JP5045754B2 - スイッチ回路及び半導体装置 - Google Patents
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Description
前記高周波信号の直流電位を基準とする正負の変化に対して、いずれかの高周波端子から見たインピーダンスが前記直流電位を基準に対称に変化するように、スイッチ回路に存在する、前記直流電位を基準に非対称に変化する該スイッチ回路の任意の端子と前記直流電位もしくは対地電位との間のインピーダンスを補正するための補正回路を有し、
前記直流電位を基準に非対称に変化するインピーダンスは、対地寄生容量のインピーダンスであり、
前記補正回路が前記対地寄生容量のインピーダンスとインピーダンスを平衡させる補正用容量素子を含む構成である。
または、高周波信号を通過させる、または遮断するためのスイッチ回路であって、
前記高周波信号の直流電位を基準とする正負の変化に対して、いずれかの高周波端子から見たインピーダンスが前記直流電位を基準に対称に変化するように、スイッチ回路に存在する、前記直流電位を基準に非対称に変化する該スイッチ回路の任意の端子と前記直流電位もしくは対地電位との間のインピーダンスを補正するための補正回路と、
前記高周波信号が入出力される第1の高周波端子及び第2の高周波端子、前記第1の高周波端子と前記第2の高周波端子間に直列に接続された複数の電界効果トランジスタ、並びに前記電界効果トランジスタのゲート電極と制御端子間に接続された抵抗素子を備えたスイッチ部と、
を有し、
前記直流電位を基準に非対称に変化するインピーダンスは、前記電界効果トランジスタのゲート電極と前記制御端子間に接続された抵抗素子のインピーダンスであり、
前記補正回路が該抵抗素子のインピーダンスとインピーダンスを平衡させる補正用抵抗素子を含む構成である。
または、高周波信号を通過させる、または遮断するためのスイッチ回路であって、
前記高周波信号の直流電位を基準とする正負の変化に対して、いずれかの高周波端子から見たインピーダンスが前記直流電位を基準に対称に変化するように、スイッチ回路に存在する、前記直流電位を基準に非対称に変化する該スイッチ回路の任意の端子と前記直流電位もしくは対地電位との間のインピーダンスを補正するための補正回路と、
前記高周波信号が入出力される第1の高周波端子及び第2の高周波端子、前記第1の高周波端子と前記第2の高周波端子間に直列に接続された複数の電界効果トランジスタ、並びに前記電界効果トランジスタのゲート電極と制御端子間に接続された抵抗素子を備えたスイッチ部と、
を有し、
前記直流電位を基準に非対称に変化するインピーダンスは、前記電界効果トランジスタのゲート電極と接地電位間の対地寄生容量のインピーダンス及び前記電界効果トランジスタのゲート電極と前記制御端子間に接続された抵抗素子のインピーダンスであり、
前記補正回路は、
前記電界効果トランジスタのゲート電極と接地電位間の前記対地寄生容量のインピーダンスとインピーダンスを平衡させる補正用容量素子と、
前記電界効果トランジスタのゲート電極と前記制御端子間に接続された抵抗素子のインピーダンスとインピーダンスを平衡させる補正用抵抗素子と、
を有し、
前記補正回路が、
直列に接続された少なくとも1つの電界効果トランジスタのゲート電極と前記第1の高周波端子間に接続された構成である。
または、高周波信号を通過させる、または遮断するためのスイッチ回路であって、
前記高周波信号の直流電位を基準とする正負の変化に対して、いずれかの高周波端子から見たインピーダンスが前記直流電位を基準に対称に変化するように、スイッチ回路に存在する、前記直流電位を基準に非対称に変化する該スイッチ回路の任意の端子と前記直流電位もしくは対地電位との間のインピーダンスを補正するための補正回路と、
前記高周波信号が入出力される第1の高周波端子及び第2の高周波端子、前記第1の高周波端子と前記第2の高周波端子間に直列に接続された複数の電界効果トランジスタ、並びに前記電界効果トランジスタのゲート電極と制御端子間に接続された抵抗素子を備えたスイッチ部と、
を有し、
前記直流電位を基準に非対称に変化するインピーダンスは、前記電界効果トランジスタのゲート電極と接地電位間の対地寄生容量のインピーダンス及び前記電界効果トランジスタのゲート電極と前記制御端子間に接続された抵抗素子のインピーダンスであり、
前記補正回路は、
前記電界効果トランジスタのゲート電極と接地電位間の前記対地寄生容量のインピーダンスとインピーダンスを平衡させる補正用容量素子と、
前記電界効果トランジスタのゲート電極と前記制御端子間に接続された抵抗素子のインピーダンスとインピーダンスを平衡させる補正用抵抗素子と、
を有し、
前記補正回路が、
直列に接続された少なくとも1つの電界効果トランジスタのゲート電極と該電界効果トランジスタのドレイン間に接続された構成である。
図4は第1の実施の形態のスイッチ回路の構成を示す回路図である。なお、図4はSPDT型のスイッチ回路に本実施形態の構成を適用した例である。
図8は第2の実施の形態のスイッチ回路の構成を示す回路図である。なお、図8はSPDT型のスイッチ回路に本実施形態の構成を適用した例である。
図10は第3の実施の形態のスイッチ回路の構成を示す回路図である。なお、図10はSPDT型のスイッチ回路に本実施形態の構成を適用した例である。
図11は第4の実施の形態のスイッチ回路の構成を示す回路図である。なお、図11はSPDT型のスイッチ回路に本実施形態の構成を適用した例である。
図15、図16及び図17は第5の実施の形態のスイッチ回路の構成例を示す回路図である。なお、図15〜図17はSPDT型のスイッチ回路に本実施形態の構成を適用した例である。
図21及び図22は第6の実施の形態のスイッチ回路の構成例を示す回路図である。なお、図21及び図22はSPDT型のスイッチ回路に本実施形態の構成を適用した例である。
図24、図25及び図26は第7の実施の形態のスイッチ回路の構成例を示す回路図である。なお、図24〜図26はSPDT型のスイッチ回路に本実施形態の構成を適用した例である。
図27及び図28は第8の実施の形態のスイッチ回路の構成例を示す回路図である。なお、図27及び図28はSPDT型のスイッチ回路に本実施形態の構成を適用した例である。
図30は第1実施例のスイッチ回路が備えるFETの構造を示す平面図である。
図31は第2実施例のスイッチ回路が備えるFETの構造を示す平面図である。
図32は第3実施例のスイッチ回路が備えるFETの構造を示す平面図である。
図33は第4実施例のスイッチ回路が備えるFETの構造を示す平面図である。
図34は第5実施例のスイッチ回路が備えるFETの構造を示す平面図である。
図35及び図36は第6実施例のスイッチ回路が備えるFETの構造を示す平面図である。なお、図36は図1に示した第1の実施の形態のスイッチ回路の構造例を示している。
Claims (16)
- 高周波信号を通過させる、または遮断するためのスイッチ回路であって、
前記高周波信号の直流電位を基準とする正負の変化に対して、いずれかの高周波端子から見たインピーダンスが前記直流電位を基準に対称に変化するように、スイッチ回路に存在する、前記直流電位を基準に非対称に変化する該スイッチ回路の任意の端子と前記直流電位もしくは対地電位との間のインピーダンスを補正するための補正回路を有し、
前記直流電位を基準に非対称に変化するインピーダンスは、対地寄生容量のインピーダンスであり、
前記補正回路が前記対地寄生容量のインピーダンスとインピーダンスを平衡させる補正用容量素子を含むスイッチ回路。 - 前記高周波信号が入出力される第1の高周波端子及び第2の高周波端子、並びに前記第1の高周波端子と前記第2の高周波端子間に直列に接続された複数の電界効果トランジスタを備えたスイッチ部を有し、
前記対地寄生容量は、前記電界効果トランジスタのゲート電極と接地電位間の寄生容量である請求項1記載のスイッチ回路。 - 前記補正回路が、
直列に接続された少なくとも1つの電界効果トランジスタのゲート電極と前記第1の高周波端子間に接続された請求項2記載のスイッチ回路。 - 前記補正回路が、
直列に接続された少なくとも1つの電界効果トランジスタのゲート電極と該電界効果トランジスタのドレイン間に接続された請求項2記載のスイッチ回路。 - 高周波信号を通過させる、または遮断するためのスイッチ回路であって、
前記高周波信号の直流電位を基準とする正負の変化に対して、いずれかの高周波端子から見たインピーダンスが前記直流電位を基準に対称に変化するように、スイッチ回路に存在する、前記直流電位を基準に非対称に変化する該スイッチ回路の任意の端子と前記直流電位もしくは対地電位との間のインピーダンスを補正するための補正回路と、
前記高周波信号が入出力される第1の高周波端子及び第2の高周波端子、前記第1の高周波端子と前記第2の高周波端子間に直列に接続された複数の電界効果トランジスタ、並びに前記電界効果トランジスタのゲート電極と制御端子間に接続された抵抗素子を備えたスイッチ部と、
を有し、
前記直流電位を基準に非対称に変化するインピーダンスは、前記電界効果トランジスタのゲート電極と前記制御端子間に接続された抵抗素子のインピーダンスであり、
前記補正回路が該抵抗素子のインピーダンスとインピーダンスを平衡させる補正用抵抗素子を含むスイッチ回路。 - 前記補正回路は、
直列に接続された補正用抵抗素子及び容量素子である請求項5記載のスイッチ回路。 - 前記電界効果トランジスタのゲート電極と前記制御端子間に接続された抵抗素子の値と、前記補正用抵抗素子の値とが等しい請求項5または6記載のスイッチ回路。
- 前記補正回路が、
直列に接続された少なくとも1つの電界効果トランジスタのゲート電極と前記第1の高周波端子間に接続された請求項5から7のいずれか1項記載のスイッチ回路。 - 前記補正回路が、
直列に接続された少なくとも1つの電界効果トランジスタのゲート電極と該電界効果トランジスタのドレイン間に接続された請求項5から7のいずれか1項記載のスイッチ回路。 - 高周波信号を通過させる、または遮断するためのスイッチ回路であって、
前記高周波信号の直流電位を基準とする正負の変化に対して、いずれかの高周波端子から見たインピーダンスが前記直流電位を基準に対称に変化するように、スイッチ回路に存在する、前記直流電位を基準に非対称に変化する該スイッチ回路の任意の端子と前記直流電位もしくは対地電位との間のインピーダンスを補正するための補正回路と、
前記高周波信号が入出力される第1の高周波端子及び第2の高周波端子、前記第1の高周波端子と前記第2の高周波端子間に直列に接続された複数の電界効果トランジスタ、並びに前記電界効果トランジスタのゲート電極と制御端子間に接続された抵抗素子を備えたスイッチ部と、
を有し、
前記直流電位を基準に非対称に変化するインピーダンスは、前記電界効果トランジスタのゲート電極と接地電位間の対地寄生容量のインピーダンス及び前記電界効果トランジスタのゲート電極と前記制御端子間に接続された抵抗素子のインピーダンスであり、
前記補正回路は、
前記電界効果トランジスタのゲート電極と接地電位間の前記対地寄生容量のインピーダンスとインピーダンスを平衡させる補正用容量素子と、
前記電界効果トランジスタのゲート電極と前記制御端子間に接続された抵抗素子のインピーダンスとインピーダンスを平衡させる補正用抵抗素子と、
を有し、
前記補正回路が、
直列に接続された少なくとも1つの電界効果トランジスタのゲート電極と前記第1の高周波端子間に接続されたスイッチ回路。 - 高周波信号を通過させる、または遮断するためのスイッチ回路であって、
前記高周波信号の直流電位を基準とする正負の変化に対して、いずれかの高周波端子から見たインピーダンスが前記直流電位を基準に対称に変化するように、スイッチ回路に存在する、前記直流電位を基準に非対称に変化する該スイッチ回路の任意の端子と前記直流電位もしくは対地電位との間のインピーダンスを補正するための補正回路と、
前記高周波信号が入出力される第1の高周波端子及び第2の高周波端子、前記第1の高周波端子と前記第2の高周波端子間に直列に接続された複数の電界効果トランジスタ、並びに前記電界効果トランジスタのゲート電極と制御端子間に接続された抵抗素子を備えたスイッチ部と、
を有し、
前記直流電位を基準に非対称に変化するインピーダンスは、前記電界効果トランジスタのゲート電極と接地電位間の対地寄生容量のインピーダンス及び前記電界効果トランジスタのゲート電極と前記制御端子間に接続された抵抗素子のインピーダンスであり、
前記補正回路は、
前記電界効果トランジスタのゲート電極と接地電位間の前記対地寄生容量のインピーダンスとインピーダンスを平衡させる補正用容量素子と、
前記電界効果トランジスタのゲート電極と前記制御端子間に接続された抵抗素子のインピーダンスとインピーダンスを平衡させる補正用抵抗素子と、
を有し、
前記補正回路が、
直列に接続された少なくとも1つの電界効果トランジスタのゲート電極と該電界効果トランジスタのドレイン間に接続されたスイッチ回路。 - 前記第1の高周波端子を共有する複数のスイッチ部を有する請求項3、4、8、9、10または11のいずれか1項記載のスイッチ回路。
- 前記容量素子は、
電界効果トランジスタのドレインの端部またはソースの端部と並行に配置される、ゲート電極を延伸した延長部と、前記ドレインまたはソース間の寄生容量である請求項2、3、4、10、11または12のいずれか1項記載のスイッチ回路。 - 前記容量素子は、
電界効果トランジスタのゲート電極に接続される、ドレインの端部またはソースの端部と並行に配置された配線と、前記ドレインまたはソース間の寄生容量である請求項2、3、4、10、11または12のいずれか1項記載のスイッチ回路。 - 前記容量素子は、
電界効果トランジスタのゲート電極に接続される抵抗素子と、前記抵抗素子と絶縁膜を挟んで形成されたソース間の寄生容量である請求項2、3、4、10、11または12のいずれか1項記載のスイッチ回路。 - 請求項1から15のいずれか1項記載のスイッチ回路を備えた半導体装置。
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