JP4984481B2 - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
例えば、セラミック、金属、ガラスなどのパッケージ部材(100a,100b,100c)を積層して凹部100dが設けられたパッケージ100に、MEMSなどの機能面101aに可動部または振動子を持つマイクロデバイスが設けられた半導体チップ101が機能面101aを上面にして収容され、外部との電気的な接続のために凹部内に設けられた電極102にワイヤボンディング103で接続されている。
さらに、金属、セラミックあるいはガラスなどからなるリッド104で凹部100dが覆われて、封止剤105で封止され、凹部100dとリッド104から気密封止されたキャビティ106が構成される。キャビティ106は、真空、減圧、還元雰囲気、あるいは不活性ガス雰囲気に保持されている。
次に、機能面に可動部または振動子が形成された機能素子を有するマイクロデバイスを、キャビティ用開口部内において、機能面がキャビティ用開口部内における他の部材から所定の距離をもって離間するようにしてマウントする。
次に、少なくともマイクロデバイスの側面及び/または機能面の外周端部と、キャビティ用開口部の内壁面とを封止して、機能面が封止されたキャビティの内面を構成するように封止層を形成する。
次に、マイクロデバイスの機能面を除く面を被覆して、マイクロデバイスと第1絶縁層の上層に第2絶縁層を形成する。
本実施形態に係る半導体装置はMEMS、SAW素子あるいはF−BARなどの可動部または振動子を持つ機能素子を備えたマイクロデバイスを内蔵してパッケージ化した半導体装置であり、図1(a)はその模式断面図であり、図1(b)は要部拡大図である。
また、シード層16及び銅層18からなる第1配線、シード層23及び銅層24からなる第2配線、シード層26及び銅層27からなる第3配線を含む配線が、静電容量素子Cを構成する下部電極12及び上部電極14に接続して、及び/または互いに接続して、第1絶縁層中及びその表面に形成されている。
さらにバッファ層40の表面から突出するように導電性ポスト28に接続してバンプ(突起電極)41が形成されている。
上記のキャビティ用開口部P内には、マイクロデバイス搭載用の第1配線(16,18)が形成されており、その表面にはNi/Au層19が形成されている。
また、キャビティ用開口部Pの側面を構成するように導電性ポスト28aが形成されている。
まず、図2(a)に示すように、例えば、200mm径のウェハ状態の基板10に、CVD(化学気相成長)法などにより酸化シリコンを300nmの膜厚で成膜して下地絶縁膜11を形成し、その上層に物理蒸着などによりアルミニウムなどを成膜し、所定のパターンに加工して下部電極12を形成し、続いてプラズマCVD法によりSiNを300nmの膜厚で形成して絶縁膜13とする。このSiNは静電容量素子の容量絶縁膜の機能および配線保護のパッシベーション膜の両方の機能を有するものである。さらに物理蒸着などによりTiNを成膜し、所定のパターンに加工して上部電極14とする。上部電極14の面積は静電容量素子の容量により決定される。Ti膜は再配線工程でのシードスパッタリングの前処理でにおいてSiNの膜減り防止の効果がある。
以上のようにして、フィルターなどを構成する静電容量素子Cを形成する。ここで、上記の絶縁膜13は全面に形成しているが、下部電極12へのコンタクト領域を開口しておく。
感光性ポリイミドをスピンコートで形成する場合、例えば、(1000rpm,30秒)+(2000rpm,40秒)+(1000rpm,10秒)+(1500rpm,10秒)の塗布条件で行い、露光は125mJ/cm2の露光量で行い、また、硬化処理は(300℃,1時間)の熱処理とする。
また、キャビティ用開口部Pにおける第1配線の表面には、キャビティ用開口部Pにおける第1配線の表面以外をレジストにて保護した後、無電解めっき法によりNi/Au層19を形成する。これは、シード層の剥離工程においてマイクロデバイスの接続端子となる第1配線(16,18)を保護するためである。ここで、例えばNi膜の厚さは3μm、Au膜の厚さは0.5μmとする。
これにより、シード層16及び銅層18からなる第1配線が形成され、キャビティ用開口部Pにおける第1配線の表面には、上記のようにNi/Au層19が形成されている構成となる。
半導体チップ20は、半導体本体20aの表面にパッド電極20bが形成されており、パッド電極20bを露出するように保護絶縁膜20cが形成された構成であり、例えば、能動素子を有する電子回路を形成した半導体ウェハを、ウェハ状態で50μmまで研削を行い、裏面にダイアタッチフィルムをラミネートし、ダイシングにより個片化を行って形成する。
例えば、研削条件は、砥石#2000、スピンドル回転数2000rpmとする。また、ラミネート条件は、圧力が10N/cm2、温度が65℃、スピードが1m/分とする。ダイシング条件は、ブレード#4000を用いて、回転数が40000rpm、送り速度が10mm/秒とする。また、搭載は荷重が1.6N、温度が160℃、時間が2.0秒とする。
まず、図4(b)に示すように、例えば、スピンコートにより感光性ポリイミドを10μmの膜厚で塗布して第2樹脂層22を形成し、露光及び現像により、第1配線、上部電極14、パッド電極20bに達する開口部を形成するようにパターン加工する。また、キャビティ用開口部Pにおいても第2樹脂層22を除去する。
露光、現像処理の後で、(300℃,1時間)の硬化処理を行う。
ここでは、例えば、全面にTiとCuを堆積してシード層23を形成し、第2配線形成領域を開口するレジスト膜をパターン形成し、シード層23を一方の電極とする電解メッキ処理により銅層24を形成し、レジスト膜を除去し、さらに銅層24をマスクとしてウェットエッチングを行い、銅層24間のシード層23を除去する。
ここでは、例えば、全面にTiとCuを堆積してシード層26を形成し、第3配線形成領域を開口するレジスト膜をパターン形成し、シード層26を一方の電極とする電解メッキ処理により銅層27を形成し、レジスト膜を除去する。シード層26は、次工程で導電性ポストを形成する電解メッキ処理工程においても用いるので、エッチングせずにおく。
この工程においては、キャビティ用開口部Pの側面を構成するような導電性ポスト28aも同時に形成する。これは、マイクロデバイスが搭載される領域を囲んでリング状に形成する。
まず、図6(a)に示すように、半導体ウェハ30に、MEMS、SAW素子、F−BARなどの機能面に振動子または可動部を持つ機能素子30fを形成する。また、機能素子30fなどに接続して、印刷法又はディスペンス法で機能面に銀ペーストを印刷してバンプ31を形成する。
次に、例えば表面からUV照射と100℃のオーブン加熱することで、ダイシング保護テープからの剥離を行い、以上の工程により、図7(c)に示すように、ダイシングラインにおいて個々の半導体チップ30aに分割しながら、薄型化が実現されたマイクロデバイスMが形成できる。
このとき、マイクロデバイスのバンプ31の外周部において、Bステージのエポキシ樹脂をディスペンス又は印刷法で塗布し、封止層32aを予め形成しておく。
このとき、封止層32aを適度な供給量としておくことで、機能面と第1電極の間隙からはみだし、マイクロデバイスMの側面及び/または機能面の外周端部と、キャビティ用開口部Pを構成する導電性ポスト28aの内壁面とを封止する状態となる。この状態で硬化させることにより、封止層32が形成できる。封止層32により、マイクロデバイスMの機能面が封止されたキャビティの内面を構成することになる。
この工程において、導電性ポスト28aは樹脂を塞き止める役目と有する。
本実施形態は、第1実施形態の半導体装置の製造方法において、封止層の形成方法を変更した形態である。
即ち、第1実施形態においてはマイクロデバイスの機能面に封止層を形成した状態でキャビティ用開口部内にマウントしたが、本実施形態においては、まず、図10(a)に示すように、マイクロデバイスMの機能面に封止層を形成しない状態でキャビティ用開口部P内にマウントし、次に、図10(b)に示すように、マイクロデバイスMの外周縁部を被覆するように、ディスペンサDSにより封止樹脂を供給して封止層32を形成する。
このとき、封止樹脂として紫外線硬化タイプの樹脂を使用し、供給しながら紫外線を照射することで、樹脂が機能素子に達する前に固化させて、機能素子がキャビティ用開口部P内の他の部材に接することなく封止することが可能となる。
上記の実施形態では、図面上、機能面に振動子または可動部を持つ機能素子を有するマイクロデバイスとして特に構造を明示していなかったが、例えば、図11に示す構造のMEMS、図12に示す構造のF−BARや、SAW素子などを備えたマイクロデバイスを内蔵するようにしてもよい。
例えば、デバイス基板50に、可動部を有する部材51が形成された構成となっている。
例えば、デバイス基板50に、下部電極52、圧電膜53および上部電極54の積層体からなる弾性共振膜が形成され、共振膜と基板の間に所定の共振領域を構成する空隙55が形成されている。
下部電極52および上部電極54は、例えばAl、Pt、Au、Cu、W、Mo、Tiなどの導電性材料からなり、例えば0.1〜0.5μmの膜厚で形成されている。
また、圧電膜53は窒化アルミニウムや酸化亜鉛などの圧電材料からなり、c軸に高配向した緻密な膜となっており、優れた圧電特性と弾性特性を備えた圧電膜であり、例えば1.5μm以下の膜厚で形成されている。
空隙55は、下部電極52の端部に屈曲して形成された足部により支えられており、空隙55の高さは例えば数μm程度である。
下部電極52、上部電極54および圧電膜53の膜厚や空隙55の高さなどは、共振周波数に合わせて適宜調整することができる。
例えば、MEMSの他、SAW素子やF−BARなどの機能素子を有するマイクロデバイスを内蔵した半導体装置とすることも可能である。
樹脂層や配線を積層させる層数は実施形態に限らず、何層であってもよい。
静電容量素子やインダクタンス、電気抵抗素子などの受像素子を適宜組み込むことが可能である。さらに、トランジスタなどの能動素子が形成された半導体チップを適宜組み込むことが可能である。
SiPを構成する能動素子としては、内蔵する半導体チップに形成されていても、半導体装置全体の基板に形成されていてもよい。
基板に形成された第1配線とMEMSの接合は、Ag/Au熱圧着方式だけでなく、US接合、C4,SBBなど、多様な構造でも適用でき、ウェーハレベルSiPの構造を変える必要がない。どのような接合方法にも対応可能である。
その他、本発明の観点を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
本発明の半導体装置の製造方法は、MEMS、SAW素子あるいはF−BARなどの機能面に可動部または振動子を持つ半導体素子を有する半導体装置を製造するのに適用できる。
Claims (6)
- 半導体素子が形成された半導体基板と、
前記半導体基板上にキャビティ用開口部を有するように形成された第1絶縁層と、
前記半導体基板に、前記キャビティ用開口部の側面を構成するように形成された導電性ポストと、
機能面に可動部または振動子が形成された機能素子を有し、前記キャビティ用開口部内において、前記機能面が前記キャビティ用開口部内における他の部材から所定の距離をもって離間するようにしてマウントされたマイクロデバイスと、
少なくとも前記マイクロデバイスの側面及び前記機能面の外周端部のいずれかと、前記キャビティ用開口部の内壁面とを封止して、前記機能面が封止されたキャビティの内面を構成するように形成された封止層と、
前記マイクロデバイスの前記機能面を除く面を被覆して、前記マイクロデバイスと前記第1絶縁層の上層に形成された第2絶縁層と、
前記第1絶縁層及び前記第2絶縁層中に埋め込まれて形成された配線と
を有し、
前記配線に接続するように、前記第1絶縁層に半導体チップが埋め込まれている
半導体装置。 - 前記キャビティが、真空、減圧、還元雰囲気、あるいは不活性ガス雰囲気に保持されている
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記マイクロデバイスの前記機能面にバンプが形成されており、
前記キャビティ用開口部内において前記半導体基板に電極が形成されており、
前記キャビティ内において前記バンプと前記電極が接合している
請求項1または2に記載の半導体装置。 - 半導体基板に半導体素子を形成する工程と、
前記半導体基板上にキャビティ用開口部を有するように第1絶縁層を形成する工程と、
前記半導体基板に、前記キャビティ用開口部の側面を構成するように導電性ポストを形成する工程と、
機能面に可動部または振動子が形成された機能素子を有するマイクロデバイスを、前記キャビティ用開口部内において、前記機能面が前記キャビティ用開口部内における他の部材から所定の距離をもって離間するようにしてマウントする工程と、
少なくとも前記マイクロデバイスの側面及び前記機能面の外周端部のいずれかと、前記キャビティ用開口部の内壁面とを封止して、前記機能面が封止されたキャビティの内面を構成するように封止層を形成する工程と、
前記マイクロデバイスの前記機能面を除く面を被覆して、前記マイクロデバイスと前記第1絶縁層の上層に第2絶縁層を形成する工程と
を有し、
前記第1絶縁層を形成する工程及び前記第2絶縁層を形成する工程において、前記第1絶縁層及び前記第2絶縁層中に配線を埋め込んで形成し、
少なくとも前記第1絶縁層を形成する工程において、前記配線に接続するように、前記第1絶縁層に半導体チップを埋め込む
半導体装置の製造方法。 - 前記機能面と前記キャビティ用開口部の内面とで構成される前記キャビティが、真空、減圧、還元雰囲気、あるいは不活性ガス雰囲気に保持されるように、前記マイクロデバイスをマウントする工程を真空、減圧、還元雰囲気、あるいは不活性ガス雰囲気下で行う
請求項4に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記マイクロデバイスの前記機能面にバンプを形成する工程をさらに有し、
前記キャビティ用開口部内となる位置において前記半導体基板に電極を形成する工程をさらに有し、
前記マイクロデバイスをマウントする工程において、前記機能面と前記キャビティ用開口部の内面とで形成するキャビティの領域内において前記バンプと前記電極を接合する
請求項4または5に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005292416A JP4984481B2 (ja) | 2005-10-05 | 2005-10-05 | 半導体装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005292416A JP4984481B2 (ja) | 2005-10-05 | 2005-10-05 | 半導体装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007104401A JP2007104401A (ja) | 2007-04-19 |
JP4984481B2 true JP4984481B2 (ja) | 2012-07-25 |
Family
ID=38030883
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005292416A Expired - Fee Related JP4984481B2 (ja) | 2005-10-05 | 2005-10-05 | 半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4984481B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012199833A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Taiyo Yuden Co Ltd | 電子部品、電子デバイス、及び電子部品の製造方法 |
KR101933409B1 (ko) * | 2015-12-16 | 2019-04-05 | 삼성전기 주식회사 | 전자 부품 패키지 및 그 제조방법 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07202387A (ja) * | 1994-01-06 | 1995-08-04 | Pack Vision:Kk | ボール・グリッド・アレイ |
JPH08274575A (ja) * | 1995-04-03 | 1996-10-18 | Kokusai Electric Co Ltd | 素子複合搭載回路基板 |
WO1997002596A1 (fr) * | 1995-06-30 | 1997-01-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Composant electronique et son procede de fabrication |
JP3423174B2 (ja) * | 1997-01-28 | 2003-07-07 | 富士通アクセス株式会社 | チップ・オン・ボード実装構造およびその製造方法 |
JP2002261177A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-09-13 | Nec Corp | 高周波装置 |
JP2003142523A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-16 | Toshiba Corp | 電子部品装置およびその製造方法 |
JP2004031651A (ja) * | 2002-06-26 | 2004-01-29 | Sony Corp | 素子実装基板及びその製造方法 |
JP2004179573A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-24 | Sony Corp | 素子内蔵基板及びその製造方法 |
JP2005236476A (ja) * | 2004-02-18 | 2005-09-02 | Sanyo Electric Co Ltd | 弾性表面波装置 |
-
2005
- 2005-10-05 JP JP2005292416A patent/JP4984481B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007104401A (ja) | 2007-04-19 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080926 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110609 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110829 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120124 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120312 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120403 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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