焼成した後、酸化雰囲気中で熱処理して、焼成物とし、該焼成物中におけるＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値を０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値を、０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値を０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にし、かつ、前記誘電体組成物中のＳｉの酸化物の含有割合ｓを０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔを０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕを０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にした誘電体組成物の製造方法。
- 主成分の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる物質と、該主成分の物質に副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質をＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で添加する第一の添加物と、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上、酸化物或いは水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で添加する第二の添加物とを添加し、これらを混合焼成して得られる誘電体組成物であって、該誘電体組成物中におけるＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値が０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値が０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値が０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にあり、かつ、該誘電体組成物中のＳｉの酸化物 の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にあり、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物の含有割合ｖが０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％の範囲にある誘電体組成物。
- 誘電体組成物からなる１又は２以上の誘電体層とこの誘電体層を挟持している内部電極とを備えたセラミックコンデンサにおいて、前記誘電体層の組成物が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる物質と、該主成分の物質に副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質をＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で添加する第一の添加物と、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上、酸化物或いは水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で添加する第二の添加物とを添加し、これらを混合焼成して得られる誘電体組成物であって、該誘電体組成物中におけるＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値が０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値が０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値が０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にあり、かつ、該誘電体組成物中のＳｉの酸化物 の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にあり、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物の含有割合ｖが０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％の範囲にある誘電体組成物として誘電体層に配されているセラミックコンデンサ。
- 誘電体組成物からなる１又は２以上の誘電体層とこの誘電体層を挟持している内部電極とを備えたセラミックコンデンサにおいて、前記誘電体層の組成物が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる物質と、該主成分の物質に副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質をＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で添加する第一の添加物と、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上、酸化物或いは水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で添加する第二の添加物とを添加し、これらを混合焼成して得られる誘電体組成物であって、該誘電体組成物中におけるＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値が０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値が０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値が０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にあり、かつ、該誘電体組成物中のＳｉの酸化物の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にあり、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物の含有割合ｖが０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％の範囲にある誘電体組成物として誘電体層に配され、かつ、前記内部電極が卑金属を主成分とする金属で形成されていることを特徴とするセラミックコンデンサ。
- 主成分物質の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる物質と、該主成分の物質に副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質をＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で添加する第一の添加物と、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上、酸化物或いは水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で添加する第二の添加物とを添加し、これらを混合したものを、非酸化性雰囲気中乃至は還元性雰囲気中で焼成した後、酸化雰囲気中で熱処理して、焼成物とし、該誘電体組成物中におけるＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値が０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値が０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値が０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にあり、かつ、該誘電体組成物中のＳｉの酸化物 の含有割合ｓが０．５ａｔｍ％≦ｓ≦２．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｍｎの酸化物の含有割合ｔが、０．５ａｔｍ％≦ｔ≦３．０ａｔｍ％の範囲にあり、Ｃｒの酸化物の含有割合ｕが、０．０６ａｔｍ％≦ｕ≦０．５ａｔｍ％の範囲にあり、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物の含有割合ｖが０．２ａｔｍ％≦ｖ≦１．０ａｔｍ％の範囲にある誘電体組成物の製造方法。
- 主成分の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる物質からなり、副成分物質が少なくともＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物とを含有する第一の添加物と、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物とであることを特徴とする誘電体組成物。
- 誘電体組成物からなる１又は２以上の誘電体層とこの誘電体層を挟持している内部電極とを備えたセラミックコンデンサにおいて、前記誘電体層の組成物が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ、ｘは０．７≦ｘ≦０．９５、ｋは０．９≦ｋ≦１．１、ｙは０．０２≦ｙ≦０．１を満足する数値）で表わされる主成分物質に少なくとも副成分物質として、Ｓｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物とを含有する第一の添加物と、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上含有する第二の添加物とを有した誘電体組成物であることを特徴とするセラミックコンデンサ。
- 主成分物質の組成が、（Ｂａ１−ｘＭｅｘ） ｋ （Ｚｒ１−ｙＴｉｙ）Ｏ３、（但し、ＭｅはＣａ及び／又はＳｒ）で表わされる物質に、副成分物質として少なくとも焼成後にＳｉの酸化物とＭｎの酸化物とＣｒの酸化物になる物質を含有する第一の添加物をＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの酸化物或いはＳｉ、Ｍｎ及び／又はＣｒの水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で加え、ＳｃおよびＹを含む希土類元素（Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＬｕ）あるいはＮｂ、Ｍｏ、ＴａおよびＷの酸化物を１種または２種以上を含有する第２の添加物を、酸化物或いは水酸化物又は酢酸塩、硝酸塩若しくは硫酸塩等の塩のいずれかの形態で加え、これらの物質を非酸化性雰囲気中乃至は還元性雰囲気中で混合焼成した後、酸化雰囲気中で熱処理することにより、焼成物とし、該焼成物中における上記組成中のＭｅと（Ｍｅ＋Ｂａ）との比ｘの値を０．７≦ｘ≦０．９５の範囲、（Ｂａ＋Ｍｅ）と（Ｚｒ＋Ｔｉ）との比ｋの値を０．９≦ｋ≦１．１の範囲、Ｔｉと（Ｔｉ＋Ｚｒ）との比ｙの値を０．０２≦ｙ≦０．１の範囲にした誘電体組成物の製造方法。
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