JP2006512776A - 直列接続されたトランジスタ列を組込んだプログラマブルメモリアレイ構造およびこの構造を製造して作動させるための方法 - Google Patents
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Abstract
Description
電荷蓄積誘電体を有し、かつ、NAND型のアーキテクチャで接続された薄膜トランジスタを用いることにより、極めて高密度のメモリアレイを得ることができる。例示的な一実施例において、フラッシュメモリアレイは、SONOSメモリセルデバイスの直列接続されたNAND列により形成され得る。メモリセルの各NAND列は、グローバルビット線にNAND列の一方端を結合する第1のブロック選択デバイスと、NAND列に関連する共有されたバイアスノードにその列の他方端を結合する第2のブロック選択デバイスとを含む。ブロック選択デバイスは、好ましくは、SONOSデバイスでもあり、メモリセルトランジスタと同じ態様で形成することができ、したがって、各NAND列に必要とされる、異なる構造の数を減らす。
成する。さらに、各メモリレベル上でNAND列をインタリーブして、1つのブロックにつき2つ以上の共有されたバイアスノードを用いることにより、NAND列の各端部のスイッチデバイスに対し、さらなるオーバーヘッドがほとんど必要ではなくなる。或る三次元の実施例において、異なるレベル上のNAND列は、好ましくは、垂直積層型のビアによりともに接続される。積層型のビアの各々は、2つ以上のメモリレベル上でチャネルまたはワード線の特徴に接続することが好ましい。この発明は特に、三次元メモリアレイに良く適する。なぜなら、各レベルのメモリセルが、1つのレベルにつき平均で3つ未満のマスク、すなわち、各メモリレベル上でチャネルストライプを規定するためのマスクと、各メモリレベル上でゲートストライプを規定するための別のマスクと、少なくとも3つのメモリレベルにより共有されるビアマスクとを用いて生成され得るためである。例示的な8レベルのメモリアレイは、19のマスキングのステップのみを用いて形成され得る。
この明細書で用いられる、三次元メモリアレイを有する集積回路は、2つ以上のモノリシック集積回路のアセンブリではなく、1つのモノリシック集積回路であるものと想定する。
ランジスタ(TFT)の直列接続された列を形成する。
モリセルがプログラミングされる場合も、セル電流は、より容易に列を通過し得る。この電圧の削減は、予想される多くの読出サイクル中のディスターブ作用を減じるのに有益である。たとえば、消去された、選択されていないNAND列上の選択されていないメモリセルは、ワード線上の一層高い電圧により、ゆっくりとディスターブされてプログラミングされた状態になり得る。
レベルを有する三次元アレイ)内の配線レベル上で運ばれ得る。NAND列134および136は、「隣接する」NAND列と呼ばれ得る。なぜなら、これらの間に配置された別のNAND列が存在するにもかかわらず、(アレイの同じブロック内において)同じグローバルビット線を共有しかつ同じワード線を共有しているためである。読出および書込のために、これらの2つのNAND列の1つのみを選択することも可能である。なぜなら、次のいくつかの図面を参照して説明するように、共有されたバイアスノードVDRAIN1およびVDRAIN2が別個のものであり、異なる状態に駆動され得るためである。これらの2つの共有されたバイアスノードVDRAIN1およびVDRAIN2の各々は、2つの隣接するブロック内のNAND列により共有され、したがって、好ましくは、メモリアレイより「上方の」(すなわち、半導体基板からより離れた)配線レベル上で運ばれる垂直なワイヤ142および144のそれぞれにおいて運ばれる。したがって、すべてが同じ方向でメモリアレイを横切る、2つの共有されたバイアスノードVDRAIN1およびVDRAIN2、ブロック選択信号BSEL1およびBSEL2、ならびにさまざまなワード線125は、より好都合にデコードされて適切なレベルに駆動され得る。
ディフューザ、好ましくはアンチモンまたは砒素であるデプリーションモードの注入物が好ましくは用いられる。なぜなら、結晶基板よりも多結晶層においてこのようなドーパントが相対的により大きく拡散するためであり、また、デバイスの寸法が極めて小さいためである。消去された状態のVTは実質的にデプリーションモードであり、好ましくは−2Vから−3Vのしきい値であり、プログラミングされた状態のVTは、好ましくは約ゼロボルトである。メモリセルは、データの状態に応じて、これらの2つのしきい値電圧の一方までプログラミングまたは消去されるが、ブロック選択デバイスは、好ましくは、約ゼロボルトのしきい値電圧を有するようにプログラミングされて、このプログラム状態で維持される。
ND列の下側端部は、ノード170上で伝達され、かつ、ここでVBSELDと称されるブロック選択信号により制御される選択デバイス187により、グローバルビット線162に結合される。この隣接するNAND列の上側端部は、ノード164上で伝達されるブロック選択信号VBSELBにより制御される選択デバイス181により、共有されたバイアスノード174に結合される。共有されたドレイン線174の電圧は、VDADJ電圧として既知であり得、隣接するNAND列に対するドレイン電圧を表わす。
次に図5を参照すると、このアレイ構造に対する例示的な読出条件が示される。選択されたNAND列は、NAND列の両端に電圧を印加することによって読出され、確実に、両方のブロック選択デバイスにバイアスがかけられて電流を通すようにし、確実に、NAND列内の選択されていないメモリセルデバイスのすべてにバイアスがかけられて、そこに記憶されたデータ状態に関係なくその列を通って電流を通し、選択されたワード線にバイアスをかけ、それによって2つのデータ状態の1つのみに対し、NAND列を通って電流が流れるようにする。1つの適切な組の読出条件は、「グローバルビット線」のブロック選択線VBSELBを正の電源電圧VDD(たとえばVDDは、2.5から3.3ボルトの範囲
にあることが多い)に駆動することと、「ドレイン」ブロック選択線VBSELDを同じくVDDに駆動することとを含む。グローバルビット線162の電圧(すなわちVGBL)は約2ボルトであり、VDRAINは約2.5ボルトである。選択されたメモリセルのデータ状態は、グローバルビット線上の電圧バイアスを維持することと、センス回路190によりグローバルビット線上の電流を検知することとによって判定することができ、このセンス回路190は、グローバルビット線に直接結合され得るか、または、いくつかのグローバルビット線の間で共有され、そしてデコード回路により所望のグローバルビット線に結合され得るか、のいずれかである。適切な電圧制限ビット線センス回路は、現在、米国特許出願公開番号第US 2003/0021148 A1号に公開されている、ロイ E.ショイアライン(Roy E. Scheuerlein)による「ダイオード様の特徴を有するセルのメモリアレイに特に有用な、電流を検知する方法および装置(Current Sensing Method and Apparatus Particularly Useful for a Memory Array of Cells Having Diode-Like Characteristics)」に記載されている。
次に図7を参照すると、このアレイ構造についての例示的なプログラム条件が示される。選択されたNAND列内の選択されたメモリセルデバイス169は、選択されたメモリセルの両端に十分に高いプログラミング電圧(すなわち、ゲート−ソースからの)を印加することによってプログラミングされる。
いて、約6ボルトになる。これにより、約−7ボルトのゲート−ソースの部分的な消去バイアスが、ブロック選択デバイス上に置かれる。これらのブロック選択デバイスが、セルと同じプロセスステップにより形成されている場合、これらのブロック選択デバイスは、選択されたメモリセルのプログラミング中に印加されたこのバイアス電圧によって部分的に「消去」され得、このことは、多数のプログラムサイクルの後に、ブロック選択デバイスのVTを負の領域までゆっくりと減少させる。このようなしきい値電圧は、単に約−1ボルトのVBSELD電圧によってブロック選択デバイスがターンオフされることを防ぐ。
次に図9を参照すると、このアレイ構造についての例示的な消去条件が示される。選択されたブロック内のすべてのメモリセルは、各メモリセルトランジスタの両端に、十分に高い大きさの負のゲート−ソース電圧を印加することによって消去される。1つの適切な組の読出条件は、メモリアレイの実質的に全体を、たとえば10ボルトのVEE電圧に駆
動することを含む。特に、選択されたブロックに対し、グローバルビット線電圧VGBL、ブロック選択線VBSELBおよびVBSELDの両方、ならびに共有されたバイアスノードVDRAINおよびVDADJの両方はすべて、消去電圧まで駆動される。選択されていないブロックにおいて、ワード線VWLUNSEL、ブロック選択線VUNBSEL、および共有されたドレインノードVDUNSELもまた、すべてが消去電圧まで駆動される。次に、選択ブロック内の中間ノードがグローバルビット線および共有されたドレインノード上で伝達される実質的な消去電圧まで充電される時間を取ってから、選択されたブロック内のワード線は(図10に示すように)接地に置かれ、したがって、ブロック内の各メモリセルの両端に消去バイアスを印加する。メモリセルの消去がプログラミングに比べていくぶんゆっくりと進行し得るため、消去条件の時間は、数十ミリ秒までの消去時間にわたって有利にも保持され得る。
的に垂直に、互いにアライメントされていることが示される。各NAND列は、たとえば、16個の直列接続されたメモリセルトランジスタと、各端部においてそれぞれのブロック選択トランジスタとを含む。8個のNAND列のすべては、同じグローバルビット線162を共有し、「ジア(zia)」234(この名称は、2つ以上のレベルをz方向に接続する積層型のビア構造を示唆する)により接続されている。図3に示すように、グローバルビット線のジア234の反対側の8個のNAND列もまた、グローバルビット線162により共有され、それによって(この実施例では)全部で16個のNAND列が1つのジアにより1本のグローバルビット線により応対される。ジア234は、好ましくは、メモリアレイよりも下方の配線層上の配線に接続され、この図面ではR3と表示される。
次に図12Aおよび図12Bを参照すると、フロー図が、上述のメモリレベルを形成するための例示的なプロセスを示す。このようなフロー図は、3次元メモリアレイ用の複数のメモリレベルを形成するために繰返し使用され得るか、または、単一のメモリレベルを形成するために一度使用され得る。他の多くの変形例が考えられ、示されたこのフロー図は、この発明のさまざまな特徴および利点を指し示すための例示的なものである。
により形成され、メモリレベルとその下の構造との間に誘電体分離層を設ける。このような誘電体層は、50nmから数ミクロンの範囲の厚さを有し得る。
、たとえば低圧化学的気相成長(Low Pressure Chemical Vapor Deposition(LPCVD))プロセスを用いて、化学量論的な窒化シリコンを堆積することができる。窒化物層ではなくオキシナイトライド層を形成することもできる。
きる。以下に説明するように、ワード線ストライプは、ゲートエッチングの前にシリサイド層を形成するのではなく、サリサイド法を用いて低抵抗のワード線を形成することによっても形成され得る。
トライプ(380等)が側壁スペーサ391を有していることが示される。各トランジスタは、各スペーサ391の下方に形成された、低濃度ドープされた浅いソース/ドレイン領域390と、各ワード線ストライプ間の「露出した」領域内のチャネルストライプに形成された、高濃度ドープされたN+ソース/ドレイン領域392とを含む。この図面において、各ワード線ストライプ380は、ポリシリコン層394およびシリサイド層412を含む、シリサイド化されたポリシリコン線として示される。ONO層378は、ゲートストライプの下に示される。ONO層は、側壁スペーサの形成によりソース/ドレイン領域392上で除去され、シリサイド層414が各ソース/ドレイン領域392の表面上に形成される。
確保し(ステップ310)、その後しばしば、TiN等の接着層の材料の堆積が続く。次に、タングステン等の充填金属が堆積されて、開口部を充填する(ステップ312)。結果的に得られた構造を研磨して(ステップ314)、レベル間誘電体層400の上面と同一平面上にある上面を有するジア充填物を形成する。結果的に得られる構造物を、以降の図面を参照して以下に説明する。ステップ316では、上述のように、次のメモリレベルのためのα−Si層が形成され得る。
される。4つのNAND列の群は、各NAND列の一方端においてVDRAIN接続を共有し、各NAND列の他方端において、それぞれのグローバルビット線への個々の接続を形成する。グローバルビット線への各コンタクトは、2つのNAND列によっても共有される。次に図26を参照すると、この概略図に対応する例示的なレイアウトが示される。さまざまなジアとともに、さまざまなチャネルストライプの特徴のレイアウトが示されるが、ブロック選択線およびワード線はいずれも示されていない(図示される場合、それらはこの図面の中央部の点線の部分内を垂直に延びる)。このレイアウトは、三次元アレイの8つのすべてのレベル上のチャネル列を表わすものとして観察され得る。しかしながら、説明のために、このレイアウトは、図24との整合性を得るために3つのチャネルレベルを指し示すように表示されている。たとえば、520と表示されたチャネル列の特徴の網掛け部分は、図24に示すCH3の特徴502に対応する。526および528と表示されたチャネル列の特徴の網掛け部分は、CH4の特徴504および506に対応し、522と表示されたチャネル列の特徴の網掛け部分は、CH5の特徴508に対応する。レイアウトの特徴524は、特徴530と同様に、ジア510に対応する。共有されたVDRAINの「マスト」532は、CH3、CH4、およびCH5のレベルへの接続も形成する。認識され得るように、示された構造は、複数のレベル上のNAND列への、共有された極めてコンパクトな垂直方向の接続を設け、このことは、NAND列が実際に短い場合にアレイの効率を保つ際に重要である。
、ジアのスタックの抵抗に著しく影響を及ぼすとは考えられていない。同様に、CH6の特徴が、各ZIA3の特徴の底部に含まれ得、X層への接続を形成する。これを行なうことにより、すべてのZIA2およびZIA3のジアは、同じCH6レベル上で停止するように処理され得る。
この明細書で用いられているように、直列接続されたNAND列は、直列に接続されかつ隣接するデバイス間においてソース/ドレインの拡散部を共有する複数のデバイスを含む。この明細書で用いられているように、メモリアレイは、メモリレベルが基板内に形成されるか、または基板の上方に形成される二次元(平面の)メモリアレイであり得る。基板は、メモリアレイ用のサポート回路を含み得るもの等の単結晶基板であり得るか、または、メモリアレイ用のサポート回路を必ずしも含む必要のない、別の種類の基板であり得る。たとえば、この発明の或る実施例は、シリコン・オン・インシュレータ(SOI)構造を用いて実現され得、また或る実施例は、シリコン・オン・サファイア(SOS)構造を用いて実現され得る。代替的に、メモリアレイは、メモリセルの2つ以上の面(すなわち、2つ以上のメモリレベル)を有する三次元アレイであり得る。メモリレベルは、メモリアレイ用のサポート回路を含む基板の上方に形成され得る。
(すなわち三次元)メモリアレイの両方を含み、特に、極めて高密度のX線またはY線のピッチ要件を有するものを含む。さらにこの発明は、メモリセルとして可変コンダクタンススイッチデバイスを用いる、直列接続されたNAND列を有するメモリアレイに適用可能であると考えられており、電荷蓄積誘電体を組込んだメモリセルに限定されない。このような可変コンダクタンススイッチデバイスは、2つの端子間のコンダクタンスが変更可能であって第3の端子または制御端子上の信号によって「切換え」または制御される3端子デバイスであり、第3の端子または制御端子は一般に、ワード線(または実施例によってはブロック選択線)に接続される。コンダクタンスは、製造中に(たとえば、マスキング層を用いた選択的なイオン注入により)変更され得、または、製造後に(すなわち、たとえば、トンネル電流を用いたプログラミングにより、およびホットエレクトロン電流を用いたプログラミングにより)変更され得る。可変コンダクタンスは、可変しきい値電圧として現れることが多いが、技術によっては、可変の相互コンダクタンスとして現れ得る。
単一電子メモリデバイスか、またはソースの縁部もしくはドレインの縁部に位置付けられたシリコンフィラメントに、電荷を局所的に蓄積することにより、複数ビットの情報を各NAND列のデバイス内に記憶することができる。いくつかの異なるレベルの電荷を電荷蓄積媒体内に注入して、異なる電荷レベルと異なる蓄積状態とを関連付けることにより、複数ビットの情報を記憶することもできる。
回路の全体を実質的に横切らなければならないということを示唆する特定的な推論が引き出されるべきではない。
となることが考えられるが、このような工学技術上の労作は、競争力を有しかつ手間のかかる製品を開発する際にしばしば生じるように、さらなる発明上の労作を生じ得る。
Claims (134)
- メモリセルの少なくとも1つの面が基板の上方に形成されたメモリアレイを備えた集積回路であって、前記メモリセルは、複数の直列接続されたNAND列に配置された可変コンダクタンススイッチデバイスを含む、集積回路。
- メモリアレイは、メモリセルの少なくとも2つの面が基板の上方に形成された三次元メモリアレイを含む、請求項1に記載の集積回路。
- メモリセルは、少なくとも或る時点においてデプリーションモードのしきい値電圧を有するデバイスを含む、請求項1に記載の集積回路。
- メモリセルデバイスは、2つのデータ状態のうちの少なくとも1つに対し、−0.5ボルト以下のデプリーションモードのしきい値電圧を有する、請求項2に記載の集積回路。
- メモリセルデバイスは、2つのデータ状態の各々に対し、各々が0ボルト以下のそれぞれのデプリーションモードのしきい値電圧を有する、請求項2に記載の集積回路。
- 可変コンダクタンススイッチデバイスは、製造中に決定されるそれぞれのしきい値電圧を有するトランジスタを含む、請求項1に記載の集積回路。
- 可変コンダクタンススイッチデバイスは、製造後に変更可能なそれぞれのしきい値電圧を有するトランジスタを含む、請求項1に記載の集積回路。
- 可変コンダクタンススイッチデバイスは、電荷蓄積誘電体を有するトランジスタを含む、請求項1に記載の集積回路。
- メモリセルトランジスタの電荷蓄積誘電体は、酸化物−窒化物−酸化物(ONO)のスタックを含む、請求項8に記載の集積回路。
- メモリセルトランジスタは、電荷蓄積誘電体が最小の蓄積された電荷レベルを有する際に、デプリーションモードのしきい値電圧を有する、請求項9に記載の集積回路。
- メモリセルトランジスタは、消去されたデータの状態に対応する第1のデプリーションモードのしきい値電圧を有し、かつ、プログラムされたデータの状態に対応する第2のデプリーションモードのしきい値電圧を有する、請求項9に記載の集積回路。
- メモリセルデバイスは、1つのメモリセルにつき2ビット以上のデータを格納するために、コンダクタンスの3つ以上の公称値を有する、請求項9に記載の集積回路。
- 各列は、その第1の端部において、関連するグローバルアレイ線に列を結合するための第1のスイッチデバイスを含む、請求項1に記載の集積回路。
- 共通してワード線を有する2つのNAND列は、1つのグローバルアレイ線を共有する、請求項13に記載の集積回路。
- 各NAND列は、第1の端部に対向する第2の端部において、関連するバイアスノードに列を結合するための第2のスイッチデバイスを含む、請求項13に記載の集積回路。
- NAND列の対は、関連するグローバルアレイ線に対の一方の列を結合する第1の制御
信号が、関連するバイアスノードに対の他方の列を結合するように配置される、請求項15に記載の集積回路。 - 各メモリセルの列の第1のスイッチデバイスは、電荷蓄積誘電体を有するトランジスタを含む、請求項13に記載の集積回路。
- 各メモリセルの列の第1のスイッチデバイスは、デプリーションモードのしきい値電圧を有する、請求項17に記載の集積回路。
- 基板は、メモリアレイに結合される回路を含む単結晶基板を含む、請求項1に記載の集積回路。
- 基板は、多結晶基板を含む、請求項1に記載の集積回路。
- 基板は、絶縁基板を含む、請求項1に記載の集積回路。
- 各NAND列を形成するメモリセルデバイスおよびスイッチデバイスは、構造上実質的に同じである、請求項13に記載の集積回路。
- 2つ以上のメモリレベル上のNAND列は、前記2つ以上のメモリレベルよりも少ないレベル上に配置されたグローバルアレイ線にそれぞれ結合される、請求項2に記載の集積回路。
- 少なくとも2つのメモリレベルの各々の上の複数のNAND列のそれぞれは、集積回路の1つのレベル上に配置された1つのグローバルアレイ線に結合される、請求項2に記載の集積回路。
- 少なくとも2つのメモリ面の各々の上の少なくとも2つのNAND列は、共有されたジアにより、関連するグローバルアレイ線に接触する、請求項24に記載の集積回路。
- 直列接続された複数のNAND列にメモリセルの少なくとも1つの面が配置されたメモリアレイを備え、
それぞれのNAND列の各々は、その一方端において、関連するグローバルアレイ線にそれぞれのNAND列を結合するための第1のスイッチデバイスを含み、その他方端において、関連するバイアスノードにそれぞれのNAND列を結合するための第2のスイッチデバイスをさらに含み、
第1のNAND列に対する第1のスイッチデバイスおよび第2のNAND列に対する第2のスイッチデバイスは、第1の制御信号に応答し、第1のNAND列に対する第2のスイッチデバイスおよび第2のNAND列に対する第1のスイッチデバイスは、第2の制御信号に応答し、
第1および第2のNAND列は、共通してワード線を共有する、集積回路。 - メモリアレイは、メモリセルの1つの面が基板に形成された二次元メモリアレイを含む、請求項26に記載の集積回路。
- メモリアレイは、メモリセルの2つ以上の面が基板の上方に形成された三次元メモリアレイを含む、請求項26に記載の集積回路。
- メモリセルは、電荷蓄積誘電体を有するトランジスタを含む、請求項26に記載の集積回路。
- メモリセルは、製造後に変更可能なそれぞれのしきい値電圧を有するトランジスタを含む、請求項26に記載の集積回路。
- 所定のNAND列の第1および第2のスイッチデバイスは、所定のNAND列のメモリセルトランジスタと構造上実質的に同じである、請求項26に記載の集積回路。
- 所定のNAND列のメモリセルトランジスタは、2つのデータ状態のうちの少なくとも1つに対してデプリーションモードのしきい値電圧を有する、請求項26に記載の集積回路。
- 2つのデータ状態のうちの少なくとも1つに対するデプリーションモードのしきい値電圧は、約−0.5ボルトよりも負である、請求項32に記載の集積回路。
- メモリアレイは複数のブロックに配置され、前記複数のメモリブロックの第1のメモリブロックは、
第1のバイアスノードと、
第2のバイアスノードと、
第1の方向で第1のブロックを横切る複数のグローバルビット線と、
第1の方向とは異なる第2の方向で第1のブロックを横切る複数のワード線と、
複数のワード線の一方側とほぼ平行でありかつ前記一方側に配置された、第1のブロックを横切る第1のブロック選択線と、
複数のワード線の他方側とほぼ平行でありかつ前記他方側に配置された、第1のブロックを横切る第2のブロック選択線と、
各々が、第1のブロック選択線に応答する第1のブロック選択デバイス、複数のワード線のそれぞれの1つに各々が応答する複数のメモリセルデバイス、および第2のブロック選択線に応答する第2のブロック選択デバイスを含む、複数の直列接続されたNAND列とを含み、
第1の群のNAND列の各々の第1のブロック選択デバイスは、複数のグローバルビット線のそれぞれ1つにそれぞれ結合され、第2の群のNAND列の各々の第1のブロック選択デバイスは、第1のバイアスノードにそれぞれ結合され、
第1の群のNAND列の各々の第2のブロック選択デバイスは、第2のバイアスノードにそれぞれ結合され、第2の群のNAND列の各々の第2のブロック選択デバイスは、複数のグローバルビット線のそれぞれ1つにそれぞれ結合される、請求項26に記載の集積回路。 - NAND列の対が同じグローバルビット線に結合され、そのような対の各々は、第1および第2の群のNAND列の各々からのNAND列を含み、それによってNAND列のピッチの半分のグローバルビット線のピッチを規定する、請求項34に記載の集積回路。
- 第1のメモリブロックの、物理的に隣接する2つ以上のNAND列は、第1または第2のバイアスノードへのコンタクトを共有する、請求項34に記載の集積回路。
- 第1のメモリブロックの各NAND列は、異なるワード線を有する別のメモリブロックの対応するNAND列によって共有されるビアにより、関連するグローバルビット線に接触する、請求項34に記載の集積回路。
- 第1のメモリブロックの一方側に配置され、第1のバイアスノードおよび複数のグローバルビット線を第1のメモリブロックと共有する第2のメモリブロックをさらに備え、前記複数のグローバルビット線は、第1の方向で第2のブロックを横切り、前記第2のメモ
リブロックは、それぞれ、
第3のバイアスノードと、
第2の方向でブロックを横切る第2の複数のワード線と、
第2の複数のワード線の一方側とほぼ平行でありかつ前記一方側に配置された、ブロックを横切る第3のブロック選択線と、
第2の複数のワード線の他方側とほぼ平行でありかつ前記他方側に配置された、ブロックを横切る第4のブロック選択線と、
各々が、第3のブロック選択線に応答する第1のブロック選択デバイス、第2の複数のワード線のそれぞれ1つに各々が応答する複数のメモリセルデバイス、および第4のブロック選択線に応答する第2のブロック選択デバイスをそれぞれ含む、第2の複数の直列接続されたNAND列とを含み、
第1の群の第2の複数のNAND列の各々の第2のブロック選択デバイスのそれぞれは、複数のグローバルビット線のそれぞれ1つにそれぞれ結合され、第2の群の第2の複数のNAND列の各々の第2のブロック選択デバイスのそれぞれは、第1のバイアスノードにそれぞれ結合され、
第1の群の第2の複数のNAND列の各々の第1のブロック選択デバイスのそれぞれは、第3のバイアスノードにそれぞれ結合され、第2の群の第2の複数のNAND列の各々の第1のブロック選択デバイスのそれぞれは、複数のグローバルビット線のそれぞれ1つにそれぞれ結合される、請求項34に記載の集積回路。 - 第1のメモリブロックの、第1の群のNAND列の各々の第1のブロック選択デバイスは、第2のメモリブロックに対する第1の群の第2の複数のNAND列の各々の第2のブロック選択デバイスのそれぞれによって共有されるコンタクトにより、複数のグローバルビット線のそれぞれ1つにそれぞれ結合される、請求項38に記載の集積回路。
- メモリアレイは、2つ以上のメモリレベルが基板の上方に形成された三次元メモリアレイを含み、前記集積回路はさらに、
第1のメモリブロックとは異なるメモリアレイのレベル上に配置された第3のメモリブロックを備え、前記第1および第3のメモリブロックは、複数のグローバルビット線、第1のバイアスノード、および第2のバイアスノードを共有し、前記第3のメモリブロックはそれぞれ、
第2の方向でブロックを横切る第3の複数のワード線と、
第3の複数のワード線の一方側とほぼ平行でありかつ前記一方側に配置された、ブロックを横切る第5のブロック選択線と、
第3の複数のワード線の他方側とほぼ平行でありかつ前記他方側に配置された、ブロックを横切る第6のブロック選択線と、
各々が、第5のブロック選択線に応答する第1のブロック選択デバイス、各々が第3の複数のワード線のそれぞれ1つに応答する複数のメモリセルデバイス、および第6のブロック選択線に応答する第2のブロック選択デバイスをそれぞれ含む、第3の複数の直列接続されたNAND列とを含み、
第1の群の第3の複数のNAND列の各々の第1のブロック選択デバイスのそれぞれは、複数のグローバルビット線のそれぞれ1つにそれぞれ結合され、第2の群の第3の複数のNAND列の各々の第1のブロック選択デバイスのそれぞれは、第1のバイアスノードにそれぞれ結合され、
第1の群の第3の複数のNAND列の各々の第2のブロック選択デバイスのそれぞれは、第2のバイアスノードにそれぞれ結合され、第2の群の第3の複数のNAND列の各々の第2のブロック選択デバイスのそれぞれは、複数のグローバルビット線のそれぞれ1つにそれぞれ結合される、請求項34に記載の集積回路。 - 第1のメモリブロックの各NAND列は、第3のメモリブロックの対応するNAND列
によって共有されるビアにより、関連するグローバルビット線に接触する、請求項40に記載の集積回路。 - 第1のメモリブロックの、第1の群のNAND列の各々は、第2のメモリブロックのNAND列によって共有されるビアにより、関連するグローバルビット線に接触する、請求項38に記載の集積回路。
- メモリセルデバイスは、電荷蓄積誘電体を有するトランジスタを含む、請求項34に記載の集積回路。
- メモリセルデバイスは、製造後に変更可能であるそれぞれのしきい値電圧を有するトランジスタを含む、請求項34に記載の集積回路。
- 所定のNAND列の第1および第2のブロック選択デバイスは、所定のNAND列のメモリセルトランジスタと構造上同じである、請求項43に記載の集積回路。
- 所定のNAND列のメモリセルトランジスタは、2つのデータ状態のうちの少なくとも1つに対してデプリーションモードのしきい値電圧を有する、請求項43に記載の集積回路。
- 集積回路を作動させるための方法であって、前記集積回路は、メモリセルの少なくとも1つの面を有するメモリアレイを備え、前記メモリセルは、複数の直列接続されたNAND列に配置され、前記方法は、
アレイのブロックを選択するステップと、
選択されたブロックに対する第1のブロック選択線を、第1のブロック選択電圧に駆動するステップとを含み、前記第1のブロック選択線は、第1のNAND列の第1の端部を第1のグローバルアレイ線に結合し、かつ、第2のNAND列の第1の端部を第1のバイアスノードに結合するためのものであり、前記第2のNAND列は、第1のNAND列と同じワード線を共有し、前記方法はさらに、
選択されたブロックに対する第2のブロック選択線を第2のブロック選択電圧に駆動するステップを含み、前記第2のブロック選択線は、第1のNAND列の第2の端部を第2のバイアスノードに結合し、かつ、第2のNAND列の第2の端部を第1のグローバルアレイ線に結合するためのものであり、前記方法はさらに、
選択されたブロックの選択されていないワード線を、非選択ワード線電圧に駆動するステップと、
少なくとも1つの選択されたワード線を、選択ワード線電圧に駆動するステップと、
第1のバイアスノードに第1のバイアス条件を印加するステップと、
第2のバイアスノードに第2のバイアス条件を印加するステップと、
第1のグローバルアレイ線にグローバルアレイ線バイアス電圧を印加するステップとを含む、方法。 - 第1のブロック選択電圧、第2のブロック選択電圧、グローバルアレイ線バイアス電圧、第1のバイアス条件、および第2のバイアス条件は、第1のNAND列の第1の端部を第1のグローバルアレイ線に結合し、そして第2のNAND列の第1の端部を第1のバイアスノードに結合し、そして第1のNAND列の第2の端部を第2のバイアスノードに結合し、そして第2のNAND列の第2の端部を第1のグローバルアレイ線に結合するように選択される、請求項47に記載の方法。
- 非選択ワード線電圧は、第1および第2のブロック選択電圧と実質的に等しく、
選択ワード線電圧は、非選択ワード線電圧よりも低く、
少なくとも1つの選択されたワード線は、選択ワード線電圧に駆動される前に或る時間だけ、非選択ワード線電圧に駆動される、請求項48に記載の方法。 - グローバルアレイ線バイアス電圧、第1のバイアス条件、および第2のバイアス条件は、第2のNAND列の両端ではなく第1のNAND列の両端にゼロではないバイアス電圧を印加するように選択される、請求項49に記載の方法。
- 非選択ワード線電圧、グローバルアレイ線バイアス電圧、第1のバイアス条件、および第2のバイアス条件はすべて、実質的に同じ正の消去電圧となるように選択され、
選択ワード線電圧は、実質的に消去電圧未満となるように選択され、
選択されたブロックのすべてのワード線が選択されるが、選択ワード線電圧に駆動される前に或る時間だけ非選択ワード線電圧に駆動される、請求項49に記載の方法。 - 第1のブロック選択電圧、第2のブロック選択電圧、グローバルアレイ線バイアス電圧、第1のバイアス条件、および第2のバイアス条件は、第1のNAND列の第1の端部を第1のグローバルアレイ線に結合して第2のNAND列の第1の端部を第1のバイアスノードに結合するが、第1のNAND列の第2の端部を第2のバイアスノードから減結合して第2のNAND列の第2の端部を第1のグローバルアレイ線から減結合するように選択される、請求項47に記載の方法。
- 非選択ワード線電圧は、3ボルトの第1のブロック選択電圧以内であり、
選択ワード線電圧は、非選択ワード線電圧よりも高く、
少なくとも1つの選択されたワード線は、選択ワード線電圧に駆動される前に、非選択ワード線電圧に駆動される、請求項52に記載の方法。 - メモリセルの少なくとも1つの面が基板の上方に形成された集積回路メモリアレイを作動させるための方法であって、前記メモリセルは、複数の直列接続されたNAND列に配置された可変コンダクタンススイッチデバイスを含み、前記方法は、
2つのNAND列のそれぞれの第1の端部をグローバルアレイ線に結合するステップを含み、両方のNAND列は共通してワード線を共有し、前記方法はさらに、
2つのNAND列の対向する端部のそれぞれに、それぞれの異なる電圧までバイアスをかけて、NAND列の一方よりも他方の両端に、実質的により大きなバイアス電圧が生じるようにするステップを含む、方法。 - 可変コンダクタンススイッチデバイスは、電荷蓄積誘電体を有するトランジスタを含む、請求項54に記載の方法。
- 可変コンダクタンススイッチデバイスは、製造後に変更可能なそれぞれのしきい値電圧を有するトランジスタを含む、請求項54に記載の方法。
- アレイのブロック、選択されたブロック内のNAND列、および選択されたNAND列内のメモリセルを選択するステップと、
選択されたNAND列の第1の端部をグローバルビット線に結合し、かつ、選択されたNAND列の第1の端部に対向する第2の端部を第2の共有されたバイアスノードに結合するステップと、
第2のNAND列の第1の端部を第1のバイアスノードに結合するステップとをさらに含み、前記第2のNAND列は、選択されたNAND列と共通してワード線を有し、前記方法はさらに、第2のNAND列の第1の端部に対向する第2の端部をグローバルビット線に結合するステップと、
グローバルビット線上に第1のバイアス電圧を印加し、かつ、第2のバイアスノード上
に第2のバイアス電圧を印加することにより、選択されたNAND列の両端に差動電圧を印加するステップと、
選択されたセルのワード線上に読出電圧を印加するステップとをさらに含み、前記読出電圧は、第2のデータ状態よりも第1のデータ状態に対し、それぞれのセルを通る、より大きな電流を生じるように選択され、前記方法はさらに、
選択されたNAND列内の選択されていないセルのそれぞれのワード線上に通電電圧を印加するステップを含み、前記通電電圧は、2つのデータ状態の両方に対して、それぞれのセルを通って実質的に同じ電流が流れるように選択され、前記方法はさらに、
第1の共有されたバイアスノード上に第1のバイアス電圧を印加し、それによって第2のNAND列の両端に実質的にゼロボルトのバイアスを維持するステップと、
選択されたNAND列を通りグローバルビット線上に流れる電流を検知するステップとを含む、請求項55に記載の方法。 - 第1のブロック選択線を第1のブロック選択電圧に駆動して、選択されたNAND列の第1の端部をグローバルビット線に結合するのと同時に第2のNAND列の第1の端部を第1のバイアスノードに結合するステップと、
第2のブロック選択線を第2のブロック選択電圧に駆動して、選択されたNAND列の第2の端部を第2の共有されたバイアスノードに結合するのと同時に第2のNAND列の第2の端部をグローバルビット線に結合するステップとをさらに含む、請求項57に記載の方法。 - 通電電圧は、第1のバイアス電圧に実質的に等しい、請求項57に記載の方法。
- 読出電圧は、第1および第2のバイアス電圧の両方よりも小さい、請求項57に記載の方法。
- 選択されたブロックのすべてのワード線は、最初に通電電圧に駆動され、次に、選択されたワード線が読出電圧に駆動される、請求項57に記載の方法。
- 第2のNAND列内のメモリセルの両端に、バイアス電圧が実質的に印加されない、請求項57に記載の方法。
- アレイのブロック、選択されたブロック内のNAND列、および選択されたNAND列内のメモリセルを選択するステップと、
選択されたNAND列の一方端および第2のNAND列の一方端を選択されたグローバルビット線に結合するステップとをさらに含み、前記第2のNAND列は、選択されたNAND列と共通してワード線を共有し、前記方法はさらに、
選択されたNAND列の両端に読出バイアス電圧を印加するステップと、
第2のNAND列の両端に実質的にバイアス電圧を印加しないステップと、
選択されたセルに関連するワード線上に読出電圧を印加するステップとを含み、前記読出電圧は、第2のデータ状態よりも第1のデータ状態に対して、それぞれのセルを通る、より大きな電流を生じるように選択され、前記方法はさらに、
選択されたNAND列内の選択されていないセルのそれぞれのワード線上に通電電圧を印加するステップを含み、前記通電電圧は、2つのデータ状態の両方に対して、実質的に同じ電流がそれぞれのセルを通って流れるように選択され、前記方法はさらに、
選択されたNAND列を通って選択されたグローバルビット線上に流れる電流を検知して、選択されたメモリセルのデータ状態を判定するステップとを含む、請求項54に記載の方法。 - 通電電圧は、選択されたNAND列の両端のバイアス電圧の範囲内で選択され、それに
より、選択されたNAND列内の選択されていないメモリセルの両端に、バイアス電圧よりも小さい電圧でバイアスをかける、請求項63に記載の方法。 - 選択されたグローバルビット線を共有する他のNAND列が、選択されたグローバルビット線から減結合されることを確保するステップをさらに含む、請求項63に記載の方法。
- 可変コンダクタンススイッチデバイスは、電荷蓄積誘電体を有するトランジスタを含む、請求項63に記載の方法。
- 可変コンダクタンススイッチデバイスは、製造後に変更可能なそれぞれのしきい値電圧を有するトランジスタを含む、請求項63に記載の方法。
- メモリアレイ内のメモリセルをプログラミングするための方法であって、前記メモリアレイは、メモリセルの少なくとも1つの面が集積回路の基板の上方に形成され、前記メモリセルは、複数の直列接続されたNAND列に配置された可変コンダクタンススイッチデバイスを含み、前記方法は、
アレイのブロック、選択されたブロック内のNAND列、および選択されたNAND列内のメモリセルを選択するステップと、
選択されたNAND列の第1の端部をグローバルビット線に結合するステップと、
第2のNAND列の第1の端部を第1のバイアスノードに結合するステップとを含み、前記第2のNAND列は、選択されたNAND列と共通してワード線を有し、前記方法はさらに、
選択されたNAND列の第2の端部を第2の共有されたバイアスノードから減結合するステップと、
第2のNAND列の第2の端部をグローバルビット線から減結合するステップと、
グローバルビット線上にビット線プログラミング電圧を印加して、選択されたメモリセルをプログラミングするか、または、ビット線阻止電圧を印加して、選択されたメモリセルのプログラミングを阻止するステップと、
第1のバイアスノード上に阻止バイアス電圧を印加するステップと、
選択されたブロックの選択されていないワード線を、ワード線通電電圧に駆動するステップと、
選択されたワード線を、或る時間期間だけワード線プログラミング電圧に駆動して、印加されたグローバルビット線電圧に応じて、選択されたメモリセルを条件付きでプログラミングするステップとを含む、方法。 - 選択されたワード線をワード線プログラミング電圧に駆動する前に、選択されたワード線を或る時間だけワード線通電電圧に駆動するステップをさらに含む、請求項68に記載の方法。
- 阻止バイアス電圧は、ビット線阻止電圧と実質的に同じである、請求項68に記載の方法。
- 第2のバイアスノードを浮動状態にするステップをさらに含む、請求項68に記載の方法。
- 第1のブロック選択線を第1のブロック選択電圧に駆動して、選択されたNAND列の第1の端部をグローバルビット線に結合するのと同時に第2のNAND列の第1の端部を第1のバイアスノードに結合するステップと、
第2のブロック選択線を第2のブロック選択電圧に駆動して、選択されたNAND列の
第2の端部を第2の共有されたバイアスノードから減結合するのと同時に第2のNAND列の第2の端部をグローバルビット線から減結合するステップとをさらに含む、請求項68に記載の方法。 - 通電ワード線電圧は、約2ボルトの阻止バイアス電圧以内である、請求項68に記載の方法。
- 選択されたメモリセルをプログラミングした後に、第1および第2のNAND列内の第1および第2のブロック選択デバイスをプログラミングして、選択されたメモリセルのプログラミング中に生じていたことが考えられる任意の部分的な消去を打消すステップをさらに含む、請求項68に記載の方法。
- 可変コンダクタンススイッチデバイスは、電荷蓄積誘電体を有するトランジスタを含む、請求項68に記載の方法。
- 可変コンダクタンススイッチデバイスは、製造後に変更可能なそれぞれのしきい値電圧を有するトランジスタ含む、請求項68に記載の方法。
- メモリアレイ内のブロックを消去するための方法であって、前記メモリアレイは、メモリセルの少なくとも1つの面が集積回路の基板の上方に形成され、前記メモリセルは、複数の直列接続されたNAND列に配置された可変コンダクタンススイッチデバイスを含み、前記方法は、
アレイのブロックを選択するステップと、
関連するグローバルビット線に、選択されたブロック内の各NAND列のそれぞれの第1の端部を結合するステップと、
関連するバイアスノードに、選択されたブロック内の各NAND列のそれぞれの第2の端部を結合するステップと、
選択されたブロックに関連するバイアスノードおよびグローバルビット線上にソース/ドレイン消去電圧を印加するステップと、
ブロックを消去するための消去時間にわたり、選択されたブロックのすべてのワード線上にワード線消去電圧を印加するステップとを含む、方法。 - 選択されたブロック内のワード線をワード線消去電圧に駆動する前に或る時間だけ、選択されたブロック内のワード線をソース/ドレイン消去電圧に駆動するステップをさらに含む、請求項77に記載の方法。
- 消去時間の期間にわたり、選択されていないブロックに対するすべてのワード線およびバイアスノードをソース/ドレイン消去電圧に駆動するステップをさらに含む、請求項78に記載の方法。
- 消去時間の期間にわたるソース/ドレイン消去電圧を、初期のソース/ドレイン消去電圧から、初期のソース/ドレイン消去電圧よりも低い最終のソース/ドレイン消去電圧に下げるステップをさらに含む、請求項77に記載の方法。
- 初期のソース/ドレイン消去電圧は、約6から13ボルトの範囲内にある、請求項80に記載の方法。
- ワード線消去電圧は、実質的に接地に等しい、請求項77に記載の方法。
- 可変コンダクタンススイッチデバイスは、電荷蓄積誘電体を有するトランジスタを含む
、請求項77に記載の方法。 - 可変コンダクタンススイッチデバイスは、製造後に変更可能なそれぞれのしきい値電圧を有するトランジスタを含む、請求項77に記載の方法。
- 集積回路を符号化するコンピュータ読取可能な媒体であって、前記符号化された集積回路は、メモリセルの少なくとも1つの面が基板の上方に形成されたメモリアレイを含み、前記メモリセルは、複数の直列接続されたNAND列に配置された可変コンダクタンススイッチデバイスを含む、コンピュータ読取可能な媒体。
- 符号化された集積回路メモリアレイは、メモリセルの少なくとも2つの面を有する三次元メモリアレイを含む、請求項85に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- 符号化された可変コンダクタンススイッチデバイスは、電荷蓄積誘電体を有するトランジスタを含む、請求項85に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- 符号化されたNAND列の各々は、第1の端部において、関連するグローバルアレイ線に列を結合するための第1のスイッチデバイスを含む、請求項85に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- 共通してワード線を有する2つのNAND列は、1つのグローバルアレイ線を共有する、請求項88に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- 各NAND列は、第1の端部に対向する第2の端部において、関連するバイアスノードに列を結合するための第2のスイッチデバイスを含む、請求項88に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- NAND列の対は、関連するグローバルアレイ線に対の一方の列を結合する第1の制御信号が、関連するバイアスノードに対の他方の列を結合するように配置される、請求項90に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- それぞれのNAND列の各々の第1のスイッチデバイスは、電荷蓄積誘電体を有するトランジスタを含む、請求項88に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- それぞれのメモリセルの列の各々の第1のスイッチデバイスは、デプリーションモードのしきい値電圧を有する、請求項92に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- 各NAND列を形成するメモリセルデバイスおよびスイッチデバイスは、構造上実質的に同じである、請求項88に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- 2つ以上のメモリレベル上のNAND列は、前記2つ以上のメモリレベルよりも少ないレベル上に配置されたグローバルアレイ線にそれぞれ結合される、請求項86に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- 集積回路のレイアウトを符号化するコンピュータ読取可能な媒体であって、前記符号化された集積回路のレイアウトは、
第1のメモリブロックを備え、前記第1のメモリブロックは、
第1の方向に延びる複数のチャネルストライプと、
第1の方向とは異なる第2の方向に延びる複数のゲートストライプとを含み、前記ゲートストライプは、複数のワード線を形成し、第1のブロック選択線は、複数のワード線
の一方側とほぼ平行に延びかつ前記一方側に配置され、第2のブロック選択線は、複数のワード線の他方側とほぼ平行に延びかつ前記他方側に配置され、前記第1のメモリブロックはさらに、
第1の方向で第1のブロックを横切る複数のグローバルビット線を含み、
前記複数のゲートストライプおよび前記複数のチャネルストライプはともに、各々が、第1のブロック選択線に結合された第1のブロック選択デバイス、複数のワード線のそれぞれ1つに各々が結合された複数のメモリセルデバイス、および第2のブロック選択線に結合された第2のブロック選択デバイスを含む、複数の直列接続されたNAND列を形成し、
第1の群のNAND列の各々の第1のブロック選択デバイスは、複数のグローバルビット線のそれぞれ1つにそれぞれ結合され、第2の群のNAND列の各々の第1のブロック選択デバイスは、第1のバイアスノードにそれぞれ結合され、
第1の群のNAND列の各々の第2のブロック選択デバイスは、第2のバイアスノードにそれぞれ結合され、第2の群のNAND列の各々の第2のブロック選択デバイスは、複数のグローバルビット線のそれぞれ1つにそれぞれ結合される、コンピュータ読取可能な媒体。 - NAND列の対は、同じグローバルビット線に結合され、このような対の各々は、第1および第2の群のNAND列の各々からのNAND列を含み、それにより、NAND列のピッチの半分であるグローバルビット線のピッチを規定する、請求項96に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- 第1のメモリブロックの、物理的に隣接した2つ以上のNAND列は、第1または第2のバイアスノードへのコンタクトを共有する、請求項96に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- 第1の群および第2の群のNAND列は、2:1でインタリーブされる、請求項96に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- 第1の群および第2の群のNAND列は、4:1でインタリーブされる、請求項96に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- 第1のメモリブロックの各NAND列は、異なるワード線を有する別のメモリブロックの対応するNAND列によって共有されるビアにより、関連するグローバルビット線に接触する、請求項96に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- 第1のメモリブロックの一方側に配置され、かつ、第1のバイアスノードおよび複数のグローバルビット線を第1のメモリブロックと共有する第2のメモリブロックをさらに備え、前記複数のグローバルビット線は、第1の方向で第2のブロックを横切る、請求項96に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- 第1のメモリブロックの、第1の群のNAND列の各々は、第2のメモリブロックのNAND列によって共有されるビアにより、関連するグローバルビット線に接触する、請求項102に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- チャネルストライプは、集積回路用の基板の上方に配置される誘電体層上に形成される、請求項96に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- メモリアレイは、2つ以上のメモリレベルが基板の上方に形成された三次元メモリアレイを含み、前記集積回路はさらに、
第1のメモリブロックのレベルとは異なるメモリアレイのレベル上に配置される第3のメモリブロックを含み、前記第1および第3のメモリブロックは、複数のグローバルビット線、第1のバイアスノード、および第2のバイアスノードを共有する、請求項96に記載のコンピュータ読取可能な媒体。 - 第1のメモリブロックの各NAND列は、第3のメモリブロックの、対応するNAND列によって共有されるビアにより、関連するグローバルビット線に接触する、請求項105に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- 所定のNAND列の第1および第2のブロック選択デバイスは、所定のNAND列のメモリセルトランジスタと構造上同じである、請求項96に記載のコンピュータ読取可能な媒体。
- 2つのデータ状態のうちの少なくとも1つに対してデプリーションモードのしきい値電圧を有するTFT SONOSトランジスタを備えるメモリセル。
- 少なくとも1つのデータ状態に対するデプリーションモードのしきい値電圧は、−0.5ボルト以下である、請求項108に記載のメモリセル。
- 2つのデータ状態の各々に対するデプリーションモードのしきい値電圧は、ゼロボルト以下である、請求項108に記載のメモリセル。
- 集積回路メモリアレイを製造するための方法であって、
基板の上方の誘電体層上に複数のチャネルストライプを形成するステップを含み、前記ストライプは第1の方向に延び、前記方法はさらに、
チャネルストライプ上に電荷蓄積誘電体層を形成するステップと、
電荷蓄積誘電体層上に複数のゲートストライプを形成するステップとを含み、前記ゲートストライプは、第1の方向とは異なる第2の方向に延び、前記方法はさらに、
ゲートストライプ間のチャネルストライプに高濃度ドープされた領域を形成するステップと、
ゲートストライプの上方にレベル間誘電体層を形成するステップとを含む、方法。 - レベル間誘電体層を通る、充填されたビアを形成するステップをさらに含み、前記ビアは、下にある少なくとも1つのメモリレベル上のチャネルストライプおよびゲートストライプに接続する、請求項111に記載の方法。
- 充填されたビアを形成するステップは、
レベル間誘電体層に開口部を形成して、その下の少なくとも1つのチャネルストライプまたはゲートストライプの一部を露出するステップと、
導電性金属で開口部を充填するステップと、
結果的に得られた構造を平坦化して、レベル間誘電体層の上面と共通する上面を有する、充填されたビアを形成するステップとを含む、請求項112に記載の方法。 - 電荷蓄積誘電体層は、複数のチャネルストライプ上に等角に形成され、
複数のゲートストライプは、複数のチャネルストライプ上に等角に形成される、請求項111に記載の方法。 - 複数のチャネルストライプを形成するステップは、
下にある誘電体層上にシリコンの層を堆積するステップと、
シリコンの層をマスキングおよびエッチングして複数のチャネルストライプを形成する
ステップとを含む、請求項111に記載の方法。 - シリコンの堆積された層を注入して、チャネルストライプに後で形成されるトランジスタに対してデプリーションモードのしきい値電圧を提供するステップをさらに含む、請求項115に記載の方法。
- シリコンの堆積された層は、アモルファスシリコン層を含む、請求項115に記載の方法。
- シリコンの堆積された層は、多結晶シリコン層を含む、請求項115に記載の方法。
- シリコンの堆積された層は、堆積中に現場でドープされる、請求項115に記載の方法。
- 電荷蓄積誘電体層は、シリコン、酸素、および窒素を含む、請求項111に記載の方法。
- 電荷蓄積誘電体層は、酸化シリコン/窒化シリコン/酸化シリコン(ONO)スタックを含む、請求項120に記載の方法。
- チャネルストライプ内に高濃度ドープされた領域を形成する前に、ゲートストライプの側壁上にスペーサを形成するステップをさらに含む、請求項111に記載の方法。
- スペーサを形成する前に、チャネルストライプに低濃度ドープされたソース/ドレイン領域を形成するステップをさらに含む、請求項122に記載の方法。
- ゲートストライプ上またはゲートストライプ内にシリサイド層を形成するステップをさらに含む、請求項111に記載の方法。
- シリサイド層は、ポリシリコン層をエッチングしてゲートストライプを形成する前に、堆積されたポリシリコン層の上に形成される、請求項124に記載の方法。
- シリサイド層は、高濃度ドープされた領域を形成した後にゲートストライプ上に形成され、シリサイド層は、チャネルストライプの高濃度ドープされた領域上にも形成される、請求項124に記載の方法。
- メモリセルの2つ以上のメモリレベルを有する三次元メモリアレイを備える集積回路であって、前記集積回路の各メモリレベルは、
基板の上方の誘電体層上に複数のチャネルストライプを含み、前記ストライプは第1の方向に延び、前記各メモリレベルはさらに、
チャネルストライプ上に電荷蓄積誘電体層と、
電荷蓄積誘電体層上に複数のゲートストライプとを含み、前記ゲートストライプは、第1の方向とは異なる第2の方向に延び、前記各メモリレベルはさらに、
ゲートストライプ間のチャネルストライプにおける、高濃度ドープされた領域と、
ゲートストライプの上方にレベル間誘電体層とを含む、集積回路。 - 少なくとも1つのレベル間誘電体層を通って形成され、その下のチャネル列およびゲート列の部分に接触する、充填されたビアをさらに備える、請求項127に記載の集積回路。
- 電荷蓄積誘電体層は、シリコン、酸素、および窒素を含む、請求項127に記載の集積回路。
- 電荷蓄積誘電体層は、酸化シリコン/窒化シリコン/酸化シリコン(ONO)スタックを含む、請求項129に記載の集積回路。
- ゲートストライプの側壁上にスペーサをさらに備える、請求項127に記載の集積回路。
- チャネルストライプ内における、低濃度ドープされたソース/ドレイン領域をさらに備える、請求項131に記載の集積回路。
- ゲートストライプの上またはゲートストライプ内に形成されたシリサイド層をさらに備える、請求項127に記載の集積回路。
- チャネルストライプの高濃度ドープされた領域上に形成されたシリサイド層をさらに備える、請求項133に記載の集積回路。
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