JP4952464B2 - ボンディングワイヤ検査装置およびボンディングワイヤ検査方法 - Google Patents
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Description
本形態のボンディングワイヤ検査装置100(以下,「検査装置100」)は,図1に示すように,被検体である検査ワーク1を載置し,平面上で移動自在に設けられたXYステージ2と,XYステージ2の上方に配置され,検査ワーク1を撮像するCCDカメラ7と,CCDカメラ7と同軸上に配置され,ストロボ光を照射する同軸照明6と,CCDカメラ7に付設される偏光板15と,CCDカメラ7の両側方に対向配置され,ライン状のスリット光を照射するスリット光源4,5と,同軸照明6用のストロボ電源8と,CCDカメラ7を上下方向(Z方向)に移動自在にさせるZ軸ステージ3と,各部材の制御や演算を行う制御演算装置9と,XYステージ2およびZ軸ステージ3を駆動するステージ制御ドライバ10とを備えている。
続いて,検査装置100によってボンディングワイヤ12の高さを測定する手順について,図6のフローチャートを参照しつつ説明する。本形態では,S01からS04までがボンディングワイヤ12の平面視における形状および位置を抽出する形状・位置検出ステップであり,S06からS09までがボンディングワイヤ12の高さを算出する高さ計測ステップである。
2 XYステージ(ステージ)
4,5 スリット光源
6 同軸照明(ストロボ光源)
7 CCDカメラ(撮像装置)
9 制御演算装置
11 基板
12 ボンディングワイヤ
13 基板光点
14 ワイヤ光点
100 ボンディングワイヤ検査装置
Claims (4)
- ワイヤボンディングがなされた基板を被検体とし,
被検体を載置するステージと,
前記ステージ上の被検体を上方から撮像する撮像装置と,
前記撮像装置の側方に配置され,被検体の斜め上方から当該被検体に対してスリット光を照射するスリット光源とを備えたボンディングワイヤ検査装置において,
前記ステージに載置された被検体を,前記スリット光によって当該被検体の基板に描かれる基準線の方向であるライン方向と,当該被検体のボンディングワイヤの長手方向とが直交するように位置調整し,
前記ステージを,前記ライン方向に移動させながら,前記撮像装置にて当該被検体を所定時間連続して撮像し,その撮像データを基に,当該被検体の基板に対するボンディングワイヤの高さを取得することを特徴とするボンディングワイヤ検査装置。 - 請求項1に記載するボンディングワイヤ検査装置において,
被検体の上方からストロボ光を照射するストロボ光源を備えることを特徴とするボンディングワイヤ検査装置。 - ワイヤボンディングがなされた基板を被検体とし,
被検体の斜め上方から被検体に対してスリット光を照射し,当該被検体の上方に配置された撮像装置にて当該被検体を撮像し,その撮像データを基に,当該被検体の基板に対するボンディングワイヤの高さを取得するワイヤ高さ取得ステップを含むボンディングワイヤ検査方法において,
前記ワイヤの高さ取得ステップでは,
ステージ上に載置された被検体を,前記スリット光によって当該被検体の基板に描かれる基準線の方向であるライン方向と,当該被検体のボンディングワイヤの長手方向とが直交するように位置調整し,
前記ステージを,前記ライン方向に移動させながら,前記撮像装置にて当該被検体を所定時間連続して撮像することを特徴とするボンディングワイヤ検査方法。 - 請求項3に記載するボンディングワイヤ検査方法において,
被検体の上方からストロボ光を照射し,前記ステージを移動させながら,前記撮像装置にて当該被検体を撮像し,その撮像データを基に,被検体のボンディングワイヤの形状を取得するワイヤ形状取得ステップを含むことを特徴とするボンディングワイヤの検査方法。
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