JP4983910B2 - 光半導体素子 - Google Patents
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Description
このような波長分割多重通信システムにおいて、半導体レーザは所定のチャネルにあった波長で発振することが求められる。このため、光源である半導体レーザの発振波長をモニタし、これを制御することが必要不可欠である。
また、例えば特許文献2では、ビームスプリッタを必要としない半導体レーザモジュールとして、半導体レーザ素子及び光検出部(フォトダイオード及びエタロンフィルタを含む)を有するものが開示されている。
さらに、例えば特許文献4では、波長可変半導体レーザ,グレーティングを有する分布反射器,光アイソレータ及び受光器を集積した3電極DFB半導体レーザにおいて、レーザの発振波長をモニタすることが開示されている。
特に、特許文献3では、DBR型半導体レーザは2つの分布反射器及び2つの光検出器を備えており、分布反射器を透過した光を光検出器で検出することで半導体レーザの発振波長をモニタするようになっている。
なお、特許文献3では特に触れられていないが、反射戻り光の影響を低減するために、半導体レーザ発振部を構成する可変分布反射器のグレーティングによる反射率を増大させるという方法が考えられる。しかしながら、この方法ではレーザ自体の設計自由度が低くなってしまう。また、発振波長測定部を構成する分布反射器(即ち、波長フィルタとなる回折格子)による反射率を低下させるという方法が考えられる。しかしながら、この方法では、反射戻り光は低減できるものの同時に透過スペクトルが鈍ってしまうため、肝心の波長モニタの精度が低下してしまうことが予想される。
しかしながら、通常、GaAsやInGaAsPのようなIII−V族半導体材料からなる基板上に、CdTeのようなII−VI族半導体材料からなる層を成長させるのは格子定数の関係から極めて困難であり、ごく一般的な半導体成長方法で簡易に作製できるものではない。
さらに、各第2光導波路のそれぞれに介装され、少なくとも各回折格子で反射した反射光の一部を分岐する反射光用光結合器と、各反射光用光結合器のそれぞれに接続され、少なくとも各回折格子で反射した反射光を検出する反射光用光検出器とを備えるものとしても良い。
具体的には、各回折格子側からの反射戻り光の光路長が異なるようにすれば良い。例えば、各第2光導波路の導波路長が異なるようにすれば良い。また、各第2光導波路の等価屈折率が異なるようにしても良い。例えば、2つの第2光導波路の一方は幅が異なる部分を有するものとすれば良い。さらに、2つの第2光導波路の一方或いは両方に位相調整器を設けても良い。
さらに、2つの回折格子の他方を介して導かれた光が入射する領域に、前記光検出器と同じ構造のダミー光検出器を設けるのが好ましい。
また、半導体レーザと光結合器との間に光吸収領域を設けるのが好ましい。
さらに、第1光導波路に介装され、半導体レーザから出力される出力光の一部を分岐する出力用光結合器と、出力用光結合器に接続され、半導体レーザから出力される出力光を外部へ出力する出力光導波路とを備えるものとしても良い。
さらに、半導体レーザは、波長可変レーザであっても良い。
12A 光導波路(第1光導波路)
12B,12C 光導波路(第2光導波路)
13 光結合器[光カプラ;例えばMMI(Multi Mode Interference)カプラ]
14,15 回折格子(波長フィルタ)
16 光検出器(フォトディテクタ)
17 ダミー光検出器(ダミーフォトディテクタ)
28 光吸収領域
32 出力光導波路
34 出力用光結合器(光カプラ;例えばMMIカプラ)
45,46 光導波路
47,48 反射光用光結合器(光カプラ;例えばMMIカプラ)
49 反射光用光検出器(フォトディテクタ;反射光検出フォトディテクタ)
51 ダミー反射光用光検出器(ダミーフォトディテクタ)
73 出力光検出用光検出器[フォトディテクタ;出力光(半導体レーザ光)検出フォトディテクタ]
74 光導波路
75 出力光検出用光結合器(光カプラ;例えばMMIカプラ)
81 位相調整器
100 n−InP基板(半導体基板)
101 DFBレーザ領域(半導体レーザ領域)
102A 第1光導波路領域
102B 第2光導波路領域
103 光結合器領域
104 回折格子領域
105 フォトディテクタ領域(光検出器領域)
110 n−InPバッファ層
111 n−InGaAsP層
112 回折格子
113 n−InPスペーサ層
114 InGaAsP歪みMQW層(活性層)
115 p−InPクラッド層
120 n−InGaAsP層
122 n−InPスペーサ層
123 i−InGaAsPコア層
124 p−InPクラッド層
130 p−InPクラッド層
131 p−InGaAsP4元コンタクト層
132 p−InGaAs3元コンタクト層
[第1実施形態]
まず、本発明の第1実施形態にかかる光半導体素子について、図1〜図3を参照しながら説明する。
本実施形態にかかる光半導体素子は、例えば図1に示すように、半導体レーザ(ここではDFBレーザ)11と、半導体レーザ11に接続された光導波路(第1光導波路)12Aと、光導波路12Aに接続された光結合器[光カプラ;例えばMMI(Multi Mode Interference)カプラ]13と、光結合器13に接続された2つの光導波路(第2光導波路)12B,12Cと、2つの光導波路12B,12Cのそれぞれに設けられた回折格子(波長フィルタ)14,15と、回折格子14の近傍に設けられた光検出器(フォトディテクタ)16と、回折格子15の近傍に設けられたダミー光検出器(ダミーフォトディテクタ)17とを備え、これらが同一基板(半導体基板)上にモノリシックに集積された波長モニタ機構集積半導体レーザ素子(半導体集積素子)として構成される。なお、第1光導波路12A,光結合器13,一方の第2光導波路12B,一方の回折格子14及び光検出器16によって波長モニタ部(波長モニタ機構)が構成される。
ここで、回折格子14の透過率は波長に依存するため、回折格子14を透過した透過光を光検出器16によって検知することで、波長情報(半導体レーザ11の発振波長情報)が含まれた光出力情報を得ることができる。この波長情報を含む光出力情報に基づいて半導体レーザ11の発振波長をモニタすることができる。これに基づいて、例えば半導体レーザの発振波長の制御(発振波長を固定するための制御も含む)を行なうことができる。
特に、本実施形態では、図1に示すように、各回折格子14,15で反射した反射光は、各回折格子14,15に接続されている各第2光導波路12B,12Cを導かれ、光結合器13及び第1光導波路12Aを介して半導体レーザ11側へ戻る反射戻り光(この反射戻り光には光検出器16やダミー光検出器17等で反射された反射戻り光を含む場合もある)になるため、各回折格子14,15側から半導体レーザ11側への反射戻り光が光結合器13で干渉して消光されるように、各回折格子14,15側からの反射戻り光の位相が光結合器部分でπずれるように構成されている。
具体的には、第2光導波路12B,12Cの等価屈折率をn、導波路長の差をΔL、信
号光の波長をλとして、次式(1)を満たすように、各第2光導波路12B,12Cの導波路長を設定することで、各回折格子14,15側からの反射戻り光の光結合器部分での位相差をπにすることができる。これにより、反射戻り光は光結合器13で合波される際に位相差がπになり、干渉によって消光することになる。
このため、光結合器部分(合波点)で十分に消光できるように、図1に示すように、各第2光導波路12B,12Cの導波路長を除いて、波長モニタ部を構成する第2光導波路12B,回折格子14及び光検出器16に対して光学的に対称になるように、他方の第2光導波路12C,回折格子15及びダミー光検出器17が設けられている。なお、他方の第2光導波路12C,回折格子15及びダミー光検出器17は波長モニタには用いられないダミー構造である。
上述のように、本光半導体素子では、波長フィルタとして回折格子14を用い、光検出器16によって、信号光の波長情報を光出力情報に変換し、これを検知することで波長モニタを行なうようにした上で、これによって副次的に発生する反射光が反射戻り光として半導体レーザ11側へ戻ってしまうのを抑制すべく、回折格子14に接続された第2光導波路12Bの導波路長を除いて波長モニタ用の回折格子14及び第2光導波路12Bに対して光学的に対称になるようにダミーの回折格子15及び第2光導波路12Cを配置し、各回折格子14,15側からの反射戻り光の位相差がπになるように各第2光導波路12B,12Cの導波路長に差をつけることで、各回折格子14,15側からの反射戻り光が光結合器部分で合波される際に干渉によって消光されるようにしている。
なお、半導体レーザ11としてDFBレーザを備えるものを例に挙げて説明する。また、各半導体層の成長にはMOCVD法を用いるが、これに限られるものではない。さらに、SiO2膜やメタルの蒸着には、一般的な半導体素子の製造で使われている方法、即ち、真空蒸着,スパッタリング,EB蒸着等を用いる。
まず、図2(A)に示すように、n−InP基板(半導体基板)100上の全領域にn−InPバッファ層110(厚さ1μm)、n−InGaAsP層111(λPL=1.2μm,厚さ0.05μm)を成長させる。
続いて、図2(B)に示すように、回折格子112を埋め込むようにn−InGaAsP層111上の全領域にn−InPスペーサ層113(厚さ0.15μm)を成長させ、さらに、InGaAsPからなるSCH層(厚さ10nm;図示せず)、InGaAsP歪みMQW層(活性層)114(λPL=1.58μm;ここでは厚さ5nmのウェル層と厚さ10nmのバリア層を8層積層してなる)、InGaAsPからなるSCH層(厚さ10nm;図示せず)、p−InPクラッド層115(厚さ0.2μm)を順に成長させる。
このようにして、回折格子112の有無を除いて同一の層構造を有するDFBレーザ領域101及びフォトディテクタ領域105が形成される。
その後、図2(D)に示すように、回折格子領域104のn−InGaAsP層111,120に例えばEB露光及びドライエッチング等によって回折格子14,15(約240nmの周期)を形成する。なお、n−InGaAsP層111,120は回折格子領域104に回折格子14,15を有するため、回折格子層ともいう。
本実施形態では、回折格子領域104に2つの回折格子14,15を形成するが(図1参照)、各回折格子14,15側からの反射戻り光の光路長に差をつけるため(ここでは各第2光導波路12B,12Cの導波路長に差をつけるため)、各回折格子14,15のフォトディテクタ領域105側の端部が上記式(1)を満たすΔLだけずれるように、上
述のEB露光及びドライエッチングの段階で、一方の回折格子を形成するための領域に対して他方の回折格子を形成するための領域をフォトディテクタ領域105側へずらすようにしている。なお、ここでは、各回折格子14,15の周期及びデューティ比は同一にして、各回折格子14,15の光学特性が同じになるようにしている。
次いで、マスクを全て除去し、図2(F)に示すように、全領域にp−InPクラッド層130(厚さ1.5μm)、p−InGaAsP4元コンタクト層131(λPL=1.3μm、厚さ0.15μm)、p−InGaAs3元コンタクト層132(厚さ0.3μm)を順次積層成長させる。
次いで、このようにして形成されたメサストライプ構造を半絶縁性InP層(SI−InP層;厚さ3.0μm)で埋め込んでエピタキシャル成長を終了する。
その後、DFBレーザ領域101及びフォトディテクタ領域105に形成されたメサストライプ構造の上に、一般的な半導体素子の製造プロセスにおいて用いられる電極プロセスを用いてp側電極を形成するとともに、基板裏面にn側電極を形成することによって、図1に示すような光半導体素子が作製される。
また、上述の実施形態では、特定の層構造を挙げ、さらに、厚さ、組成などについても具体的な数値を挙げて説明しているが、これらの層構造や数値については、上述の実施形態のものに限られるものではなく、所望の用途に応じて適宜設計されるものである。
さらに、反射戻り光の消光に影響を与えない範囲で、半導体レーザ11として、発振波長を変化させることができる波長可変レーザを用いても良い。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態にかかる光半導体素子について、図4を参照しながら説明する。
つまり、本光半導体素子は、例えば図4に示すように、半導体レーザ(ここではDFBレーザ)11と、光導波路(第1光導波路)12Aと、光結合器(光カプラ;例えばMMIカプラ)13と、2つの光導波路(第2光導波路)12B,12Cと、2つ回折格子(波長フィルタ)14,15と、光検出器(フォトディテクタ)16と、ダミー光検出器(ダミーフォトディテクタ)17と、光吸収領域28とを備え、これらが同一基板(半導体基板)上にモノリシックに集積された波長モニタ機構集積半導体レーザ素子(半導体集積素子)として構成される。なお、図4では、上述の第1実施形態(図1参照)と同一のものには同一の符号を付している。
つまり、上述の第1実施形態の構成では、半導体レーザ11の光出力にもよるが、フォトディテクタ16に数mW程度の強度の光が入力されることになるが、信号光波長の特定はそれほど大きい光強度を必要としないため、図4に示すように、半導体レーザ11と光結合器13との間に光吸収領域28を設けて、余分な光が各回折格子14,15側へ供給されないように半導体レーザ11からの出力光を減衰させることで、各回折格子14,15側からの反射戻り光を低減するようにしている。
ここでは、光吸収領域28は、フォトディテクタ16と同様の層構造を備えるものとして構成される。この光吸収領域28は、上述の第1実施形態にかかる製造方法における半導体レーザ11及びフォトディテクタ16の作製工程においてこれらと同時に作製すれば良い。なお、光吸収領域28には電流を流す必要がないため、フォトディテクタ16のように電極を形成することは不要である。
したがって、本実施形態にかかる光半導体素子によれば、上述の第1実施形態のものと同様に、半導体レーザ11の発振波長をモニタするための素子を同一基板上にモノリシックに集積した小型で低消費電力の波長モニタ集積光半導体素子(波長モニタ機構集積半導体レーザ)を、簡易に、かつ、低コストで作製できるようになり、さらに、半導体レーザ11への反射戻り光の影響を低減できるという利点がある。特に、本実施形態にかかる光半導体素子によれば、より確実に半導体レーザ11への反射戻り光の影響を低減できるという利点がある。
[第3実施形態]
次に、本発明の第3実施形態にかかる光半導体素子について、図5を参照しながら説明する。
つまり、本光半導体素子は、図5に示すように、半導体レーザ(ここではDFBレーザ)11と、光導波路(第1光導波路)12Aと、光結合器(光カプラ;例えばMMIカプラ)13と、2つの光導波路(第2光導波路)12B,12Cと、2つ回折格子(波長フィルタ)14,15と、光検出器(フォトディテクタ)16と、ダミー光検出器(ダミーフォトディテクタ)17と、出力用光結合器(光カプラ;例えばMMIカプラ)34と、出力光導波路32とを備え、これらが同一基板(半導体基板)上にモノリシックに集積された波長モニタ機構集積半導体レーザ素子(半導体集積素子)として構成される。なお、図5では、上述の第1実施形態(図1参照)と同一のものには同一の符号を付している。
なお、出力用光結合器34に接続された出力光導波路32と第1光導波路12Aとの間には出力用光結合器34によって等価的に損失があるものとみなすことができるため、出力用光結合器34の分岐比の設計によって、この出力用光結合器34を上述の第2実施形態の光吸収領域として機能させて、各回折格子14,15側からの反射戻り光を低減することも可能である。
なお、本光半導体素子は、半導体レーザ11からの出力光を出力するための主光導波路(出力光導波路32)に、半導体レーザ11からの出力光の一部を分岐するための光結合器(出力用光結合器34)を介装し、この光結合器34に波長モニタ機構及びダミー構造を接続していると見ることもできる。この場合、第1光導波路12A及び第2光導波路12B,12Cは波長モニタのために半導体レーザ11からの出力光の一部を導くものであるため、副光導波路という。
したがって、本実施形態にかかる光半導体素子によれば、上述の第1実施形態のものと同様に、半導体レーザ11の発振波長をモニタするための素子を同一基板上にモノリシックに集積した小型で低消費電力の波長モニタ集積光半導体素子(波長モニタ機構集積半導体レーザ)を、簡易に、かつ、低コストで作製できるようになり、さらに、半導体レーザ11への反射戻り光の影響を低減できるという利点がある。
[第4実施形態]
次に、本発明の第4実施形態にかかる光半導体素子について、図6を参照しながら説明する。
つまり、本光半導体素子は、図6に示すように、半導体レーザ(ここではDFBレーザ)11と、光導波路(第1光導波路)12Aと、光結合器(光カプラ;例えばMMIカプラ)13と、2つの光導波路(第2光導波路)12B,12Cと、2つ回折格子(波長フィルタ)14,15と、光検出器(フォトディテクタ;透過光用光検出器;透過光検出フォトディテクタ)16と、ダミー光検出器(ダミーフォトディテクタ)17と、出力用光結合器(光カプラ;例えばMMIカプラ)34と、出力光導波路32と、反射光用光結合器(光カプラ;例えばMMIカプラ)47,48と、反射光用光検出器(フォトディテクタ;反射光検出フォトディテクタ)49と、ダミー反射光用光検出器(ダミーフォトディテクタ)51とを備え、これらが同一基板(半導体基板)上にモノリシックに集積された波長モニタ機構集積半導体レーザ素子(半導体集積素子)として構成される。なお、図6では、上述の第3実施形態(図5参照)と同一のものには同一の符号を付している。
つまり、反射光用光結合器47の一側の2つのポートのうち、一方のポートは光結合器13に接続されており、他方のポートは反射光用光検出器49に接続されており、他側のポートは回折格子14に接続されている。そして、この反射光用光結合器47によって、回折格子14側からの反射戻り光が2つに分岐され、その一部(少なくとも回折格子14で反射した反射光の一部)が反射光用光検出器49へ導かれるようになっている。
また、ダミー反射光用光検出器51は、図6に示すように、反射光用光検出器49と同じ構造になっており、他方の回折格子15側からの反射戻り光(少なくとも他方の回折格子15で反射した反射光を含む)が入射する領域に設けられている。つまり、ダミー反射光用光検出器51は、他方の反射光用光結合器48に光導波路46を介して接続されている。
したがって、本実施形態にかかる光半導体素子によれば、上述の第3実施形態のものと同様に、半導体レーザ11の発振波長をモニタするための素子を同一基板上にモノリシックに集積した小型で低消費電力の波長モニタ集積光半導体素子(波長モニタ機構集積半導体レーザ)を、簡易に、かつ、低コストで作製できるようになり、さらに、半導体レーザ11への反射戻り光の影響を低減できるという利点がある。
図7に示すように、差分演算値(差分強度)は、波長の変化に対して、より急峻で線形な値となるため、より高い波長モニタ精度が得られることになる。
[第5実施形態]
次に、本発明の第5実施形態にかかる光半導体素子について、図8を参照しながら説明する。
つまり、本光半導体素子は、図8に示すように、半導体レーザ(ここではDFBレーザ)11と、光導波路(第1光導波路)12Aと、光結合器(光カプラ;例えばMMIカプラ)13と、2つの光導波路(第2光導波路)12B,12Cと、2つ回折格子(波長フィルタ)14,15と、光検出器(フォトディテクタ;透過光用光検出器;透過光検出フォトディテクタ)16と、ダミー光検出器(ダミーフォトディテクタ)17と、出力用光結合器(光カプラ;例えばMMIカプラ)34と、出力光導波路32と、反射光用光結合器(光カプラ;例えばMMIカプラ)47,48と、反射光用光検出器(フォトディテクタ;反射光検出フォトディテクタ)49と、ダミー反射光用光検出器(ダミーフォトディテクタ)51と、出力光検出用光結合器(光カプラ;例えばMMIカプラ)75と、出力光検出用光検出器[フォトディテクタ;出力光(半導体レーザ光)検出フォトディテクタ]73とを備え、これらが同一基板(半導体基板)上にモノリシックに集積された波長モニタ機構集積半導体レーザ素子(半導体集積素子)として構成される。なお、図8では、上述の第4実施形態(図6参照)と同一のものには同一の符号を付している。
これにより、半導体レーザ11から出力される出力光の強度(レーザ光強度;光出力)を直接検出し、その変化をモニタすることができる。
なお、その他の構成及び製造方法は、上述の第1実施形態及びその変形例、第3実施形態、第4実施形態のものと同じであるため、ここでは説明を省略する。
[第6実施形態]
次に、本発明の第6実施形態にかかる光半導体素子について、図9を参照しながら説明する。
つまり、本光半導体素子は、例えば図9に示すように、半導体レーザ(ここではDFBレーザ)11と、半導体レーザ11に接続された光導波路(第1光導波路)12Aと、光導波路12Aに接続された光結合器(光カプラ;例えばMMIカプラ)13と、光結合器13に接続された2つの光導波路(第2光導波路)12B,12Cと、2つの光導波路12B,12Cのそれぞれに設けられた回折格子(波長フィルタ)14,15と、回折格子14の近傍に設けられた光検出器(フォトディテクタ)16と、回折格子15の近傍に設けられたダミー光検出器(ダミーフォトディテクタ)17とを備え、これらが同一基板(半導体基板)上にモノリシックに集積された波長モニタ機構集積半導体レーザ素子(半導体集積素子)として構成される。なお、図9では、上述の第1実施形態(図1参照)と同一のものには同一の符号を付している。
具体的には、一方の第2光導波路12Bの光路長を基準にして他方の第2光導波路12Cの光路長を調整して、反射戻り光の位相差がπとなるようにしている。
Lopt1=L・neq1・・・(2)
一方、他方の第2光導波路12Cは、一方の第2光導波路12Bの幅W1と異なる幅W2の部分を有し、その光路長Lopt2は、幅W1の領域の等価屈折率をneq1とし、幅W2の領域の等価屈折率をneq2とし、幅W1の領域の長さをL1とし、幅W2の領域の長さをL2として、下記式(3)に示すようになる。
Lopt2=L1・neq1+・L2・neq2・・・(3)
なお、一方の第2光導波路12Bの所定領域の長さLと、他方の第2光導波路12Cの幅W1の領域の長さL1と幅W2の領域の長さL2とを足した長さとは等しくなっている(L1+L2=L)。つまり、一方の第2光導波路12Bの全長(物理長)と他方の第2光導波路12Cの全長(物理長)は等しくなっている。
ΔLopt=Lopt1−Lopt2
=L・neq1−(L1・neq1+L2・neq2)
=L2・(neq1−neq2)・・・(4)
この光路長差ΔLoptが下記式(5)を満たすように設定することで、各回折格子14,15側からの反射戻り光の光結合器部分での位相差をπにすることができる。これにより、反射戻り光は光結合器13で合波される際に位相差がπになり、干渉によって消光することになる。
なお、その他の構成及び製造方法は、上述の第1実施形態及びその変形例のものと同じであるため、ここでは説明を省略する。
したがって、本実施形態にかかる光半導体素子によれば、上述の第1実施形態のものと同様に、半導体レーザ11の発振波長をモニタするための素子を同一基板上にモノリシックに集積した小型で低消費電力の波長モニタ集積光半導体素子(波長モニタ機構集積半導体レーザ)を、簡易に、かつ、低コストで作製できるようになり、さらに、半導体レーザ11への反射戻り光の影響を低減できるという利点がある。
なお、上述の実施形態では、各第2光導波路12B,12Cの等価屈折率が異なるようにすべく、2つの第2光導波路12B,12Cの一方は幅が異なる部分を有するものとして構成しているが、これに限られるものではなく、例えば各第2光導波路12B,12Cの厚さや材料・組成等の層構造の設計によっても等価屈折率の調整は可能である。
[第7実施形態]
次に、本発明の第7実施形態にかかる光半導体素子について、図10を参照しながら説明する。
つまり、本光半導体素子は、例えば図10に示すように、半導体レーザ(ここではDFBレーザ)11と、半導体レーザ11に接続された光導波路(第1光導波路)12Aと、光導波路12Aに接続された光結合器(光カプラ;例えばMMIカプラ)13と、光結合器13に接続された2つの光導波路(第2光導波路)12B,12Cと、2つの光導波路12B,12Cのそれぞれに設けられた回折格子(波長フィルタ)14,15と、回折格子14の近傍に設けられた光検出器(フォトディテクタ)16と、回折格子15の近傍に設けられたダミー光検出器(ダミーフォトディテクタ)17と、位相調整器81とを備え、これらが同一基板(半導体基板)上にモノリシックに集積された波長モニタ機構集積半導体レーザ素子(半導体集積素子)として構成される。なお、図10では、上述の第1実施形態(図1参照)と同一のものには同一の符号を付している。
ここでは、位相調整が光導波路に電流を注入するか、或いは電圧を印加することによって行なわれるように、光導波路の所望の領域上(ここでは第2光導波路12Cの所望の領域上)に電極を形成することで、位相調整器81を簡易に作製している。つまり、各第2光導波路12B,12Cの一方(ここでは第2光導波路12C)は、電流注入或いは電圧印加によって屈折率を制御できる部分を有するものとして構成している。なお、位相調整器の構成はこれに限られるものではない。
まず、一方の第2光導波路12Bの光路長(光学長)Lopt1は、等価屈折率をneq1とし、所定領域の長さをLとして、下記式(6)に示すようになる。
Lopt1=L・neq1・・・(6)
一方、他方の第2光導波路12Cは、位相調整器81を有し、その光路長Lopt2は、所定領域(長さL)のうち位相調整器81以外の領域の長さをL1、位相調整器81の長さをL2として、位相調整器81以外の領域の等価屈折率をneq1、位相調整器81の等価屈折率をneq2+Δneqとすると、下記式(7)に示すようになる。ここで、Δneqは位相調整器81における屈折率の変化量を示している。
Lopt2=L1・neq1+L2(neq2+Δneq)・・・(7)
なお、一方の第2光導波路12Bの所定領域の長さLと、他方の第2光導波路12Cの位相調整器81以外の領域の長さL1と位相調整器81の長さL2とを足した長さは等しくなっている(L1+L2=L)。つまり、一方の第2光導波路12Bの全長(物理長)と他方の第2光導波路12Cの全長(物理長)は等しくなっている。
ΔLopt=Lopt1−Lopt2
=L・neq1−[L1・neq1+L2・(neq2+Δneq)]
=L2・(neq1−neq2−Δneq)・・・(8)
この光路長差ΔLoptが下記式(9)を満たすように設定することで、各回折格子14,15側からの反射戻り光の光結合器部分での位相差をπにすることができる。これにより、反射戻り光は光結合器13で合波される際に位相差がπになり、干渉によって消光することになる。
したがって、本実施形態にかかる光半導体素子によれば、上述の第1実施形態のものと同様に、半導体レーザ11の発振波長をモニタするための素子を同一基板上にモノリシックに集積した小型で低消費電力の波長モニタ集積光半導体素子(波長モニタ機構集積半導体レーザ)を、簡易に、かつ、低コストで作製できるようになり、さらに、半導体レーザ11への反射戻り光の影響を低減できるという利点がある。
また、上述の実施形態では、説明を簡単にするために、一方の第2光導波路12Bと他方の第2光導波路12Cの導波路長(物理長)を等しくしているが、これらは等しくする必要はなく、例えば、本実施形態のものと上述の第1実施形態のものとを組み合わせて、即ち、光路長差が上記式(1)を満たすように導波路長を設定し、各第2光導波路12B,12Cの導波路長が異なるように構成するとともに、光路長差が上記式(9)を満たすように位相を調整するように構成し(即ち、位相調整器81領域の第2光導波路12Cの等価屈折率を調整するように構成し)、反射戻り光の位相を調整するようにしても良い。
[その他]
本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形することができる。
Claims (10)
- 半導体レーザと、
前記半導体レーザに接続された第1光導波路と、
前記半導体レーザから前記第1光導波路を介して導かれた光を2つに分岐する光結合器と、
前記光結合器に接続された2つの第2光導波路と、
前記2つの第2光導波路のそれぞれに設けられた回折格子と、
前記2つの回折格子の一方を介して導かれた光を検出する光検出器とを備え、
前記半導体レーザ、前記第1光導波路、前記光結合器、前記第2光導波路、前記回折格子、前記光検出器が同一基板上に集積されており、
前記各回折格子側から前記半導体レーザ側への反射戻り光が前記光結合器で干渉するように、前記各回折格子側からの反射戻り光の位相が前記光結合器部分でπずれるように構成されていることを特徴とする光半導体素子。 - 前記光検出器が、前記回折格子を透過した透過光の強度を検出しうる位置に設けられていることを特徴とする、請求項1記載の光半導体素子。
- 前記各第2光導波路のそれぞれに介装され、少なくとも前記各回折格子で反射した反射光の一部を分岐する反射光用光結合器と、
前記各反射光用光結合器のそれぞれに接続され、少なくとも前記各回折格子で反射した反射光を検出する反射光用光検出器とを備えることを特徴とする、請求項2記載の光半導体素子。 - 前記光検出器が、前記回折格子で反射した反射光の強度を検出しうる位置に設けられていることを特徴とする、請求項1記載の光半導体素子。
- 前記各回折格子側からの反射戻り光の光路長が異なることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光半導体素子。
- 前記各回折格子の光学特性が同じであることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載の光半導体素子。
- 前記2つの回折格子の他方を介して導かれた光が入射する領域に、前記光検出器と同じ構造のダミー光検出器を備えることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載の光半導体素子。
- 前記半導体レーザと前記光結合器との間に光吸収領域を備えることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載の光半導体素子。
- 前記第1光導波路に介装され、前記半導体レーザから出力される出力光の一部を分岐する出力用光結合器と、
前記出力用光結合器に接続され、前記半導体レーザから出力される出力光を外部へ出力する出力光導波路とを備えることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載の光半導体素子。 - 前記出力光導波路に介装され、前記半導体レーザから出力される出力光の一部を分岐する出力光検出用光結合器と、
前記出力光検出用光結合器に接続され、前記半導体レーザから出力される出力光を検出する出力光用光検出器を備えることを特徴とする、請求項9記載の光半導体素子。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2007/054207 WO2008107963A1 (ja) | 2007-03-05 | 2007-03-05 | 光半導体素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008107963A1 JPWO2008107963A1 (ja) | 2010-06-03 |
JP4983910B2 true JP4983910B2 (ja) | 2012-07-25 |
Family
ID=39737868
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009502380A Expired - Fee Related JP4983910B2 (ja) | 2007-03-05 | 2007-03-05 | 光半導体素子 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7983318B2 (ja) |
JP (1) | JP4983910B2 (ja) |
WO (1) | WO2008107963A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5616629B2 (ja) * | 2007-03-23 | 2014-10-29 | 国立大学法人九州大学 | 高輝度発光ダイオード |
WO2010041454A1 (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-15 | 日本電気株式会社 | 光ジョイント |
EP2479156A1 (en) * | 2009-10-09 | 2012-07-25 | DSM IP Assets B.V. | Radiation curable supercoatings for single-mode optical fiber |
KR101295896B1 (ko) * | 2009-12-17 | 2013-08-12 | 한국전자통신연구원 | 레이저 소자 |
KR101783621B1 (ko) * | 2011-09-09 | 2017-10-11 | 삼성전자주식회사 | 광 연결 장치, 이의 제조 방법, 및 상기 광 연결 장치를 포함하는 메모리 시스템 |
JP5475839B2 (ja) * | 2012-06-26 | 2014-04-16 | 日本電信電話株式会社 | 半導体波長可変フィルタ及び半導体波長可変レーザ |
JP2014075387A (ja) * | 2012-10-02 | 2014-04-24 | Mitsubishi Electric Corp | 光集積素子 |
JP2014154835A (ja) * | 2013-02-13 | 2014-08-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光送信器 |
WO2014156885A1 (ja) | 2013-03-25 | 2014-10-02 | 技術研究組合光電子融合基盤技術研究所 | 光回路 |
JP6245656B2 (ja) * | 2015-02-16 | 2017-12-13 | 日本電信電話株式会社 | 半導体レーザ素子 |
US9739940B2 (en) | 2015-03-12 | 2017-08-22 | Medlumics S.L. | Bidirectional photonic integrated circuit with suppressed reflection |
US10514584B2 (en) * | 2017-08-10 | 2019-12-24 | Sicoya Gmbh | Optical signal generator comprising a phase shifter |
CN116349097A (zh) * | 2020-11-24 | 2023-06-27 | 三菱电机株式会社 | 光半导体装置 |
WO2023041171A1 (en) * | 2021-09-17 | 2023-03-23 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Distributed feedback laser with integrated mpd |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63160391A (ja) * | 1986-12-24 | 1988-07-04 | Toshiba Corp | 分布帰還型半導体レ−ザ装置 |
JP3072123B2 (ja) * | 1990-11-16 | 2000-07-31 | キヤノン株式会社 | 光集積型波長可変半導体レーザ装置 |
US6795622B2 (en) * | 1998-06-24 | 2004-09-21 | The Trustess Of Princeton University | Photonic integrated circuits |
JP3788232B2 (ja) | 2000-12-13 | 2006-06-21 | 日本電気株式会社 | 波長可変光送信器、その出力制御方法並及び光通信システム |
KR100576712B1 (ko) * | 2003-12-15 | 2006-05-03 | 한국전자통신연구원 | 3dB 광 분배기를 가진 이중 파장 레이저 광원을 이용한초고주파 광원 소자 및 그 제작방법 |
JP2006080412A (ja) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Sony Corp | レーザシステム |
JP2006216695A (ja) | 2005-02-02 | 2006-08-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体レーザモジュール |
-
2007
- 2007-03-05 WO PCT/JP2007/054207 patent/WO2008107963A1/ja active Application Filing
- 2007-03-05 JP JP2009502380A patent/JP4983910B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-09-04 US US12/554,568 patent/US7983318B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7983318B2 (en) | 2011-07-19 |
WO2008107963A1 (ja) | 2008-09-12 |
JPWO2008107963A1 (ja) | 2010-06-03 |
US20100020840A1 (en) | 2010-01-28 |
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