JP4984465B2 - 電気光学装置の製造方法 - Google Patents
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Description
このような構成によれば、最初の圧着の位置ずれを検出することができ、位置ずれが所定の値以上、すなわち不良である場合は、圧着をやり直すことができるという効果を有する。
Claims (2)
- 表面に複数の第1の端子が配列されて形成された第1の基板と、前記複数の第1の端子にそれぞれ電気的に接続される複数の第2の端子が表面に形成された第2の基板とを位置決めして接続する方法であって、前記第2の基板は透光性を有する電気光学装置の製造方法において、
前記第1の基板の表面に前記複数の第1の端子及び第1のアライメントマークを形成する工程と、
前記第2の基板の表面に、前記複数の第2の端子及び第2のアライメントマークのうち開口部を有する遮光性の第1の導電層を形成する工程と、
前記開口部の端部と重なるように前記第2のアライメントマークの透光性の第2の導電層を形成する工程と、
前記第1のアライメントマークと前記第2のアライメントマークとを用いて前記第1の基板と前記第2の基板との位置合わせを行い、前記複数の第1の端子と前記複数の第2の端子とを異方性導電材料を介して圧着によって接続する工程と、
前記第2の基板の前記第2の端子が形成された表面と平行な平面内における、圧着された前記複数の第1の端子と前記複数の第2の端子との相対的な位置関係を、前記第1のアライメントマークと前記第2のアライメントマークとを用いて検出する工程と、
前記開口部を介して、前記第2の導電層と前記第1のアライメントマークの間に存在する前記異方性導電材料を観察する工程と、
前記相対的な位置関係から、前記複数の第2の端子に対する前記複数の第1の端子の位置ずれ量を算出する工程と、
前記位置ずれ量が所定の値以下である場合、さらに前記複数の第1の端子と前記複数の第2の端子とを圧着し、前記位置ずれ量が所定の値より大きい場合、前記複数の第1の端子と前記複数の第2の端子と圧着を剥離する工程とを有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 前記複数の第1の端子の幅は、前記複数の第2の端子の幅より小さく、
前記第1のアライメントマークの幅は、前記第2のアライメントマークの前記開口部の幅より小さく、
前記第1の基板と前記第2の基板との位置合わせを行う工程において、
前記第1のアライメントマークの外縁が、前記開口部から見えるように位置決めすることを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置の製造方法。
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