JP4961870B2 - 光走査装置 - Google Patents

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Description

本発明は光走査装置に関し、特に、小型化が可能な光走査装置に関する。
光走査装置の一種であるガルバノスキャナは、たとえばレーザプリンタ、レーザマーキング装置、バーコードリーダ等の様々な装置に用いられる。上述の装置において、ガルバノスキャナはレーザ光を1次元または2次元方向に走査するために用いられる。
図9は、従来のガルバノスキャナを用いたレーザマーキング装置の構成を示す図である。
図10は、図9に示すレーザマーキング装置をより分かりやすく示す図である。
図9および図10を参照して、レーザマーキング装置101は、ガルバノスキャナ102と、レーザ発振器104と、fθレンズ106とを備える。
ガルバノスキャナ102は、反射鏡112,114X,114Yを備える。なお図が煩雑になるのを防ぐため図10では反射鏡112は示されていない。ガルバノスキャナ102は、さらに、モータ116X,116Yを備える。モータ116X,116Yは反射鏡114X,114Yをそれぞれ回転させる。
レーザ発振器104は鉛直方向にレーザ光LAを発する。レーザ発振器104はたとえばYAG(Yttrium Aluminum Garnet)レーザや炭酸ガスレーザ等である。レーザ光LAは、反射鏡112,114X,114Yの順に反射してfθレンズ106に入射する。fθレンズ106に入射したレーザ光LAはワークWの表面で集光される。ワークWの表面で集光したレーザ光LAによって、たとえば文字や図形等がワークWの表面に記録される。
図9および図10において、X方向は反射鏡114Xの回転に応じたレーザ光LAの移動方向を示し、Y方向は反射鏡114Yの回転に応じたレーザ光LAの移動方向を示す。図示しない制御装置によって反射鏡114X,114Yの回転角度が制御される。これによりレーザ光LAを所定の走査領域内における任意の位置に照射することができる。
一般的にfθレンズによってできる像の大きさはfθレンズに入射する光の入射角度に比例する。よってfθレンズ106へのレーザ光LAの入射角度を定めればワークWの表面におけるレーザ光のスポットの位置を定めることができる。このようなfθレンズの性質を利用することによって走査領域の任意の位置に対してレーザ光LAを正確に照射できる。
上述したYAGレーザや炭酸ガスレーザ等においては共振器の長さが長い。共振器の伸びる方向が水平方向に等しくなるようにレーザ発振器104を設置した場合には、レーザマーキング装置101の設置面積が大きくなる。レーザ発振器104はその共振器の伸びる方向が鉛直方向に等しくなるように設置される。よってレーザマーキング装置101の設置面積を小さくすることが可能になる。
なお、光を走査させる従来の装置の例として、たとえば特許第2690591号公報(特許文献1)は、ロータの回転軸が中空であるモータと、この回転軸の内部を通るように光を発する半導体レーザと、回転軸の端部に取り付けられて半導体レーザからの光を反射する反射鏡とを備える光走査装置を開示する。
特許第2690591号公報
基本的に、従来のガルバノスキャナは入射光と出射光とのなす角度が90度となるようにたとえば複数の反射鏡等の配置が決定される。図9を参照しながら説明すると、反射鏡112の反射面で反射したレーザ光LA(入射光)は水平方向に進む。反射鏡114Yから出るレーザ光LA(出射光)は入射光の進行方向に対して90度の角度をなす方向、すなわち鉛直方向に進む。
モータ116Xによって反射鏡114Xは水平面内を回転する。これによりレーザ光LAはX方向にのみ移動する。一方、反射鏡114Yはモータ116Yによって鉛直面内を回転する。これによりレーザ光LAはY方向にのみ移動する。要するに入射光と出射光とのなす角度が90度になるように反射鏡114X,114Yを配置することによって、レーザ光を走査する際の制御が容易になる。
しかしながら、レーザ発振器104からのレーザ光LAが鉛直方向に進むようにレーザ発振器104を配置した場合には、反射鏡112が必要になる。よってガルバノスキャナのサイズを小さくすることが困難になる。レーザ発振器104の共振器の伸びる方向が水平方向に等しくなる(つまりレーザ光LAが水平方向に進む)ようにレーザ発振器104を配置すれば反射鏡112が不要になる。この場合にはガルバノスキャナのサイズを小さくすることができるもののレーザマーキング装置101のサイズが増加する(設置面積が増える)という問題が生じる。
また、反射鏡114X,114Yの少なくとも一方が回転する際には、反射鏡114X,114Y同士の衝突を避ける必要がある。このため反射鏡114Xと反射鏡114Yとの間隔をある程度大きくする必要がある。つまり、反射鏡114Xと反射鏡114Yとの間隔に応じてガルバノスキャナのサイズが決定される。
本発明の目的は、小型化が可能な光走査装置を提供することである。
本発明は要約すれば、光走査装置であって、入射光を反射させて第1の反射光を生じさせる第1の鏡と、第1の鏡の反射面に対して斜めに延び、第1の鏡が取付けられている第1の軸と、第1の軸を回転させる第1の回転装置と、第1の反射光を反射させて第2の反射光を生じさせる第2の鏡と、入射光に直交する平面に平行に延び、第2の鏡が取付けられている第2の軸と、第2の軸を回転させる第2の回転装置とを備える。
好ましくは、第1の軸の回転角度の値が第1の基準値であり、かつ、第2の軸の回転角度の値が第2の基準値である場合に、第1の鏡の反射面と第2の鏡の反射面とは平行である。
より好ましくは、第1および第2の軸の回転は、第1および第2の基準値をそれぞれ含むように予め定められた回転角度範囲内での往復運動である。
より好ましくは、第2の軸は、第1の軸の回転角度の値が第1の基準値であるときの第1の反射光の光軸と、入射光の光軸とによって規定される平面に直交する。
好ましくは、第2の反射光は、レンズに入射する。第1の鏡の反射面と第2の鏡の反射面とが平行である場合に、第2の反射光はレンズの中心軸に平行に進む。
より好ましくは、入射光の進行方向は、レンズの中心軸に平行な方向である。
好ましくは、第1の反射光の光軸は、第1の軸に対して所定の角度をなす。
好ましくは、入射光は、第1の軸に対して斜めに進む。
好ましくは、入射光は、第1の軸の中心線上を進む。
より好ましくは、第1の軸は、第1の回転装置を貫くように設けられる。第1の軸の内部は、中空である。入射光は、第1の軸の内部を通る。
好ましくは、第1の軸は、第1の鏡の反射面側に取付けられている。
本発明によれば、光走査装置を小型化できる。
以下において、本発明の実施の形態について図面を参照して詳しく説明する。なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。
[実施の形態1]
図1は、実施の形態1の光走査装置を含むレーザマーキング装置の構成を示す図である。
図1を参照して、レーザマーキング装置1は、ガルバノスキャナ2と、レーザ発振器4と、fθレンズ6とを備える。ガルバノスキャナ2は本発明における「光走査装置」に対応する。
ガルバノスキャナ2は、レーザ発振器4が鉛直方向に発したレーザ光LAを走査する。ガルバノスキャナ2は、反射鏡14X,14Yと、モータ16X,16Yとを備える。
反射鏡14Xはレーザ発振器4から発せられるレーザ光LAを反射させて反射光LA1を生じさせる。
モータ16Xは、回転軸17Xを有する。回転軸17Xにはアダプタ15が取付けられる。反射鏡14Xはアダプタ15の中に収められる。回転軸17X(軸X1)は反射鏡14Xの反射面18Xに対して斜めに延びる。
モータ16Xは回転軸17Xを回転させる。回転軸17Xは軸X1を中心に回転する。モータ16Xにおいて、回転軸17Xを回転させる部分(ステータ)は本発明における「第1の回転装置」に対応する。
回転軸17Xは、たとえば時計回りおよび反時計回りに回転する。図1に示す反射鏡14Xの状態は、回転軸17Xの回転角度の値が第1の基準値である状態を示す。なお、第1の基準値は、たとえば0である。要するに、回転軸17Xの回転は基準値である0を含むように予め定められた回転角度範囲内での往復運動である。
図2は、図1に示すアダプタ15をより詳細に示す斜視図である。
図2を参照して、アダプタ15は、取付口15A,15Bを有する。反射鏡14Xは取付口15Aにはめられる。取付口15Bには図1に示すモータ16Xの回転軸17Xが差し込まれる。
反射鏡14Xが取付口15Aにはめられた状態において、反射鏡14Xの反射面18Xは露出する。また、反射面18Xに対して軸X1が0度よりも大きなある角度になるように取付口15Bが形成される。アダプタ15を回転軸17Xに取付けた場合、反射面18Xに対して回転軸17Xは斜めになる。
再び図1を参照しながら説明する。反射鏡14Yは反射光LA1を反射させる。反射光LA2は反射光LA1が反射鏡14Yで反射することによって生じた光である。
モータ16Yは回転軸17Yを有する。回転軸17Yには反射鏡14Yが取付けられている。モータ16Yは回転軸17Yを回転させる。モータ16Yにおいて、回転軸17Yを回転させる部分(ステータ)は本発明における「第2の回転装置」に対応する。
回転軸17Yは反射鏡14Yの反射面18Yに平行である。さらに回転軸17Yは、レーザ光LAに直交する平面Aに平行である。さらに回転軸17Yは回転軸17Xの回転角度が0度であるときの反射面18Xに平行である。
回転軸17Yは、たとえば時計回りおよび反時計回りに回転する。図1に示す反射鏡14Yの状態は、回転軸17Yの回転角度の値が第2の基準値である状態を示す。なお、第2の基準値は、たとえば0である。要するに、回転軸17Yの回転は基準値である0を含むように予め定められた回転角度範囲内での往復運動である。
回転軸17Xの回転角度が0度であり、かつ、回転軸17Yの回転角度が0度であるときに反射面18Xと反射面18Yとは平行である。このときに反射光LA2はレーザ光LAと同じ方向、すなわち鉛直方向に進む。
なお、回転軸17X,17Yのいずれか一方または両方は、一方向(たとえば時計方向)のみに回転してもよい。
また、図1に示すX方向およびY方向は、反射鏡14X,14Yの回転によってワークWの表面上に形成される反射光LA2の光スポットの移動方向をそれぞれ示す。X方向とY方向とは直交する。
なお、レーザ光LAは本発明における「入射光」に対応する。反射光LA1,LA2は本発明における「第1の反射光」および「第2の反射光」にそれぞれ対応する。
レーザ発振器4は、たとえばYAGレーザ、炭酸ガスレーザ等である。共振器の伸びる方向が鉛直方向に等しくなるようにレーザ発振器4は設置される。
反射光LA2はfθレンズ6に入射する。反射光LA2はワークWの表面で集光される。ワーク表面で集光した反射光LA2により、たとえば文字や図形等がワークWの表面に記録される。
次に図1に示すガルバノスキャナ2についてより詳細に説明する。
図3は、図1に示すガルバノスキャナ2を分かりやすく示す図である。
図3を参照して、回転軸17Xおよび回転軸17Yの回転角度がともに0度のときに反射面18Xと反射面18Yとは平行である。回転軸17Xは反射面18Xに対して斜めに延びる。また、回転軸17Yはレーザ光LAの光軸および反射光LA1の光軸により規定される(レーザ光LAの光軸および反射光LA1の光軸を含む)平面Bに直交する。
回転軸17X(すなわち軸X1)と反射面18Xとのなす角度をθ1とする。角度θ1は0度より大きい。また角度θ1の最大値はモータ16Xがレーザ光LAを遮らない限りにおいて適切に定めることができる。たとえば角度θ1の最大値は60度である。
回転軸17Yはレーザ光LAに直交する平面Aに平行である。また、回転軸17Yは反射鏡14Yの反射面18Yに平行である。さらに、回転軸17Yは反射鏡14Xの反射面18Xに平行である。なお平面Aはfθレンズ6の中心軸19に対して直交する。
反射鏡14Yから出る反射光LA2はfθレンズ6の中心軸19上を通り、ワークWに達する。このように反射鏡14X,14Yと、モータ16X,16Yとを配置することによって、反射鏡14Xに入射するレーザ光LAと反射光LA2とは、鉛直方向に沿って進む。すなわちレーザ光LAの進行方向はfθレンズ6の中心軸19に平行な方向である。
従来のガルバノスキャナにおいて、入射光と出射光の進行方向を同じにするためには、入射光の進行方向を90度変えるための反射鏡が必要である。たとえば図9に示すガルバノスキャナ102においては、レーザ光LAの進行方向を鉛直方向から水平方向に変えるための反射鏡112が設けられる。ガルバノスキャナ2においてはこのような反射鏡が不要となる。よって本実施の形態によればガルバノスキャナを小型化できる。
また、回転軸17X,17Yの回転角度がともに0度のときには反射面18Xと反射面18Yとが平行である。これにより、反射鏡14X,14Yのいずれか一方または両方の回転時において反射鏡14X,14Y同士が衝突しない反射鏡14X,14Y間の最短距離を従来よりも短くできる。よって本実施の形態によれば、ガルバノスキャナ2を小型化できる。
なお、反射光LA2はfθレンズ6の中心軸19上を進むものと限定されず、中心軸19に平行に進めばよい。
レーザ発振器4は鉛直方向にレーザ光LAを発する。レーザ光LAが水平に出射されるようにレーザ発振器4を設置すると、レーザ発振器4の共振器の伸びる方向が水平方向になるのでレーザマーキング装置1の設置面積が大きくなる。共振器の伸びる方向が垂直方向に等しくなる(レーザ光LAが鉛直方向に進む)ようにレーザ発振器4を設置することによってレーザマーキング装置1の設置面積を小さくすることが可能になる。
ただし、レーザ光LAと反射光LA2との進行方向が鉛直方向となるようにガルバノスキャナ2の配置が限定されるものではない。たとえばレーザ光LAと反射光LA2とは水平方向に進んでもよい。レーザ光LAと反射光LA2との進行方向は、ガルバノスキャナ2が搭載される装置(レーザマーキング装置1、あるいはたとえばレーザプリンタ等の装置)に応じて、適切に定められる。
さらに、ガルバノスキャナ2においては、反射光LA1の光軸が軸X1に対して所定の角度をなすように、軸X1に対するレーザ光LAのなす角度θ2が設定される。その理由について以下に説明する。
図4は、図3に示す反射鏡14Xを回転させた際に反射鏡14Yの反射面18Yにおける反射光LA1の軌跡を示す図である。
図4および図3を参照して、反射面18Yにおける反射光LA1の軌跡として直線20Aと曲線20Bとが示される。直線20Aは反射光LA1の光軸が軸X1に対して所定の角度をなす場合における反射光LA1の軌跡を示す。なお直線20Aは回転軸17Yと重なる。一方、曲線20Bは軸X1に対する反射光LA1の角度が所定の角度と大きく異なる場合の反射光LA1の軌跡を示す。なお以下の説明では反射鏡14Yは回転しないものとする。
直線20Aに沿って反射光LA1が移動したときには、ワークWの表面における反射光LA2のスポットは図1のX方向のみに移動する。一方、曲線20Bに沿って反射光LA1が移動したときにはワークWの表面における反射光LA2のスポットは図1のX方向およびY方向に移動する。
つまり、反射光LA1の光軸が軸X1に対して所定の角度をなすように角度θ2が設定されていない場合、ワークWの表面における反射光LA2の光スポットをX方向のみに移動させるためには反射鏡14X,14Yの両方を回転させなければならない。図9に示すガルバノスキャナ102(従来のガルバノスキャナ)においては、ワークWの表面における光スポットを一方向(X方向あるいはY方向)に移動させるためには反射鏡114X,114Yのうち対応する反射鏡のみを回転させればよい。
本実施の形態によれば、反射光LA1の光軸が軸X1に対して所定の角度をなす。これにより、反射鏡14Xのみ回転させた場合にはワークWの表面における光スポットはX方向にのみ移動する。同様に反射鏡14Yのみ回転させた場合にはワークWの表面における光スポットはY方向にのみ移動する。よって、従来のガルバノスキャナと同様の制御によって、所定の走査領域内における任意の位置にレーザ光(反射光LA2)を照射できる。
続いて、上述の「所定の角度」について詳細に説明する。
図5は、図4に示す反射光LA1の軌跡をシミュレーションにより求めるためのガルバノスキャナ2のモデルを示す図である。
図5を参照して、軸X1と反射光LA1の光軸とのなす角度をθとする。軸X1と反射鏡14Xの反射面18Xとのなす角度をθ1とする。レーザ光LAと軸X1とのなす角度をθ2とする。反射面18Xの法線と反射光LA1とのなす角度をθ3とする。反射鏡14Yの反射面18Yが水平方向に対してなす角度をθ4とする。なお角度θ1,θ2は図3に示す角度θ1,θ2にそれぞれ対応する。
続いて反射鏡14Yの反射面18Yにおける反射光LA1の軌跡のシミュレーション結果を説明する。なお、シミュレーションに際しては、θ1=43度、θ2=19度、θ3=28度、θ4=28度と設定して、角度θを変化させた。また、レーザ光LAとfθレンズ6の中心軸との距離を10.5mmに設定した。
図6は、図5に示すガルバノスキャナ2のモデルを用いてシミュレーションを行なった結果を示す図である。
図6および図5を参照して、グラフの横軸は反射鏡14Xの回転角度の絶対値を示し、グラフの縦軸は反射鏡14Yにおけるレーザ光(反射光LA1)の移動量を示す。なお「レーザ光の移動量」とは、図4に示す直線20Aと反射面18Yに形成される反射光LA1のスポットとの距離を示す。
図6のグラフは、θ=75度、75.5度、76度の各場合において、反射鏡14Xの回転角度を変えたときの反射鏡14Yにおけるレーザ光の移動量を示す。θ=75度,75.5度,76度の各場合において反射鏡14Xの回転角度の絶対値を0〜12.5度の範囲で変化させたときのレーザ光の移動量の範囲は、それぞれ±2μm(0.002mm)の範囲、±10μm(0.01mm)の範囲、±10μm(0.01mm)の範囲となる。
ここで反射鏡14Yの反射面18Yにおけるレーザ光のスポットサイズは約40μmである。たとえばθ=75.5度の場合には、レーザ光のスポットサイズ(約40μm)に対するレーザ光の移動量(2μm)の割合は5%である。
上記の5%という値は、ガルバノスキャナ2の実用上、問題が生じない値である。図9に示すガルバノスキャナ102のような従来のガルバノスキャナにおいても、反射鏡114Xを回転させると反射鏡114Yにおいてレーザ光LAが所定の直線(この直線は図4に示す直線20Aに対応する)から移動する。このようにレーザ光LAがずれるのは、反射鏡114X,114Yを高速回転させるためにモータの回転軸が反射鏡の重心を通ることに起因する。
図7は、モータの回転軸が反射鏡の重心を通る場合の問題点を説明する図である。
図7を参照して、反射鏡24の重心を通るようにモータの回転軸25が設けられる。反射鏡24には厚みtがあるために反射鏡24が回転した後のレーザ光LAの軌跡(図7中において実線の矢印で示す)は、反射鏡24が回転する前のレーザ光LAの軌跡(図7中において破線の矢印で示す)に対してずれる。
従来のガルバノスキャナにおいてもレーザ光のスポットサイズに対するレーザ光の移動量の割合は少なくとも5%程度は存在する。よって上記の5%という値は、実用上問題のない値である。図6に示すシミュレーション結果から、角度θ(「所定の角度」)をほぼ75.5度に設定すればよいことが分かる。
なお、図6のシミュレーション結果に基づいてレーザ光の移動量の評価を行なう際に、反射鏡14Xの回転角度の絶対値を0〜12.5度の範囲内に設定したが、その理由は以下のとおりである。本実施の形態ではfθレンズ6の中心軸19に対する反射光LA2のなす角度は反射鏡14Xの回転角度の2倍の大きさとなる。多くの場合、fθレンズへの光ビームの導入角度は±25度程度に設定される。つまり、反射鏡14Xの回転角度の絶対値が0〜12.5度の範囲においてレーザ光の移動量の評価を行なえば実用上の評価として十分である。
また、図5に示すモデルは、本実施の形態の光走査装置における1つの例を示すものである。図4に示すように反射面18Yにおける反射光LA1の軌跡が直線20Aに重なるのであれば、たとえば角度θ=90度をなすように、角度θ1,θ2,θ3,θ4が決定されてもよい。
以上のように実施の形態1によれば、従来よりも小型化されたガルバノスキャナを実現できる。
[実施の形態2]
図8は、実施の形態2の光走査装置を含むレーザマーキング装置の構成を示す図である。
図8および図3を参照して、レーザマーキング装置1Aはガルバノスキャナ2に代えてガルバノスキャナ2Aを備える点でレーザマーキング装置1と異なる。レーザマーキング装置1Aの他の部分の構成はレーザマーキング装置1の対応する部分と同様であるので以後の説明は繰返さない。
ガルバノスキャナ2Aは、モータ16Xに代えてモータ26Xを含む点でガルバノスキャナ2と異なる。ガルバノスキャナ2Aの他の部分の構成はガルバノスキャナ2と同様であるので以後の説明は繰返さない。
モータ26Xは、回転軸27を有する。回転軸27は、モータ26Xを貫くように設けられる。回転軸27は中空構造を有する。レーザ光LAは回転軸27の内部(より具体的には軸X1上)を通り、反射鏡14Xにおいて反射する。つまり、レーザ光LAは回転軸27の中心線に相当する軸X1とのなす角度が0度となるように進む。一方、図3に示すガルバノスキャナ2ではレーザ光LAは、軸X1に対して斜めに進む。この点で、実施の形態2の光走査装置は実施の形態1の光走査装置と相違する。なお、回転軸27は透明な部材であってもよい。この場合には回転軸27は中空構造である必要はない。
なお実施の形態1と同様に、軸X1は反射鏡14Xの反射面18Xに対して斜めに延びる。また、軸X1と反射光LA1とのなす角度は、90度に設定される。
実施の形態2によれば回転軸27にレーザ光LAを通すことによって、モータ16Xとモータ16Yとの距離を実施の形態1よりも短くすることができる。よって、実施の形態2によれば実施の形態1よりも光走査装置を小型化することができる。
なお、反射鏡14Xを回転軸27に取付けるため、たとえば図1および図2に示すアダプタ15において、軸X1が反射鏡14Xの反射面18Xに直交するように取付口15Bが形成される。この場合には、取付口15Bは回転軸27が挿入される側から取付口15A側まで貫通する孔となる。
また、図8において、反射面18Xの面積を大きくすることによって、回転軸27を通さずにレーザ光LAを反射面18Xで反射させることができる。この場合にも、レーザ光LAの進行方向と軸X1の方向とは等しく鉛直方向になる。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
実施の形態1の光走査装置を含むレーザマーキング装置の構成を示す図である。 図1に示すアダプタ15をより詳細に示す斜視図である。 図1に示すガルバノスキャナ2を分かりやすく示す図である。 図3に示す反射鏡14Xを回転させた際に反射鏡14Yの反射面18Yにおける反射光LA1の軌跡を示す図である。 図4に示す反射光LA1の軌跡をシミュレーションにより求めるためのガルバノスキャナ2のモデルを示す図である。 図5に示すガルバノスキャナ2のモデルを用いてシミュレーションを行なった結果を示す図である。 モータの回転軸が反射鏡の重心を通る場合の問題点を説明する図である。 実施の形態2の光走査装置を含むレーザマーキング装置の構成を示す図である。 従来のガルバノスキャナを用いたレーザマーキング装置の構成を示す図である。 図9に示すレーザマーキング装置をより分かりやすく示す図である。
符号の説明
1,1A,101 レーザマーキング装置、2,2A,102 ガルバノスキャナ、4,104 レーザ発振器、6,106 fθレンズ、14X,14Y,24,112,114X,114Y 反射鏡、15 アダプタ、15A,15B 取付口、16X,16Y,26X,116X,116Y モータ、17X,17Y,25,27 回転軸、18X,18Y 反射面、19 中心軸、20A 直線、20B 曲線、116X モータ、116Y モータ、A,B 平面、LA レーザ光、LA1,LA2 反射光、W ワーク、X1 軸。

Claims (8)

  1. 入射光を反射させて第1の反射光を生じさせる第1の鏡と、
    前記第1の鏡の反射面に対して斜めに延び、前記第1の鏡が取付けられる第1の軸と、
    前記第1の軸を回転させる第1の回転装置と、
    前記第1の反射光を反射させて第2の反射光を生じさせる第2の鏡と、
    前記入射光に直交する平面に平行に延び、前記第2の鏡が取付けられている第2の軸と、
    前記第2の軸を回転させる第2の回転装置とを備え
    前記入射光が前記第1の軸に対して斜めに進むように前記第1の軸が配置される、光走査装置。
  2. 前記第1の軸の回転角度の値が第1の基準値であり、かつ、前記第2の軸の回転角度の値が第2の基準値である場合に、前記第1の鏡の反射面と前記第2の鏡の反射面とは平行である、請求項1に記載の光走査装置。
  3. 前記第1および第2の軸の回転は、前記第1および第2の基準値をそれぞれ含むように予め定められた回転角度範囲内での往復運動である、請求項2に記載の光走査装置。
  4. 前記第2の軸は、前記第1の軸の回転角度の値が前記第1の基準値であるときの前記第1の反射光の光軸と、前記入射光の光軸とによって規定される平面に直交する、請求項2に記載の光走査装置。
  5. 前記第2の反射光は、レンズに入射し、
    前記第1の鏡の反射面と前記第2の鏡の反射面とが平行である場合に、前記第2の反射光は前記レンズの中心軸に平行に進む、請求項1に記載の光走査装置。
  6. 前記入射光の進行方向は、前記レンズの中心軸に平行な方向である、請求項5に記載の光走査装置。
  7. 前記第1の反射光の光軸は、前記第1の軸に対して所定の角度をなす、請求項1に記載の光走査装置。
  8. 前記第1の軸は、前記第1の鏡の反射面側に取付けられている、請求項1に記載の光走査装置。
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