JP4695250B2 - レーザマーキング装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ発振器から出力されるレーザ光を用いて加工対象物の表面に文字や図形などのマーキングを行うことのできるレーザマーキング装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、レーザ発振器から出力されるレーザ光を用いて、金属、樹脂、セラミックス、半導体、紙、ガラスなどの多種多様の素材からなる加工対象物の表面に、製造番号、ロット番号、製造時期、バーコード、ロゴ、社名、商標、規格認定マーク、キャラクタデザインなどの多種多様の文字や図形などのマーキングを行うことのできるレーザマーキング装置が提案されている。
【0003】
図7は従来のレーザマーキング装置の一例を示すもので、従来のレーザマーキング装置1は、レーザ発振器2と、第1ガルバノスキャナ3と、第2ガルバノスキャナ4と、fθレンズ5とを有している。そして、第1および第2ガルバノスキャナ3,4は、公知の如く鏡(ガルバノミラー)3a,4aと、この鏡3a,4aを回転駆動させるためのスキャナ回転軸3b,4bを具備する本体3c、4cとをそれぞれ有している。さらに、スキャナ回転軸3b,4bと鏡3a,4aとは、ミラーホルダ3d,4dにより連結されている。また、各本体3c,4cは、図示しない制御手段に電気的に接続されており、制御手段から送出される制御指令によって、スキャナ回転軸3b,4bを駆動することで、スキャナ回転軸3b,4bの先端部にミラーホルダ3d,4dを介して取り付けた鏡3a,4aを所定の速度で駆動(振動)できるようになっている。
【0004】
図8に示すように、第1ガルバノスキャナ3の鏡3aは、レーザ発振器2から出力されるレーザ光LBとのなす角度を45°とし、その最大回転角度(振り角:振動角)をθとして配設されている。つまり、鏡3aに対する入射光たるレーザ光LBの傾きである基準入射角度αが45°となり、鏡3aに対するレーザ光LBの入射角度がα±θ(α±θ=45°±θ°)となるように形成されている。そして、レーザ光LBは、レーザ光LBの光路上に配設された第1ガルバノスキャナ3の鏡3aによって、レーザ発振器2から出力されるレーザ光LBの光路を含む水平投影面上において光路に対して直交する方向に全反射されるとともに、偏光角2θをもって走査される。
【0005】
また、第2ガルバノスキャナ4の鏡4aは、第1ガルバノスキャナ3の鏡3aによって全反射されたレーザ光LBの反射光LBAとのなす角度を45°とし、その最大回転角度をθ’として配設されている。つまり、鏡4aに対する入射光としての反射光LBAの傾きである基準入射角度βが45°となり、鏡4aに対するレーザ光LB(LBA)の入射角度がβ±θ(β±θ=45°±θ°)となるように形成されている。そして、第1ガルバノスキャナ3からの反射光LBAは、反射光LBAの光路上に配設された第2ガルバノスキャナ4の鏡4aによって、反射光LBAの光路を含む垂直平面上において光路に対して直交する鉛直下方に向けて全反射されるとともに、偏光角2θ’をもって走査される。
【0006】
したがって、従来のレーザマーキング装置1におけるレーザ光LB(LBB)は、加工対象物(ワーク)6の表面に沿って相互にほぼ直交する縦・横の2方向に走査可能とされている。
【0007】
また、第1および第2ガルバノスキャナ3,4のそれぞれの最大回転角度θ,θ’は同一(θ=θ’)とされているのが一般的であり、これにより、レーザ光LB(LBB)の走査範囲がほぼ正方形形状となるように形成されている。
【0008】
さらにまた、第2ガルバノスキャナ4の鏡4aによって全反射されたレーザ光LB(LBB)は、fθレンズ5によって集光されるようになっており、加工対象物6の表面のどの位置でも焦点距離が同じになるように形成されている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年においては、各種の装置において高性能化が図られており、レーザマーキング装置においても高性能化が求められている。そして、レーザマーキング装置の高性能化の一つとして、マーキング速度の高速化が求められている。
【0010】
しかしながら、従来のレーザマーキング装置1においては、第1ガルバノスキャナ3の鏡3aと、第2ガルバノスキャナ4の鏡4aとの鏡間距離を短くすることにより、第2ガルバノスキャナ4の鏡4aの面積を小さくすることはできるものの、あまり近づけすぎると第1ガルバノスキャナ3の鏡3aと第2ガルバノスキャナ4の鏡4aとが接触するため、前記鏡4aの小型化には限界があった。
【0011】
本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、マーキング速度の高速化を容易に図ることのできるレーザマーキング装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するため特許請求の範囲の請求項1に係る本発明のレーザマーキング装置の特徴は、fθレンズが配設された平面を水平としたときに、第1ガルバノスキャナの鏡に入射するレーザ光の光軸を含む鉛直平面を基準面とし、第1ガルバノスキャナのスキャナ回転軸を基準面に対して第1ガルバノスキャナの鏡に入射するレーザ光の光軸回りに傾けて配設し、前記第2ガルバノスキャナのスキャナ回転軸を、前記第1ガルバノスキャナの鏡に入射するレーザ光の光軸と平行に配設するとともに、第1ガルバノスキャナのスキャナ回転軸の傾き角度と、第1ガルバノスキャナの鏡と第2ガルバノスキャナの鏡との鏡間距離とに基づいて、第2ガルバノスキャナの鏡の面積を最小となるように形成した点にある。そして、このような構成を採用したことにより、第1ガルバノスキャナのスキャナ回転軸を基準面に対して第1ガルバノスキャナの鏡に入射するレーザ光の光軸回りに傾けるとともに前記第2ガルバノスキャナのスキャナ回転軸を、前記第1ガルバノスキャナの鏡に入射するレーザ光の光軸と平行に配設すると、第2ガルバノスキャナの鏡の面積を従来より最小化することができる。したがって、第2ガルバノスキャナの鏡の慣性モーメントを従来より低減することができ、第1および第2のガルバノスキャナのそれぞれの鏡を従来より高速で駆動することができるので、マーキング速度の高速化を容易に図ることができる。
【0013】
また、請求項2に係る本発明のレーザマーキング装置の特徴は、請求項1において、レーザ発振器から出力されるレーザ光のビーム径をwとし、第1ガルバノスキャナの鏡に対するレーザ光の基準入射角度をαとし、第1ガルバノスキャナの鏡の最大回転角度をθとし、第1ガルバノスキャナの鏡上における反射光の断面について第1ガルバノスキャナのスキャナ回転軸に対して直交する方向の寸法をaとし、スキャナ回転軸の軸方向に沿う方向の寸法をbとしたときに、第1ガルバノスキャナの鏡の寸法を、a=w/sin(α±θ)、b=w、を満足するように形成し、第1ガルバノスキャナのスキャナ回転軸の基準面に対するレーザ光の光軸回りの傾き角度をψとし、第2ガルバノスキャナの鏡に対するレーザ光の基準入射角度をβ(β=(90−ψ)/2)とし、第2ガルバノスキャナの鏡の最大回転角度をθ’とし、第1ガルバノスキャナの鏡と第2ガルバノスキャナの鏡との鏡間距離をLとし、第2ガルバノスキャナの鏡上における反射光の断面について第2ガルバノスキャナのスキャナ回転軸に対して直交する方向の寸法をa’とし、スキャナ回転軸の軸方向に沿う方向の寸法をb’としたときに、第2ガルバノスキャナの鏡の寸法を、a’=w/sin(β±θ’)=w/sin{(90+ψ)/2±θ’}、b’=2(Ltan2θ+(w/2)/cos2θ)、を満足するように形成した点にある。そして、このような構成を採用したことにより、第1および第2ガルバノスキャナのそれぞれの鏡の面積の最小化を容易かつ確実に図ることができる。
【0014】
また、請求項3に係る本発明のレーザマーキング装置の特徴は、請求項2において、第1および第2ガルバノスキャナの鏡のそれぞれの最大回転角度を同一とした点にある。そして、このような構成を採用したことにより、レーザ光の走査範囲をほぼ正方形形状にすることができるとともに、第1および第2ガルバノスキャナのそれぞれの鏡を、同一速度で高速駆動できる。
【0015】
また、請求項4に係る本発明のレーザマーキング装置の特徴は、請求項1ないし請求項3のいずれか1項において、第1ガルバノスキャナの鏡と第2ガルバノスキャナの鏡との形状を相互に異形状とし、かつ、それぞれの慣性モーメントを同一に形成した点にある。そして、このような構成を採用したことにより、第2ガルバノスキャナの鏡の面積の最小化による慣性モーメントの低減と、第1および第2ガルバノスキャナのそれぞれの鏡の慣性モーメントの同一化とができるので、第1および第2ガルバノスキャナのそれぞれの鏡を高速駆動できる。したがって、マーキング速度の高速化を容易に図ることができる。
【0016】
また、請求項5に係る本発明のレーザマーキング装置の特徴は、請求項4において、第1および第2ガルバノスキャナのそれぞれのスキャナ回転軸と鏡とを連結するミラーホルダを同一とした点にある。そして、このような構成を採用したことにより、第1および第2ガルバノスキャナのそれぞれのスキャナ回転軸に取り付ける可動部分の慣性モーメントの総計を等しくすることができるので、第1および第2ガルバノスキャナのそれぞれの鏡をより高速駆動できるので、マーキング速度のさらなる高速化を容易に図ることができる。さらに、第1および第2ガルバノスキャナのそれぞれのミラーホルダを共通化することができ、しかも、ミラーホルダの駆動を制御する制御手段の共用化を図ることができるので、低コスト化を図ることができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す実施形態により説明する。なお、前述した従来のものと同一構成については図面中に同一の符号を付す。
【0019】
図1から図6は本発明に係るレーザマーキング装置の実施形態を示すものであり、図1は要部の構成を示す模式図、図2はレーザ光の基本光路を示す斜視図、図3はレーザ光と第1ガルバノスキャナの鏡と第2ガルバノスキャナの鏡との関係をレーザ光の出力方向上流側から見て示す側面図、図4はレーザ光と第1ガルバノスキャナの鏡と第2ガルバノスキャナの鏡との関係を図3の4−4線に沿って見て示す補助投影図、図5は第1ガルバノスキャナの鏡とこの鏡に全反射されるレーザ光の大きさとを合わせてスキャナ回転軸を上下方向にして見た状態を示す正面図、図6は第2ガルバノスキャナの鏡とこの鏡に全反射されるレーザ光の大きさとを合わせてスキャナ回転軸を左右方向にして見た状態を示す正面図である。
【0020】
本実施形態のレーザマーキング装置は、第1ガルバノスキャナの鏡にレーザ光が水平に入射するとともに、第1および第2ガルバノスキャナの鏡のそれぞれの最大回転角度を同一としたものを例示している。
【0021】
図1に示すように、本実施形態のレーザマーキング装置11は、レーザ発振器2と、第1ガルバノスキャナ13と、第2ガルバノスキャナ14と、fθレンズ5とを有している。
【0022】
前記第1および第2ガルバノスキャナ13,14は、従来と同様に、鏡(ガルバノミラー)13a,14aと、この鏡13a,14aを回転駆動させるためのスキャナ回転軸13b,14bを具備する本体13c、14cとをそれぞれ有している。さらに、スキャナ回転軸13b,14bと鏡13c,14cとは、それぞれミラーホルダ13d,14dにより連結されている。また、各本体13c,14cは、図示しない制御手段に電気的に接続されており、制御手段から送出される制御指令によってスキャナ回転軸13b,14bを駆動することで、スキャナ回転軸13b,14bの先端部にミラーホルダ13d,14dを介して取り付けた鏡13a,14aをともに所定の速度で駆動(振動)できるようになっている。さらにまた、本実施形態におけるスキャナ回転軸13b,14b、本体13c、14cおよびミラーホルダ13d,14dはそれぞれ同一のものが用いられている。
【0023】
前記第1ガルバノスキャナ13は、図2および図3に示すように、鏡13aとレーザ発振器2から出力されるレーザ光LBとのなす角度を45°とし、鏡13aの最大回転角度(振り角:振動角)をθとして配設されている。つまり、鏡13aに対する入射光たるレーザ光LBの傾きである基準入射角度αが45°となり、鏡13aに対するレーザ光LBの入射角度がα±θ(α±θ=45°±θ°)となるように形成されている。なお、基準入射角度αの値としては、45°に限らず、設計コンセプトなどの必要に応じて、例えば25°,30°,35°,40°などの各種の値から選択することができる。但し、全体として第2ガルバノスキャナ14の鏡14aの面積が最小となるように制御可能な値を用いることが肝要である。
【0024】
また、第1ガルバノスキャナ13のスキャナ回転軸13bは、図2および図3に示すように、レーザ発振器2から出力されるレーザ光LBの光軸を含む基準面に対してレーザ光LBの光軸回りに傾き角度ψをもって傾けて配設されている。すなわち、本実施形態においては、第1ガルバノスキャナ13の鏡13aにレーザ光LBが水平に入射するように構成されているので、本実施形態における傾き角度ψは、図3に示すように、第1ガルバノスキャナ13の鏡13aに入射するレーザ光LBの上流側から見て、レーザ光LBの光軸を含む鉛直平面を基準面として第1ガルバノスキャナ13の鏡13aに入射するレーザ光LBの光軸回りに反時計方向へ回転させた場合の回転角度とされている。つまり、基準面とは、fθレンズ5が配設された平面を水平としたときに、第1ガルバノスキャナ13の鏡13aに入射するレーザ光LBの光軸を含む鉛直平面とされている(図1から図3)。
【0025】
前記第2ガルバノスキャナ14の鏡14aは、図2から図4に示すように、第1ガルバノスキャナ13からの反射光LBAを、鉛直下方に向けて全反射できるように構成されている。すなわち、鏡14aに対する入射光としての反射光LBAの傾きである基準入射角度βが(90−ψ)/2とされており、鏡14aに対するレーザ光LBの入射角度がβ±θ’(β±θ’=((90−ψ)/2)°±θ°)となるように形成されている。また、第1ガルバノスキャナ13の鏡13aとの鏡間距離をLとして配設されている。つまり、鏡13aの中心と鏡14aの中心との間の鏡間距離がLとされている。
【0026】
なお、本実施形態においては、第1および第2ガルバノスキャナの鏡13a,14aのそれぞれの最大回転角度θ,θ’は、同一(θ=θ’)に形成されている。
【0027】
前記第1ガルバノスキャナ13の鏡13aにより反射する反射光LBAの大きさと形状は、
レーザ発振器2から出力されるレーザ光LBのビーム径(直径)をw、
第1ガルバノスキャナ13の鏡13aの最大回転角度をθ、
第1ガルバノスキャナ13の鏡13aに対するレーザ光LBの入射角度をα(α=45°)、
第1ガルバノスキャナ13の鏡13a上における反射光LBAの断面について第1ガルバノスキャナ13のスキャナ回転軸13bに対して直交する方向の寸法をa、
スキャナ回転軸13bの軸方向に沿う方向の寸法をb、
としたときに、
a=w/sin(α±θ) ・・・・(式1)
b=w ・・・・(式2)
となる。
【0028】
すなわち、反射光LBAは、式(1)で示されるaを長径とし、式(2)で示されるbを短径とする楕円領域の内部に位置することになる。
【0029】
この第1ガルバノスキャナ13の鏡13aにより反射する反射光LBAの最大の大きさと形状を図5に斜線楕円領域にて示す。なお、図5は、スキャナ回転軸13bを上下方向にして見た状態を示している。
【0030】
そして、第1ガルバノスキャナ13の鏡13aの大きさは、上記式(1)および式(2)を満足するように形成されている。
【0031】
すなわち、第1ガルバノスキャナ13の鏡13aの寸法は、レーザ発振器2から出力されるレーザ光LBを全反射するのに必要な大きさに形成されている。
【0032】
例えば、w=10mm、θ=0.35rad(20.05°)とした場合の反射光LBAのa寸法の最大値は17.45mmとなり、b寸法の最大値は10.00mmとなる(図5参照)。
【0033】
そこで、実際の鏡13aの製作寸法としては、図5に示すように、反射光LBAの最大の大きさをあわらす斜線楕円領域を囲むように多角形で近似させた形状と寸法に形成される。
【0034】
すなわち、スキャナの組立公差やレーザ光の光軸ずれなどを考慮して、鏡13aのスキャナ回転軸13bに直交する方向の寸法が18.5mmとされ、鏡13aのスキャナ回転軸13bに沿う方向の寸法が12.0mmとされている。また、鏡13aの厚さは例えば2.0mmに形成されている。
【0035】
前記第2ガルバノスキャナ14の鏡14aにより反射する反射光LBBの大きさと形状は、
第1ガルバノスキャナ13のスキャナ回転軸13bの基準面に対する第1ガルバノスキャナ13の鏡13aに入射するレーザ光LBの光軸回りの傾き角度をψ、
第2ガルバノスキャナ14の鏡14aに対するレーザ光LB(LBA)の基準入射角度をβ(β=(90−ψ)/2)、
第2ガルバノスキャナ14の鏡14aの最大回転角度をθ’、
第1ガルバノスキャナ13の鏡13aと第2ガルバノスキャナ14の鏡14aとの鏡間距離をL、
第2ガルバノスキャナ14の鏡14aにおける反射光のLBB断面について第2ガルバノスキャナ14のスキャナ回転軸14bに対して直交する方向の寸法をa’、
スキャナ回転軸14bに沿う方向の寸法をb’、
としたときに、
a’=w/sin(β±θ’)
=w/sin{(90+ψ)/2±θ’} ・・・・(式3)
b’=2(Ltan2θ+(w/2)/cos2θ)・・・・(式4)
となる。
【0036】
そして、式(3)、式(4)から明白なように、第2ガルバノスキャナ14の鏡14aにより反射する反射光LBBの断面の大きさは、ψが90°の時に最小となり、Lが短いと小さくなる(図6参照)。
【0037】
そこで、第2ガルバノスキャナ14の鏡14aの大きさは、上記式(3)、式(4)を満足するように形成されている。
【0038】
すなわち、第2ガルバノスキャナ14の鏡14aの寸法は、第1ガルバノスキャナ13の鏡13aから出力される反射光LBAを全反射するのに必要な最小の大きさに形成されている。
【0039】
例えば、w=10mm、θ’=θ=0.35rad(20.05°)とした場合のψの値は20°とされ、Lは12.5mmとされており、このときの反射光LBBのa’寸法の最大値は14.15mmとなり、b’寸法の最大値は19.77mmとなる。
【0040】
この第2ガルバノスキャナ14の鏡14aにより反射する反射光LBBの大きさと形状を図6に斜線楕円領域にて示す。なお、図6は、スキャナ回転軸14bを左右方向にして見た状態を示している。
【0041】
したがって、実際の鏡14aの製作寸法としては、図6に示すように、反射光LBBの最大の大きさをあわらす斜線楕円領域を囲むように多角形で近似させた形状と寸法に形成される。すなわち、スキャナの組立公差やレーザ光の光軸ずれなどを考慮して、鏡14aのスキャナ回転軸14bに直交する方向の寸法a’が15.0mmとされ、鏡14aのスキャナ回転軸14bに沿う方向の寸法b’が22.5mmとされている。また、鏡14aの厚さは例えば2.0mmに形成されている。
【0042】
以上のように、本実施形態においては、第1ガルバノスキャナ13のスキャナ回転軸13bを、基準面に対して第1ガルバノスキャナ13の鏡13aに入射するレーザ光LBの光軸回りに傾けて配設し、第2ガルバノスキャナ14のスキャナ回転軸14bを第1ガルバノスキャナ13の鏡に入射するレーザ光LBの光軸と平行に配設するとともに、第1ガルバノスキャナ13のスキャナ回転軸13bの傾き角度ψと、第1ガルバノスキャナ13の鏡13aと第2ガルバノスキャナ14の鏡14aとの鏡間距離Lとに基づいて、鏡13a,14aを形成することにより、第1および第2ガルバノスキャナ13,14のそれぞれの鏡13a,14aの大きさの最小化が図られている。
【0043】
また、前記式(1),式(2),式(3),式(4)を用いることにより、第1および第2ガルバノスキャナ13,14のそれぞれの鏡13a,14aの面積の最小化を容易かつ確実に図ることができるようにされている。
【0044】
さらにまた、本実施形態においては、前記第1ガルバノスキャナ13の鏡13aの慣性モーメントとミラーホルダ13bの慣性モーメントを加えた慣性モーメントの総計が、第2ガルバノスキャナ14の鏡14aの慣性モーメントとミラーホルダ14bの慣性モーメントを加えた慣性モーメントの総計と等しくなるように形成されている。
【0045】
すなわち、本実施形態においては、ミラーホルダ13bとミラーホルダ14bとが同一とされており、さらに第1ガルバノスキャナ13の鏡13aの慣性モーメントと、第2ガルバノスキャナ14の鏡14aの慣性モーメントとが同一になるように、それぞれの鏡13a,14aの寸法が設定されている。
【0046】
例えば、本実施形態においては、前記第1ガルバノスキャナ13の鏡13a(18.5mm×12.0mm×2.0mm)と、前記第2ガルバノスキャナ14の鏡14a(15.0mm×22.5mm×2.0mm)の厚さを両者ともに同一(2.0mm)としてあるので、慣性モーメントの小さい第1ガルバノスキャナ13の鏡13aのスキャナ回転軸13bに沿う方向の寸法を12.0mmから13.5mmに大きくすることにより、両鏡13a,14aの慣性モーメントを等しくしている。
【0047】
すなわち、第1ガルバノスキャナ13の鏡13aと第2ガルバノスキャナ14の鏡14aとの形状を相互に異形状とし、かつ、それぞれの慣性モーメントが同一に形成されている。
【0048】
なお、両鏡13a,14aの慣性モーメントを同一とする手法としては、両鏡13a、14の厚さを調整することにより行うこともできる。
【0049】
つぎに、前述した構成からなる本実施形態の作用について説明する。
【0050】
本実施形態のレーザマーキング装置11によれば、図2に示すように、レーザ発振器2から出力されたレーザ光LBは、第1ガルバノスキャナ13の鏡13aによって全反射する。この時、鏡13aは、レーザ発振器2から出力されるレーザ光LBとのなす角度である基準入射角度αを45°とし、鏡13aの最大回転角度をθとして配設されているので、第1ガルバノスキャナ13の鏡13aに対するレーザ光LBの入射角度はα±θ(α±θ=45°±θ°)となる。そして、レーザ光LBは、レーザ光LBの光路上に配設された第1ガルバノスキャナ13の鏡13aによって、レーザ発振器2から出力されるレーザ光LBの光路に対して直交する方向に全反射されるとともに、鏡13aによって全反射した反射光LBAは、鏡13aの回転角θに対して偏光角2θをもって走査される。また、第1ガルバノスキャナ13のスキャナ回転軸13bは、基準面に対して第1ガルバノスキャナ13の鏡13aに入射するレーザ光LBの光軸回りに傾き角度ψをもって傾けて配設されているので、反射光LBAは、レーザ光LBを含む水平面に対して傾き角度ψをもって反射光LBAの光路の角度が変わる。すなわち、鏡13aによって全反射した反射光LBAは、レーザ光LBの光路と反射光LBAとを含む平面上において直交する。
【0051】
つぎに、第1ガルバノスキャナ13の鏡13aによって全反射した反射光LBAは、第2ガルバノスキャナ14の鏡14aによって全反射する。この時、第2ガルバノスキャナ14の鏡14aに対する反射光LBAの入射角度は、(90−ψ)/2±θとなる。そして、鏡14aによって全反射した反射光LBBは、反射光LBAの光路を含む垂直平面上において鉛直下方に向けて全反射されるとともに、偏光角2θ’をもって走査される。
【0052】
そして、第2ガルバノスキャナ14の鏡14aによって全反射した反射光LBBは、fθレンズ5によって集光され、加工対象物6の表面のどの位置でも焦点距離が同じになるようにして、加工対象物6の表面に、走査範囲がほぼ正方形形状となるように到達し、所定のマーキングを行うことができるようになっている。
【0053】
このように、本実施形態のレーザマーキング装置11によれば、第1ガルバノスキャナ13のスキャナ回転軸13bの傾き角度ψと、第1ガルバノスキャナ13の鏡13aと第2ガルバノスキャナ14の鏡14aとの間の鏡間距離Lとに基づいて、第2ガルバノスキャナ14の鏡14aの面積を最小となるように形成したので、第1ガルバノスキャナ13のスキャナ回転軸13bを基準面に対して第1ガルバノスキャナ13の鏡13aに入射するレーザ光LBの光軸回りに傾け、更に第2ガルバノスキャナ14のスキャナ回転軸14bを第1ガルバノスキャナ13の鏡に入射するレーザ光LBの光軸と平行に配設することで、第2ガルバノスキャナ14の鏡14aの面積を従来より最小化することができる。したがって、第2ガルバノスキャナ14の鏡14aの慣性モーメントを低減することができ、第1および第2のガルバノスキャナ13,14のそれぞれの鏡13a,14aを高速で駆動することができるので、マーキング速度の高速化を容易に図ることができる。
【0054】
なお、本実施形態のレーザマーキング装置11によるマーキング速度は、レーザ光LBによるマーキング品質を同一として、従来のレーザマーキング装置1によるマーキング速度の1.5倍程度となることが実際のマーキング実験により確認できた。
【0055】
また、本実施形態のレーザマーキング装置11によれば、第1ガルバノスキャナ13の鏡13aを前記式(1)および式(2)を満足するように形成し、第2ガルバノスキャナ14の鏡14aを前記式(3)および式(4)を満足するように形成したので、第1および第2ガルバノスキャナ13,14のそれぞれの鏡13a,14aの面積の最小化を容易かつ確実に図ることができる。
【0056】
さらに、本実施形態のレーザマーキング装置11によれば、第1および第2ガルバノスキャナ13,14の鏡13a,14aのそれぞれの最大回転角度θ,θ’を同一(θ=θ’)としたので、加工対象物6の表面に対するレーザ光LBの走査範囲をほぼ正方形形状にすることができるとともに、第1および第2ガルバノスキャナ13,14のそれぞれの鏡13a,14aを、同一速度で高速駆動できる。
【0057】
さらにまた、本実施形態のレーザマーキング装置11によれば、第1ガルバノスキャナ13のスキャナ回転軸13bを基準面に対して第1ガルバノスキャナ13の鏡13aに入射するレーザ光LBの光軸回りに傾けて配設し、第2ガルバノスキャナ14のスキャナ回転軸14bを第1ガルバノスキャナ13の鏡に入射するレーザ光LBの光軸と平行に配設するとともに、第1ガルバノスキャナ13の傾き角度ψと、第1ガルバノスキャナ13の鏡13aと第2ガルバノスキャナ14の鏡14aとの鏡間距離Lとに基づいて、第2ガルバノスキャナの鏡の面積を最小となるように形成し、さらに、第1ガルバノスキャナ13の鏡13aと、第2ガルバノスキャナ14の鏡14aとの相互の形状を異形状とし、かつ、それぞれの慣性モーメントを同一に形成したので、第2ガルバノスキャナ14の鏡14aの面積の最小化による慣性モーメントの低減と、第1および第2ガルバノスキャナ13,14のそれぞれの鏡13a,14aの慣性モーメントの同一化とができ、第1および第2ガルバノスキャナ13,14のそれぞれの鏡13a,14aを同じ速さでより高速駆動できる。したがって、マーキング速度の高速化を容易に図ることができる。
【0058】
またさらに、本実施形態のレーザマーキング装置11によれば、第1および第2ガルバノスキャナ13,14のそれぞれのミラーホルダ13d,14dを同一としたので、第1および第2ガルバノスキャナ13,14のそれぞれのスキャナ回転軸13b,14bに取り付ける可動部分の慣性モーメントの総計を等しくすることができる。その結果、第1および第2ガルバノスキャナ13,14のそれぞれの鏡13a,14aをより高速駆動できるので、マーキング速度のさらなる高速化を容易に図ることができる。さらに、第1および第2ガルバノスキャナ13,14のそれぞれのミラーホルダ13d,14dを共通化することができ、しかも、ミラーホルダ13d,14dの駆動を制御する制御手段の共用化を図ることができるので、低コスト化を図ることができる。
【0060】
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々変更することができ、マーキングのみならず溶接用レーザ装置などに本発明のスキャニングヘッドを適用することも可能である。
【0061】
【発明の効果】
以上説明したように請求項1に係る本発明のレーザマーキング装置によれば、第1ガルバノスキャナのスキャナ回転軸を基準面に対して第1ガルバノスキャナの鏡に入射するレーザ光の光軸回りに傾け、更に第2ガルバノスキャナのスキャナ回転軸を第1ガルバノスキャナの鏡に入射するレーザ光の光軸と平行に配設することで、第2ガルバノスキャナの鏡の面積を従来より最小化することができる。したがって、第2ガルバノスキャナの鏡の慣性モーメントを従来より低減することができ、第1および第2のガルバノスキャナのそれぞれの鏡を従来より高速で駆動することができるので、マーキング速度の高速化を容易に図ることができるなどの極めて優れた効果を奏する。
【0062】
また、請求項2に係る本発明のレーザマーキング装置によれば、第1および第2ガルバノスキャナのそれぞれの鏡の面積の最小化を容易かつ確実に図ることができるなどの極めて優れた効果を奏する。
【0063】
また、請求項3に係る本発明のレーザマーキング装置によれば、レーザ光の走査範囲をほぼ正方形形状にすることができるとともに、第1および第2ガルバノスキャナのそれぞれの鏡を、同一速度で高速駆動できるなどの極めて優れた効果を奏する。
【0064】
また、請求項4に係る本発明のレーザマーキング装置によれば、第2ガルバノスキャナの鏡の面積の最小化による慣性モーメントの低減と、第1および第2ガルバノスキャナのそれぞれの鏡の慣性モーメントの同一化とができるので、第1および第2ガルバノスキャナのそれぞれの鏡を高速駆動できる。したがって、マーキング速度の高速化を容易に図ることができるなどの極めて優れた効果を奏する。
【0065】
また、請求項5に係る本発明のレーザマーキング装置によれば、第1および第2ガルバノスキャナのそれぞれのスキャナ回転軸に取り付ける可動部分の慣性モーメントの総計を等しくすることができるので、第1および第2ガルバノスキャナのそれぞれの鏡をより高速駆動できるので、マーキング速度のさらなる高速化を容易に図ることができる。さらに、第1および第2ガルバノスキャナのそれぞれのミラーホルダを共通化することができ、しかも、ミラーホルダの駆動を制御する制御手段の共用化を図ることができるので、低コスト化を図ることができるなどの極めて優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係るレーザマーキング装置の実施形態の要部の構成を示す模式図
【図2】 本発明に係るレーザマーキング装置の実施形態におけるレーザ光の基本光路を示す斜視図
【図3】 本発明に係るレーザマーキング装置の実施形態におけるレーザ光と第1ガルバノスキャナの鏡と第2ガルバノスキャナの鏡との関係をレーザ光の出力方向上流側から見て示す側面図
【図4】 本発明に係るレーザマーキング装置の実施形態におけるレーザ光と第1ガルバノスキャナの鏡と第2ガルバノスキャナの鏡との関係を図3の4−4線に沿って見て示す補助投影図
【図5】 本発明に係るレーザマーキング装置の実施形態における第1ガルバノスキャナの鏡とこの鏡に全反射されるレーザ光の大きさとを合わせてスキャナ回転軸を上下方向にして見た状態を示す正面図
【図6】 本発明に係るレーザマーキング装置の実施形態における第2ガルバノスキャナの鏡とこの鏡に全反射されるレーザ光の大きさとを合わせてスキャナ回転軸を左右方向にして見た状態を示す正面図
【図7】 従来のレーザマーキング装置の要部の構成を示す模式図
【図8】 従来のレーザマーキング装置におけるレーザ光の基本光路を示す斜視図
【符号の説明】
2 レーザ発振器
5 fθレンズ
6 加工対象物
13 第1ガルバノスキャナ
13a (第1ガルバノスキャナの)鏡
13b (第1ガルバノスキャナの)スキャナ軸
13c (第1ガルバノスキャナの)本体
13d (第1ガルバノスキャナの)ミラーホルダ
14 第2ガルバノスキャナ
14a (第2ガルバノスキャナの)鏡
14b (第2ガルバノスキャナの)スキャナ軸
14c (第2ガルバノスキャナの)本体
14d (第2ガルバノスキャナの)ミラーホルダ
LB レーザ光
LBA (第1ガルバノスキャナの鏡に全反射されたレーザ光の)反射光
LBB (第2ガルバノスキャナの鏡に全反射されたレーザ光の)反射光
α (第1ガルバノスキャナの鏡に対するレーザ光の)基準入射角度
β (第2ガルバノスキャナの鏡に対するレーザ光の)基準入射角度
θ、θ’最大回転角度
ψ 傾き角度
L 鏡間距離
a、a’ (スキャナ回転軸に対して直交する方向の鏡の)寸法
b、b’ (スキャナ回転軸の軸方向に沿う方向の鏡の)寸法
Claims (5)
- レーザ発振器から出力されるレーザ光が鏡面に対して傾けて入射される第1ガルバノスキャナと、この第1ガルバノスキャナからの反射光が鏡面に対して傾けて入射される第2ガルバノスキャナと、第2ガルバノスキャナの鏡によって反射されたレーザ光を加工面の所定位置に集光するfθレンズと、を有し、レーザ光を加工対象物の表面に沿って相互にほぼ直交する縦・横の2方向に走査して加工面にマーキングを施すレーザマーキング装置において、
前記fθレンズが配設された平面を水平としたときに、前記第1ガルバノスキャナの鏡に入射するレーザ光の光軸を含む鉛直平面を基準面とし、
前記第1ガルバノスキャナのスキャナ回転軸を、前記基準面に対して第1ガルバノスキャナの鏡に入射するレーザ光の光軸回りに傾けて配設し、
前記第2ガルバノスキャナのスキャナ回転軸を、前記第1ガルバノスキャナの鏡に入射するレーザ光の光軸と平行に配設するとともに、
前記第1ガルバノスキャナのスキャナ回転軸の傾き角度と、前記第1ガルバノスキャナの鏡と前記第2ガルバノスキャナの鏡との鏡間距離とに基づいて、前記第2ガルバノスキャナの鏡の面積を最小となるように形成したことを特徴とするレーザマーキング装置。 - 前記レーザ発振器から出力されるレーザ光のビーム径をwとし、前記第1ガルバノスキャナの鏡に対するレーザ光の基準入射角度をαとし、前記第1ガルバノスキャナの鏡の最大回転角度をθとし、前記第1ガルバノスキャナの鏡上における反射光の断面について前記第1ガルバノスキャナのスキャナ回転軸に対して直交する方向の寸法をaとし、スキャナ回転軸の軸方向に沿う方向の寸法をbとしたときに、
前記第1ガルバノスキャナの鏡の寸法を、
a=w/sin(α±θ)、
b=w、
を満足するように形成し、
前記第1ガルバノスキャナのスキャナ回転軸の前記基準面に対する傾き角度をψとし、前記第2ガルバノスキャナの鏡に対するレーザ光の基準入射角度をβ(β=(90−ψ)/2)とし、前記第2ガルバノスキャナの鏡の最大回転角度をθ’とし、前記第1ガルバノスキャナの鏡と前記第2ガルバノスキャナの鏡との鏡間距離をLとし、前記第2ガルバノスキャナの鏡上における反射光の断面について前記第2ガルバノスキャナのスキャナ回転軸に対して直交する方向の寸法をa’とし、スキャナ回転軸の軸方向に沿う方向の寸法をb’としたときに、
前記第2ガルバノスキャナの鏡の寸法を、
a’=w/sin(β±θ’)=w/sin((90+ψ)/2±θ’)、
b’=2(Ltan2θ+(w/2)/cos2θ)、
を満足するように形成したことを特徴とする請求項1に記載のレーザマーキング装置。 - 前記第1および第2ガルバノスキャナの鏡のそれぞれの最大回転角度を同一としたことを特徴とする請求項2に記載のレーザマーキング装置。
- 前記第1ガルバノスキャナの鏡と、前記第2ガルバノスキャナの鏡との相互の形状を異形状とし、かつ、それぞれの慣性モーメントを同一に形成したことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のレーザマーキング装置。
- 前記第1および第2ガルバノスキャナのそれぞれのスキャナ回転軸と鏡とを連結するミラーホルダを同一としたことを特徴とする請求項4に記載のレーザマーキング装置。
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