JP4982034B2 - シリコン単結晶の製造方法 - Google Patents
シリコン単結晶の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4982034B2 JP4982034B2 JP2004098829A JP2004098829A JP4982034B2 JP 4982034 B2 JP4982034 B2 JP 4982034B2 JP 2004098829 A JP2004098829 A JP 2004098829A JP 2004098829 A JP2004098829 A JP 2004098829A JP 4982034 B2 JP4982034 B2 JP 4982034B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon
- single crystal
- resistivity
- crystal
- raw material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims description 176
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims description 176
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 175
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 153
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 67
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 57
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 57
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 57
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 44
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- 238000013316 zoning Methods 0.000 claims description 16
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 claims description 14
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 claims description 11
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 29
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 20
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 19
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 14
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 7
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 5
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 2
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 2
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- ZOCHARZZJNPSEU-UHFFFAOYSA-N diboron Chemical compound B#B ZOCHARZZJNPSEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- QKCGXXHCELUCKW-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(dinaphthalen-2-ylamino)phenyl]phenyl]-n-naphthalen-2-ylnaphthalen-2-amine Chemical compound C1=CC=CC2=CC(N(C=3C=CC(=CC=3)C=3C=CC(=CC=3)N(C=3C=C4C=CC=CC4=CC=3)C=3C=C4C=CC=CC4=CC=3)C3=CC4=CC=CC=C4C=C3)=CC=C21 QKCGXXHCELUCKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 description 1
Images
Description
このように、FZ法による再結晶化を行なう際に、シリコン原料棒の低抵抗側から高抵抗側に向かってゾーニングすることによりシリコン原料棒を再結晶化すれば、低抵抗側から高抵抗側にドーパントが偏析するので、再結晶化したシリコン単結晶棒の軸方向の抵抗率分布を、元々のシリコン原料棒の軸方向の抵抗率分布よりもフラットにすることができる。従って例えばツェナーダイオードの作製に使用されるシリコンウェーハのように、抵抗率規格値が極めて狭い範囲のものであっても、効率よく製造することが可能となる。
このように、FZ法による再結晶化を行なう際に、シリコン原料棒の高抵抗側から低抵抗側に向かってゾーニングすることによりシリコン原料棒を再結晶化すれば、高抵抗側から低抵抗側にドーパントが偏析するので、再結晶化した単結晶棒の軸方向の抵抗率分布を、元々のシリコン原料棒の軸方向の抵抗率分布よりも大きな傾きをもつ抵抗率分布とすることができる。従って例えばツェナーダイオードの作製に使用されるシリコンウェーハのように、抵抗率規格値が極めて狭い範囲であり且つ異なる品種の抵抗率規格値が連続している場合には、このように製造したシリコン単結晶を用いれば、異なる抵抗率規格値をもつ多くの品種に対応したウェーハを一度に製造することが可能となり、多品種少量生産に極めて有利である。
このように、成長炉のチャンバー内雰囲気の窒素濃度を0.2〜0.5%とすれば、再結晶化したシリコン単結晶には適量の窒素がドープされ、シリコン原料棒内に存在するFPD(Flow Pattern Defect)やスワール欠陥を消滅させることができるので、より高品質なシリコン単結晶が製造できる。
前述のように、ツェナーダイオードの作製には、一般に抵抗率が数mΩ・cm〜数Ω・cmのシリコンウェーハが使用され、抵抗率の大きさに応じてFZ法またはCZ法で製造されたシリコン単結晶が使用される。一方で、高品質のツェナーダイオードを作製するためには、リーク電流不良の原因となるCOPに代表される酸素起因結晶欠陥密度が低く、また酸素析出量が極めて少ないウェーハを用いることが好ましい。CZ法で製造したシリコン単結晶は酸素が不可避的に混入するため酸素濃度が高くなり易くCOPに代表される酸素起因結晶欠陥密度が高くなり易いが、FZ法で製造したシリコン単結晶は酸素が混入せず酸素濃度が低いのでCOPに代表される酸素起因結晶欠陥密度が極めて低く、酸素析出量も極めて低いものとできる。しかし、前述のように、従来のFZ法で用いられていたドーピング法では、0.1Ω・cm以下のような低抵抗率のシリコン単結晶を製造するのが技術上極めて困難であった。
まず、FZ法によるシリコン単結晶の製造に用いるシリコン原料棒となる、例えば直径100〜150mmのシリコン結晶棒をCZ法により育成する。例えば導電型がP型、直径130mmのシリコン結晶棒を育成する場合、例えば口径450mmの石英ルツボに60kgのシリコン多結晶を充填し、さらに肩部の抵抗率が0.1Ω・cm以下の所望の抵抗率となるようにドーパントとして所定量のボロンやガリウム等のP型のドーパントを石英ルツボ内に投入する。ドーパントとしては、例えばボロンを高濃度にドープしたシリコン片を用いることができる。このように、CZ法であれば、FZ法に比べて高濃度のドーピングが容易にできる。なお、導電型をN型とする場合には、リン、ヒ素、アンチモン等のN型のドーパントを投入すればよい。
そして、このシリコン単結晶から作製したシリコンウェーハは、少なくとも酸素析出量が0.2ppma以下のものとできるので、ツェナーダイオード等、低抵抗率であり、また結晶欠陥が主な原因となるリーク電流不良が少ないことが要求される半導体デバイスの作製に適したシリコンウェーハとなる。
(実施例1)
肩部の抵抗率が0.01Ω・cmになるようにリンのドーパントを添加して一般的なCZ法の製造条件により製造した、導電型がN型であり、図2に示すように抵抗率が全長で0.0079〜0.0109Ω・cmの間で分布し、直径130mm、直胴長さ100cm、酸素濃度14〜17ppma(JEIDA)のスリップ転位のないCZシリコン単結晶をシリコン原料棒として用意した。これの低抵抗側にコーン部を形成し、図2に矢印で方向を示すように、FZ法によりシリコン原料棒の低抵抗側から高抵抗側に成長速度2.0〜2.3mm/minでゾーニングして直径150mm、直胴長さ54cmのシリコン単結晶を製造した。このときのFZ単結晶製造装置の炉内圧力を0.05MPa、Ar流量を30l/min、チャンバー内窒素濃度を0.2〜0.5%とした。
その結果、図2に示すように、実施例1のシリコン単結晶の抵抗率は全長で0.0090〜0.0098Ω・cmの範囲のものとなり、軸方向の抵抗率分布がフラットとなった。また、酸素濃度は0.3ppma(JEIDA)で酸素析出量は0.2ppma以下、COP密度は0.01個/cm2と極めて低かった。
実施例1と同じように肩部の抵抗率が0.01Ω・cmになるようにリンのドーパントを添加して一般的なCZ法の製造条件により製造した、導電型がN型であり、図2に示すように抵抗率が全長で0.0090〜0.0135Ω・cmの間で分布し、直径130mm、直胴長さ120cm、酸素濃度14〜17ppma(JEIDA)のスリップ転位のないCZシリコン単結晶をシリコン原料棒として、高抵抗側にコーン部を形成し、図2に矢印で方向をしめすように、FZ法によりシリコン原料棒の高抵抗側から低抵抗側に成長速度2.0〜2.3mm/minでゾーニングして直径150mm、直胴長さ54cmのシリコン単結晶を製造した。このときのFZ単結晶製造装置の炉内圧力を0.05MPa、Ar流量を30l/min、チャンバー内窒素濃度を0.2〜0.5%とした。
その結果、図2に示すように、実施例2のシリコン単結晶の抵抗率は全長で0.0096〜0.0124Ω・cmの間に分布するものとなり、軸方向の抵抗率分布が大きな傾きをもつものとなった。また、実施例1と同様、酸素濃度は0.3ppma(JEIDA)で酸素析出量は0.2ppma以下、COP密度は0.01個/cm2と極めて低かった。
実施例1と同じように、肩部の抵抗率が0.01Ω・cmになるようにリンのドーパントを添加して、導電型がN型であり、直径130mm、直胴長さ100cmのCZシリコン単結晶を一般的なCZ法の製造条件により製造し、上下部両端と中央部の抵抗率、酸素濃度及び酸素析出量を測定した。そして、前記シリコン単結晶からウェーハを2枚切り出し、COP密度を評価した。
その結果、抵抗率が全長で0.0081〜0.0110Ω・cmの間に分布するものとなり、抵抗率分布の傾きは実施例1、2の間の大きさとなった。また、酸素濃度が14.0〜17.6ppma(JEIDA)、酸素析出量が0.4〜10.0ppma、COP密度が1.75個/cm2と実施例より大幅に高かった。
4…上軸、 6…上部保持治具、 8…下軸、 10…下部保持治具、
12…種結晶、 14…高周波コイル、 16…絞り、 18…溶融帯(メルト)。
Claims (4)
- FZ法によるシリコン単結晶の製造方法であって、CZ法により製造された抵抗率が0.1Ω・cm以下のP型またはN型のシリコン結晶棒をシリコン原料棒として、該シリコン原料棒をFZ法により再結晶化し、抵抗率が0.1Ω・cm以下で酸素析出量が0.2ppma以下のシリコン単結晶を製造することを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。
- 前記再結晶化を行なう際に、前記シリコン原料棒の低抵抗側から高抵抗側に向かってゾーニングすることにより、前記シリコン原料棒を再結晶化することを特徴とする請求項1に記載のシリコン単結晶の製造方法。
- 前記再結晶化を行なう際に、前記シリコン原料棒の高抵抗側から低抵抗側に向かってゾーニングすることにより、前記シリコン原料棒を再結晶化することを特徴とする請求項1に記載のシリコン単結晶の製造方法。
- 前記再結晶化を行なう際に、成長炉のチャンバー内雰囲気の窒素濃度を0.2〜0.5%とすることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のシリコン単結晶の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004098829A JP4982034B2 (ja) | 2004-03-30 | 2004-03-30 | シリコン単結晶の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004098829A JP4982034B2 (ja) | 2004-03-30 | 2004-03-30 | シリコン単結晶の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005281076A JP2005281076A (ja) | 2005-10-13 |
JP4982034B2 true JP4982034B2 (ja) | 2012-07-25 |
Family
ID=35179860
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004098829A Expired - Fee Related JP4982034B2 (ja) | 2004-03-30 | 2004-03-30 | シリコン単結晶の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4982034B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4581977B2 (ja) * | 2005-11-24 | 2010-11-17 | 信越半導体株式会社 | シリコン単結晶の製造方法 |
JP5070737B2 (ja) * | 2006-05-26 | 2012-11-14 | 信越半導体株式会社 | Cz法により製造したシリコン結晶棒を原料としたfz単結晶シリコンの製造方法 |
JP5049544B2 (ja) | 2006-09-29 | 2012-10-17 | Sumco Techxiv株式会社 | シリコン単結晶の製造方法、シリコン単結晶の製造制御装置、及びプログラム |
JP5296992B2 (ja) | 2007-01-31 | 2013-09-25 | Sumco Techxiv株式会社 | シリコン結晶素材及びその製造方法 |
JP5318365B2 (ja) | 2007-04-24 | 2013-10-16 | Sumco Techxiv株式会社 | シリコン結晶素材及びこれを用いたfzシリコン単結晶の製造方法 |
JP5201730B2 (ja) * | 2008-12-02 | 2013-06-05 | Sumco Techxiv株式会社 | Fz法シリコン単結晶の製造方法 |
JP2011157239A (ja) * | 2010-02-03 | 2011-08-18 | Toyota Motor Corp | シリコン単結晶の製造方法およびシリコン単結晶のインゴット |
JP5924181B2 (ja) * | 2012-08-02 | 2016-05-25 | 信越半導体株式会社 | Fz単結晶シリコンの製造方法 |
JP5679362B2 (ja) * | 2013-04-08 | 2015-03-04 | Sumco Techxiv株式会社 | シリコン結晶素材及びその製造方法 |
JP5679361B2 (ja) * | 2013-04-08 | 2015-03-04 | Sumco Techxiv株式会社 | シリコン結晶素材及びその製造方法 |
JP6007892B2 (ja) * | 2013-12-20 | 2016-10-19 | 信越半導体株式会社 | シリコン単結晶の製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2756476B2 (ja) * | 1989-04-17 | 1998-05-25 | 住友シチックス株式会社 | P型シリコン単結晶の製造方法 |
JPH0543382A (ja) * | 1991-05-14 | 1993-02-23 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 単結晶シリコンの製造方法 |
JP3446572B2 (ja) * | 1997-11-11 | 2003-09-16 | 信越半導体株式会社 | シリコン単結晶中の酸素析出挙動を割り出す方法、およびシリコン単結晶ウエーハ製造工程の決定方法、並びにプログラムを記録した記録媒体 |
DE10137856B4 (de) * | 2001-08-02 | 2007-12-13 | Siltronic Ag | Durch tiegelloses Zonenziehen hergestellter Einkristall aus Silicium |
-
2004
- 2004-03-30 JP JP2004098829A patent/JP4982034B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005281076A (ja) | 2005-10-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5070737B2 (ja) | Cz法により製造したシリコン結晶棒を原料としたfz単結晶シリコンの製造方法 | |
KR102312204B1 (ko) | 저항률 제어방법 및 n형 실리콘 단결정 | |
KR100939299B1 (ko) | 실리콘 웨이퍼 및 그 제조 방법 | |
JP4367213B2 (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
JP4982034B2 (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
JP2008308383A (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
EP0140239B1 (en) | Apparatus and method for growing doped monocrystalline silicon semiconductor crystals using the float zone technique | |
JP5145721B2 (ja) | シリコン単結晶の製造方法および製造装置 | |
CN110863240A (zh) | 单晶硅的制造方法和硅晶片 | |
US10490398B2 (en) | Manufacturing method of monocrystalline silicon and monocrystalline silicon | |
EP2143833A1 (en) | Silicon crystal material and method for manufacturing fz silicon single crystal by using the same | |
US20090293803A1 (en) | Method of growing silicon single crystals | |
JP6119642B2 (ja) | 半導体単結晶の製造方法 | |
US20090293802A1 (en) | Method of growing silicon single crystals | |
JP2004315258A (ja) | 単結晶の製造方法 | |
US6338757B1 (en) | Single crystal pull-up apparatus | |
JP2022159501A (ja) | 多結晶シリコン棒、多結晶シリコンロッドおよびその製造方法 | |
JP4595450B2 (ja) | 炭素ドープシリコン単結晶の製造方法 | |
JP4273793B2 (ja) | 単結晶の製造方法 | |
JP2018080084A (ja) | 半導体シリコン単結晶の製造方法 | |
US20030154906A1 (en) | Process for producing a highly doped silicon single crystal | |
JP5262257B2 (ja) | 窒素ドープシリコン単結晶の製造方法 | |
KR101762220B1 (ko) | 실리콘 단결정의 제조 방법 | |
JP7285197B2 (ja) | 単結晶引上方法及び単結晶引上装置 | |
JP2002293691A (ja) | シリコン単結晶の製造方法及びシリコン単結晶並びにシリコンウエーハ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061108 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090217 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090415 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090924 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091125 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20100105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100302 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20100514 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120423 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150427 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4982034 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |