JP4978009B2 - GaN系半導体発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
・基体上に形成され、GaN系化合物半導体から成る基層、
・基層の頂面上に形成され、基層の頂面の一部が露出した開口部あるいは開口領域(以下、開口部等と呼ぶ)が設けられたマスク層、
・GaN系化合物半導体から成り、開口部等に露出した基層の頂面から、開口部等の近傍のマスク層の部分の上に亙り形成された、立体形状を有する下地層、
・下地層上に順次形成された、第1導電型を有する第1GaN系化合物半導体層、GaN系化合物半導体から成る活性層、及び、第2導電型を有する第2GaN系化合物半導体層、
・第1GaN系化合物半導体層に電気的に接続された第1電極、並びに、
・第2GaN系化合物半導体層上に形成された第2電極、
を具備している。
(A)基体上に形成され、GaN系化合物半導体から成る島状のシード領域、
(B)GaN系化合物半導体から成り、少なくともシード領域上に形成された、立体形状を有する下地層、
(C)下地層上に順次形成された、第1導電型を有する第1GaN系化合物半導体層、GaN系化合物半導体から成る活性層、及び、第2導電型を有する第2GaN系化合物半導体層、
(D)第1GaN系化合物半導体層に電気的に接続された第1電極、並びに、
(E)第2GaN系化合物半導体層上に形成された第2電極、
を具備したGaN系半導体発光素子であって、
シード領域の頂面はA面であり、
下地層の少なくとも1つの側面はS面から構成されていることを特徴とする。
(a)基体上に、GaN系化合物半導体から成る島状のシード領域を形成した後、
(b)少なくともシード領域上に、GaN系化合物半導体から成り、立体形状を有する下地層を形成し、次いで、
(c)下地層上に、第1導電型を有する第1GaN系化合物半導体層、GaN系化合物半導体から成る活性層、及び、第2導電型を有する第2GaN系化合物半導体層を順次形成した後、
(d)第1GaN系化合物半導体層に電気的に接続された第1電極を形成し、第2GaN系化合物半導体層上に第2電極を形成する、
各工程を具備したGaN系半導体発光素子の製造方法であって、
シード領域の頂面はA面であり、
下地層の少なくとも1つの側面はS面から構成されていることを特徴とする。
基体上に形成され、GaN系化合物半導体から成る基層、及び、
基層の頂面上に形成され、基層の頂面の一部が露出した開口部が設けられたマスク層、
を備えており、
開口部に露出した基層の頂面の部分がシード領域に相当し、
下地層は、開口部に露出した基層の頂面から、開口部近傍のマスク層の部分の上に亙り形成されている構成とすることができる。尚、このような構成を、便宜上、本発明の第1Aの構成と呼ぶ場合がある。そして、この場合、マスク層に設けられた開口部の平面形状は、本質的には任意であり、円形、楕円形、三角形、矩形、五角形、六角形等の多角形を挙げることができるが、中でも、三角形であることが好ましい。
40.2度±5度 (1−1)
の範囲内にあることが好ましい。そして、この場合、
下地層は、底面が二等辺三角形の三角錐から成り、
S面から構成された下地層の2つの側面は、底面を構成する長さの等しい2つの辺のそれぞれを底辺としており、残りの1つの側面は、底面を構成する他の一辺を底辺とし、且つ、C面から構成されており、
C面から構成された下地層の側面の基体表面に対する傾斜角θC1は、
90度±5度 (1−2)
の範囲内にある形態とすることができ、あるいは又、
下地層は、底面が二等辺三角形の切頭三角錐から成り、
S面から構成された下地層の2つの側面は、底面を構成する長さの等しい2つの辺のそれぞれを底辺としており、残りの1つの側面は、底面を構成する他の一辺を底辺とし、且つ、C面から構成されており、下地層の頂面はA面から構成されており、
C面から構成された下地層の側面の基体表面に対する傾斜角θC1は、
90度±5度 (1−2)
の範囲内にある形態とすることができる。尚、下地層が、三角錐から成るか、切頭三角錐から成るかは、下地層の結晶成長条件に依る。
(A)基体上に形成され、GaN系化合物半導体から成る帯状のシード領域、
(B)GaN系化合物半導体から成り、少なくともシード領域上に形成された、立体形状を有する下地層、
(C)下地層上に順次形成された、第1導電型を有する第1GaN系化合物半導体層、GaN系化合物半導体から成る活性層、及び、第2導電型を有する第2GaN系化合物半導体層、
(D)第1GaN系化合物半導体層に電気的に接続された第1電極、並びに、
(E)第2GaN系化合物半導体層上に形成された第2電極、
を具備したGaN系半導体発光素子であって、
シード領域の頂面はA面であり、
帯状のシード領域が延びる方向は、シード領域の<1−100>方向であり、
下地層の1つの斜面はS面から構成されていることを特徴とする。
(a)基体上に、GaN系化合物半導体から成る帯状のシード領域を形成した後、
(b)少なくともシード領域上に、GaN系化合物半導体から成り、立体形状を有する下地層を形成し、次いで、
(c)下地層上に、第1導電型を有する第1GaN系化合物半導体層、GaN系化合物半導体から成る活性層、及び、第2導電型を有する第2GaN系化合物半導体層を順次形成した後、
(d)第1GaN系化合物半導体層に電気的に接続された第1電極を形成し、第2GaN系化合物半導体層上に第2電極を形成する、
各工程を具備したGaN系半導体発光素子の製造方法であって、
シード領域の頂面はA面であり、
帯状のシード領域が延びる方向は、シード領域の<1−100>方向であり、
下地層の1つの斜面はS面から構成されていることを特徴とする。
基体上に形成され、GaN系化合物半導体から成る基層、及び、
基層の頂面上に形成され、基層の頂面の一部が露出した帯状の開口領域が設けられたマスク層、
を備えており、
帯状の開口領域に露出した基層の頂面の部分がシード領域に相当し、
下地層は、開口領域に露出した基層の頂面から、開口領域近傍のマスク層の部分の上に亙り形成されている構成とすることができる。尚、このような構成を、便宜上、本発明の第2Aの構成と呼ぶ場合がある。
シード領域の<0001>方向に沿って下地層を切断したときの下地層の断面形状は、三角形であり、
S面から構成された下地層の斜面の基体表面に対する傾斜角θS2は、
40.2度±5度 (2−1)
の範囲内にあることが好ましい。そして、この場合、
下地層の他の斜面は、C面から構成されており、
C面から構成された下地層の他の斜面の基体表面に対する傾斜角θC2は、
90度±5度 (2−2)
の範囲内にある形態とすることができる。
(A)基体上に形成され、GaN系化合物半導体から成る帯状のシード領域、
(B)GaN系化合物半導体から成り、少なくともシード領域上に形成された、立体形状を有する下地層、
(C)下地層上に順次形成された、第1導電型を有する第1GaN系化合物半導体層、GaN系化合物半導体から成る活性層、及び、第2導電型を有する第2GaN系化合物半導体層、
(D)第1GaN系化合物半導体層に電気的に接続された第1電極、並びに、
(E)第2GaN系化合物半導体層上に形成された第2電極、
を具備したGaN系半導体発光素子であって、
シード領域の頂面はA面であり、
帯状のシード領域が延びる方向は、シード領域の<0001>方向であり、
下地層の少なくとも1つの面はM面から構成されていることを特徴とする。
(a)基体上に、GaN系化合物半導体から成る帯状のシード領域を形成した後、
(b)少なくともシード領域上に、GaN系化合物半導体から成り、立体形状を有する下地層を形成し、次いで、
(c)下地層上に、第1導電型を有する第1GaN系化合物半導体層、GaN系化合物半導体から成る活性層、及び、第2導電型を有する第2GaN系化合物半導体層を順次形成した後、
(d)第1GaN系化合物半導体層に電気的に接続された第1電極を形成し、第2GaN系化合物半導体層上に第2電極を形成する、
各工程を具備したGaN系半導体発光素子の製造方法であって、
シード領域の頂面はA面であり、
帯状のシード領域が延びる方向は、シード領域の<0001>方向であり、
下地層の少なくとも1つの面はM面から構成されていることを特徴とする。
基体上に形成され、GaN系化合物半導体から成る基層、及び、
基層の頂面上に形成され、基層の頂面の一部が露出した帯状の開口領域が設けられたマスク層、
を備えており、
帯状の開口領域に露出した基層の頂面の部分がシード領域に相当し、
下地層は、開口領域に露出した基層の頂面に形成されている構成とすることができる。
シード領域の<1−100>方向に沿って下地層を切断したときの下地層の断面形状は、少なくとも、基体表面に対して略垂直に上方に延びる2つの側面と、側面の上端部から延びて相互に交わる2つの頂面とから成り、
下地層の2つの側面及び2つの頂面は、M面から構成されており、
M面から構成された下地層の頂面の基体表面に対する傾斜角θMは、
30度±5度 (3)
の範囲内にあることが好ましい。下地層の結晶成長条件に依存して、シード領域の<1−100>方向に沿って下地層を切断したときの下地層の断面形状は、基体表面に対して略垂直に上方に延びる2つの側面と、側面の上端部から延びて相互に交わる2つの頂面の4面から成る場合もあるし、基体表面に対して略垂直に上方に延びる2つの側面と、側面の上端部から延びて相互に交わる2つの頂面と、側面の下端部からシード領域まで延びる傾斜した2つの底面(M面から構成される)の6面から成る場合もある。シード領域の<0001>方向における下地層の終端面は垂直面である構成とすることができる。
を、便宜上、本明細書、あるいは、特許請求の範囲においては、<hk−il>方向、<h−kil>方向と表記する。また、例えば、
で表される結晶面を、便宜上、以下、{11−20}面と表記し、更には、六方晶系における例えば以下に例示する結晶面の表記、
を、便宜上、本明細書においては、{hk−il}面、{h−kil}面と表記する。尚、A面、S面、M面とは、以下のとおりであり、模式的に、図15に示す。
A面:{11−20}
S面:{1−101}
M面:{1−100}
C面:{0001}
(A)基体10上に形成され、GaN系化合物半導体から成る島状のシード領域、
(B)GaN系化合物半導体から成り、少なくともシード領域上に形成され、立体形状を有する下地層20、
(C)下地層20上に順次形成された、第1導電型を有する第1GaN系化合物半導体層31、GaN系化合物半導体から成る活性層32、及び、第2導電型を有する第2GaN系化合物半導体層33、
(D)第1GaN系化合物半導体層31に電気的に接続された第1電極41、並びに、
(E)第2GaN系化合物半導体層33上に形成された第2電極42、
を具備している。
40.2度±5度 (1−1)
の範囲内にある。
90度±5度 (1−2)
の範囲内にある。また、マスク層13に設けられた開口部14の平面形状は三角形である。ここで、辺22,24の長さを3.8μmとし、辺26の長さは5.5μmとした。
即ち、R面を主面とするサファイヤ基板を基体10として使用し、基体10をMOCVD装置に搬入し、水素から成るキャリアガス中、基体温度1050゜Cで10分間の基板クリーニングを行った後、基体温度を500゜Cまで低下させる。ここで、サファイヤ基板のR面とは、{1−102}面である。そして、MOCVD法に基づき、窒素原料であるアンモニアガスを供給しながら、ガリウム原料であるトリメチルガリウム(Trimethygallium, TMG)ガスの供給を行い、低温GaNから成る厚さ30nmのバッファ層11を基体10の上に結晶成長させた後、TMGガスの供給を中断する。
次いで、基体温度を1020゜Cまで上昇させた後、再び、TMGガス、及び、シリコン原料であるモノシラン(SiH4)ガスの供給を開始することで、SiドープのGaN(GaN:Si)から成り、n型の導電型を有する厚さ3μmの基層12を、バッファ層11上に形成する(結晶成長させる)。尚、ドーピング濃度を、約5×1018/cm3とした。また、基層12の頂面はA面である。
その後、基層12の頂面上に、基層12の頂面の一部が露出した開口部14が設けられたマスク層13を形成する。具体的には、基体10をMOCVD装置から搬出し、基層12上に、開口部14を有するマスク層13を形成する(図2の(A)の模式的な一部断面図を参照)。開口部14を有するマスク層13は、下から、厚さ200nmの酸化シリコン層、厚さ10nmの窒化シリコン層の積層構造を有し、プラズマCVD法、リソグラフィ技術、及び、フッ酸系エッチャントを使用したウエットエッチング技術、あるいはドライエッチング技術に基づき形成することができる。開口部14の平面形状を三角形とした。また、開口部14のピッチ(開口部14の中心間の距離)を40μm、平面が二等辺三角形の開口部14の各辺の長さを、5.5μm、3.5μm、3.5μmとした。
次に、少なくともシード領域上に、GaN系化合物半導体から成り、立体形状を有する下地層20を形成する。
V/III比 :約4000
有機ガリウム源ガスの供給量:70×10-6モル・cm-2・min-1
窒素源ガスの供給量 :6SLM
正味の成長速度 :4μm/hr
窒素源ガスの圧力 :9×104Pa
その後、下地層20上に、第1導電型(n型)を有する第1GaN系化合物半導体層31、GaN系化合物半導体から成り、多重量子井戸構造を有する活性層32、及び、第2導電型(p型)を有する第2GaN系化合物半導体層33を順次形成する(結晶成長させる)。具体的には、基体温度を1020゜Cとした状態で、GaN:Siから成る第1GaN系化合物半導体層31を形成した後、一旦、TMGガスとSiH4ガスの供給を中断し、キャリアガスを水素ガスから窒素ガスに切り替えると共に、基体温度を600゜C乃至800゜Cまで低下させる。そして、Ga原料としてトリエチルガリウム(Triethylgallium, TEG)ガス、In原料としてトリメチルインジウム(Trimethylindium, TMI)ガスを使用し、バルブ切り替えによりこれらのガスの供給を行うことで、先ず最初に、アンドープGaN層(図示せず)を結晶成長させ、引き続き、厚さ2.5nmのInGaNから成る井戸層、及び、厚さ15nmのGaNから成る障壁層から構成された多重量子井戸構造を有する活性層32を形成する。尚、井戸層におけるIn組成割合は、例えば0.23であり、発光波長λ515nmに相当する。井戸層におけるIn組成割合は、所望とする発光波長に基づき決定すればよい。多重量子井戸構造の形成完了後、キャリアガスを窒素から水素に切り替え、850゜Cまで基体温度を上昇させ、TMGガスとビスシクロペンタジエニルマグネシウム(Biscyclopentadienyl Magnesium, Cp2Mg)ガスの供給を開始することで、厚さ100nmのMgドープのGaN(GaN:Mg)から成り、p型の導電型を有する第2GaN系化合物半導体層33を活性層32の上に結晶成長させる。尚、ドーピング濃度を、約1×1020/cm3とした。その後、厚さ数nmのMgドープのInGaNから成るコンタクト層を、第2GaN系化合物半導体層33上に形成してもよい。こうして結晶成長を完了した後、窒素ガス雰囲気中で800゜C、10分間のアニール処理を行って、p型不純物(p型ドーパント)の活性化を行う。こうして、図3の(A)に示す構造を得ることができる。
次に、第1GaN系化合物半導体層31に電気的に接続された第1電極41を形成し、第2GaN系化合物半導体層33上に第2電極42を形成する。具体的には、全面にレジスト層50を形成し、第2電極を形成すべき部分のレジスト層50をフォトリソグラフィ技術によって除去し(図3の(B)参照)、次いで、Ni層、Ag層、Au層を順次、スパッタリング法にて全面に成膜した後、レジスト層50、及び、その上のNi層、Ag層、Au層を除去するといったリフトオフ法に基づき、積層構造を有する第2電極42(図面においては1層で示す)を、第2GaN系化合物半導体層33上に、より具体的には、S面から構成された下地層20の側面21S,23Sの上方に形成された第2GaN系化合物半導体層33の部分の上に形成する。その後、マスク層13の一部分をフォトリソグラフィ技術及びエッチング技術にて除去して、基層12を露出させ、フォトリソグラフィ技術、スパッタリング法及びリフトオフ法に基づき、第1電極41を露出した基層12上に形成することができる。
40.2度±5度 (1−1)
の範囲内にあるが故に、S面から構成された下地層20の側面21S,23Sの上方に形成された第2GaN系化合物半導体層33の部分の傾斜角も概ね上記の値となり、このような緩やかな傾斜を有する第2GaN系化合物半導体層33の部分の上に、確実に、高い信頼性をもって第2電極42を形成することができる。
90度±5度 (1−2)
の範囲内にある。
V/III比 :約500
有機ガリウム源ガスの供給量:70×10-6モル・cm-2・min-1
窒素源ガスの供給量 :2SLM
正味の成長速度 :4μm/hr
窒素源ガスの圧力 :1×104Pa
(A)基体10上に形成され、GaN系化合物半導体から成る帯状のシード領域、
(B)GaN系化合物半導体から成り、少なくともシード領域上に形成された、立体形状を有する下地層120、
(C)下地層120上に順次形成された、第1導電型を有する第1GaN系化合物半導体層31、GaN系化合物半導体から成る活性層32、及び、第2導電型を有する第2GaN系化合物半導体層33、
(D)第1GaN系化合物半導体層31に電気的に接続された第1電極41、並びに、
(E)第2GaN系化合物半導体層33上に形成された第2電極42、
、
を具備している。
40.2度±5度 (2−1)
の範囲内にある。更には、下地層120の他の斜面123CはC面(より具体的には、Cマイナス面)から構成されており、C面から構成された下地層120の他の斜面123Cの基体表面に対する傾斜角θC2は、
90度±5度 (2−2)
の範囲内にある。基層12の<0001>方向に沿った開口領域114の幅(W)を10μmとした。更には、基層12の<0001>方向に沿った下地層120の一方の斜面121Sの長さを20μmとし、基層12の<0001>方向に沿った下地層120の他方の斜面123Cの長さを10μmとした。尚、参照番号122及び参照番号124は、斜面121S及び斜面123Cの底辺を指す。
即ち、実施例1の[工程−100]と同様にして、R面を主面とするサファイヤ基板を基体10として使用し、基体10をMOCVD装置に搬入し、水素から成るキャリアガス中、基体温度1050゜Cで10分間の基板クリーニングを行った後、低温GaNから成る厚さ30nmのバッファ層11を基体10の上に結晶成長させる。
次いで、実施例1の[工程−110]と同様にして、SiドープのGaN(GaN:Si)から成り、n型の導電型を有する厚さ3μmの基層12を、バッファ層11上に形成する(結晶成長させる)。
その後、基層12の頂面上に、基層12の頂面の一部が露出した帯状の開口領域114が設けられたマスク層113を形成する。具体的には、基体10をMOCVD装置から搬出し、基層12上に、開口領域114を有するマスク層113を形成する(図7の(A)の模式的な一部断面図を参照)。開口領域114を有するマスク層113は、実施例1のマスク層13と同じ構成、構造を有し、形成方法も実施例1の[工程−120]と実質的に同様とすることができる。開口領域114のピッチ(開口領域114の中心間の距離)を30μmとした。開口領域114は、シード領域(基層12)の<1−100>方向に延びている。即ち、帯状のシード領域が延びる方向は、シード領域の<1−100>方向である。
次に、少なくともシード領域上に、GaN系化合物半導体から成り、立体形状を有する下地層120を形成する。
V/III比 :約4000
有機ガリウム源ガスの供給量:70×10-6モル・cm-2・min-1
窒素源ガスの供給量 :6SLM
正味の成長速度 :4μm/hr
窒素源ガスの圧力 :9×104Pa
その後、実施例1の[工程−140]と同様にして、下地層120上に、第1導電型(n型)を有する第1GaN系化合物半導体層31、GaN系化合物半導体から成り、多重量子井戸構造を有する活性層32、及び、第2導電型(p型)を有する第2GaN系化合物半導体層33を順次形成する(結晶成長させる)。こうして、図8の(A)に示す構造を得ることができる。
次に、第1GaN系化合物半導体層31に電気的に接続された第1電極41を形成し、第2GaN系化合物半導体層33上に第2電極42を形成する。具体的には、全面にレジスト層150を形成し、第2電極を形成すべき部分のレジスト層150をフォトリソグラフィ技術によって除去し(図8の(B)参照)、次いで、Ni層、Ag層、Au層を順次、スパッタリング法にて全面に成膜した後、レジスト層150、及び、その上のNi層、Ag層、Au層を除去するといったリフトオフ法に基づき、積層構造を有する第2電極42(図面においては1層で示す)を、第2GaN系化合物半導体層33上に、より具体的には、S面から構成された下地層120の斜面121Sの上方に形成された第2GaN系化合物半導体層33の部分の上に形成する。その後、マスク層113の一部分をフォトリソグラフィ技術及びエッチング技術にて除去して、基層12を露出させ、フォトリソグラフィ技術、スパッタリング法及びリフトオフ法に基づき、第1電極41を露出した基層12上に形成することができる。
40.2度±5度 (2−1)
の範囲内にあるが故に、S面から構成された下地層120の斜面121Sの上方に形成された第2GaN系化合物半導体層33の部分の傾斜角も概ね上記の値となり、このような緩やかな傾斜を有する第2GaN系化合物半導体層33の部分の上に、確実に、高い信頼性をもって第2電極42を形成することができる。
(A)基体10上に形成され、GaN系化合物半導体から成る帯状のシード領域、
(B)GaN系化合物半導体から成り、少なくともシード領域上に形成された、立体形状を有する下地層220、
(C)下地層220上に順次形成された、第1導電型を有する第1GaN系化合物半導体層31、GaN系化合物半導体から成る活性層32、及び、第2導電型を有する第2GaN系化合物半導体層33、
(D)第1GaN系化合物半導体層31に電気的に接続された第1電極41、並びに、
(E)第2GaN系化合物半導体層33上に形成された第2電極42、
を具備している。
30度±5度 (3)
の範囲内にある。基層12の<1−100>方向に沿った開口領域214の幅(W)を10μmとした。また、シード領域(基層12)の<0001>方向における下地層220の終端面224は垂直面である。
即ち、実施例1の[工程−100]と同様にして、R面を主面とするサファイヤ基板を基体10として使用し、基体10をMOCVD装置に搬入し、水素から成るキャリアガス中、基体温度1050゜Cで10分間の基板クリーニングを行った後、低温GaNから成る厚さ30nmのバッファ層11を基体10の上に結晶成長させる。
次いで、実施例1の[工程−110]と同様にして、SiドープのGaN(GaN:Si)から成り、n型の導電型を有する厚さ3μmの基層12を、バッファ層11上に形成する(結晶成長させる)。
その後、基層12の頂面上に、基層12の頂面の一部が露出した帯状の開口領域214が設けられたマスク層213を形成する。具体的には、基体10をMOCVD装置から搬出し、基層12上に、開口領域214を有するマスク層213を形成する(図11の(A)の模式的な一部断面図を参照)。開口領域214を有するマスク層213は、実施例1のマスク層13と同じ構成、構造を有し、形成方法も実施例1の[工程−120]と実質的に同様とすることができる。開口領域214のピッチ(開口領域214の中心間の距離)を30μmとした。開口領域214は、シード領域(基層12)の<0001>方向に延びている。即ち、帯状のシード領域が延びる方向は、シード領域の<0001>方向である。
次に、少なくともシード領域上に、GaN系化合物半導体から成り、立体形状を有する下地層220を形成する。
V/III比 :約4000
有機ガリウム源ガスの供給量:70×10-6モル・cm-2・min-1
窒素源ガスの供給量 :6SLM
正味の成長速度 :4μm/hr
窒素源ガスの圧力 :1×104Pa
その後、実施例1の[工程−140]と同様にして、下地層220上に、第1導電型(n型)を有する第1GaN系化合物半導体層31、GaN系化合物半導体から成り、多重量子井戸構造を有する活性層32、及び、第2導電型(p型)を有する第2GaN系化合物半導体層33を順次形成する(結晶成長させる)。こうして、図12の(A)に示す構造を得ることができる。
次に、第1GaN系化合物半導体層31に電気的に接続された第1電極41を形成し、第2GaN系化合物半導体層33上に第2電極42を形成する。具体的には、全面にレジスト層250を形成し、第2電極を形成すべき部分のレジスト層250をフォトリソグラフィ技術によって除去し(図12の(B)参照)、次いで、Ni層、Ag層、Au層を順次、スパッタリング法にて全面に成膜した後、レジスト層250、及び、その上のNi層、Ag層、Au層を除去するといったリフトオフ法に基づき、積層構造を有する第2電極42(図面においては1層で示す)を、第2GaN系化合物半導体層33上に、より具体的には、M面から構成された下地層220の頂面222Mの上方に形成された第2GaN系化合物半導体層33の部分の上に形成する。その後、マスク層213の一部分をフォトリソグラフィ技術及びエッチング技術にて除去して、基層12を露出させ、フォトリソグラフィ技術、スパッタリング法及びリフトオフ法に基づき、第1電極41を露出した基層12上に形成することができる。
30度±5度 (3)
の範囲内にあるが故に、M面から構成された下地層220の頂面222Mの上方に形成された第2GaN系化合物半導体層33の部分の傾斜角も概ね上記の値となり、このような緩やかな傾斜を有する第2GaN系化合物半導体層33の部分の上に、確実に、高い信頼性をもって第2電極42を形成することができる。
V/III比 :約4000
有機ガリウム源ガスの供給量:70×10-6モル・cm-2・min-1
窒素源ガスの供給量 :6SLM
正味の成長速度 :4μm/hr
窒素源ガスの圧力 :1×104Pa
Claims (8)
- (A)基体上に形成され、GaN系化合物半導体から成る島状のシード領域、
(B)GaN系化合物半導体から成り、少なくともシード領域上に形成された、立体形状を有する下地層、
(C)下地層上に順次形成された、第1導電型を有する第1GaN系化合物半導体層、GaN系化合物半導体から成る活性層、及び、第2導電型を有する第2GaN系化合物半導体層、
(D)第1GaN系化合物半導体層に電気的に接続された第1電極、並びに、
(E)第2GaN系化合物半導体層上に形成された第2電極、
を具備したGaN系半導体発光素子であって、
シード領域の頂面はA面であり、
下地層の少なくとも1つの側面はS面から構成されており、
S面から構成された下地層の側面の基体表面に対する傾斜角θ S1 は、
40.2度±5度 (1−1)
の範囲内にあり、
下地層は、底面が二等辺三角形の三角錐から成り、
S面から構成された下地層の2つの側面は、底面を構成する長さの等しい2つの辺のそれぞれを底辺としており、残りの1つの側面は、底面を構成する他の一辺を底辺とし、且つ、C面から構成されており、
C面から構成された下地層の側面の基体表面に対する傾斜角θ C1 は、
90度±5度 (1−2)
の範囲内にあることを特徴とするGaN系半導体発光素子。 - (A)基体上に形成され、GaN系化合物半導体から成る島状のシード領域、
(B)GaN系化合物半導体から成り、少なくともシード領域上に形成された、立体形状を有する下地層、
(C)下地層上に順次形成された、第1導電型を有する第1GaN系化合物半導体層、GaN系化合物半導体から成る活性層、及び、第2導電型を有する第2GaN系化合物半導体層、
(D)第1GaN系化合物半導体層に電気的に接続された第1電極、並びに、
(E)第2GaN系化合物半導体層上に形成された第2電極、
を具備したGaN系半導体発光素子であって、
シード領域の頂面はA面であり、
下地層の少なくとも1つの側面はS面から構成されており、
S面から構成された下地層の側面の基体表面に対する傾斜角θ S1 は、
40.2度±5度 (1−1)
の範囲内にあり、
下地層は、底面が二等辺三角形の切頭三角錐から成り、
S面から構成された下地層の2つの側面は、底面を構成する長さの等しい2つの辺のそれぞれを底辺としており、残りの1つの側面は、底面を構成する他の一辺を底辺とし、且つ、C面から構成されており、下地層の頂面はA面から構成されており、
C面から構成された下地層の側面の基体表面に対する傾斜角θC1は、
90度±5度 (1−2)
の範囲内にあることを特徴とするGaN系半導体発光素子。 - 基体上に形成され、GaN系化合物半導体から成る基層、及び、
基層の頂面上に形成され、基層の頂面の一部が露出した開口部が設けられたマスク層、
を備えており、
開口部に露出した基層の頂面の部分がシード領域に相当し、
下地層は、開口部に露出した基層の頂面から、開口部近傍のマスク層の部分の上に亙り形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のGaN系半導体発光素子。 - マスク層に設けられた開口部の平面形状は三角形であることを特徴とする請求項3に記載のGaN系半導体発光素子。
- 下地層は、シード領域上から基体上に亙り形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のGaN系半導体発光素子。
- シード領域の平面形状は三角形であることを特徴とする請求項5に記載のGaN系半導体発光素子。
- 基体は、サファイヤ基板のR面であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のGaN系半導体発光素子。
- 基体は、GaN基板のA面であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のGaN系半導体発光素子。
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