JP4991596B2 - 光導波回路及びそれを用いたマルチコア中央処理装置 - Google Patents
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Description
電子情報通信学会論文誌2005/6 Vol.J88−C No.6
図2は、本発明の第1の実施形態に係わる交差型光導波路構造の概略を説明するための斜視図であり、図3はその断面図である。
d2 ≦ d1 ≦ λ/n1 …(1)
の関係にあることが望ましい。この時光は上部クラッド層中には伝播せずに、光導波路へ結合する。ここでは屈折率1.53であるポリイミドを材料としている。上部クラッド層21の厚さは600nm、幅は3μm、長さは、テーパ構造部分を包括するために、300μmである。なお、上部クラッド層21の交差箇所側の先端部分は、光導波路と同様にテーパ構造をとることも可能である(図示せず)。なお、図2には光導波路の交差部分のみを示しており、導波路がつながる他の領域には、発光、受光素子やその他各種デバイス、配線等が形成されている。
d0 ≧ λ / n0 …(2)
の関係にあることが望ましい。
本発明による光導波路交差部分を適用した光導波回路の実施形態を示す。図5は6つの演算コアを光導波回路でつないでいるマルチコア中央処理装置の模式図である。図には、外部との信号送受信ポートや電極などの、本発明にかかわりない部分は省略してある。こうしたマルチコア構造の演算素子は、コア間の通信が電気配線のものであればすでに実用化されている。
n2 <n1 <n0 …(3)
の関係であればよい。
7 断続する光導波路
8 交差するもう片方の光導波路
9 テーパ構造部分
10 テーパ構造部分
11 伝播する信号光
12 伝播する信号光
13 下部クラッド層
14 上部クラッド層
15 Si基板
16 SiO2膜からなる下部クラッド層
17 断続する光導波路
18 光導波路
19 テーパ構造
20 テーパ構造
21 上部クラッド層
22 伝播する信号光
23 伝播する信号光
24 光信号送受信ポート
25 光導波路
27 光導波路交差部分
Claims (7)
- 基板上に形成された下部クラッド層と、
前記下部クラッド層上に形成された第1の光導波路と、
前記第1の光導波路によって区切られた前記下部クラッド層の一方に、先端を前記第1の光導波路の側面に向けて形成され、光が伝搬できなくなるように該先端部がテーパ状に絞られた第2の光導波路と、
前記第1の光導波路によって区切られた前記下部クラッド層の他方に、先端を前記第2の光導波路の先端部に対向して形成され、光が伝搬できなくなるように該先端部がテーパ状に絞られた第3の光導波路と、
前記下部クラッド層上及び前記第2の光導波路の先端部上に形成され、前記下部クラッド層よりも屈折率の大きい第1の上部クラッド層と、
前記下部クラッド層上及び前記第3の光導波路の先端部上に形成され、前記下部クラッド層よりも屈折率の大きい第2の上部クラッド層と、を具備する光導波回路であって、
前記下部クラッド層の厚さd 0 は、前記第1乃至第3の光導波路を導波する光の波長をλ、前記下部クラッド層の屈折率をn 0 とした時、
d 0 ≧ λ / n 0
の関係にあり、
かつ、前記第1及び第2の上部クラッド層の厚さd 1 は、前記第1乃至第3の光導波路の厚さをd 2 、前記第1及び第2の上部クラッド層の屈折率をn 1 とした時に、
d 2 ≦ d 1 ≦ λ/n 1
の関係にあることを特徴とする光導波回路。 - 前記第2及び第3の光導波路の先端が、前記第1の導波路の側面から30〜200μmの距離にあることを特徴とする、請求項1に記載の光導波回路。
- 前記第1または第2上部クラッド層の、前記第1の光導波路の側面に対向する先端部がテーパ状に絞られ、該テーパ部分の長さが100μmより小さいことを特徴とする請求項1〜2何れかに記載の光導波回路。
- 前記第1または第2の上部クラッド層の両側の、前記下部クラッド層の一部を除去して形成するトレンチ領域を具備することを特徴とする請求項3に記載の光導波回路。
- 前記基板は、シリコンオンインシュレータ基板であることを特徴とする、請求項1〜4何れかに記載の光導波回路。
- 前記第1乃至第3の光導波路はシリコン、前記下部クラッド層は酸化シリコンからなることを特徴とする、請求項5に記載の光導波回路。
- 請求項1〜6いずれかに記載の光導波回路が適用されていることを特徴とするマルチコア中央処理装置。
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