JPH1048529A - 走査型光学顕微鏡 - Google Patents
走査型光学顕微鏡Info
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- JPH1048529A JPH1048529A JP20479896A JP20479896A JPH1048529A JP H1048529 A JPH1048529 A JP H1048529A JP 20479896 A JP20479896 A JP 20479896A JP 20479896 A JP20479896 A JP 20479896A JP H1048529 A JPH1048529 A JP H1048529A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、標本に対する照明ムラが軽減さ
れ、良質な画像を得られる走査型光学顕微鏡を提供す
る。 【解決手段】レーザ光源１のレーザビームを走査ミラー
４により走査しながら、対物レンズ９を通して標本１０
に照射し、該標本１０の観察像を検出するものにおい
て、走査ミラー４と対物レンズ９の間に、走査ミラー４
を対物レンズ９の後側焦点位置（瞳）に投影する瞳投影
レンズ６および結像レンズ７を有する瞳投影光学系５を
配置するとともに、結像レンズ７と対物レンズ９の間
に、走査ミラー４と同一の入射角に対する反射率特性の
ミラー８を配置し、瞳投影レンズ６の後側焦点距離ｆに
対して結像レンズ７の焦点距離を２ｆとして、走査ミラ
ー４への入射角θが基準入射角α、該走査ミラー４の走
査角βに対してθ＝α−βとした時、ミラー８への入射
角θ′がθ′≒α＋βとなるようにしている。
れ、良質な画像を得られる走査型光学顕微鏡を提供す
る。 【解決手段】レーザ光源１のレーザビームを走査ミラー
４により走査しながら、対物レンズ９を通して標本１０
に照射し、該標本１０の観察像を検出するものにおい
て、走査ミラー４と対物レンズ９の間に、走査ミラー４
を対物レンズ９の後側焦点位置（瞳）に投影する瞳投影
レンズ６および結像レンズ７を有する瞳投影光学系５を
配置するとともに、結像レンズ７と対物レンズ９の間
に、走査ミラー４と同一の入射角に対する反射率特性の
ミラー８を配置し、瞳投影レンズ６の後側焦点距離ｆに
対して結像レンズ７の焦点距離を２ｆとして、走査ミラ
ー４への入射角θが基準入射角α、該走査ミラー４の走
査角βに対してθ＝α−βとした時、ミラー８への入射
角θ′がθ′≒α＋βとなるようにしている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザービーム走
査ミラーを対物レンズの後側焦点位置（瞳）に投影する
瞳投影光学系を有する走査型光学顕微鏡に関するもので
ある。
査ミラーを対物レンズの後側焦点位置（瞳）に投影する
瞳投影光学系を有する走査型光学顕微鏡に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、走査型光学顕微鏡は、点
光源であるレーザビームを対物レンズを介して観察標本
に照射し、観察標本からの反射光もしくは点状光を照射
したことにより標本から発生した蛍光を、再び対物レン
ズ、光学系を介して点状に結像し、これを検出器で検出
して像の濃淡情報を得るようにしたもので、この場合、
観察標本上にレーザビームが照射しただけでは、点状の
濃淡情報しか得られないことから、実際は、レーザビー
ムを観察標本表面に走査する走査ミラーを設け、この走
査ミラーの走査にともなう観察標本表面の濃淡分布情報
を取り込み表示することにより、観察標本の表面画像を
得るようにしている。
光源であるレーザビームを対物レンズを介して観察標本
に照射し、観察標本からの反射光もしくは点状光を照射
したことにより標本から発生した蛍光を、再び対物レン
ズ、光学系を介して点状に結像し、これを検出器で検出
して像の濃淡情報を得るようにしたもので、この場合、
観察標本上にレーザビームが照射しただけでは、点状の
濃淡情報しか得られないことから、実際は、レーザビー
ムを観察標本表面に走査する走査ミラーを設け、この走
査ミラーの走査にともなう観察標本表面の濃淡分布情報
を取り込み表示することにより、観察標本の表面画像を
得るようにしている。
【０００３】ところで、このような走査型光学顕微鏡で
は、照明や観察の際の光量の損失を可能な限り小さくす
ることが重要であり、特に蛍光観察するための走査型光
学顕微鏡については、蛍光が極めて微弱なために効率の
高い光学系が要求され、このためレーザビーム走査のた
めの走査ミラーとして、高反射アルミコートミラー（Ａ
ｌ＋ＺｎＯ2 ＋ＭｇＦ2 ）を使用することが望まれてい
る。
は、照明や観察の際の光量の損失を可能な限り小さくす
ることが重要であり、特に蛍光観察するための走査型光
学顕微鏡については、蛍光が極めて微弱なために効率の
高い光学系が要求され、このためレーザビーム走査のた
めの走査ミラーとして、高反射アルミコートミラー（Ａ
ｌ＋ＺｎＯ2 ＋ＭｇＦ2 ）を使用することが望まれてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
高反射アルミコートミラーは、入射ビームの入射角によ
って反射率が異なることが知られている。つまり、この
ような高反射アルミコートミラーに入射されるレーザビ
ームＬＢは、ミラーＭに対し３（ａ）に示すように図示
矢印方向に偏光されるＰ偏光と、同図（ｂ）に示すよう
に紙面に垂直方向に偏光されるＳ偏光からなるが、これ
らＰ偏光とＳ偏光は、図４に示すように回転軸Ｏを中心
としたミラーＭの回動角、つまり、入射ビームの入射角
（図示例では４０．５°〜４９．５°）により反射率が
異なることが知られている。この場合、同図（ａ）がＰ
偏光、同図（ｂ）がＳ偏光を示しており、図示からも明
らかなように同図（ａ）に示すＰ偏光が入射角に対して
反射率を大きく変動する。
高反射アルミコートミラーは、入射ビームの入射角によ
って反射率が異なることが知られている。つまり、この
ような高反射アルミコートミラーに入射されるレーザビ
ームＬＢは、ミラーＭに対し３（ａ）に示すように図示
矢印方向に偏光されるＰ偏光と、同図（ｂ）に示すよう
に紙面に垂直方向に偏光されるＳ偏光からなるが、これ
らＰ偏光とＳ偏光は、図４に示すように回転軸Ｏを中心
としたミラーＭの回動角、つまり、入射ビームの入射角
（図示例では４０．５°〜４９．５°）により反射率が
異なることが知られている。この場合、同図（ａ）がＰ
偏光、同図（ｂ）がＳ偏光を示しており、図示からも明
らかなように同図（ａ）に示すＰ偏光が入射角に対して
反射率を大きく変動する。
【０００５】このことは、高反射アルミコートミラーを
走査ミラーとして使用した場合、走査ミラーの振れ角に
よって反射率が異なることになるため、走査ミラーを反
射して標本に照射される光強度は、走査ミラーの振れ角
により一様でなくなり、これにより得られる画像も濃淡
強度にムラのある不安定なものになってしまう。
走査ミラーとして使用した場合、走査ミラーの振れ角に
よって反射率が異なることになるため、走査ミラーを反
射して標本に照射される光強度は、走査ミラーの振れ角
により一様でなくなり、これにより得られる画像も濃淡
強度にムラのある不安定なものになってしまう。
【０００６】また、レーザビームは、基本的には直線偏
光であるから、走査ミラーとして、Ｘ方向とＹ方向にそ
れぞれ使用すると、どちらか一方に必ずミラーの振り角
に対しＰ偏光が入射するようになり、このため、Ｘ、Ｙ
方向のいずれか一方に、照明ムラを生じてしまい、同様
に画像もムラのある不安定なものになってしまう。
光であるから、走査ミラーとして、Ｘ方向とＹ方向にそ
れぞれ使用すると、どちらか一方に必ずミラーの振り角
に対しＰ偏光が入射するようになり、このため、Ｘ、Ｙ
方向のいずれか一方に、照明ムラを生じてしまい、同様
に画像もムラのある不安定なものになってしまう。
【０００７】さらに、透過レーザーノマルスキー微分干
渉観察を行う場合は、直線偏光にしなければならないた
め、Ｘ，Ｙ方向のいずれかに大きな照明ムラが生じ、さ
らにまた、ランダム偏光のレーザーは、基本的には直線
偏光が交互に出力しており、ミラーでの反射率の変化
は、図４に示すＰ偏光、Ｓ偏光の反射率を平均化したも
のになるため、この場合は、Ｘ，Ｙ両方向ともに大きな
照明ムラが生じ、これら照明の下では、いずれの画像も
ムラのある不安定なものになってしまう。本発明は、上
記事情に鑑みてなされたもので、標本に対する照明ムラ
が軽減され、良質な画像を得られる走査型光学顕微鏡を
提供することを目的とする。
渉観察を行う場合は、直線偏光にしなければならないた
め、Ｘ，Ｙ方向のいずれかに大きな照明ムラが生じ、さ
らにまた、ランダム偏光のレーザーは、基本的には直線
偏光が交互に出力しており、ミラーでの反射率の変化
は、図４に示すＰ偏光、Ｓ偏光の反射率を平均化したも
のになるため、この場合は、Ｘ，Ｙ両方向ともに大きな
照明ムラが生じ、これら照明の下では、いずれの画像も
ムラのある不安定なものになってしまう。本発明は、上
記事情に鑑みてなされたもので、標本に対する照明ムラ
が軽減され、良質な画像を得られる走査型光学顕微鏡を
提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
レーザ光源からのレーザビームを走査ミラーにより走査
するとともに、該走査されたレーザビームを対物レンズ
を通して標本に照射し、該標本の観察像を検出する走査
型光学顕微鏡において、前記走査ミラーと対物レンズの
間に配置され、前記走査ミラーを前記対物レンズの後側
焦点位置（瞳）に投影する瞳投影レンズおよび結像レン
ズを有する瞳投影光学系と、前記結像レンズと対物レン
ズの間に、その鏡面を前記走査ミラーの鏡面と相対向さ
せるとともに、同一方向に傾けるように配置された前記
走査ミラーと同一の入射角に対する反射率特性を有する
ミラーとを具備し、前記瞳投影レンズの後側焦点距離に
対し前記結像レンズの焦点距離を２倍にして、前記走査
ミラーの走査に応じた入射角に対する反射率の変化に対
し、前記ミラーでの入射角が前記走査ミラーでの反射率
の変化を打ち消すように与えられるようにしている。
レーザ光源からのレーザビームを走査ミラーにより走査
するとともに、該走査されたレーザビームを対物レンズ
を通して標本に照射し、該標本の観察像を検出する走査
型光学顕微鏡において、前記走査ミラーと対物レンズの
間に配置され、前記走査ミラーを前記対物レンズの後側
焦点位置（瞳）に投影する瞳投影レンズおよび結像レン
ズを有する瞳投影光学系と、前記結像レンズと対物レン
ズの間に、その鏡面を前記走査ミラーの鏡面と相対向さ
せるとともに、同一方向に傾けるように配置された前記
走査ミラーと同一の入射角に対する反射率特性を有する
ミラーとを具備し、前記瞳投影レンズの後側焦点距離に
対し前記結像レンズの焦点距離を２倍にして、前記走査
ミラーの走査に応じた入射角に対する反射率の変化に対
し、前記ミラーでの入射角が前記走査ミラーでの反射率
の変化を打ち消すように与えられるようにしている。
【０００９】請求項２記載の発明は、請求項１記載にお
いて、前記瞳投影レンズの後側焦点距離ｆに対して前記
結像レンズの焦点距離を２ｆとして、走査ミラーへの入
射角θが基準入射角α、該走査ミラーの走査角βに対し
て、θ＝α−βとした時、前記ミラーへの入射角θ′が
θ′≒α＋βとなるようにしている。
いて、前記瞳投影レンズの後側焦点距離ｆに対して前記
結像レンズの焦点距離を２ｆとして、走査ミラーへの入
射角θが基準入射角α、該走査ミラーの走査角βに対し
て、θ＝α−βとした時、前記ミラーへの入射角θ′が
θ′≒α＋βとなるようにしている。
【００１０】請求項３記載の発明は、請求項１記載にお
いて、走査ミラーおよびミラーは、それぞれ同一コーテ
ィングを施した高反射アルミコートミラーからなってい
る。この結果、請求項１または２記載の発明によれば、
走査ミラーの走査に応じた入射角に対する反射率の変化
に対し、ミラーでの入射角が走査ミラーでの反射率の変
化を打ち消すように与えられるようになるので、走査ミ
ラーの走査角に応じた反射率の変動は補償され、標本上
に照射される照明強度は、ムラのない均一に近いものと
なり、これにより濃淡強度にムラのない良質な画像が得
られる。
いて、走査ミラーおよびミラーは、それぞれ同一コーテ
ィングを施した高反射アルミコートミラーからなってい
る。この結果、請求項１または２記載の発明によれば、
走査ミラーの走査に応じた入射角に対する反射率の変化
に対し、ミラーでの入射角が走査ミラーでの反射率の変
化を打ち消すように与えられるようになるので、走査ミ
ラーの走査角に応じた反射率の変動は補償され、標本上
に照射される照明強度は、ムラのない均一に近いものと
なり、これにより濃淡強度にムラのない良質な画像が得
られる。
【００１１】また、請求項３記載の発明によれば、走査
ミラーとして高反射アルミコートミラーを使用した場合
も、走査ミラーの走査角に応じた反射率の変動を補償で
き、照明ムラを軽減し、良質な標本画像を得られる。
ミラーとして高反射アルミコートミラーを使用した場合
も、走査ミラーの走査角に応じた反射率の変動を補償で
き、照明ムラを軽減し、良質な標本画像を得られる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面に従い説明する。図１は、本発明が適用される走査型
光学顕微鏡の概略構成を示している。なお、ここでは説
明を簡単にするため、走査ミラーは、一方向だけ走査す
るものの場合を示している。
面に従い説明する。図１は、本発明が適用される走査型
光学顕微鏡の概略構成を示している。なお、ここでは説
明を簡単にするため、走査ミラーは、一方向だけ走査す
るものの場合を示している。
【００１３】図において、１はレーザ光源で、このレー
ザ光源１は、後述する標本１０表面を走査するスポット
光としてのレーザビームを出射するものである。レーザ
光源１からレーザビームを、ビームエキスパンダ２を介
してダイクロイックミラー３に入射するようにしてい
る。ここで、ビームエキスパンダ２は、レーザ光源１か
ら出射されるレーザビームを所定ビーム径に拡大するも
のである。
ザ光源１は、後述する標本１０表面を走査するスポット
光としてのレーザビームを出射するものである。レーザ
光源１からレーザビームを、ビームエキスパンダ２を介
してダイクロイックミラー３に入射するようにしてい
る。ここで、ビームエキスパンダ２は、レーザ光源１か
ら出射されるレーザビームを所定ビーム径に拡大するも
のである。
【００１４】そして、このダイクロイックミラー３で偏
光されたレーザビームを、走査ミラーであるガルバノミ
ラー４に入射している。このガルバノミラー４は、例え
ば高反射アルミコートミラーからなるもので、回動軸４
１を中心に回動するようになっている。また、この場合
のガルバノミラー４は、光軸に対する基本入射角αを例
えばα＝４５°に設定され、この基本入射角α内で、レ
ーザビーム走査に必要な所定角度の振れ（回動）動作を
行うようになっている。つまり、ガルバノミラー４への
実際の入射角θは、走査角度βに応じてθ＝４５°−β
の範囲で変化するようになっている。この場合、基本入
射角αの値は一例であって、他の値を採用してもよい。
光されたレーザビームを、走査ミラーであるガルバノミ
ラー４に入射している。このガルバノミラー４は、例え
ば高反射アルミコートミラーからなるもので、回動軸４
１を中心に回動するようになっている。また、この場合
のガルバノミラー４は、光軸に対する基本入射角αを例
えばα＝４５°に設定され、この基本入射角α内で、レ
ーザビーム走査に必要な所定角度の振れ（回動）動作を
行うようになっている。つまり、ガルバノミラー４への
実際の入射角θは、走査角度βに応じてθ＝４５°−β
の範囲で変化するようになっている。この場合、基本入
射角αの値は一例であって、他の値を採用してもよい。
【００１５】さらに、ガルバノミラー４で走査されるレ
ーザビームを瞳投影光学系５に入射するようにしてい
る。この瞳投影光学系５は、瞳投影レンズ６および結像
レンズ７からなっていて、ガルバノミラー４を後述する
対物レンズ９の後側焦点位置（瞳）に投影するためのも
のである。この場合、瞳投影レンズ６の後側焦点距離ｆ
に対して、結像レンズ７の焦点距離を２ｆに設定してい
る。そして、瞳投影レンズ６の後側焦点距離ｆに、上述
したガルバノミラー４が位置するようにしている。
ーザビームを瞳投影光学系５に入射するようにしてい
る。この瞳投影光学系５は、瞳投影レンズ６および結像
レンズ７からなっていて、ガルバノミラー４を後述する
対物レンズ９の後側焦点位置（瞳）に投影するためのも
のである。この場合、瞳投影レンズ６の後側焦点距離ｆ
に対して、結像レンズ７の焦点距離を２ｆに設定してい
る。そして、瞳投影レンズ６の後側焦点距離ｆに、上述
したガルバノミラー４が位置するようにしている。
【００１６】そして、これら瞳投影レンズ６および結像
レンズ７からなる瞳投影光学系５を通ったレーザビーム
を、結像レンズ７と対物レンズ９の間に配置したミラー
８で反射させ、対物レンズ９に入射するようにしてい
る。
レンズ７からなる瞳投影光学系５を通ったレーザビーム
を、結像レンズ７と対物レンズ９の間に配置したミラー
８で反射させ、対物レンズ９に入射するようにしてい
る。
【００１７】この場合、ミラー８は、ガルバノミラー４
と同一のコーティングを施した高反射アルミコートミラ
ーからなっている。また、このミラー８は、ガルバノミ
ラー４と共役関係に配置され、且つ、その鏡面を上述の
ガルバノミラー４の鏡面と相対向させるとともに、同一
方向に傾けるようにしている。
と同一のコーティングを施した高反射アルミコートミラ
ーからなっている。また、このミラー８は、ガルバノミ
ラー４と共役関係に配置され、且つ、その鏡面を上述の
ガルバノミラー４の鏡面と相対向させるとともに、同一
方向に傾けるようにしている。
【００１８】また、この場合、瞳投影光学系５の瞳投影
レンズ６および結像レンズ７の関係は、結像レンズ７の
焦点距離を瞳投影レンズ６の焦点距離ｆの２倍、つまり
２ｆに設定することで、ミラー８への入射角θ′がθ′
≒４５°＋βになるようにしている。
レンズ６および結像レンズ７の関係は、結像レンズ７の
焦点距離を瞳投影レンズ６の焦点距離ｆの２倍、つまり
２ｆに設定することで、ミラー８への入射角θ′がθ′
≒４５°＋βになるようにしている。
【００１９】そして、このようなミラー８で偏光された
レーザビームを、対物レンズ９を通して標本１０上に照
射するようにしている。一方、標本１０からの反射光ま
たは蛍光などの観察光を、上述と逆光路でダイクロイッ
クミラー３まで戻し、さらに、このダイクロイックミラ
ー３より結像レンズ１１、ピンホール１２を通して光検
出器１３に送り、ここで画像化するようにしている。
レーザビームを、対物レンズ９を通して標本１０上に照
射するようにしている。一方、標本１０からの反射光ま
たは蛍光などの観察光を、上述と逆光路でダイクロイッ
クミラー３まで戻し、さらに、このダイクロイックミラ
ー３より結像レンズ１１、ピンホール１２を通して光検
出器１３に送り、ここで画像化するようにしている。
【００２０】なお、図面中、１４は、標本１０からの透
過光を検出するは光検出器、１５は、ミラー８と対物レ
ンズ９との間の光路を規制するスリットである。次に、
以上のように構成した実施の形態の動作を説明する。
過光を検出するは光検出器、１５は、ミラー８と対物レ
ンズ９との間の光路を規制するスリットである。次に、
以上のように構成した実施の形態の動作を説明する。
【００２１】いま、レーザ光源１よりレーザビームが出
射されると、ビームエキスパンダ２で所定ビーム径に拡
大された後、ダイクロイックミラー３に入射され、ここ
で偏光されてガルバノミラー４に入射される。
射されると、ビームエキスパンダ２で所定ビーム径に拡
大された後、ダイクロイックミラー３に入射され、ここ
で偏光されてガルバノミラー４に入射される。
【００２２】この場合、ガルバノミラー４への実際の入
射角θは、レーザビーム走査に必要な走査角度βに対し
て、θ＝４５°−βの範囲で変化される。そして、この
ようなガルバノミラー４で走査されるレーザビームは、
ガルバノミラー４を対物レンズ９の後側焦点位置（瞳）
に投影するための瞳投影光学系５を介してミラー８へ入
射され、さらに、このミラー８を反射したレーザビーム
は、対物レンズ９を通して標本１０上に走査される。
射角θは、レーザビーム走査に必要な走査角度βに対し
て、θ＝４５°−βの範囲で変化される。そして、この
ようなガルバノミラー４で走査されるレーザビームは、
ガルバノミラー４を対物レンズ９の後側焦点位置（瞳）
に投影するための瞳投影光学系５を介してミラー８へ入
射され、さらに、このミラー８を反射したレーザビーム
は、対物レンズ９を通して標本１０上に走査される。
【００２３】この場合、結像レンズ７と対物レンズ９の
間に、その鏡面を上述のガルバノミラー４の鏡面と相対
向させるとともに、同一方向に傾けるようにミラー８を
配置しているが、この時のミラー８への入射角θ′は、
瞳投影光学系５を構成する瞳投影レンズ６の後側焦点距
離ｆに対し、結像レンズ７の焦点距離を２ｆにしている
ことから、θ′≒４５°＋βとなる。
間に、その鏡面を上述のガルバノミラー４の鏡面と相対
向させるとともに、同一方向に傾けるようにミラー８を
配置しているが、この時のミラー８への入射角θ′は、
瞳投影光学系５を構成する瞳投影レンズ６の後側焦点距
離ｆに対し、結像レンズ７の焦点距離を２ｆにしている
ことから、θ′≒４５°＋βとなる。
【００２４】これにより、ガルバノミラー４への入射角
θ＝４５°−βによる該ガルバノミラー４での反射率の
変化が、図２（ａ）に示すように左下がりになるのに対
し、ミラー８への入射角θ′≒４５°＋βによる該ミラ
ー８での反射率の変化は、同図（ｂ）に示すように右下
がりとして与えられることから、ガルバノミラー４での
入射角θによる反射率の変化は、ミラー８での入射角
θ′に対応する反射率の変化により打ち消され、同図
（ｃ）に示すように、ほぼ均一な状態で与えられ、この
結果として、ミラー８より対物レンズ９を通して標本１
０上に照射される照明の強度は、ガルバノミラー４の振
れ角に関係なく均一に近いものになり、このような照明
の下で得られる画像は、濃淡強度にムラのない良質なも
のが得られることになる。
θ＝４５°−βによる該ガルバノミラー４での反射率の
変化が、図２（ａ）に示すように左下がりになるのに対
し、ミラー８への入射角θ′≒４５°＋βによる該ミラ
ー８での反射率の変化は、同図（ｂ）に示すように右下
がりとして与えられることから、ガルバノミラー４での
入射角θによる反射率の変化は、ミラー８での入射角
θ′に対応する反射率の変化により打ち消され、同図
（ｃ）に示すように、ほぼ均一な状態で与えられ、この
結果として、ミラー８より対物レンズ９を通して標本１
０上に照射される照明の強度は、ガルバノミラー４の振
れ角に関係なく均一に近いものになり、このような照明
の下で得られる画像は、濃淡強度にムラのない良質なも
のが得られることになる。
【００２５】従って、このようにすれば、レーザ光源１
からのレーザビームを走査ミラー４により走査するとと
もに、該走査されたレーザビームを対物レンズ９を通し
て標本１０に照射し、該標本１０の観察像を検出するよ
うなものにおいて、走査ミラー４と対物レンズ９の間
に、走査ミラー４を対物レンズ９の後側焦点位置（瞳）
に投影する瞳投影レンズ６および結像レンズ７を有する
瞳投影光学系５を配置するとともに、結像レンズ７と対
物レンズ９の間に、その鏡面を走査ミラー４の鏡面と相
対向させるとともに、同一方向に傾けるように配置され
た、走査ミラー４と同一の入射角に対する反射率特性を
有するミラー８を配置し、瞳投影レンズ６の後側焦点距
離ｆに対して結像レンズ７の焦点距離を２ｆとして、走
査ミラー４への光束の入射角θが基準入射角α、該走査
ミラー４の走査角βに対してθ＝α−βとした時、ミラ
ー８への入射角θ′がθ′≒α＋βとなるようにして、
走査ミラー４の走査に応じた入射角に対する反射率の変
化に対し、ミラー８での入射角が走査ミラー４での反射
率の変化を打ち消すように与えられるようにしたので、
走査ミラー４の走査角に応じた反射率の変動は補償さ
れ、標本１０上に照射される照明強度は、ムラのない均
一に近いものとなり、これにより濃淡強度にムラのない
良質な画像が得られることになる。
からのレーザビームを走査ミラー４により走査するとと
もに、該走査されたレーザビームを対物レンズ９を通し
て標本１０に照射し、該標本１０の観察像を検出するよ
うなものにおいて、走査ミラー４と対物レンズ９の間
に、走査ミラー４を対物レンズ９の後側焦点位置（瞳）
に投影する瞳投影レンズ６および結像レンズ７を有する
瞳投影光学系５を配置するとともに、結像レンズ７と対
物レンズ９の間に、その鏡面を走査ミラー４の鏡面と相
対向させるとともに、同一方向に傾けるように配置され
た、走査ミラー４と同一の入射角に対する反射率特性を
有するミラー８を配置し、瞳投影レンズ６の後側焦点距
離ｆに対して結像レンズ７の焦点距離を２ｆとして、走
査ミラー４への光束の入射角θが基準入射角α、該走査
ミラー４の走査角βに対してθ＝α−βとした時、ミラ
ー８への入射角θ′がθ′≒α＋βとなるようにして、
走査ミラー４の走査に応じた入射角に対する反射率の変
化に対し、ミラー８での入射角が走査ミラー４での反射
率の変化を打ち消すように与えられるようにしたので、
走査ミラー４の走査角に応じた反射率の変動は補償さ
れ、標本１０上に照射される照明強度は、ムラのない均
一に近いものとなり、これにより濃淡強度にムラのない
良質な画像が得られることになる。
【００２６】なお、この実施の形態では、説明を簡単に
するために一方向だけガルバノミラー４で走査する場合
を述べたが、Ｘ方向とＹ方向の２つのガルバノミラーを
有する走査型光学顕微鏡の場合でも、結像レンズ７と対
物レンズ９の間に、Ｘ方向とＹ方向それぞれのガルバノ
ミラーに対応する２個のミラーを設けるようにすればよ
い。
するために一方向だけガルバノミラー４で走査する場合
を述べたが、Ｘ方向とＹ方向の２つのガルバノミラーを
有する走査型光学顕微鏡の場合でも、結像レンズ７と対
物レンズ９の間に、Ｘ方向とＹ方向それぞれのガルバノ
ミラーに対応する２個のミラーを設けるようにすればよ
い。
【００２７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、走
査ミラーの走査角に応じた反射率の変化を補償すること
ができ、照明ムラを軽減し、良質な標本画像を得ること
ができる。
査ミラーの走査角に応じた反射率の変化を補償すること
ができ、照明ムラを軽減し、良質な標本画像を得ること
ができる。
【図１】本発明の一実施の形態の概略構成を示す図。
【図２】一実施の形態を説明するための図。
【図３】走査ミラーに入射されるレーザビームのＰ偏光
とＳ偏光を示す図。
とＳ偏光を示す図。
【図４】レーザビームのＰ偏光とＳ偏光の入射角に対す
る反射率の状態を示す図。
る反射率の状態を示す図。
１…レーザ光源、 ２…ビームエキスパンダ、 ３…ダイクロイックミラー、 ４…ガルバノミラー、 ５…瞳投影光学系、 ６…瞳投影レンズ、 ７…結像レンズ、 ８…ミラー、 ９…対物レンズ、 １０…標本、 １１…結像レンズ、 １２…ピンホール、 １３、１４…光検出器、 １５…スリット。
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザ光源からのレーザビームを走査ミ
ラーにより走査するとともに、該走査されたレーザビー
ムを対物レンズを通して標本に照射し、該標本の観察像
を検出する走査型光学顕微鏡において、 前記走査ミラーと対物レンズの間に配置され、前記走査
ミラーを前記対物レンズの後側焦点位置（瞳）に投影す
る瞳投影レンズおよび結像レンズを有する瞳投影光学系
と、 前記結像レンズと対物レンズの間に、その鏡面を前記走
査ミラーの鏡面と相対向させるとともに、同一方向に傾
けるように配置された前記走査ミラーと同一の入射角に
対する反射率特性を有するミラーとを具備し、 前記瞳投影レンズの後側焦点距離に対し前記結像レンズ
の焦点距離を２倍にして、前記走査ミラーの走査に応じ
た入射角に対する反射率の変化に対し、前記ミラーでの
入射角が前記走査ミラーでの反射率の変化を打ち消すよ
うに与えられることを特徴とする走査型光学顕微鏡。 - 【請求項２】 前記瞳投影レンズの後側焦点距離ｆに対
して前記結像レンズの焦点距離を２ｆとして、走査ミラ
ーへの入射角θが基準入射角α、該走査ミラーの走査角
βに対して、θ＝α−βとした時、前記ミラーへの入射
角θ′がθ′≒α＋βとなるようにしたことを特徴とす
る請求項１記載の走査型光学顕微鏡。 - 【請求項３】 走査ミラーおよびミラーは、それぞれ同
一コーティングを施した高反射アルミコートミラーから
なることを特徴とする請求項１記載の走査型光学顕微
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20479896A JPH1048529A (ja) | 1996-08-02 | 1996-08-02 | 走査型光学顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20479896A JPH1048529A (ja) | 1996-08-02 | 1996-08-02 | 走査型光学顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1048529A true JPH1048529A (ja) | 1998-02-20 |
Family
ID=16496543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20479896A Withdrawn JPH1048529A (ja) | 1996-08-02 | 1996-08-02 | 走査型光学顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1048529A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6951627B2 (en) | 2002-04-26 | 2005-10-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of drilling holes with precision laser micromachining |
| JP2005292191A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Brother Ind Ltd | 網膜走査画像表示装置 |
| JP2008026379A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-07 | Omron Corp | 光走査装置 |
| WO2024099128A1 (zh) * | 2022-11-08 | 2024-05-16 | 图湃(北京)医疗科技有限公司 | 手术显微镜和显微镜 |
-
1996
- 1996-08-02 JP JP20479896A patent/JPH1048529A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6951627B2 (en) | 2002-04-26 | 2005-10-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of drilling holes with precision laser micromachining |
| JP2005292191A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Brother Ind Ltd | 網膜走査画像表示装置 |
| JP4586393B2 (ja) * | 2004-03-31 | 2010-11-24 | ブラザー工業株式会社 | 網膜走査画像表示装置 |
| JP2008026379A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-07 | Omron Corp | 光走査装置 |
| WO2024099128A1 (zh) * | 2022-11-08 | 2024-05-16 | 图湃(北京)医疗科技有限公司 | 手术显微镜和显微镜 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031007 |