JP4991131B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
図3は、3値以上のデータを記憶する半導体記憶装置の概略構成を示すものであり、例えば4値(2ビット)を記憶するNAND型フラッシュメモリの構成を示している。
上記構成において、動作について説明する。
第2番目の書き込みは、メモリセル1とワード方向に隣接したメモリセル2の第1ページに1ビットのデータが書きこまれる。
第3番目の書き込みは、メモリセル1とビット方向に隣接したメモリセル3の第1ページに1ビットのデータが書きこまれる。
第4番目の書き込みは、メモリセル1と対角に隣接したメモリセル4の第1ページに1ビットのデータが書きこまれる。
第5番目の書き込みは、メモリセル1の第2ページに1ビットのデータが書きこまれる。
第6番目の書き込みは、メモリセル1とワード方向に隣接したメモリセル2の第2ページに1ビットのデータが書きこまれる。
第7番目の書き込みは、メモリセル3とビット方向に隣接したメモリセル5の第1ページに1ビットのデータが書きこまれる。
第8番目の書き込みは、メモリセル3と対角に隣接したメモリセル6の第1ページに1ビットのデータが書きこまれる。
第9番目の書き込みは、メモリセル3の第2ページに1ビットのデータが書きこまれる。
第10番目の書き込みは、メモリセル3とワード方向に隣接したメモリセル4の第2ページに1ビットのデータが書きこまれる。
第11番目の書き込みは、メモリセル5とビット方向に隣接したメモリセル7の第1ページに1ビットのデータが書きこまれる。
第12番目の書き込みは、メモリセル5と対角に隣接したメモリセル8の第1ページに1ビットのデータが書きこまれる。
第13番目の書き込みは、メモリセル5の第2ページに1ビットのデータが書きこまれる。
第14番目の書き込みは、メモリセル5とワード方向に隣接したメモリセル6の第2ページに1ビットのデータが書きこまれる。
第15番目の書き込みは、メモリセル7の第2ページに1ビットのデータが書きこまれる。
第16番目の書き込みは、メモリセル7とワード方向に隣接したメモリセル8の第2ページに1ビットのデータが書きこまれる。
(第1ページプログラム)
図9は、第1ページのプログラムの一例を示すフローチャートである。プログラム動作は、先ずアドレスを指定し、図4に示す2ページ(1セクタ)が選択される。本メモリは、この2ページのうち、第1ページ、第2ページの順でしか、プログラム動作できない。したがって、先ず、アドレスにより第1ページを選択する。
次に、書き込みデータを外部より入力し全てのデータ記憶回路10内のSDCに記憶する(S12)。このとき、データを書き込む場合、外部よりデータ“0”が入力されるが、SDCのノードN2aは、電源電圧Vddになる。また、書き込み非選択の場合、外部よりデータ“1”が入力されるが、SDCのN2aのノードは、接地電位Vssになる。この後、書き込みコマンドが入力されると、全てのデータ記憶回路10内のSDCのデータがPDCに転送される(S13)。すなわち、信号BLC1,BLC2が所定の電圧、例えばVdd+Vth(Vdd:電源電圧(例えば3V又は1.8V、しかし、この電圧に限定されるものではない)、Vth:NチャネルMOSトランジスタの閾値電圧)とされ、トランジスタ61h、61gがオンとされる。すると、ノードN2aのデータがトランジスタ61g、61hを介してPDCに転送される。このため、外部よりデータ“1”(書き込みを行なわない)が入力された場合、PDCのノードN1aは、ローレベルとなり、データ“0”(書き込みを行なう)が入力された場合、PDCのノードN1aは、ハイレベルとなる。以後、PDCのデータはノードN1aの電位、SDCのデータはノードN2aの電位とする。
この後、信号VPREをVdd、信号BLPREをVdd+Vthとし、一旦、接続ノードN3をVddにプリチャージした後、信号DTGをVdd+VthとしてPDCのデータをDDCに転送する。次に、信号REGをVdd、信号VREGをVssとする。DDCのデータがハイレベルの場合、接続ノードN3はローレベル、DDCのデータがローレベルの場合、接続ノードN3はハイレベルのままとなる。この後、一旦、信号SEN1n、LAT1nをオフとし、信号EQ1をVddとしてノードN1aとN1bを同電位に設定する。この後、信号BLC1をVdd+Vthとし、TDCのデータ(接続ノードN3の電位)をPDCに移す。この結果、元々PDCにデータ“1”がラッチされていた場合データ“0”になり、データ“0”がラッチされていた場合、データ“1”になる。
ところで、第1ページのプログラムにおいて、フラグセルにはデータが書き込まれない。このため、フラグ用データ記憶回路10a内のPDCはデータ“1”となる。
図7示す信号BLC1、BLCLAMP、BLSo又はBLSeの電位をVdd+Vthとする。すると、トランジスタ61h、61t、61v又は61wがオンとなり、PDCに保持されたデータがビット線に供給される。PDCにデータ“1”(書き込みを行なわない)が記憶されている時、ビット線がVdd(電源電圧)になり、データ“0”(書き込みを行なう)時、ビット線がVss(接地電位)になる。また、選択されたワード線に接続され、非選択ページの(ビット線が非選択である)セルは書き込みが行なわれてはならない。このため、これらのセルに接続されているビット線にもデータ“1”と同じようにVddを供給する。ここで、選択されているブロックのセレクト線SGDにVdd、選択ワード線に電位Vpgm(20V)、非選択ワード線に電位Vpass(10V)を印加する。すると、ビット線がVssになっている場合、セルのチャネルがVss、ワード線がVpgmとなるので書き込みが行なわれる。一方、ビット線がVddになっている場合、セルのチャネルがVssではなく、カップリングによりチャネルがブートされる。このため、ゲートとチャネル間の電位差がVpgm/2程度と小さくなり、書き込みが行われない。
第1ページ書き込みは、図1(a)に示すように、ベリファイレベル“v’”まで書き込みを行う。したがって、ベリファイ動作の第1ステップでは、図1(a)に示すように、本来のベリファイ時のワード線の電位“v’”より低い電位“v*’”を用いてベリファイし、この後、第2ステップにおいて、ワード線の電位を“v’”とする。以後“*”は本来の値より低い電位を表す。
図8に示すように、メモリセル1の第1ページに1ビットのデータの書き込んだ後、メモリセル1とワード方向に隣接したメモリセル2の第1ページの書き込み、メモリセル1とビット方向に隣接したメモリセル3の第1ページの書き込み、メモリセル1と対角に隣接したメモリセル4の第1ページの書き込みが順次行なわれる。これらの書き込み動作が行なわれると、書き込みデータによっては、浮遊ゲート間容量によって、メモリセル1の閾値電圧が上昇する。このため、メモリセル1のデータ“0”とデータ“2”の閾値電圧分布は、図1(b)に示すように、電位が高いほうに広がる。
図1(c)(d)は、第2ページプログラムの書き込み順序を示している。図2に示す従来の場合、第2ページの書き込みは、閾値電圧レベル“a’”“b’”“c’”へ同時に書き込んでいる。しかし、本実施形態は、第2ページプログラムの第1ステップにおいて、第1ページで閾値電圧レベル“v’”まで書き込まれたセルを閾値電圧レベル“b’”へ書き込む。この後、第2ステップにおいて、第2ページの入力データにより、閾値電圧レベル“a’”“c’”へ同時に書き込み動作を行なう。又は、第2ページプログラムの第1ステップにおいて、第1ページで閾値電圧レベル“v’”まで書き込まれたセルを閾値電圧レベル“b’”と“c’”へ書き込む。この後、第2ステップにおいて、閾値レベル“a’”へ書き込み動作を行なう。
次に、書き込みデータを外部より入力し全てのデータ記憶回路内のSDCに記憶する(S22)。外部よりデータ“1”(書き込みを行なわない)が入力されると、データ記憶回路10のSDCのノードN2aは、ローレベルになり、外部よりデータ“0”(書き込みを行なう)が入力されるとハイレベルとなる。
先ず、セルへデータを書き込む前に、メモリセルの第1ページのデータが“0”であるか、“2”であるかを判断する必要がある。このため、メモリセルのデータを読み出す内部リード動作を行なう。内部データリードは、リード動作と全く同じである。通常メモリセルのデータが“0”であるか“2”であるかの判断において、選択ワード線には、リード時の電位“b”を与える。しかし、第1ページのプログラム動作において、データ“2”は、通常より低い“v’”までしか書き込んでいない。このため、メモリセルの閾値電圧は電位“b”より低い場合もある。したがって、内部データリードでは、ワード線に“a”の電位を供給して読み出し動作をする。
この後、データキャッシュを操作することにより、各データキャッシュに記憶されるデータは図11(b)に示すようになる。すなわち、図7に示すSDC,DDC,DDCQ,PDCのデータを転送、又はコピーすることにより、各データキャッシュのデータを図11(b)に示すように設定する。データキャッシュの操作は、本実施形態の本質ではないため、説明を省略する。
次いで、メモリセルにデータが書き込まれる。先ず、信号BLC1をVsg(Vdd+Vth、例えば2.5V+Vth)とすると、PDCがデータ“0”の場合、ビット線がVssとなり、データ“1”の場合、ビット線はVddになる。次に、信号BLC1をVssとした後、信号VREGをVdd、信号REGを中間電位+Vth(1V+Vth)とすると、ビット線がVssであった場合、中間電位(1V)となる。
この後、ベリファイ動作を行なうが、この時“a”レベルのベリファイ(S26,S27)は、スキップする。したがって、ここでは先ずワード線の電位を“b*’”に設定して書き込みベリファイが行なわれる(S28、S29)。このベリファイ手順は第1ページと同様である。全てのPDCがハイレベルとなるまで、プログラムとベリファイを繰り返す(S25、S28、S29、S32、S33)。書き込みが終了すると各データキャッシュのデータは、図12(a)に示すようになる。また、書き込みが終了すると、制御がステップS32からS34に移行される。ステップS34において、2回目のプログラムがあると判別された場合、制御がステップS24に移行される。
この後、データキャッシュを操作することにより、各データキャッシュに記憶されるデータを、図12(b)に示すように設定する。
次いで、メモリセルにデータが書き込まれる。先ず、信号BLC1をVsgとすると、PDCがデータ“0”の場合、ビット線がVssとなり、データ“1”の場合、ビット線はVddになる。次に、信号BLC1をVssとした後、信号VREGをVdd、信号REGを中間電位+Vth(1V+Vth)とする。すると、ビット線がVssであった場合、中間電位(1V)となる。
上記プログラム後、ワード線にベリファイ電圧“a*’”、“a’”を順次設定して書き込みベリファイが行なわれる。ベリファイ手順は第1ページと同様であるが、データ“2”,“3”を書き込んでいるセルもこのベリファイをパスしてしまう。したがって、信号VPREをハイレベル、信号VREGをハイレベルとして、TDCをVddに充電する替わりに、SDCをハイレベルとして、データ“1”に書き込んでいるメモリセルのみTDCをVddに充電する。この操作により、メモリセルのデータ“2”,“3”への書き込みセルは、このベリファイでパスしなくなる。
この後、ワード線にベリファイ電圧“b*’”、“b’”を順次設定して書き込みベリファイが行なわれる。ベリファイ手順は第1ページと同様であるが、データ“3”へ書き込んでいるメモリセルもこのベリファイでパスしてしまう。したがって、信号VPREをハイレベル、信号VREGをハイレベルとして、TDCをVddに充電する替わりに、信号REGをハイレベルとし、データ“2”に書き込んでいるメモリセルのみ、TDCをVddに充電する。この操作により、データ“3”へ書き込んでいるメモリセルは、このベリファイでパスしなくなる。この第2ステップベリファイレベル“b”でのベリファイは、第1ステップでデータ“2”への書き込みが行なわれているため、データ“2”への書き込みデータが存在しないため行なわれない。
この後、ワード線にベリファイ電圧“c*’”、“c’”が順次設定され、書き込みベリファイが行なわれる。ベリファイ手順は第1ページと同様である。
図15は、第1ページリードのフローチャートを示している。先ず、アドレスを指定し、図4に示す2ページを選択する。図1(b)(c)に示すように、第2ページの書き込みの前後において、閾値電圧の分布が変わっている。したがって、先ず、ワード線の電位を“b”として読み出し動作を行ない第2フラグセルFC2のデータが“0”か“1”であるかを判別する(S41,S42)。この判別において、第2フラグセルFC2が複数セルある場合は、これらの多数決により、“0”か“1”を判断する。
図16は、第2ページリードのフローチャートを示している。第2ページリードでは、先ず、アドレスを指定し、図4に示す2ページを選択する。図1(b)(c)に示すように、第2ページの書き込み前後で、閾値電圧分布が変わっている。しかし、第2ページの書き込み後は、図1(e)に示すような閾値電圧分布になっている。このため、ワード線の電位を“c”、“a”と2回替えて読み出し動作をしなくてはならない。
図17は、ユーザ側の読み出し手順を示すフローチャートである。例えば図示せぬユーザ側のコントローラから、図3に示すコントローラ9を介してNAND型フラッシュメモリにリードコマンドを入力する(S61)。これにより、アドレスに応じたメモリセルのデータが読み出されSDCに転送される(S62)。次に、NAND型フラッシュメモリから、コントローラ9に読み出されたデータが順次に転送される。コントローラ9は、ECCを復号するための計算を行う(S63)。コントローラ9は、全データが転送された後、データにエラーが無いか、或いはECCで訂正できるかを判断する(S64)。エラーが無いか、ECCで訂正できる場合、読み出されたデータは正常である。ECCで訂正できない場合、書き込み中に異常終了した可能性がある。従来、書き込み異常は次の3通りに分類される。
(2)第2ページ書き込み中にエラーが発生し、第1ページのデータを読み出すことができない。
(3)第2ページ書き込み中にエラーが発生し、第2ページのデータを読み出すことができない。
・本体セル(第1、第2フラグセル及びECC用セル以外のセル)書き込みNGの場合
通常読み出し(ワード線電位“a”)による第1ページ読み出しNG
特別コマンドでワード線電位“a”による第1ページ読み出しNG
・本体セル書き込みOKの場合
通常読み出し(ワード線電位“a”)による第1ページ読み出しOK
特別コマンドでワード線電位“a”による第1ページ読み出しOK
(2)隣接セル書き込み
(3)第2ページ書き込みの第1ステップ(第2フラグセルFC2→電位“b”)
・第2フラグセルFC2書き込みNGで、本体セル書き込みNGの場合
通常読み出し(ワード線電位“a”)による第1ページ読み出しOK
特別コマンドでワード線電位“a”による第1ページ読み出しOK
・第2フラグセルFC2書き込みOKで、本体セル書き込みNGの場合
通常読み出し(ワード線電位“b”)による第1ページ読み出しNG
特別コマンドでワード線電位“a”による第1ページ読み出しOK
・第2フラグセルFC2書き込みNGで、本体セル書き込みOKの場合
通常読み出し(ワード線電位“a”)による第1ページ読み出しOK
特別コマンドでワード線電位“a”による第1ページ読み出しOK
・第2フラグセルFC2書き込みOKで、本体セル書き込みOKの場合
通常読み出し(ワード線電位“b”)による第1ページ読み出しOK
特別コマンドでワード線電位“a”による第1ページ読み出しOK
(4)第2ページ書き込み第2ステップ(第2フラグセルFC2、電位“b”のまま)
通常読み出し(ワード線電位“b”)による第1ページ読み出しOK
特別コマンドでワード線電位“a”リードによる第1ページ読み出しNG
消去動作は、先ず、アドレスを指定し、図4の破線で示すブロックを選択する。消去動作を行なうと、メモリセルのデータは“0”となり、第1ページ、第2ページの何れでリードを行なってもデータ“1”が出力される。
・第1ページ書き込み後、電源が遮断され、その後、電源が再投入され、第2ページの書き込みが行なわれる場合。
・第1ページ、第2ページを連続して書き込む場合と、非連続で書き込む場合をコマンドにより切り替える場合。
・第1ページのデータの破壊防止を望むユーザの場合、予め、フューズ回路7−1により第1の実施形態の書き込み、及び読み出し方法を設定しておけば、新たなコマンドの入力は不要である。
上記第1の実施形態は、第2ページの書き込みにおいて、第1フラグセルFC1をメモリセルのデータ“0”から“1”へ書き込み、第2フラグセルFC2をメモリセルのデータ“0”から“2”へ書き込んだ。しかし、図1(c)に示す第2フラグセルFC2の閾値電圧分布が、閾値電圧“c”より低い場合は、第1フラグセルFC1を省略することも可能である。
上記第1の実施形態は、第2ページの書き込みにおいて、第1フラグセルFC1をメモリセルのデータ“0”から“1”へ書き込み、第2フラグセルFC2をメモリセルのデータ“0”から“2”へ書き込んだ。しかし、メモリセルは、データ“0”から“1”への書き込みと、データ“2”から“3”の書き込みしかない。このため、第2フラグセルFC2の書き込みが高速化の妨げとなる場合がある。そこで、第2フラグセルFC2を使用せず、第1フラグセルFC1のみ使用する。
ユーザの読み出し手順は、図17に示す通りである。しかし、第1ページの読み出しと、第1フラグセルFC1と本体セルの関係は次のようになる。
・本体セル書き込みNGの場合
通常読み出し(ワード線電位“a”)による第1ページ読み出しNG
特別コマンドでワード線電位“b”リードによる第1ページ読み出しNG
・本体セル書き込みOKの場合
通常読み出し(ワード線電位“a”)による第1ページ読み出しOK
特別コマンドでワード線電位“b”による第1ページ読み出しNG
(2)隣接セル書き込み
(3)第2ページ書き込みの第1ステップ(第1フラグセルFC1は消去状態のまま)
・本体セル書き込みNGの場合
通常読み出し(ワード線電位“a”)による第1ページ読み出しOK
・本体セル書き込みOKの場合
通常読み出し(ワード線電位“a”)による第1ページ読み出しOK
(4)第2ページ書き込みの第2ステップ(第1フラグセルFC1を電位“a”へ書き込む)
・第1フラグセルFC1書き込みNGの場合
通常読み出し(ワード線電位“a”)による第1ページ読み出しNG
特別コマンドでワード線電位“b”による第1ページ読み出しOK
・第1フラグセルFC1書き込みOKの場合
通常読み出し(ワード線電位“b”)による第1ページ読み出しOK
特別コマンドでワード線電位“b”による第1ページ読み出しOK
上記第1、2、3の実施形態は、図10に示すように、第2ページの書き込みを第1ステップ、第2ステップの順で行なった。しかし、図1(b)の隣接セルの書き込みが終了すると、第2ページのデータが確定する前に、“b’”のレベルまで書き込みをすることは可能である。
上記第1乃至4の実施形態において、第2ページの書き込みは、第1ステップで第1ページのデータを電位“b’”以上に書き込んだ後、第2ページの書き込みデータに基づいて、消去セルから電位“a’”への書き込みを行っている。この動作により、第1ページのデータと第2ページのデータの閾値電圧分布が重ならないように制御している。しかし、フラグセルは、本体セルの書き込みと同じ第1ステップ又は第2ステップにおいて書き込んでいる。このため、リードシーケンス時に、ECCで救済できない場合、特別なリードコマンドにより読み出しを行なっていた。
・本体セル書き込みNGの場合
通常読み出し(ワード線電位“a”)による第1ページ読み出しNG
・本体セル書き込みOKの場合
通常読み出し(ワード線電位“a”)による第1ページ読み出しOK
(2)隣接セル書き込み
(3)第2ページ書き込みの第1ステップ(第1フラグセルFC1は消去状態のまま、本体セルを電位“b’”に書き込み)
・本体セル書き込みNGの場合
通常読み出し(ワード線電位“a”)による第1ページ読み出しOK
・本体セル書き込みOKの場合
通常読み出し(ワード線電位“a”)による第1ページ読み出しOK
(4)第2ページ書き込みの第2ステップ(第1フラグセルFC1を電位“a”又は消去状態の閾値電圧より高い閾値電圧へ書き込む)
・第1フラグセルFC1書き込みNGの場合
通常読み出し(ワード線電位“a”)による第1ページ読み出しOK
・第1フラグセルFC1書き込みOKの場合
通常読み出し(ワード線電位“b”)による第1ページ読み出しOK
(5)第2ページ書き込みの第3ステップ(本体セルを電位“a’”へ書き込む)
・本体セル書き込みNGの場合
通常読み出し(ワード線電位“b”)による第1ページ読み出しOK
・本体セル書き込みOKの場合
通常読み出し(ワード線電位“b”)による第1ページ読み出しOK
Claims (6)
- n値(nは3以上の自然数)を記憶するメモリセルと、
第1の書き込み動作により、前記メモリセルの閾値電圧を第1の閾値電圧から第1の閾値電圧又は第2の閾値電圧(第1の閾値電圧<第2の閾値電圧)とし、
前記第1の書き込み動作の後、且つ、前記メモリセルと隣接するセルに書き込みが行われた後、第2の書き込み動作により、前記メモリセルの閾値電圧が前記第2の閾値電圧である場合、第3の閾値電圧(第2の閾値電圧≦第3の閾値電圧)とし、
前記第2の書き込み動作の後、第3の書き込み動作により、前記メモリセルの閾値電圧が前記第1の閾値電圧である場合、第1の閾値電圧又は第4の閾値電圧(第1の閾値電圧<第4の閾値電圧)に制御する制御部と
を具備することを特徴とする半導体記憶装置。 - n値(nは3以上の自然数)を記憶するメモリセルと、フラグ用メモリセルを有するメモリセルアレイと、
第1の書き込み動作により、前記メモリセルの閾値電圧を第1の閾値電圧から第1の閾値電圧又は第2の閾値電圧(第1の閾値電圧<第2の閾値電圧)とし、
前記第1の書き込み動作の後、且つ、前記メモリセルと隣接するセルに書き込みが行われた後、第2の書き込み動作により、前記メモリセルの閾値電圧が前記第2の閾値電圧である場合、第3の閾値電圧(第2の閾値電圧≦第3の閾値電圧)とし、前記メモリセルと同時に選択される前記フラグ用メモリセルの閾値電圧を前記第1の閾値電圧から、第3の閾値電圧以上とし、
前記第2の書き込み動作の後、第3の書き込み動作により、前記メモリセルの閾値電圧が前記第1の閾値電圧である場合、前記第1の閾値電圧又は第4の閾値電圧(第1の閾値電圧<第4の閾値電圧)に制御する制御部と
を具備することを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記制御部は、第1の読み出し動作時に、前記メモリセルの閾値電圧が、前記第3の閾値電圧以上か以下かの読み出し動作を行ない、前記第1の読み出し動作により読み出されたデータが訂正不能なエラーを含む場合、前記フラグ用メモリセルの閾値電圧によらず前記第2の閾値電圧以上か以下かの読み出し動作を行なうことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体記憶装置。
- n値(nは3以上の自然数)を記憶するメモリセルと、フラグ用メモリセルを有するメモリセルアレイと、
第1の書き込み動作により、前記メモリセルの閾値電圧を第1の閾値電圧から第1の閾値電圧又は第2の閾値電圧(第1の閾値電圧<第2の閾値電圧)とし、
前記第1の書き込み動作の後、且つ、前記メモリセルと隣接するセルに書き込みが行われた後、第2の書き込み動作により、前記メモリセルの閾値電圧が前記第2の閾値電圧である場合、第3の閾値電圧(第2の閾値電圧≦第3の閾値電圧)とし、
前記第2の書き込み動作の後、第3の書き込み動作により、前記メモリセルの閾値電圧が前記第1の閾値電圧である場合、前記第1の閾値電圧又は第4の閾値電圧(第1の閾値電圧<第4の閾値電圧)前記メモリセルとし、前記メモリセルと同時に選択される前記フラグ用メモリセルの閾値電圧を前記第1の閾値電圧から第4の閾値電圧以上に制御する制御部と
を具備することを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記制御部は、第1の読み出し動作時に、前記メモリセルの閾値電圧が、前記第4の閾値電圧以上か以下かの読み出し動作を行ない、前記第1の読み出し動作により読み出されたデータが訂正不能なエラーを含む場合、特別なリードコマンドにより、前記第3の閾値電圧以上か以下かの読み出し動作を行なうことを特徴とする請求項4記載の半導体記憶装置。
- n値(nは3以上の自然数)を記憶するメモリセルと、フラグ用メモリセルを有するメモリセルアレイと、
第1の書き込み動作により、前記メモリセルの閾値電圧を第1の閾値電圧から第1の閾値電圧又は第2の閾値電圧(第1の閾値電圧<第2の閾値電圧)とし、
前記第1の書き込み動作の後、且つ、前記メモリセルと隣接するセルに書き込みが行われた後、第2の書き込み動作により、前記メモリセルの閾値電圧が前記第2の閾値電圧である場合、第3の閾値電圧(第2の閾値電圧≦第3の閾値電圧)とし、
前記第2の書き込み動作の後、第3の書き込み動作により、前記メモリセルと同時に選択される前記フラグ用メモリセルの閾値電圧を前記第1の閾値電圧から、第3の閾値電圧又は第4の閾値電圧(第1の閾値電圧<第4の閾値電圧)以上とし、
前記第3の書き込み動作の後、第4の書き込み動作により、前記メモリセルの閾値電圧が前記第1の閾値電圧である場合、前記第1の閾値電圧又は第4の閾値電圧に制御する制御部と
を具備することを特徴とする半導体記憶装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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