JP2020202245A - セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施形態に係る積層セラミックコンデンサ100の部分断面斜視図である。図1で例示するように、積層セラミックコンデンサ100は、直方体形状を有する積層チップ10と、積層チップ10のいずれかの対向する2端面に設けられた外部電極20a,20bとを備える。なお、積層チップ10の当該2端面以外の4面のうち、積層方向の上面および下面以外の2面を側面と称する。外部電極20a,20bは、積層チップ10の積層方向の上面、下面および2側面に延在している。ただし、外部電極20a,20bは、互いに離間している。
まず、誘電体層11を形成するための誘電体材料を用意する。誘電体層11に含まれるAサイト元素およびBサイト元素は、通常はABO3の粒子の焼結体の形で誘電体層11に含まれる。例えば、BaTiO3は、ペロブスカイト構造を有する正方晶化合物であって、高い誘電率を示す。このBaTiO3は、一般的に、二酸化チタンなどのチタン原料と炭酸バリウムなどのバリウム原料とを反応させてチタン酸バリウムを合成することで得ることができる。誘電体層11を構成するセラミックの合成方法としては、従来種々の方法が知られており、例えば固相法、ゾル−ゲル法、水熱法等が知られている。本実施形態においては、これらのいずれも採用することができる。
次に、得られた誘電体材料に、ポリビニルブチラール(PVB)樹脂等のバインダと、エタノール、トルエン等の有機溶剤と、可塑剤とを加えて湿式混合する。得られたスラリーを使用して、例えばダイコータ法やドクターブレード法により、基材上に誘電体グリーンシートを塗工して乾燥させる。
図4(a)で例示するように、このようにして得られた成型体41を、N2雰囲気で脱バインダ処理した後に外部電極20a,20bの下地となる金属ペースト42をディップ法で塗布し、酸素分圧10−5〜10−8atmの還元雰囲気中で1100〜1300℃で10分〜2時間焼成する。図4(a)において、上下方向が誘電体グリーンシートの積層方向である。図4(b)でも同様である。
その後、N2ガス雰囲気中で600℃〜1000℃で再酸化処理を行ってもよい。
その後、電解めっき等によって、外部電極20a,20bに、Cu,Ni,Sn等の金属コーティングを行ってもよい。
チタン酸バリウム粉末に必要な添加物を添加し、ボールミルで十分に湿式混合粉砕して誘電体材料を得た。誘電体材料に有機バインダおよび溶剤を加えてドクターブレード法にて誘電体グリーンシートを作製した。有機バインダとしてポリビニルブチラール(PVB)等を用い、溶剤としてエタノール、トルエン等を加えた。その他、可塑剤などを加えた。次に、内部電極層12の主成分金属の粉末と、バインダと、溶剤と、必要に応じてその他助剤とを含んでいる内部電極形成用の金属導電ペーストを作製した。共材は添加しなかった。当該金属導電ペーストの有機バインダおよび溶剤には、誘電体グリーンシートとは異なるものを用いた。誘電体シートに内部電極形成用の金属導電ペーストをスクリーン印刷した。内部電極形成用の金属導電ペーストを印刷した誘電体グリーンシートを重ねた。得られた積層体の上下に、複数枚のカバーシートをそれぞれ積層した。その後、熱圧着によりセラミック積層体を得て、所定の形状に切断した。
内部電極形成用の金属導電ペーストに対してチタン酸バリウムの共材を5部添加したこと以外は、実施例1と同様の条件とした。
内部電極形成用の金属導電ペーストに対してチタン酸バリウムの共材を10部添加したこと以外は、実施例1と同様の条件とした。
内部電極形成用の金属導電ペーストに対してチタン酸バリウムの共材を15部添加したこと以外は、実施例1と同様の条件とした。
内部電極形成用の金属導電ペーストに対してチタン酸バリウムの共材を20部添加したこと以外は、実施例1と同様の条件とした。
焼成の過程で加圧手段による圧力を加えなかったこと以外は、実施例1と同様の条件とした。
内部電極形成用の金属導電ペーストに対してチタン酸バリウムの共材を5部添加したこと以外は、比較例1と同様の条件とした。
内部電極形成用の金属導電ペーストに対してチタン酸バリウムの共材を10部添加したこと以外は、比較例1と同様の条件とした。
内部電極形成用の金属導電ペーストに対してチタン酸バリウムの共材を15部添加したこと以外は、比較例1と同様の条件とした。
内部電極形成用の金属導電ペーストに対してチタン酸バリウムの共材を20部添加したこと以外は、比較例1と同様の条件とした。
実施例1〜5および比較例1〜5における内部電極層12の連続率を測定した。測定には、チップ中央部での、誘電体層11と内部電極層12との積層方向における断面のSEM(走査型電子顕微鏡)写真を用いた。具体的には、数枚のSEM写真に写っている全内部電極層の連続率を測定し、その平均値を連続率として求めた。容量については、1kHz、0.5Vrmsの条件で測定した。容量について、材料誘電率、誘電体層厚み、積層数、電極面積から求められる計算容量に対して10%以内の減少の場合には非常に良好「〇」と判定し、10〜20%以内の減少の場合には良好「△」と判定し、20%を超える減少の場合には不良「×」と判定した。
11 誘電体層
12 内部電極層
13 カバー層
20a,20b 外部電極
100 積層セラミックコンデンサ
Claims (5)
- セラミック粉末を含む誘電体グリーンシート上に金属導電ペーストのパターンが配置された積層単位を、前記金属導電ペーストの配置が交互にずれるように複数積層することで積層体を形成する工程と、
前記誘電体グリーンシートの積層方向に、加圧手段によって圧力を加えつつ、前記積層体を焼成する工程と、を含むことを特徴とするセラミック電子部品の製造方法。 - 前記誘電体グリーンシートの積層方向に、前記加圧手段によって0.05MPa以上1.5MPa以下の圧力を加えつつ、前記積層体を焼成することを特徴とする請求項1記載のセラミック電子部品の製造方法。
- 前記積層体を焼成する工程において、焼成雰囲気の温度が800℃以上になった後に、前記加圧手段によって圧力を加えることを特徴とする請求項1または2に記載のセラミック電子部品の製造方法。
- 前記金属導電ペーストへの共材の添加量を0.1部以下とすることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のセラミック電子部品の製造方法。
- 前記金属導電ペーストの焼成によって得られる内部電極層の平均厚みを0.5μm以下とすることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のセラミック電子部品の製造方法。
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---|---|---|---|---|
WO2024004392A1 (ja) * | 2022-06-26 | 2024-01-04 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサ |
WO2024004393A1 (ja) * | 2022-06-26 | 2024-01-04 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサ |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6097612A (ja) * | 1983-10-07 | 1985-05-31 | エヌ・ベー・フイリツプス・フルーイランペンフアブリケン | 多層コンデンサの製造方法 |
JP2003092228A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-03-28 | Nec Tokin Ceramics Corp | 積層セラミックコンデンサの製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004134808A (ja) | 2003-11-14 | 2004-04-30 | Tdk Corp | セラミック電子部品の製造方法および脱バインダ方法 |
-
2019
- 2019-06-07 JP JP2019107073A patent/JP7477080B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6097612A (ja) * | 1983-10-07 | 1985-05-31 | エヌ・ベー・フイリツプス・フルーイランペンフアブリケン | 多層コンデンサの製造方法 |
JP2003092228A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-03-28 | Nec Tokin Ceramics Corp | 積層セラミックコンデンサの製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024004392A1 (ja) * | 2022-06-26 | 2024-01-04 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサ |
WO2024004393A1 (ja) * | 2022-06-26 | 2024-01-04 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサ |
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