CN1318176C - 一种利用激光进行加工的方法 - Google Patents

Abstract

在对大直径进行加工时可以自由地转换成快速用的X-Y电流式扫描器用具，从而可以高效、经济地对被加工物体进行加工。一种利用激光进行加工的方法，该方法包括如下工序：从激光振荡器发射激光束的激光发射工序、通过激光束调整手段调整上述激光束直径的束径调整工序、在被配设在机框上的大或小的扫描器用具内通过扫描器用具移动用驱动手段将最合适的扫描器用具的某一个转换到在束径调整工序中所调整的束径上的扫描器用具转换工序。

Description

一种利用激光进行加工的方法

技术领域

本发明涉及一种利用激光进行加工的方法。

背景技术

过去，为了分别在设置在工作台上的被加工物体(例如印刷电路板)上加工成极小直径的孔或者大直径孔，一般在激光加工机上的工作台的上方通过机框装载具有一个X-Y电流式扫描器用具的电流式反射镜装置。

下面，参考图14说明有关利用掩模7、7A分别被掩模时的加工直径f₁、f₂的情况。一般来说在加工面上待加工的孔径f₁、f₂是变小或者是变大，取决于选择的是小掩模还是大掩模以及投影原理。

也就是说，图14上方的原理图表示可变光阑用孔是小的掩模(这里称小掩模)的情况。此时，当激光束a一通过可变光阑孔10a后，光束的形状逐渐变大并呈喇叭状，在f-θ透镜20之前，即通过大电流式扫描器用具26之前缩小光束c1是大直径e1。这样，通过f-θ透镜20的缩小光束c1加工出来的孔便为小加工孔f₁。

与之相反，图14下方的原理图表示可变光阑用孔是大的掩模(这里称大掩模)时的情况。此时，当激光束a一通过可变光阑孔10b后，激光束大致以某一直径继续延伸，在通过f-θ透镜20前面的小电流式扫描器用具27之前，缩小光束的直径为小直径e2，这样，通过f-θ透镜20的缩小光束c2所加工的便为大加工孔f₂。

下面，进一步说明有关上述缩小光束c1、c2的直径e1、e2与大小电流式反射镜扫描器用具26、27的关系。

首先，当缩小光束的直径e1为大直径时，与其相对应的是也采用两片中大的那个电流式反射镜。因而，作为使电流式反射镜左右回动的驱动部的电流计的速度便会减慢。

接着，当缩小光束直径e2为小直径时，与之相对应的是采用了两片小的电流式反射镜。因此，作为使电流式反射镜左右回转的驱动部的电流计的速度通常要变快。

因此，过去在通过设置在机框上的备有一个X-Y电流式扫描器用具的电流式反射镜装置将用掩模所调整的激光束聚焦在f-θ透镜上对被加工物体进行照射加工的场合，当对进入到电流式反射镜装置上的激光束的直径由大直径向小直径进行调整时，由于不得不按原样使用的两片电流式反射镜，所以存在着无法提高加工速度的缺点。

也就是说，处于传统技术中的加工方法，由于驱动部(电流计)针对电流式反射镜的大小采用了所规定的电流式反射镜，所以加工速度常保持一定。特别是当加工物体的加工直径由极小直径f₁(缩小光束c1的直径大)被转换成大直径f₂(缩小光束c2的直径e2小)时，仍需照原样采用大电流式反射镜及其驱动部进行加工。

因此，传统的加工方法存在既费时，又不经济的缺点(当被加工物体需要加工大直径孔时，其前提是保证为了提高驱动部的速度而即使是小一些也要使用小X-Y电流反射镜)。

因此，当在需要对掩模缩小光束束径进行变更时，能够提高被加工物体的加工效率是利用激光进行加工所期望的一种方法。此外，为了便于说明，图14中采用的符号与本发明的实施例中的相同部分完全相同。

发明内容

鉴于上述传统技术中所存在的不足，本发明的目的之一在于：在激光束调整工序中调整由激光振荡器所发出的激光束之直径便可以十分方便地将大小适合的扫描器用具应用在其被调整过的激光束直径上，这样便可十分有效地、经济地对被加工物体进行加工。特别在本发明中，当扫描器用具采用了X-Y电流式扫描器用具时，由于f-θ透镜的价格十分昂贵，所以采用一个f-θ透镜，并以这个f-θ透镜为基准便可快速地按一个装置对大·小电流式扫描器用具进行转换。此外，合理地对扫描器用具移动用驱动手段进行结构设置是本发明的另外一个目的。

利用本发明的激光进行加工的方法，该方法包括如下工序：自激光振荡器发射激光束的激光发射工序，通过光束调整手段调整上述激光束直径的束径调整工序，利用扫描器用具移动用驱动手段把配设在机框上的大·小扫描器用具内最适合的那个扫描器用具转换到已由束径调整工序调整的束径上的扫描器用具转换工序。

在上述结构中，扫描器用具是一种电流式扫描器用具，该电流式扫描器用具被设置在沿水平导轨移动的可动扫描基座上。此外电流式扫描器用具还被设置在回转可动的扫描基座上。

在上述构成中，利用激光进行加工的方法是一种利用照射在被加工物上激光加工方法，把由激光振荡器所发出的激光束直径通过掩模调整使调整后的缩小光束用装备有大·小X-Y电流式扫描器用具的电流式反射镜装置将调整后的缩小光束分开，并由f-θ透镜将分开后的缩小光束进行聚焦并照射在被加工物体上，上述电流式扫描器用具25的大·小X-Y电流式扫描器用具26、27分别设置在多个可动的扫描基座上，且对应由上述掩模7所调整的缩小光束的直径选择地使用分配给加工大直径用的X-Y电流式扫描器用具26或者加工小直径用的电流式扫描器用具27中的任意一个。

附图说明

图1是本发明的工程图。

图3表示应用在本发明中的各个装置配置方式一应用例的简要说明图。

图4表示在束直径调整工序中所采用的掩模的简要说明图。

图5表示在扫描器用具转换工序中所采用的电流式反射镜装置的简要说明图。

图6表示以图5为基准的左侧面的简要说明图。

图7表示电流式反射镜装置主要部分一例的简要分解说明图。

图8表示与图7一样的第1实施例(电流式反射镜装置)的设计变更例的简要说明图。

图9表示装置的第2实施例并与图6一样的简要说明图。

图10表示在图9中从平面用斜线表示电流式反射镜扫描器用具位置的说明图。

图11表示装置的第2实施例主要部分的简要分解说明图。

图12表示装置的第3实施例主要部分的简要分解说明图。

图13表示装置的第4实施例的简要说明图。

图14是指出传统技术中问题用的原理图。

具体实施方式

图1分别简要地表示了利用采用了装置的第1实施例的电流扫描镜装置的激光对被加工物体进行加工的一种方法的各个工序图。此外，图2表示为更清楚说明其主要部分所采用的说明图。图3则表示被应用在本发明的装置配置状况的简要说明图。下面依照顺序说明工序。

首先A表示由激光振荡器发射激光束的激光发射工序(工序)。也就是说，激光振荡器(以下为说明方便称为振荡器)1是向多个反射镜2、3发射激光束a的激光发射工序。

振荡器1在这里包括未示出的激光头(图中略)和控制部。一般来说振荡器1的种类有二氧化碳激光器、YAG激光器、激光态复合物激光器及TEA二氧化碳激光器等，这里则采用普通的二氧化碳激光器。另外，激光的种类可以是脉冲波形或者连续波的任意一种。依据掩模的电流式反射镜装置所配置的不同位置确定反射镜2、3。本实施例中，按反射面与激光束a的光轴成45°角分别具有的规定的间隔进行配设。这里，把由反射镜2、3反射的光束称为“反射束b”。

接着，B是利用激光束调整手段对由振荡器1输出的上述激光束a的直径进行调整的束径(激光束直径)调整工序。该束径调整工序B包括有在本实施例中的束径缩小工序和缩小光束反射工序，是构成束径调整工序B的束径缩小工序与缩小光束反射工序的组合的一例。

接着详细介绍一下该组合。首先，束径缩小工序通过激光可变光阑装置7对由振荡器1发射的激光束(含反射束b)a的直径进行某种程度的截取调整通过中的束径。利用该束径缩小工序，激光束a通过激光可变光阑装置(一般称为掩模)7有选择地对其束径进行缩小。

这里参考图4说明有关激光可变光阑装置7，即掩模的结构。8是由计算机的主控制部控制的驱动部，9是被安装驱动部的前端且沿周向具有多个窗口9a、9b的掩模架，10是安装在穿过掩模架9的中心孔的上述驱动部8的驱动轴8a伸出的前端部上且支承在该掩模架9的前面并可回转的圆板形的掩模板。

掩模板10沿圆周方向设置有与掩模架9的各窗口9a、9b相对应的多个可变光阑用孔10a、10b。可变光阑用孔10a、10b共配设有多个(如16个)，例如可沿反时针方向其直径依次减小的孔。

因此，当由振荡器1发射出的激光束a一旦通过掩模架9所选择的可变光阑用孔10a、10b…的某一个时，其余的部分被遮断，变成“缩小光束c”。

接着，缩小光束反射工序将经掩模7缩小的缩小光束c通过第2反射镜11、12反射到被装载在机框上的一个电流式反射镜25的方向上。在该缩小光束反射工序中也有采用两片第2反射镜11、12。该第2反射镜11、12与第1反射镜2、3一样按照所具有的间隔分别设置，以使其反射面相对缩小光束c的光轴成45°角。

第2反射镜11、12也需要随掩模7和电流装置的位置如何设置而确定，在本实施例中，如图6所示，至少一片第2反射镜11、12被配设在机框上，并将形成在机框17上壁38上的通过光路接受孔39的缩小光束c引向到大·小的X-Y电流式扫描器用具的方向上。

接着，C是利用扫描器用具移动用驱动手段将最合适配设在机框17上的大·小的扫描器用具内的那个扫描器用具转换到在束径调整工序B中所调整过的束径c上的扫描器用具的转换工序。

也就是说，扫描器用具转换工序C是一种下述的电流式扫描器用具的转换工序：在束径调整工序B中，为了将被加工物体的加工直径变大或变小将缩小光束c调整为不同的直径时，对应于该缩小光束c的直径将构成电流式反射镜装置25的大·小X-Y电流式扫描器用具26、27内、最合适于该束径的扫描器用具26(或27)通过沿引导部件(导轨)移动的一个可动扫描基座借助于驱动马达的驱动力将“快速地使用分配一套装置”。

这里，参考图5-图7说明有关应用在本方法的发明中的电流式反射镜(加工)装置25的一应用例(装置的第1实施例)。

一般来说，电流式反射镜装置25是构成激光加工机X的主要部分。也就是说，在如图5所示的激光加工机X上，为了分别在被设置在工作台15上面的被加工物体16上形成极小直径的孔或者大直径孔，则通过位于工作台15上方的较大的机框17安装着电流式反射镜装置25。此外，作为被加工物体的一实施例可以列举电子应用机械仪器的印刷电路板。

正如前面所述那样，17是机框。18是机框17的水平基板，在该水平基板18靠近左端部处开有光路用的大直径孔19。20是一个将激光束(缩小光束)C聚焦在位于工作台15上的被加工物体16表面的f-θ透镜20，该f-θ透镜20通过固定手段固定在例如水平基板18的下面以使其对准上述光路用大直径孔19。

另一方面，21是一对如图7中所示的被平行固定在水平基板18上面的导向部件，在本实施例中是一对平行·水平的导轨，在该导向部件21上通过板形的可动扫描基座22左右配设着大·小X-Y电流式扫描器用具26、27。可动扫描基座22的下面设置有沿导向部件21上滑动的左右一对端面为槽形形状的配合部23、23。

而且，该扫描器用具26、27在本实施例中，被区分成下述两种情况：应用在上述缩小光束c的直径小而被加工物体16的加工直径大时的大直径用X-Y电流式扫描器用具26，和应用在缩小光束c的直径大而被加工物体16的加工直径小时的小直径用的X-Y电流式扫描器用具27。

X-Y电流式扫描器用具26、27各自结构要件本身是公知的。一般来说X-Y电流式扫描器用具26、27均采用X和Y用的驱动部28、29分别独立的使两片反射镜26a、26b、27a、27b旋转从而将缩小光束c分开被连续地照射在f-θ镜20上。

然而，在本实施例中，上述驱动部28、29及两片反射镜26a、26b、27a、27b分别被保持在固定设置在可动扫描基座22上面的一对扫描架30、31上。不管这些扫描架30、31的形态如何，但是由于一个可动扫描基座22依据扫描器用具的移动驱动手段35的驱动力沿导轨部件滑动，所以在可动扫描基座22的水平移动方向，即图5中所示的左右方向的直线上设置有一对扫描架。

下面将说明扫描架30、31的形状。30a、31a是垂直方向的垂直固定壁，30b、31b是自垂直固定壁开始倾斜并向左侧方向延射的Y扫描用倾斜支承部，30c、31c是自Y扫描用倾斜支承部开始向下方垂直的X扫描用支承部。另外，在可动扫描基座22的某个位置形成有激光束通过窗24。

不过，在对应于缩小光束c的直径分别使用上述的一对扫描架30、31时，通过导向部件21使可动扫描基座22沿着水平方向滑动。因而，在本实施例中，上述水平基板18呈较长的板状，在该长板状的水平基板18右端面上设置有作为扫描器用具移动驱动手段35的驱动马达35和减速机构。并且，在该驱动马达35上直接或间接地设置着水平螺杆36。

而且，水平螺杆36与突出形成在可动扫描基座22上的螺栓配合部37通过螺纹配合在一起，所以可动扫描基座22在驱动马达35的驱动下通过导向部件21向左右方向滑动。

另外，由于经掩模7缩小的缩小光束c通过被配设在机框17上方的第2反射镜11、12引导给机框17内的X-Y电流式扫描器用具26、27，所以在机框17上壁的适当位置形成有光路用的接受孔39。另外，有关电流控制电路、电流计驱动电路等的具体结构此处省略。

D是用f-θ透镜20将经分别使用的X-Y电流式扫描器用具26(27)的反射镜反射的缩小光束c进行聚焦并将最后的加工束α垂直连续照射在被加工物体16的加工位置处的被加工物加工工序。

f-θ透镜20被水平固定在机框17的水平基板18上。正如前面所说的那样，由于f-θ透镜20价格昂贵，故在本实施例中只采用了一个。因此，以一个f-θ透镜20为基准而分别使用大·小X-Y电流式扫描器用具26、27。

X-Y电流式扫描器用具26、27的扫描作用是使缩小光束c偏向，经偏向后的缩小光束c通过作为合焦用的透镜的f-θ透镜20后最后成为加工用的激光束。

因此，在本发明中，当设定大直径用的X-Y电流式扫描器用具26时，缩小光束c的直径为小直径，而被加工物体16的加工直径则为大直径。反之，在设置小直径用的X-Y电流式扫描器用具27时，缩小光束c的直径为大直径，被加工物体16的加工直径则为小直径。

此外，工作台15通过激光加工机X的多个驱动源(驱动马达，图中略)的驱动力分别垂直地沿水平方向移动，因此，被固定设置在工作台15上的被加工物体16在沿左右(X轴方向)·前后(Y轴方向)移动的同时利用电流式反射镜装置25的激光束进行加工(打孔)。

实施例

本发明的宗旨在于，提供一种由下列各工序组成的利用激光进行加工的方法：该方法包括如下工序：自激光振荡器发射激光束的激光发射工序，通过光束调整手段调整上述激光束直径的束径调整工序，利用扫描器用具移动用驱动手段把配设在机框上的大·小扫描器用具内的那个最合适的扫描器用具转换到已由束径调整工序调整的束径上的扫描器用具转换工序。

因此，有关本发明的电流式反射镜装置25的具体结构组成并不是对权利要求书内容的特别限定。对于本发明之方法应该说只要包括如下三个工序即可，也就是利用激光振荡器而发射激光的发射工序A、束直径的调整工序B和根据调整后的激光束直径利用扫描器用具移动用驱动手段对大扫描器用具和小扫描器用具中的任意一个进行最佳转换的扫描器用具的转换工序C。

在本栏中，本技术领域的普通技术人员有可能避开本发明的内容而变更电流式反射镜装置25的具体结构的某部分，所以可以列举出在发明的实施状态下所说明的电流式反射镜装置25(这里为了便于说明而选择了装置的第1实施例)的设计变更例或者其它的实施例。

另外，当对设计变更例或者其它的实施例进行说明时，对于与装置的第1实施例相同结构的部分附以同一符号或相似的符号而略去重复的说明。

图8是装置的第1实施例的设计变更例。与表示了第1实施例的图7作对比便可清楚地知道，在第1实施例中，虽在水平基座板18上设置有2根导轨21，但在该设计变更例中导轨21却只有一根。

因此，为使电流式反射镜装置能够在一根导轨21上滑动，其中的一个可动的扫描器基座22A采用了“悬壁式”。所以，可动式扫描器基座22A的宽度较窄，因而并未形成激光束通过窗24和另外的配合部23。在这一点上电流式反射镜装置25A是一种简单的结构。此外，除了包含第1实施例的结构以外，也可采用：(1)以大·小X-Y电流式扫描器用具26A、27A同时移动为前提提供电流式反射镜装置25A的具体结构的复杂程度，(2)通过驱动f-θ透镜的驱动手段的驱动力使其水平移动的结构。

图9至图11表示与装置的第1实施例相对应的第2实施例。如果选用该第2实施例的电流式反射镜装置25B也可以实现本发明之目的。因此，就第2实施例的电流式反射镜装置25B进行说明。

电流式反射镜装置25B与电流式反射镜装置25的主要不同点在于：可动扫描基座22B在被设置在带有光路径用孔19的机框17的水平基座板18上的环状水平导轨21B上沿圆周方向进行旋转移动。

因此，为了能够环绕在光路用大直径孔19的周围，上述水平导轨21B被固定配设在水平基座板18上，在圆盘形可动扫描基座22B上，例如其方向沿交叉方向设置加大直径用的和加工小直径用的X-Y电流式扫描器用具26B、27B。此外，为与环形水平导轨21B进行嵌合，被固定设置在可动扫描基座22B下面的配合部23B的形状也构成了环形形状。

然后，使可动扫描基座22B回转的扫描器用具移动用驱动手段35B为将作为其中一例的驱动马达35B的驱动力传递给例如一个可动的扫描基座22B的中心部而通过联轴35b与驱动轴35a相联结在一起。

另外，扫描器用具移动用驱动手段35B被连接在机框17的下面，此外，上述联轴器35b通过通孔适当地固定在可动扫描基座22的中心轴孔上。

不过，扫描器用具移动用驱动手段35B除了考虑驱动马达以外，还需要考虑汽缸装置及传动齿轮机构等，所以变更扫描移动用驱动手段35B的设计方案的实施例可以说均在与该第2实施例相等的范围内。

图12是与装置的第1实施例相对应的第3实施例。如果采用该第3实施例的电流式反射镜装置25C便可实现本发明的目的。因此，将说明有关的第3实施例的电流式反射镜装置25C。

该电流式反射镜装置25C的加工大直径用和加工小直径用的X-Y电流式扫描器用具26C和27C分别作水平移动这一点则主要与电流式扫描器用具25不同。

所以，41是使大·小X-Y电流式扫描器用具26C、27C沿着一对导轨21、21一起移动的扫描器用具移动用的第1驱动手段。在该第1驱动手段41的输出轴上联结着第1水平螺杆42。43、43是与上述导轨21、21正交的扫描器用具用的第2导轨，这些导轨43、43被铺设在平面为槽形的可动扫描基座22C的上面。

大·小X-Y电流式扫描器用具26C、27C被设置在一对导轨43、43上并可水平移动，它们分别利用各自的扫描移动用第2驱动手段44、45的驱动力水平移动到规定的位置。因此，一对第2水平螺杆36C、36C分别被联结在上述第2驱动手段44、45上。

在上述结构中，当利用扫描器用具移动用驱动手段41、44、45对准在激光束直径调整工序B中所调整的束直径而转换最合适的扫描器用具时，像图12的箭头方向所示那样，首先驱动扫描器用具移动用第1驱动手段41，使可动扫描基座22C朝着箭头方向移动，接着可动扫描基座22C相对f-θ透镜移动停止在规定的位置，并利用扫描器用具移动用第2驱动手段44、45的驱动力使大·小X-Y电流式扫描器用具26C、27C分别朝着箭头方向作水平移动。当然，此时如果能够同时或者分别地启动第1驱动手段41及第2驱动手段44、45为最好。主要的是在扫描器用具转换工序中，最好是单个地移动转换大·小X-Y电流式扫描器用具26C、27C。

图13是相对装置的第1实施例的第4实施例。采用该第4实施例的电流式反射镜装置25D也能够实现本发明的目的。这里，将就第4实施例的电流式反射镜装置25D进行说明。

该电流式反射镜装置25D的加工大直径用和加工小直径用的X-Y电流式扫描器用具26D、27D分别旋转移动这一点则主要与电流式反射镜装置25不同。

在该第4实施例中，以f-θ透镜20为基准在机框17的水平基座板18上对称设置着左右一对扫描器用具移动用驱动手段35D、35D(驱动马达)，而且，大·小X-Y电流式扫描器用具26D、27D可动扫描基座22D、22D分别被固定设置在上述扫描器用具移动用驱动手段35D、35D的各个驱动轴36D、36D上，并朝着各个驱动轴36D、36D的旋转方向旋转。

因此，在扫描器用具转换工序C中，通过交互启动移动用驱动手段35D、35D，便可以沿着箭头所示的方向使大·小X-Y电流式扫描器用具26D、27D各自地旋转移动和转换。

此外，在第4实施例的扫描器用具移动用驱动手段35D，除了驱动马达以外，由于还考虑了汽缸装置、传动齿轮机构等，所以变更了扫描器用具移动用驱动手段35D的设计的实施例仍可以说是在与本第4实施例相同的范围内。

在以上的扫描器用具转换工序C中，多个电流式扫描器用具被设置在沿水平导轨作直线移动的可动扫描基座上，或者被设置在旋转可动的扫描基座上，并且，对应激光束直径调整后的激光束直径同时或者个别地移动最合适一方的X-Y电流式扫描器用具，以便与f-θ透镜20相吻合。

此外，本发明的方法将f-θ透镜固定设置在机框17的水平基座板18上，与之相反虽然利用扫描器用具移动用驱动手段替换被配设在机框上的大·小的扫描器用具，但是从本技术领域的普通技术人员立场思考的话，也可以考虑采用将大·小扫描器用具设置在机框的规定位置，与之相反，利用移动f-θ透镜用的驱动手段来移动f-θ透镜作法的实施例。

综上说明可知，本发明具有如下的几种效果。

(1)能够根据所用的缩小光束(调整光束)的直径快速地切换电流式反射镜装置的加大直径用与加工小直径用的X-Y电流式扫描器用具。也就是说，至少能够简单地转换与两台X-Y电流式扫描器用具的大·小及与它们相对应的各个驱动部。因此，即可以缩短转换的操作时间，又可以提高被加工物体的加工效率。

(2)特别当需要从大到小变更掩模的缩小光束直径时，由于能够采用一台电流式反射镜装置将对大直径孔的加工转换成快速用的X-Y电流式扫描器用具，所以可以更加高效、经济地对被加工物体进行加工。

(3)由于被应用在本发明的扫描器用具转换工序(工序)C中的转换装置被合理地设置了各种部件，所以可以有效地利用框内(架内)的空间。另外，由于只采用了一个f-θ透镜，所以装置的价格更为便宜。

Claims (6)

1、一种利用激光进行加工的方法，该方法包括如下工序：自激光振荡器发射激光束的激光发射工序，通过光束调整手段调整上述激光束直径的束径调整工序，利用扫描器用具移动用驱动手段把配设在机框上的大·小扫描器用具内最适合的那个扫描器用具转换到已由束径调整工序调整的束径上的扫描器用具转换工序。

2、根据权利要求1所述利用激光进行加工的方法，其特征在于：上述扫描器用具是电流式扫描器用具，该电流式扫描器用具被设置在沿水平导轨作直线运动的可动扫描基座上。

3、根据权利要求1所述利用激光进行加工的方法，其特征在于：上述扫描器用具是一种电流式扫描器用具，该电流式扫描器用具被设置在旋转可动的扫描基座上。

4、一种利用激光进行加工的方法，其特征在于：该方法是一种利用照射在被加工物上的激光加工方法，把由激光振荡器发射的激光束直径通过掩模调整使调整后的缩小光束用装备有大·小X-Y电流式扫描器用具的电流式扫描器用具的电流式反射镜装置分开，然后将被分开的缩小光束用f-θ透镜进行集光并照射在被加工物体上，上述电流式反射镜装置(25)的大·小X-Y电流式扫描器用具(26、27)被配设在一个可动的扫描基座上，并且对应通过上述掩模(7)所调整的缩小光束(C)的直径选择使用分配给大直径加工用的大·小X-Y电流式扫描器用具(26)或者是加工小直径用的大·小X-Y电流式扫描器用具(27)的任意一个。

5、根据权利要求4所述利用激光进行加工的方法，其特征在于：上述f-θ透镜安装在机框上，上述f-θ透镜是1个。

6、一种利用激光进行加工的方法，其特征在于：是一种利用照射在被加工物上激光加工方法，把由激光振荡器所发出的激光束直径通过掩模调整使调整后的缩小光束用装备有大·小X-Y电流式扫描器用具的电流式反射镜装置将调整后的缩小光束分开，并由f-θ透镜将分开后的缩小光束进行聚焦并照射在被加工物体上，上述电流式扫描器用具(25)的大·小X-Y电流式扫描器用具(26、27)分别设置在多个可动的扫描基座上，且对应由上述掩模(7)所调整的缩小光束的直径选择地使用分配给加工大直径用的X-Y电流式扫描器用具(26)或者加工小直径用的电流式扫描器用具(27)中的任意一个。

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