JP5000845B2 - プログラマブル消去不要メモリ - Google Patents
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Description
前記基板上において、第1の方向に平行に延在した、複数の第1の導電線を形成する工程と、
前記第1の方向とアレイを構成するようにして直交する第2の方向に延在した、複数の第2の導電線を前記複数の第1の導電線上に形成する工程と、
前記複数の第1の導電線及び前記複数の第2の導電線の、前記アレイの交差部において、応力に応じて特性が進行的に変化することによって特徴づけられる、内部電極層を形成し、前記交差部においてメモリセルを形成する工程と、
前記応力を負荷し、前記メモリセルにおける特性を検知するための回路を提供する工程とを具える。
前記基板内にドーパントを注入し、第1の導電型を有する導電拡散領域を形成する工程と、
前記導電拡散領域上に、15Åの厚さを有する酸化シリコン層を形成する工程と、
前記酸化シリコン層上に、第2の導電型を有するドープ多結晶シリコン層を形成する工程と、
を具えることを特徴とする工程に従って形成することができる。
第1のパルス高さ及び第1のパルス幅を有する前記メモリセルに対して第1のプログラムパルスを印加する工程と、
前記メモリセルが、前記第1のプログラムパルスによってプログラムされたか否かを決定する工程と、
前記メモリセルに対して再プログラムパルスを印加する工程と、
前記メモリセルに対して他の再プログラムパルスを反復的に印加し、前記メモリセルがプログラムされるまで、あるいは最大数の再プログラムパルスが印加されるまで、前記メモリセルがプログラムされたか否かを決定する工程とを具え、
前記再プログラムパルスは、少なくとも一つの再プログラムパルスにおいて、そのパルス幅又はパルス高さが、他の再プログラムパルスのパルス幅又はパルス高さと異なるようなパターンで変化する、パルス幅及びパルス高さを有する。
(1)選択されたレベルが実行されたか否かを決定し、このレベルが実行されていない場合に、各サイクルにおいて等しいパルス電圧及びパルス長さを有するパルスを負荷する確認工程、
(2)選択されたレベルが実行されたか否かを決定し、このレベルが実行されていない場合に、連続した各サイクルにおいて、等しいパルス長さを有し、パルス電圧が徐々に増大したパルスを負荷する確認工程、
(3)選択されたレベルが実行されたか否かを決定し、このレベルが実行されていない場合に、連続した各サイクルにおいて、等しいパルス電圧を有し、パルス長さが徐々に増大したパルスを負荷する確認工程、
(4)選択されたレベルが実行されたか否かを決定し、このレベルが実行されていない場合に、連続した各サイクルの少なくとも1サイクル以上において、パルス幅及びパルス高さの少なくとも一方が異なるパルスを負荷する確認工程、
を含む。
Claims (77)
- メモリセルのアレイであって、該アレイ中の前記メモリセルは、第1の電極、第2の電極、及び、前記第1の電極と前記第2の電極との間に設けられ、前記第1の電極および前記第2の電極の間に電圧に応じて、該電圧の印加時から開始し、該電圧を印加する時間の経過とともに徐々に変化する特性を有する電極間材料層により構成される、前記メモリセルのアレイと、
前記電圧を生ぜしめることによって前記アレイ中の前記メモリセルをプログラムするためのロジックと、
前記アレイ中の前記特性の変化の量を検知する検知回路と、
を備え、
前記電極間材料層の材料は誘電材料であり、前記アレイ中の各メモリセルの前記第1の電極および前記第2の電極は、それぞれ互いに略直交する方向に直列に接続されていることを特徴とする、集積回路。 - 前記電極間材料層は20Å未満の厚さの酸化シリコンを具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記電極間材料層は20Å未満の厚さの酸窒化シリコンを具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記電極間材料層は、20Å未満の厚さの極薄材料を具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記電極間材料層は窒化シリコンを具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記電極間材料層は、Al2O3, YTa2O5, HfO2, Y2O3, CeO2, TiO2, HfSixOy, HfSiON, HfAlOx, TaOxNy, ZrO2, ZrSixOy, La2O3, ZrO2から選ばれる少なくとも一つを具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- プログラムのための前記ロジックは、前記電極間材料層の前記特性の変化を生ぜしめるに十分な時間、前記メモリセル内にプログラム電圧を印加するための回路を含むことを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- プログラムのための前記ロジックは、所定の時間、前記メモリセルの前記第1の電極及び前記第2の電極にプログラム電圧を印加するための回路を具え、前記プログラム電圧は5V以下であることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- プログラムのための前記ロジックは、所定の時間、前記メモリセルの前記第1の電極に対して正のプログラム電圧を印加し、前記メモリセルの前記第2の電極に対して負のプログラム電圧を印加するための回路を含み、前記正のプログラム電圧の絶対値及び前記負のプログラム電圧の絶対値は2V以下であることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記第1の電極は多結晶シリコン層を具え、前記第2の電極は半導体基板内において導電性の拡散領域を具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記第1の電極と前記第2の電極とは、同一の元素を含む材料を具え、前記電極間材料層は前記元素を含む化合物を具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記第1の電極は第1の導電型の多結晶シリコン層を具え、前記第2の電極は半導体基板内において第2の導電型の導電性拡散領域を具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記第1の電極は第1の導電型のp型多結晶シリコン層を具え、前記第2の電極は半導体基板内においてn型の導電性拡散領域を具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記第1の電極は第1の導電型の半導体材料を具え、前記第2の電極は第2の導電型の半導体材料を具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記第1の電極は第1の多結晶シリコン層を具え、前記第2の電極は第2の多結晶シリコン層を具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記第1の電極は金属層を具え、前記第2の電極は半導体基板内において導電性の拡散領域を具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記第1の電極は金属層を具え、前記第2の電極は多結晶シリコン層を具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記第1の電極は第1の金属層を具え、前記第2の電極は第2の金属層を具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記検知回路は、前記アレイ中の選択されたメモリセルにおける前記第1の電極及び前記第2の電極に対して読出し電圧を印加し、前記特性を検知するための回路を含むことを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記検知回路は、前記アレイ中の選択されたメモリセルにおける前記第1の電極及び前記第2の電極に対して2V以下の読出し電圧を印加し、前記特性を検知するための回路を含むことを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記検知回路は、前記アレイ中の選択されたメモリセルにおける前記第1の電極及び前記第2の電極に対して読出し電圧を印加し、2ビットデータを示す前記特性の4つのレベルを検知するための回路を具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記検知回路は、前記アレイ中の選択されたメモリセルにおける前記第1の電極及び前記第2の電極に対して読出し電圧を印加し、3ビットデータを示す前記特性の8つの量を検知するための回路を具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記検知回路は、前記アレイ中の選択されたメモリセルにおける前記第1の電極及び前記第2の電極に対して読出し電圧を印加し、4ビットデータを示す前記特性の16の量を検知するための回路を具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記メモリセルをプログラムのための前記ロジックは、選択されたメモリセルに対して電圧を印加し、前記電圧によって前記特性において予定した変化が生じたか否かを確認し、生じていない場合に、前記電圧を再度印加するとともに前記確認操作を再度行うロジックを含むことを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- 前記検知回路は複数の参照電流源と、選択されたセルに対して読出し電圧を印加し、前記選択されたセルからの電流を複数の参照電流源の1以上と比較するための回路とを具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- スタティックランダムアクセスメモリアレイと、このスタティックランダムアクセスメモリアレイから前記メモリセルの前記アレイ中に記憶されたデータにアクセスする特殊目的ロジックあるいはプログラマブルゲートアレイロジックなどのロジックとを含み、前記ロジック及び前記スタティックランダムアクセスメモリアレイは、分けて設置されることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- スタティックランダムアクセスメモリアレイと、前記メモリセルの前記アレイ中に記憶されたデータ及び前記スタティックランダムアクセスメモリアレイ中に記憶されたデータにアクセスするための指令を含んだ指令を実行するプロセッサとを含むことを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
- スタティックランダムアクセスメモリアレイと、前記メモリセルの前記アレイ中に記憶されたデータ及び前記スタティックランダムアクセスメモリアレイ中に記憶されたデータにアクセスするための指令を含んだ指令を実行するプロセッサとを含み、
プログラムのための前記ロジックは前記プロセッサによって実行される指令を具えることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。 - 第1の電極と、
第2の電極と、
前記第1の電極及び前記第2の電極との間に設けられ、前記第1の電極および前記第2の電極の間に電圧に応じて、該電圧の印加時から開始し、該電圧を印加する時間の経過とともに徐々に変化する特性を有する電極間材料層と、
を備え、
前記電極間材料層の材料は誘電材料であることを特徴とする、メモリセル。 - 前記電圧は、前記メモリセル中に抵抗変化を誘起する所定の時間、前記第1の電極及び前記第2の電極に対して印加すべき5V以下の電圧を具えることを特徴とする、請求項29に記載のメモリセル。
- 前記電極間材料層は20Å未満の厚さの酸化シリコンを具えることを特徴とする、請求項29に記載のメモリセル。
- 前記電極間材料層は20Å未満の厚さの酸窒化シリコンを具えることを特徴とする、請求項29に記載のメモリセル。
- 前記電極間材料層は誘電体材料を具えることを特徴とする、請求項29に記載のメモリセル。
- 前記電極間材料層は、20Å未満の厚さの極薄材料を具えることを特徴とする、請求項29に記載のメモリセル。
- 前記電極間材料層は窒化シリコンを具えることを特徴とする、請求項29に記載のメモリセル。
- 前記電極間材料層は、Al2O3, YTa2O5, HfO2, Y2O3, CeO2, TiO2, HfSixOy, HfSiON, HfAlOx, TaOxNy, ZrO2, ZrSixOy, La2O3, ZrO2から選ばれる少なくとも一つを具えることを特徴とする、請求項29に記載のメモリセル。
- 前記第1の電極と前記第2の電極とは、同一の元素を含む材料を具え、前記電極間材料層は前記元素を含む化合物を具えることを特徴とする、請求項29に記載のメモリセル。
- 前記第1の電極は多結晶シリコン層を具え、前記第2の電極は半導体基板内において導電性の拡散領域を具えることを特徴とする、請求項29に記載のメモリセル。
- 前記第1の電極は第1の導電型の多結晶シリコン層を具え、前記第2の電極は半導体基板内において第2の導電型の導電性拡散領域を具えることを特徴とする、請求項29に記載のメモリセル。
- 前記第1の電極は第1の導電型のp型多結晶シリコン層を具え、前記第2の電極は半導体基板内において第2の導電型のn型導電性拡散領域を具えることを特徴とする、請求項29に記載のメモリセル。
- 前記第1の電極は第1の導電型の半導体材料を具え、前記第2の電極は第2の導電型の半導体材料を具えることを特徴とする、請求項29に記載のメモリセル。
- 前記第1の電極は第1の多結晶シリコン層を具え、前記第2の電極は第2の多結晶シリコン層を具えることを特徴とする、請求項29に記載のメモリセル。
- 前記第1の電極は金属層を具え、前記第2の電極は半導体基板内において導電性の拡散領域を具えることを特徴とする、請求項29に記載のメモリセル。
- 前記第1の電極は金属層を具え、前記第2の電極は多結晶シリコン層を具えることを特徴とする、請求項29に記載のメモリセル。
- 前記第1の電極は第1の金属層を具え、前記第2の電極は第2の金属層を具えることを特徴とする、請求項29に記載のメモリセル。
- 前記特性の変化は、所定の時間、前記第1の電極に対して正のプログラム電圧を印加し、前記第2の電極に対して負のプログラム電圧を印加することによって誘起し、前記正のプログラム電圧の絶対値及び前記負のプログラム電圧の絶対値が2V以下であることを特徴とする、請求項29に記載のメモリセル。
- 第1の電極と、
第2の電極と、
前記第1の電極及び前記第2の電極の間に設けられ、前記第1の電極及び前記第2の電極に対して5V以下の電圧を印加することにより、前記第1の電極および前記第2の電極の間に電圧に応じて、該電圧の印加時から開始し、該電圧を印加する時間の経過とともに徐々に変化する抵抗を有する、厚さ15Å以下の酸化シリコンを具える電極間材料層と、
により構成されることを特徴とする、メモリセル。 - 第1の導電型を有する半導体を具える第1の電極と、
第2の導電型を有する半導体を具える第2の電極と、
前記第1の電極及び前記第2の電極の間に設けられ、前記第1の電極及び前記第2の電極に対して5V以下の電圧を印加することにより、前記第1の電極および前記第2の電極の間に電圧に応じて、該電圧の印加時から開始し、該電圧を印加する時間の経過とともに徐々に変化する抵抗を有する、厚さ15Å以下の酸化シリコンを具える電極間材料層と、
により構成されることを特徴とする、メモリセル。 - 単一基板上の集積回路であって、
第1の電極、第2の電極、及び、前記第1の電極と前記第2の電極との間に設けられ、前記第1の電極および前記第2の電極の間に電圧に応じて、該電圧の印加時から開始し、該電圧を印加する時間の経過とともに徐々に変化する特性を有する電極間材料層により構成されるメモリセルの、複数のロウ及びコラムを具える前記メモリセルのアレイと、
前記アレイ中のそれぞれのロウにおける前記メモリセルの、前記第1の電極と接触している前記アレイ中の複数のワードラインと、
前記アレイ中のそれぞれのコラムにおける前記メモリセルの、前記第2の電極と接触している前記アレイ中の複数のビットラインと、
前記複数のワードライン及び前記複数のビットラインと結合し、前記アレイ中の選択されたメモリセルをアドレスするためのアドレスデコーダと、
前記複数のワードライン及び前記複数のビットラインと結合し、選択されたメモリセル中に電圧を生ぜしめることによって、前記アレイ中の前記メモリセルをプログラムするためのロジックと、
前記複数のビットラインに結合し、前記アレイ中の選択されたメモリセル中の前記特性の変化の量を検知するための検知回路と、
を具え、
前記電極間材料層の材料は誘電材料であり、前記アレイ中の各メモリセルの前記第1の電極および前記第2の電極は、それぞれ互いに略直交する方向に直列に接続されていることを特徴とする、集積回路。 - 前記電極間材料層は20Å未満の厚さの酸化シリコンを具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記電極間材料層は20Å未満の厚さの酸窒化シリコンを具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記電極間材料層は、20Å未満の厚さの極薄材料を具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記電極間材料層は窒化シリコンを具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記電極間材料層は、Al2O3, YTa2O5, HfO2, Y2O3, CeO2, TiO2, HfSixOy, HfSiON, HfAlOx, TaOxNy, ZrO2, ZrSixOy, La2O3, ZrO2から選ばれる少なくとも一つを具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- プログラムのための前記ロジックは、前記電極間材料層の前記特性の変化を生ぜしめるに十分な時間、選択されたメモリセル内にプログラム電圧を印加するための回路を含むことを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- プログラムのための前記ロジックは、前記電極間材料層の前記特性の変化を生ぜしめるに十分な時間、選択されたメモリセル内にプログラム電圧を印加するための回路を含み、前記プログラム電圧は5V以下であることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- プログラムのための前記ロジックは、所定の時間、前記複数のワードラインの一つに正のプログラム電圧を印加し、前記複数のビットラインの一つに負のプログラム電圧を印加するための回路を含み、前記正のプログラム電圧の絶対値及び前記負のプログラム電圧の絶対値は2V以下であることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記基板上において負電圧発生器を含むことを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記複数のワードラインは多結晶シリコンを具え、前記複数のビットラインはそれぞれ半導体基板内において導電性の拡散領域を具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記第1の電極と前記第2の電極とは、同一の元素を含む材料を具え、前記電極間材料層は、前記元素を含む化合物を具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記複数のワードラインは第1の導電型の多結晶シリコンを具え、前記複数のビットラインはそれぞれ半導体基板内において第2の導電型の導電性拡散領域を具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記複数のワードラインはp型多結晶シリコンを具え、前記複数のビットラインはそれぞれ半導体基板内においてn型の導電性拡散領域を具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記第1の電極は第1の導電型の半導体材料を具え、前記第2の電極は第2の導電型の半導体材料を具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記第1の電極は第1の多結晶シリコン層を具え、前記第2の電極は第2の多結晶シリコン層を具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記複数のワードラインは金属を具え、前記複数のビットラインはそれぞれ半導体基板内において導電性の拡散領域を具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記複数のワードラインは金属を具え、前記複数のビットラインは多結晶シリコンを具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記複数のワードラインは金属を具え、前記複数のビットラインは金属を具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記検知回路は、前記複数のワードラインの一つに読出し電圧を印加し、前記複数のビットラインの一つから前記特性を検知するための回路を具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記検知回路は、前記複数のワードラインの一つに2V以下の読出し電圧を印加し、前記複数のビットラインの一つから前記特性を検知するための回路を具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記検知回路は、選択されたメモリセルから2ビットデータを示す前記特性の4つのレベルを検知するための回路を具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記検知回路は、選択されたメモリセルから3ビットデータを示す前記特性の8つの量を検知するための回路を具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記検知回路は、選択されたメモリセルから4ビットデータを示す前記特性の16の量を検知するための回路を具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記メモリセルをプログラムのための前記ロジックは、選択されたメモリセルに対して電圧を印加し、前記電圧によって前記特性において予定した変化が生じたか否かを確認し、生じていない場合に、前記電圧を再度印加するとともに前記確認操作を再度行うロジックを含むことを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- 前記検知回路は複数の参照電流源と、選択されたセルに対して読出し電圧を印加し、前記選択されたセルからの電流を複数の参照電流源の1以上と比較するための回路とを具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- スタティックランダムアクセスメモリアレイと、このスタティックランダムアクセスメモリアレイから前記メモリセルの前記アレイ中に記憶されたデータにアクセスする特殊目的ロジックあるいはプログラマブルゲートアレイロジックなどのロジックとを含み、前記ロジック及び前記スタティックランダムアクセスメモリアレイは、分けて設置されることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- スタティックランダムアクセスメモリアレイと、前記メモリセルの前記アレイ中に記憶されたデータ及び前記スタティックランダムアクセスメモリアレイ中に記憶されたデータにアクセスするための指令を含んだ指令を実行するプロセッサとを含むことを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
- スタティックランダムアクセスメモリアレイと、前記メモリセルの前記アレイ中に記憶されたデータ及び前記スタティックランダムアクセスメモリアレイ中に記憶されたデータにアクセスするための指令を含んだ指令を実行するプロセッサとを含み、
プログラムのための前記ロジックは前記プロセッサによって実行される指令を具えることを特徴とする、請求項49に記載の集積回路。
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