JPH0543090B2 - - Google Patents
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- JPH0543090B2 JPH0543090B2 JP20508985A JP20508985A JPH0543090B2 JP H0543090 B2 JPH0543090 B2 JP H0543090B2 JP 20508985 A JP20508985 A JP 20508985A JP 20508985 A JP20508985 A JP 20508985A JP H0543090 B2 JPH0543090 B2 JP H0543090B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light beam
- scanning
- optical system
- lens
- plane
- Prior art date
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 85
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 25
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Lenses (AREA)
Description
（発明の分野）
本発明は光ビームを光偏向器により偏向して走
査面上を走査させる光ビーム走査装置における走
査光学系に関し、特に詳細には光偏向器の面倒れ
等による走査線の歪み、ピツチむら等を高精度に
補正することができ、かつ安価な面倒れ補正走査
光学系に関するものである。 （発明の技術的背景および先行技術） 従来より、ビーム光源から発せられた光ビーム
を回転多面鏡等の光偏向器によつて偏向し、走査
面上を主走査させるとともに、主走査方向と略垂
直な方向に光ビームと走査面とを相対的に移動さ
せて副走査を行ない、光ビームにより走査面を２
次元的に走査する光ビーム走査装置において、走
査面上に光ビームを結像せしめて２次元的な走査
を行なわせる走査光学系が種々提案されている。 ところで、光ビームを偏向して主走査を行なわ
しめる光偏向器は高速で駆動されているために振
動によるウオブリングが生じやすく、このため偏
向されて走査面上を走査する走査線は副走査方向
にゆがみをもつたものになるおそれがある。ま
た、特に偏向器として回転多面鏡を用いた場合に
は、回転多面鏡の光ビームが入射する各面をそれ
ぞれ回転軸に対して完全に平行にすることは技術
的に難しく、この回転多面鏡の面倒れにより走査
線のピツチにむらが生じてしまうという問題があ
る。そこで、ビーム光源と光偏向器の間に設けら
れ、光ビームを光偏向器の偏向面に、光ビームを
光偏向器の駆動軸に垂直な面に平行な線像として
入射させる入射用光学系と、光偏向器と走査面の
間に設けられ、光偏向器の偏向面と垂直な面内に
おいて、光偏向器の反射面と走査面を共役の関係
で結び、光偏向器により偏向された光ビームを走
査面において結像させる結像光学系とを備え、走
査面上における走査線のピツチむらや副走査方向
の歪みを光学的に補正する面倒れ補正走査光学系
が種々提案されている。 上記面倒れ補正光学系の結像光学系は、主とし
て複数のレンズが組み合わせられてなり、例えば
球面レンズから成る走査レンズと、この走査レン
ズと走査面の間に設けられた、光偏向器の偏向面
と垂直な方向に屈折力を有するシリンドリカルレ
ンズを組み合わせてなる光学系が既に知られてい
る。しかしながら、シリンドリカルレンズを用い
た結像光学系は、シリンドリカルレンズを走査面
から遠ざけて配すると、像面わん曲が大きくな
り、シリンドリカルレンズは偏向面内においては
曲率を有していないためにこの像面わん曲を補正
することが困難で良好な走査が行なうことができ
ない。このためシリンドリカルレンズは走査面に
近づけて配さなければならず、シリンドリカルレ
ンズを走査面に近づけて配すると、シリンドリカ
ルレンズは主走査方向に長尺なものである必要が
生じ、走査光学系が大型化するという問題が生じ
る。 そこで、上記シリンドリカルレンズの代りに偏
向面内においても、偏向面と直交する面内におい
ても曲率を有するトーリツクレンズを用いた結像
光学系も提案されている（特開昭56−36622等）。
上記トーリツクレンズは上述のように偏向面内に
おいても曲率を有しており、像面わん曲を補正す
ることができるので、走査面から離して配するこ
とも可能であり、走査光学系をコンパクトにする
ことができるという利点を有している。しかしな
がら、上記トーリツクレンズは、そのレンズ面の
片面がトーリツク面であり、このトーリツク面は
偏向方向と偏向方向に垂直な方向とで曲率が異な
つているために加工が難しいのに加え、レンズ面
のもう一方の面がシリンドリカル面となつている
ことから、トーリツク面とシリンドリカル面の光
軸を正確に一致するようにレンズを加工すること
が技術的に大変難しいという問題がある。このた
め、トーリツク面とシリンドリカル面を有するト
ーリツクレンズは大変高価なものとなり、面倒れ
補正走査光学系の製造コストが上昇してしまうと
いう不都合がある。 （発明の目的） 本発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので
あり、高性能でありかつ安価なレンズ系により面
倒れ等の補正を行なうことのできる光ビーム走査
光学系を提供することを目的とするものである。 （発明の構成） 本発明の光ビーム走査光学系は、光偏向器およ
び前述した入射用光学系とともに設けられる結像
光学系が、前記光偏向器側から順に配された、負
の屈折力を有する球面レンズ、前記光偏向器の偏
向面と垂直な方向に負の屈折力を有し、レンズ面
の片面が平坦なシリンドリカルレンズ、および前
記偏向面に平行な方向の正の屈折力が前記偏向面
に垂直な方向の正の屈折力よりも小さく、レンズ
面の片面が平坦なトーリツクレンズからなること
を特徴とするものである。すなわち、本発明の面
倒れ補正走査光学系は、結像光学系において球面
単レンズと共に用いられるレンズをシリンドリカ
ルレンズとトーリツクレンズの２つのレンズとし
たことにより、両レンズのレンズ面の片面をそれ
ぞれ平坦にすることができ、レンズ系を大幅に安
価なものとすることができる。また上記結像光学
系は比較的走査面から離して配することができる
ため、コンパクトな走査光学系を実現することも
可能である。 （実施態様） 以下、図面を参照して本発明の実施態様につい
て説明する。 第１図は本発明の一実施態様による光ビーム走
査光学系を備えた光ビーム走査装置の概要を示す
斜視図である。 光源１から発せられた光ビーム２は矢印Ａ方向
に回転する回転多面鏡４に入射して反射偏向され
る。反射偏向された光ビーム２は矢印Ｃ方向に搬
送されて副走査される走査面９上を矢印Ｂ方向に
繰り返し主走査し、走査面９上における光ビーム
の２次元的走査が行なわれる。 また、前記光源１と回転多面鏡４の間には光ビ
ームを回転多面鏡４の偏向面と垂直な方向にのみ
集束させるシリンドリカルレンズ３が設けられて
おり、このシリンドリカルレンズ３により光ビー
ム２は回転多面鏡４の反射面に、回転多面鏡４の
駆動軸に垂直な面に平行な線像として入射せしめ
られる。本実施態様においてはシリンドリカルレ
ンズ３が入射用光学系を構成する。 さらに、回転多面鏡４と走査面９の間には、負
の屈折力を有する球面レンズ５、偏向面と垂直な
方向に負の屈折力を有し、レンズ面の片面が平坦
なシリンドリカルレンズ６、および偏向面に平行
な方向の屈折力が、偏向面に垂直な方向の屈折力
よりも小さく、レンズ面の片面が平坦なトーリツ
クレンズ７が、回転多面鏡４側から順に設けら
れ、これらの３つのレンズにより結像光学系８が
構成されている。回転多面鏡４により反射偏向さ
れた光ビーム２はこの結像光学系８により走査面
上において結像せしめられ、かつ走査面上を等速
で走査せしめられる。 第２図は前述した面倒れ補正走査光学系を通過
する光ビームの偏向面と平行な面内における光路
を示す概略図であり、第３図は偏向面と垂直な面
内における上記光路の概略図である。 偏向面と平行な面内において、光ビーム２は光
源１から射出されて回転多面鏡４によつて偏向さ
れた後、前記結像光学系８により走査面９上にお
いて結像せしめられかつ一定の速度で走査せしめ
られる。 一方、偏向面と垂直な面内において、光ビーム
２は光源１から射出された後シリンドリカルレン
ズ３により、回転多面鏡の反射面４ａ上において
点像として結像せしめられる。さらに、回転多面
鏡４により反射偏向され、再びビーム径の拡がつ
た光ビーム２は、前記結像光学系８を通過する。
結像光学系８は、前記反射面４ａと走査面９とを
共役の関係に結ぶレンズ系であり、光ビーム２は
この結像光学系８により走査面上９において結像
せしめられる。すなわち、回転多面鏡４に面倒れ
等がなく、反射面４ａが所定の位置であれば光ビ
ーム２は第３図中実線で示す光路を通るが、面倒
れ等により反射面が4a′で示す位置にずれ、光ビ
ーム２が図中破線で示す光路に移動しても、光ビ
ーム２は常に同一点から発する光であるので、結
像光学系８により、いずれの場合にも走査面上の
同一位置に結像せしめられる。なお、偏向面と垂
直な方向における前記トーリツクレンズ７の屈折
力は偏向面と平行な方向における屈折力よりも大
きいものとなつている。 このように本実施態様の光ビーム走査光学系に
よれば、回転多面鏡等の光偏向器の面倒れ等が生
じても走査面上における光ビームの結像位置は変
化しないので、走査線の副走査方向の歪みを高精
度に補正することができる。 なお、前記結像光学系８を構成するシリンドリ
カルレンズ６およびトーリツクレンズ７はレンズ
面の片面が平坦であるので、その製造が容易な比
較的安価なレンズとなり、本発明の面倒れ補正走
査光学系は走査線のピツチむら、歪み等を高精度
かつ安価に補正するものである。 以下に本発明の面倒れ補正走査光学系の結像光
学系の各レンズの実施例を示す。なお、結像光学
系に対する前記回転多面鏡の偏向の中央の位置に
おける入射光と反射光のなす角φはφ＝60゜、反
射面の面数ｎはｎ＝８であるとする。また、r1〜
r6は第２図に示す、偏向面と平行な平面内におけ
る結像光学系の各レンズのレンズ面の曲率半径、
r1′〜r6′は第３図に示す偏向面と垂直な平面内に
おける結像光学系の各レンズのレンズ面の曲率半
径、d1，d3，d5はそれぞれ球面レンズ５、シリン
ドリカルレンズ６、トーリツクレンズ７の軸上肉
厚、d2，d4は軸上の空気間隔を偏向面と平行な面
内における焦点距離を100として表わしたもので
ある。またn1，n2，n3はそれぞれ上記各レンズの
屈折率である。 実施例 １
査面上を走査させる光ビーム走査装置における走
査光学系に関し、特に詳細には光偏向器の面倒れ
等による走査線の歪み、ピツチむら等を高精度に
補正することができ、かつ安価な面倒れ補正走査
光学系に関するものである。 （発明の技術的背景および先行技術） 従来より、ビーム光源から発せられた光ビーム
を回転多面鏡等の光偏向器によつて偏向し、走査
面上を主走査させるとともに、主走査方向と略垂
直な方向に光ビームと走査面とを相対的に移動さ
せて副走査を行ない、光ビームにより走査面を２
次元的に走査する光ビーム走査装置において、走
査面上に光ビームを結像せしめて２次元的な走査
を行なわせる走査光学系が種々提案されている。 ところで、光ビームを偏向して主走査を行なわ
しめる光偏向器は高速で駆動されているために振
動によるウオブリングが生じやすく、このため偏
向されて走査面上を走査する走査線は副走査方向
にゆがみをもつたものになるおそれがある。ま
た、特に偏向器として回転多面鏡を用いた場合に
は、回転多面鏡の光ビームが入射する各面をそれ
ぞれ回転軸に対して完全に平行にすることは技術
的に難しく、この回転多面鏡の面倒れにより走査
線のピツチにむらが生じてしまうという問題があ
る。そこで、ビーム光源と光偏向器の間に設けら
れ、光ビームを光偏向器の偏向面に、光ビームを
光偏向器の駆動軸に垂直な面に平行な線像として
入射させる入射用光学系と、光偏向器と走査面の
間に設けられ、光偏向器の偏向面と垂直な面内に
おいて、光偏向器の反射面と走査面を共役の関係
で結び、光偏向器により偏向された光ビームを走
査面において結像させる結像光学系とを備え、走
査面上における走査線のピツチむらや副走査方向
の歪みを光学的に補正する面倒れ補正走査光学系
が種々提案されている。 上記面倒れ補正光学系の結像光学系は、主とし
て複数のレンズが組み合わせられてなり、例えば
球面レンズから成る走査レンズと、この走査レン
ズと走査面の間に設けられた、光偏向器の偏向面
と垂直な方向に屈折力を有するシリンドリカルレ
ンズを組み合わせてなる光学系が既に知られてい
る。しかしながら、シリンドリカルレンズを用い
た結像光学系は、シリンドリカルレンズを走査面
から遠ざけて配すると、像面わん曲が大きくな
り、シリンドリカルレンズは偏向面内においては
曲率を有していないためにこの像面わん曲を補正
することが困難で良好な走査が行なうことができ
ない。このためシリンドリカルレンズは走査面に
近づけて配さなければならず、シリンドリカルレ
ンズを走査面に近づけて配すると、シリンドリカ
ルレンズは主走査方向に長尺なものである必要が
生じ、走査光学系が大型化するという問題が生じ
る。 そこで、上記シリンドリカルレンズの代りに偏
向面内においても、偏向面と直交する面内におい
ても曲率を有するトーリツクレンズを用いた結像
光学系も提案されている（特開昭56−36622等）。
上記トーリツクレンズは上述のように偏向面内に
おいても曲率を有しており、像面わん曲を補正す
ることができるので、走査面から離して配するこ
とも可能であり、走査光学系をコンパクトにする
ことができるという利点を有している。しかしな
がら、上記トーリツクレンズは、そのレンズ面の
片面がトーリツク面であり、このトーリツク面は
偏向方向と偏向方向に垂直な方向とで曲率が異な
つているために加工が難しいのに加え、レンズ面
のもう一方の面がシリンドリカル面となつている
ことから、トーリツク面とシリンドリカル面の光
軸を正確に一致するようにレンズを加工すること
が技術的に大変難しいという問題がある。このた
め、トーリツク面とシリンドリカル面を有するト
ーリツクレンズは大変高価なものとなり、面倒れ
補正走査光学系の製造コストが上昇してしまうと
いう不都合がある。 （発明の目的） 本発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので
あり、高性能でありかつ安価なレンズ系により面
倒れ等の補正を行なうことのできる光ビーム走査
光学系を提供することを目的とするものである。 （発明の構成） 本発明の光ビーム走査光学系は、光偏向器およ
び前述した入射用光学系とともに設けられる結像
光学系が、前記光偏向器側から順に配された、負
の屈折力を有する球面レンズ、前記光偏向器の偏
向面と垂直な方向に負の屈折力を有し、レンズ面
の片面が平坦なシリンドリカルレンズ、および前
記偏向面に平行な方向の正の屈折力が前記偏向面
に垂直な方向の正の屈折力よりも小さく、レンズ
面の片面が平坦なトーリツクレンズからなること
を特徴とするものである。すなわち、本発明の面
倒れ補正走査光学系は、結像光学系において球面
単レンズと共に用いられるレンズをシリンドリカ
ルレンズとトーリツクレンズの２つのレンズとし
たことにより、両レンズのレンズ面の片面をそれ
ぞれ平坦にすることができ、レンズ系を大幅に安
価なものとすることができる。また上記結像光学
系は比較的走査面から離して配することができる
ため、コンパクトな走査光学系を実現することも
可能である。 （実施態様） 以下、図面を参照して本発明の実施態様につい
て説明する。 第１図は本発明の一実施態様による光ビーム走
査光学系を備えた光ビーム走査装置の概要を示す
斜視図である。 光源１から発せられた光ビーム２は矢印Ａ方向
に回転する回転多面鏡４に入射して反射偏向され
る。反射偏向された光ビーム２は矢印Ｃ方向に搬
送されて副走査される走査面９上を矢印Ｂ方向に
繰り返し主走査し、走査面９上における光ビーム
の２次元的走査が行なわれる。 また、前記光源１と回転多面鏡４の間には光ビ
ームを回転多面鏡４の偏向面と垂直な方向にのみ
集束させるシリンドリカルレンズ３が設けられて
おり、このシリンドリカルレンズ３により光ビー
ム２は回転多面鏡４の反射面に、回転多面鏡４の
駆動軸に垂直な面に平行な線像として入射せしめ
られる。本実施態様においてはシリンドリカルレ
ンズ３が入射用光学系を構成する。 さらに、回転多面鏡４と走査面９の間には、負
の屈折力を有する球面レンズ５、偏向面と垂直な
方向に負の屈折力を有し、レンズ面の片面が平坦
なシリンドリカルレンズ６、および偏向面に平行
な方向の屈折力が、偏向面に垂直な方向の屈折力
よりも小さく、レンズ面の片面が平坦なトーリツ
クレンズ７が、回転多面鏡４側から順に設けら
れ、これらの３つのレンズにより結像光学系８が
構成されている。回転多面鏡４により反射偏向さ
れた光ビーム２はこの結像光学系８により走査面
上において結像せしめられ、かつ走査面上を等速
で走査せしめられる。 第２図は前述した面倒れ補正走査光学系を通過
する光ビームの偏向面と平行な面内における光路
を示す概略図であり、第３図は偏向面と垂直な面
内における上記光路の概略図である。 偏向面と平行な面内において、光ビーム２は光
源１から射出されて回転多面鏡４によつて偏向さ
れた後、前記結像光学系８により走査面９上にお
いて結像せしめられかつ一定の速度で走査せしめ
られる。 一方、偏向面と垂直な面内において、光ビーム
２は光源１から射出された後シリンドリカルレン
ズ３により、回転多面鏡の反射面４ａ上において
点像として結像せしめられる。さらに、回転多面
鏡４により反射偏向され、再びビーム径の拡がつ
た光ビーム２は、前記結像光学系８を通過する。
結像光学系８は、前記反射面４ａと走査面９とを
共役の関係に結ぶレンズ系であり、光ビーム２は
この結像光学系８により走査面上９において結像
せしめられる。すなわち、回転多面鏡４に面倒れ
等がなく、反射面４ａが所定の位置であれば光ビ
ーム２は第３図中実線で示す光路を通るが、面倒
れ等により反射面が4a′で示す位置にずれ、光ビ
ーム２が図中破線で示す光路に移動しても、光ビ
ーム２は常に同一点から発する光であるので、結
像光学系８により、いずれの場合にも走査面上の
同一位置に結像せしめられる。なお、偏向面と垂
直な方向における前記トーリツクレンズ７の屈折
力は偏向面と平行な方向における屈折力よりも大
きいものとなつている。 このように本実施態様の光ビーム走査光学系に
よれば、回転多面鏡等の光偏向器の面倒れ等が生
じても走査面上における光ビームの結像位置は変
化しないので、走査線の副走査方向の歪みを高精
度に補正することができる。 なお、前記結像光学系８を構成するシリンドリ
カルレンズ６およびトーリツクレンズ７はレンズ
面の片面が平坦であるので、その製造が容易な比
較的安価なレンズとなり、本発明の面倒れ補正走
査光学系は走査線のピツチむら、歪み等を高精度
かつ安価に補正するものである。 以下に本発明の面倒れ補正走査光学系の結像光
学系の各レンズの実施例を示す。なお、結像光学
系に対する前記回転多面鏡の偏向の中央の位置に
おける入射光と反射光のなす角φはφ＝60゜、反
射面の面数ｎはｎ＝８であるとする。また、r1〜
r6は第２図に示す、偏向面と平行な平面内におけ
る結像光学系の各レンズのレンズ面の曲率半径、
r1′〜r6′は第３図に示す偏向面と垂直な平面内に
おける結像光学系の各レンズのレンズ面の曲率半
径、d1，d3，d5はそれぞれ球面レンズ５、シリン
ドリカルレンズ６、トーリツクレンズ７の軸上肉
厚、d2，d4は軸上の空気間隔を偏向面と平行な面
内における焦点距離を100として表わしたもので
ある。またn1，n2，n3はそれぞれ上記各レンズの
屈折率である。 実施例 １
【表】
なお、本実施例において前記回転多面鏡の内接
円半径Ｒ＝9.33mmであり、偏向面と平行な面およ
び偏向面と垂直な面における焦点距離、r1のレン
ズ面と物面までの距離S1、および物体距離がS1の
時のr6のレンズ面から像面までの距離Sk′は以下
の値である。 焦点距離 S1 Sk′ 偏向面と平行な面 100.000 −∞ 110.442 偏向面と垂直な面 27.629 7.754 110.442 また、本実施例における偏向面と平行な平面内
および偏向面に垂直な平面内における収差図を第
４図に示す。 ここでfθ性とは fθ＝（dH／dθ）−（dH／dθ）〓=0゜／（dH／dθ）
〓=0゜ （Ｈは像面上で振れ角θの時の高さ）で定義され
る値である。 実施例 ２
円半径Ｒ＝9.33mmであり、偏向面と平行な面およ
び偏向面と垂直な面における焦点距離、r1のレン
ズ面と物面までの距離S1、および物体距離がS1の
時のr6のレンズ面から像面までの距離Sk′は以下
の値である。 焦点距離 S1 Sk′ 偏向面と平行な面 100.000 −∞ 110.442 偏向面と垂直な面 27.629 7.754 110.442 また、本実施例における偏向面と平行な平面内
および偏向面に垂直な平面内における収差図を第
４図に示す。 ここでfθ性とは fθ＝（dH／dθ）−（dH／dθ）〓=0゜／（dH／dθ）
〓=0゜ （Ｈは像面上で振れ角θの時の高さ）で定義され
る値である。 実施例 ２
【表】
なお、本実施例において前記回転多面鏡の内接
円半径Ｒ＝8.59mmであり、偏向面と平行な面およ
び偏向面と垂直な面における焦点距離、r1のレン
ズ面と物面までの距離S1、および物体距離がS1の
時のr6のレンズ面から像面までの距離Sk′は以下
の値である。 焦点距離 S1 Sk′ 偏向面と平行な面 100.000 −∞ 108.183 偏向面と垂直な面 26.352 −7.140 108.183 また、本実施態様における偏向面と平行な平面
内および偏向面に垂直な平面内における収差図を
第５図に示す。 （発明の効果） 以上説明したように、本発明の光ビーム走査光
学系によれば、光偏向器と走査面の間に設けられ
る結像光学系を球面単レンズ、レンズ面の片面が
平坦なシリンドリカルレンズ、およびレンズ面の
片面が平坦なトーリツクレンズからなるものとし
たことにより、走査面上において光ビームを結像
させて等速で走査せしめ、副走査方向に歪みのな
い走査線を得ることができ、かつ光ビーム走査光
学系を安価なものにすることができる。
円半径Ｒ＝8.59mmであり、偏向面と平行な面およ
び偏向面と垂直な面における焦点距離、r1のレン
ズ面と物面までの距離S1、および物体距離がS1の
時のr6のレンズ面から像面までの距離Sk′は以下
の値である。 焦点距離 S1 Sk′ 偏向面と平行な面 100.000 −∞ 108.183 偏向面と垂直な面 26.352 −7.140 108.183 また、本実施態様における偏向面と平行な平面
内および偏向面に垂直な平面内における収差図を
第５図に示す。 （発明の効果） 以上説明したように、本発明の光ビーム走査光
学系によれば、光偏向器と走査面の間に設けられ
る結像光学系を球面単レンズ、レンズ面の片面が
平坦なシリンドリカルレンズ、およびレンズ面の
片面が平坦なトーリツクレンズからなるものとし
たことにより、走査面上において光ビームを結像
させて等速で走査せしめ、副走査方向に歪みのな
い走査線を得ることができ、かつ光ビーム走査光
学系を安価なものにすることができる。
第１図は本発明の一実施態様による面倒れ補正
走査光学系を用いた光ビーム走査装置の概要を示
す斜視図、第２図は上記光学系の偏向面と平行な
面内における光ビームの光路を示す概略図、第３
図は上記光学系の偏向面と垂直な面内における光
ビームの光路を示す概略図、第４図は本発明の第
１実施例による結像光学系の、偏向面と平行な平
面内および偏向面と垂直な平面内における収差
図、第５図は本発明の第２実施例による結像光学
系の、偏向面と平行な平面内および偏向面と垂直
な平面内における収差図である。 １……光源、２……光ビーム、３……シリンド
リカルレンズ、４……回転多面鏡、５……球面レ
ンズ、６……シリンドリカルレンズ、７……トー
リツクレンズ、８……結像光学系。
走査光学系を用いた光ビーム走査装置の概要を示
す斜視図、第２図は上記光学系の偏向面と平行な
面内における光ビームの光路を示す概略図、第３
図は上記光学系の偏向面と垂直な面内における光
ビームの光路を示す概略図、第４図は本発明の第
１実施例による結像光学系の、偏向面と平行な平
面内および偏向面と垂直な平面内における収差
図、第５図は本発明の第２実施例による結像光学
系の、偏向面と平行な平面内および偏向面と垂直
な平面内における収差図である。 １……光源、２……光ビーム、３……シリンド
リカルレンズ、４……回転多面鏡、５……球面レ
ンズ、６……シリンドリカルレンズ、７……トー
リツクレンズ、８……結像光学系。
Claims (1)
- １ 光ビームの光路上に設けられ、該光ビームを
偏向する光偏向器、前記光ビームの光源と前記光
偏向器の間に設けられ、前記光ビームを前記光偏
向器の表面に、該光偏向器の駆動軸に垂直な面に
平行な線像として入射せしめる入射用光学系、お
よび前記光偏向器により偏向された光ビームの光
路上に設けられ、光ビームを走査面上において結
像せしめる結像光学系からなる光ビーム走査光学
系において、前記結像光学系が、前記光偏向器側
から順に配列された、負の屈折力を有する球面レ
ンズ、前記光偏向器の偏向面と垂直な方向に負の
屈折力を有し、レンズ面の片面が平坦なシリンド
リカルレンズ、および前記偏向面に平行な方向の
正の屈折力が前記偏向面に垂直な方向の正の屈折
力よりも小さく、レンズ面の片面が平坦なトーリ
ツクレンズからなることを特徴とする光ビーム走
査光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20508985A JPS6265011A (ja) | 1985-09-17 | 1985-09-17 | 光ビ−ム走査光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20508985A JPS6265011A (ja) | 1985-09-17 | 1985-09-17 | 光ビ−ム走査光学系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6265011A JPS6265011A (ja) | 1987-03-24 |
| JPH0543090B2 true JPH0543090B2 (ja) | 1993-06-30 |
Family
ID=16501243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20508985A Granted JPS6265011A (ja) | 1985-09-17 | 1985-09-17 | 光ビ−ム走査光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6265011A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63313114A (ja) * | 1987-06-17 | 1988-12-21 | Copal Electron Co Ltd | 走査光学系 |
| JPH0727126B2 (ja) * | 1987-07-23 | 1995-03-29 | 株式会社日立製作所 | 光走査装置 |
| JP2013116488A (ja) * | 2011-12-04 | 2013-06-13 | Kiyoyuki Kondo | ビーム加工装置及びそれを用いた基板の加工方法 |
-
1985
- 1985-09-17 JP JP20508985A patent/JPS6265011A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6265011A (ja) | 1987-03-24 |
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