JP5050997B2 - 電子部品のボンディング装置およびボンディング方法 - Google Patents
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Description
グ装置およびボンディング方法を提供することを目的とする。
図1は本発明の実施の形態1の電子部品のボンディング装置の斜視図、図2は本発明の実施の形態1の電子部品のボンディング装置の側面図、図3は本発明の実施の形態1の電子部品のボンディング装置によるボンディング対象となる電子部品の説明図、図4は本発明の実施の形態1の電子部品のボンディング装置に備えられた撮像部の構成説明図、図5は本発明の実施の形態1の電子部品のボンディング装置の制御系の構成を示すブロック図
、図6は本発明の実施の形態1の電子部品のボンディング装置による電子部品のボンディング動作を示すフロー図、図7,図8、図9は本発明の実施の形態1の電子部品のボンディング装置による電子部品のボンディング動作の工程説明図、図10は本発明の実施の形態1の電子部品のボンディング装置によるスクラブ動作を示すフロー図、図11は本発明の実施の形態1の電子部品のボンディング装置によるスクラブ動作における標的部の撮像視野を示す図である。
4に示すように、鏡筒部13の先端部には、上面および下面にそれぞれ撮像用開口部13a、13bが設けられており、撮像用開口部13a、13bを介して受光した撮像光はプリズム13cによって水平方向に折り曲げられ(矢印c、d参照)、それぞれ撮像部14に備えられた部品撮像カメラ14a、基板撮像カメラ14bに入光する。これにより、撮像用開口部13aの上方および撮像用開口部13bの下方の撮像対象の画像が、部品撮像カメラ14a、基板撮像カメラ14bによってそれぞれ取得される。
ーゲット部材7を撮像した画像を認識処理することにより、ターゲットマーク7aの位置を認識する処理である。
クラブ動作は、スクラブ処理部20bがXYテーブル3の動作を制御することにより、ランド6を半田バンプ11に対してXおよびY方向に水平往復動させることによって行われる。そしてこのスクラブ動作においては、ターゲット部材7の上方に撮像用開口部13bを位置させた状態で、基板撮像カメラ14bによってターゲット部材7を撮像することにより、前述の動作振幅の検出が行われる。
値は、予め設定された閾置と比較されて動作振幅が正常であるか否かが判定される。次いで、振幅表示が行われる(ST9)。ここでは演算により求められた動作振幅の値が、前述の判定結果とともに表示部19に表示される。
図12は本発明の実施の形態2の電子部品のボンディング装置の構成説明図である。本実施の形態2は、チップ10と基板5とを水平方向に相対往復動させる方式として、固定状態で保持された基板5に対してチップ10を往復動させる駆動形態を用いた例を示して
いる。
3 XYテーブル
4 基板保持部
5 基板
7,7A ターゲット部材
8,8A ボンディング機構
9、24 ボンディングヘッド
10 チップ
11 半田バンプ
12、12A カメラ移動機構
13 鏡筒部
14 撮像部
14a 部品撮像カメラ
14b 基板撮像カメラ
15 昇降テーブル
26 ヘッド移動機構
Claims (6)
- 電子部品を基板に接合して実装する電子部品のボンディング装置であって、
前記基板を保持する基板保持部と、この基板保持部を水平移動させる保持部移動機構と、
前記電子部品を保持したボンディングヘッドをヘッド移動機構によって移動させることにより、前記電子部品を前記基板に接合して実装するボンディング動作を行うボンディング機構と、
前記基板を撮像する基板撮像カメラおよび前記電子部品を撮像する部品撮像カメラを備えた撮像部と、前記撮像部を前記ボンディングヘッドおよび前記基板保持部に対して移動させる撮像部移動機構と、前記基板撮像カメラおよび前記部品撮像カメラによる撮像結果を認識処理する認識処理部と、
前記撮像部によって撮像可能に配置され前記ボンディング機構または前記基板保持部によりこの撮像部に対して水平方向に相対移動する標的部と、
前記認識処理部の認識結果に基づき、前記ボンディング動作機構、撮像部移動機構を制御することにより前記ボンディング動作を行わせるとともに、前記ボンディングヘッドに保持された電子部品を前記基板保持部に保持された基板に対して所定の動作振幅で水平方向に相対往復動させるスクラブ動作を行わせる制御処理と、前記スクラブ動作において前記撮像部、撮像部移動機構および認識処理部を制御することにより前記撮像部に前記標的部を撮像させ、この撮像結果を前記認識処理部に認識処理させて前記スクラブ動作における動作振幅を検出する制御処理とを行う装置制御部とを備えたことを特徴とする電子部品のボンディング装置。 - 前記標的部は前記基板保持部と一体的に水平移動可能に設けられ、前記スクラブ動作において、前記保持部移動機構によって前記基板保持部を水平移動させることにより、前記標的部を前記基板撮像カメラに対して水平方向に移動させながらこの標的部を前記基板撮像カメラによって撮像することを特徴とする請求項1記載の電子部品のボンディング装置。
- 前記標的部は前記ボンディングヘッドと一体的に水平移動可能に設けられ、前記スクラブ動作において、前記ヘッド移動機構によって前記ボンディングヘッドを水平移動させることにより、前記標的部を前記部品撮像カメラに対して水平方向に移動させながらこの標的部を前記部品撮像カメラによって撮像することを特徴とする請求項1記載の電子部品のボンディング装置。
- 電子部品を基板に接合して実装する電子部品のボンディング方法であって、
前記電子部品を保持したボンディングヘッドをヘッド移動機構によって移動させることにより、前記電子部品を保持部移動機構によって移動する基板保持部に保持された前記基板に接合して実装するボンディング動作において、前記ボンディングヘッドに保持された電子部品を前記基板保持部に保持された基板に対して所定の動作振幅で水平方向に相対往復動させるスクラブ動作を行わせ、
さらに前記スクラブ動作において、前記基板を撮像する基板撮像カメラおよび前記電子部品を撮像する部品撮像カメラを備えた撮像部によって撮像可能に配置され前記ヘッド移動機構または前記保持部移動機構によってこの撮像部に対して水平方向に相対移動する標的部を前記撮像部によって撮像し、
この撮像結果を認識処理することにより前記スクラブ動作における動作振幅を検出することを特徴とする電子部品のボンディング方法。 - 前記標的部は前記基板保持部と一体的に水平移動可能に設けられ、前記スクラブ動作において、前記保持部移動機構によって前記基板保持部を水平移動させることにより、前記
標的部を前記基板撮像カメラに対して水平方向に移動させながらこの標的部を前記基板撮像カメラによって撮像することを特徴とする請求項4記載の電子部品のボンディング方法。 - 前記標的部は前記ボンディングヘッドと一体的に水平移動可能に設けられ、前記スクラブ動作において、前記ヘッド移動機構によって前記ボンディングヘッドを水平移動させることにより、前記標的部を前記部品撮像カメラに対して水平方向に移動させながらこの標的部を前記部品撮像カメラによって撮像することを特徴とする請求項4記載の電子部品のボンディング方法。
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