JPH05127111A - 走査式描画装置 - Google Patents
走査式描画装置Info
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- JPH05127111A JPH05127111A JP28653691A JP28653691A JPH05127111A JP H05127111 A JPH05127111 A JP H05127111A JP 28653691 A JP28653691 A JP 28653691A JP 28653691 A JP28653691 A JP 28653691A JP H05127111 A JPH05127111 A JP H05127111A
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Abstract
ミラーの形状を小型化できる走査式描画装置を提供す
る。 【構成】 描画用の3本の光束を交差するように射出す
る光源10と、光源10からの3本の光束が交差する手
前で、これらの光束を偏向、走査させる偏向手段20
と、偏向手段20からの光束を描画面41上に収束させ
る走査レンズ30とを備えている。
Description
描画を行なう走査式描画装置に関するものである。
ーザ光を用いて描画を行うものがある。複数のレーザ光
の光束を用いると、1本の光束を用いる装置に比べて、
高速で描画できる利点がある。このような走査式描画装
置について、図13を用いて説明する。
143を用いてテーブル70上の描画面71に像を描
く。3本の光束は、矢印105の方向に回転するポリゴ
ンミラー50に入射する。このとき、3本の光束は、こ
れらの光束の主走査面内では隣接する光束に対してそれ
ぞれΔm,Δnの角度だけ矢印105の方向に傾き、か
つ、光束の副走査面内では隣接する光束に対して所定の
距離だけ図13の紙面垂直方向に隔たっている。そし
て、3本の光束は、ポリゴンミラー50のミラー面51
で立体的に交差している。
てテーブル70の描画面71を走査する。この結果、図
15に示されるように、3本の光束141,142,1
43によるスポット411,412,413は、矢印1
06の主走査方向及び矢印107の副走査方向に所定の
間隔をあけて形成され、このような位置関係を保ちなが
ら、矢印106の主走査方向に移動する。
とにより、副走査方向の間隔が小さい場合にも、それぞ
れの光束の干渉により発生するムラが防止され、複数ビ
ームによる描画が可能になる。
を用いた走査式描画装置では、ポリゴンミラーが複数の
光束を走査、偏向している。例えば、図13に示される
ように、3本の光束を用いる走査式描画装置の場合、光
束141がポリゴンミラー50のミラー面51の一端部
で反射して、f・θレンズである走査レンズ60に入射
するとき、他の光束142,143は、まだ走査レンズ
60に入射していない。
ゴンミラー50がθの角度だけ回転すると、光束141
がミラー面51の一端部からP1の距離だけ移動する。
この移動による描画面71上での光束141の主走査幅
は、2f・θに相当する。しかし、他の光束142,1
43は、まだ走査を終了してない。特に、描画面71上
で光束142からf・Δnの距離にある光束143が走
査を終了するためには、この光束143をさらに走査方
向に偏光させるように、ポリゴンミラー50を回転させ
る必要があり、ミラー面51上では、さらにP2の距離
だけ移動させる必要がある。
ー面の長さはP1で十分である。ところが、複数の光束
で走査を行う場合、ミラー面の長さはP1+P2にな
る。したがって、複数の光束を用いる走査式描画装置
は、一本の光束を用いる装置に比べて、ミラー面の長さ
がP2だけ長くなる。
画装置は、1本の光束を用いる装置に比べ、大きなポリ
ゴンミラーを必要とする欠点がある。
し、複数の光束を用いて描画する場合、ポリゴンミラー
の形状を小型化できる走査式描画装置を提供することに
ある。
達成するため、描画用の複数の光束を交差するように射
出する光源と、光源からの複数の光束が交差する手前
で、これらの光束を偏向、走査させる偏向手段と、偏向
手段からの光束を描画面上に収束させる走査レンズとを
備えている。
うに光源から射出される。このとき、例えば2本の光束
を用いる場合、光束の交差位置は、図9に示されるよう
になる。
ラー91は、中心点91Aを中心に矢印104の方向に
回転する。なお、ここでは、矢印104と反対の方向を
正方向にしている。また、ポリゴンミラー91の内接円
の半径がRとなっている。すなわち、中心点91Aから
ミラー面91Bに垂直に引いた線91Cがミラー面91
Bと交わる点91Dから、中心点91Aまでの距離がR
となっている。
して入射角dで点91Dに入射するとき、光束122が
この光束121に対して、さらに角度がeだけ傾いてミ
ラー面91Bの点91Dに入射する。これらの光束12
1と122とは、ミラー面91Bで反射して、図示され
ない走査レンズに向かう。
121の反射光と同じ結像位置まで達するには、光束1
22の反射光の方向が光束121の反射光の方向と同じ
になればよい。このためには、図9(B)に示されるよ
うに、線91Cに対して、中心点91Aを中心にΔθの
角度だけ矢印104の方向にポリゴンミラー91を回転
させなければならない。このときのΔθは、次の式で与
えられる。
1Cに対してdになり、光束122の反射光は、光束1
21の反射光と同じ結像位置まで達する。このとき、光
束122は、ミラー面91B上の点91Dから、さらに
ΔBだけ移動した所に入射する。このΔBは、次の式で
与えられる。
ようになる。
Bをキャンセルするために、この発明では、図9(C)
に示されるように、光束122を平行に移動して、ミラ
ー面91B上の点91Dに入射させる。この結果、光束
121と122との交点は、ミラー面91B上から点2
01に移る。この交点201は、光束121の入射点か
らDの距離の所にあり、このDは次の式を満たしてい
る。
なる。
交点を移動することにより、ΔBのキャンセルが可能に
なる。
の実施例1を示したものである。
1,12,13を備える光源10と、偏向手段20と、
走査レンズ30と、テーブル40とを備えている。
を発光する走査用レーザ11A,12A,13Aと、走
査用レーザ11A,12A,13Aが発光したレーザ光
の光束を収束する収束レンズ11B,12B,13B
と、収束レンズ11B,12B,13Bにより収束され
た光束を変調するA/O変調器11C,12C,13C
と、A/O変調器11C,12C,13Cからの光束を
平行光束にするコリメートレンズ11D,12D,13
Dとを備えている。
面内では隣接する光軸に対してそれぞれΔa,Δbの角
度だけ矢印101の方向に傾き、かつ、副走査面内では
隣接する光軸に対して所定の距離だけ隔たっている。こ
れにより、光源部11,12,13からの光束は、偏向
手段20の後述するポリゴンミラー22の後方で立体的
に交差する。
するモータ21と、モータ21により回転され、光源部
11,12,13からの光束を走査、偏向するポリゴン
ミラー22とを備えている。
より偏向、走査された光束をテーブル40上の描画面4
1に収束させる。
描画面41を、主走査方向と直角な副走査方向に移動さ
せる。これにより、描画面41全体が走査される。
射する。このとき、図2に示されるように、光源部11
からの光束111は、ポリゴンミラー22のミラー面2
2Aの一端部に入射する。光束111は、ミラー面22
Aで反射して走査レンズ30に入射する。走査レンズ3
0は、入射した光束をテーブル40上の描画面41に収
束させる。このとき、図5に示されるように、光束11
1は、描画面41の描画開始位置41Aにスポット31
1を形成する。そして、図2のポリゴンミラー22が矢
印101の方向に回転すると、スポット311は、矢印
102の主走査方向に描画面41を走査する。
内で傾いて配置されているので、図2の光束111がミ
ラー面22Aの一端部に入射するとき、光源部12,1
3からの光束112,113は、ミラー面22Aに入射
しない。したがって、光束112,113は、テーブル
40上の描画面41に達しない。
されるように、光束113がミラー面22Aの一端部に
入射するとき、光束111,112は、既にミラー面2
2Aの他端部に向かって移動している。これらの光束1
11,112,113は、ミラー面22Aで反射された
後、走査レンズ30により収束される。これにより、図
6に示されるように、描画面41は、3つのスポット3
11,312,313により矢印102の主走査方向に
走査される。
図4に示されるように、光束111は、ミラー面22A
をAの距離だけ移動して走査を終了する。なお、このA
の距離は一本の光束を用いる装置のミラー面の長さに略
等しい。
12,113は、それぞれA1,A3の距離だけ移動し
ている。これらの光束による描画の様子が図7に示され
ている。光束111は走査を終了しているので、光束1
11のスポット311は描画面41の描画終了位置41
Bに達している。A1の距離の位置にある光束112の
スポット312は、スポット311の後方にあり、A3
の距離の位置にある光束113は、スポット312の後
方にある。したがって、スポット312,313は描画
面41の走査開始位置41Aと走査終了位置41Bとの
間にあるので、スポット312,313による走査はま
だ終了していない。
12がミラー面22Aの他端部に向かってA2の距離だ
け移動し、光束112のスポット312が描画面41の
走査終了位置41Bに達して、スポット312による走
査が終了する。
光束113がミラー面22AをA4の距離だけ移動し、
光束113のスポット313が走査終了位置41Bに達
して、スポット313による走査も終了する。
が終了し、図8に示されるように、描画面41の走査開
始位置41Aと走査終了位置41Bとの間に、破線で示
される走査線S1,S2,S3が描かれる。
光源部11からの光束が次のミラー面の一端部に入射す
ると共に、テーブル40が副走査方向と逆の方向に移動
しているので、図8のスポット311が次の走査開始位
置41Aに来る。以下、同様にして描画が行われる。
束を用いて描画を行う場合、ポリゴンミラー22の各ミ
ラー面の長さを、1本の光束を用いるときのミラー面の
長さと略同じにできるので、1本の光束を用いる装置と
略同じ大きさのポリゴンミラーを用いて描画できる。
明する。
描画式走査装置が用いられている。この装置のポリゴン
ミラー95の大きさや走査レンズ96の焦点距離など
は、表1に示される値になっている。
のミラー面の長さは、2L=53.85[mm]、すな
わちL=±26.92[mm]になっている。また、走
査角度がh=±21[度]のとき、像高がJ=±55
[mm]である。
走査する場合について示す。図10(B)に示されるよ
うに、入射光束径がG=25.2[mm]のビーム13
1がミラー面95Aに入射するとき、ミラー面95Aの
中心から、入射光束131の光束端までの距離をM1,
M2とする。これらのM1,M2は、像高の値Jが+5
5[mm]、0[mm]、−55[mm]のとき、すな
わち、走査角度hが+21[度]、0[度]、−21
[度]のとき、次の表2のようになる。
き、距離がM2=−26.88[mm]である。一方、
ミラー面95Aの長さはL=±26.92[mm]であ
るので、ケラレは発生しない。
本の光束を用いたときの走査について、図11を用いて
示す。入射光束132は、入射光束131に対して、角
度がΔj=2.1度だけ傾いた状態になっている。この
場合、M1,M2は、像高Jが+55[mm]、0[m
m]、−55[mm]のとき、表3のようになる。
き、M2が−27.99[mm]である。一方、ミラー
面95Aの長さはL=±26.92[mm]であるの
で、ケラレが発生する。したがって、従来のように、入
射光束がミラー面上で交差する2本の光束を用いたと
き、図10のポリゴンミラー95を用いることはできな
い。
レンズ側で交差する2本の光束を用いたときの走査につ
いて、図12を用いて示す。このとき、入射光束132
は、入射光束131に対して角度がΔj=2.1度だけ
傾いた状態になっており、反射光束の交点は、ミラー面
95Aから走査レンズ側に向かって距離がN=27.2
7[mm]の所にある。この交点の距離の値Nは、先に
述べた数6の式に基づいて求められる。
合、M1,M2は、像高の値Jが+55[mm]、0
[mm]、−55[mm]のとき、表4のようになる。
き、距離がM2=−26.70[mm]であり、像高が
J=−55[mm]のとき、距離がM1=+26.70
[mm]である。一方、ミラー面95Aの長さはL=±
26.92[mm]であるので、ケラレは発生しない。
ズ側で交差する2本の光束を用いれば、図10に示され
る、内接円の半径がR=65[mm]のポリゴンミラー
は使用できる。
ば、複数の光束を用いた描画に際して、これらの光束を
偏向、走査するポリゴンミラーを小型化できる効果があ
る。
図である。
る。
る。
る。
トの図である。
トの図である。
トの図である。
トの図である。
ある。
ある。
ある。
の図である。
めの図である。
かれるスポットの図である。
Claims (1)
- 【請求項1】描画用の複数の光束を交差するように射出
する光源と、 前記光源からの複数の光束が交差する手前で、これらの
光束を偏向、走査させる偏向手段と、 前記偏向手段からの光束を描画面上に収束させる走査レ
ンズとを備えることを特徴とする走査式描画装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28653691A JP3088153B2 (ja) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | 走査式描画装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28653691A JP3088153B2 (ja) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | 走査式描画装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05127111A true JPH05127111A (ja) | 1993-05-25 |
JP3088153B2 JP3088153B2 (ja) | 2000-09-18 |
Family
ID=17705684
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28653691A Expired - Lifetime JP3088153B2 (ja) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | 走査式描画装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3088153B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5970034A (en) * | 1996-02-14 | 1999-10-19 | Ricoh Company, Ltd. | Multiple-beam optical recording apparatus |
JP2009015044A (ja) * | 2007-07-05 | 2009-01-22 | Konica Minolta Opto Inc | 走査光学系、光走査装置及び画像形成装置 |
EP2189833A1 (en) * | 2007-08-21 | 2010-05-26 | HOYA Corporation | Multibeam scanning device |
-
1991
- 1991-10-31 JP JP28653691A patent/JP3088153B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5970034A (en) * | 1996-02-14 | 1999-10-19 | Ricoh Company, Ltd. | Multiple-beam optical recording apparatus |
JP2009015044A (ja) * | 2007-07-05 | 2009-01-22 | Konica Minolta Opto Inc | 走査光学系、光走査装置及び画像形成装置 |
EP2189833A1 (en) * | 2007-08-21 | 2010-05-26 | HOYA Corporation | Multibeam scanning device |
EP2189833A4 (en) * | 2007-08-21 | 2012-09-12 | Prysm Inc | MULTIPLE SCANNING DEVICE |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3088153B2 (ja) | 2000-09-18 |
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