JP4951982B2 - 半導体装置とその製造方法 - Google Patents
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Description
2、 シリコン基板主面、(100)面
3、406 トレンチ側壁面、{100}面
4、402 マスク酸化膜
5、 トレンチ
6、 酸化膜
8、 ポリシリコンゲート酸化膜
401 シリコン基板
405、407トレンチ底部(100)面
409 ゲート酸化膜
410 トレンチ傾斜部酸化膜
411 ポリシリコンゲート酸化膜
B 電界集中部。
Claims (10)
- (100)面を主面とするシリコン基板に、該シリコン基板の主面に垂直な{100}面の側壁と{111}面の傾斜とを備えるトレンチと、該トレンチの前記側壁に形成されるゲート絶縁膜と、該ゲート絶縁膜より厚い、前記傾斜に形成される絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜および傾斜絶縁膜上に沿って形成され、前記傾斜絶縁膜上に端部が位置するゲート電極と、前記トレンチ下部のシリコン基板面に配置され端部が前記ゲート絶縁膜に当接するドレイン領域と、前記トレンチに隣接する前記シリコン基板の主面に形成されるソース領域と、を備えたMOS型半導体装置において、
前記ゲート絶縁膜および前記傾斜絶縁膜が一度の熱酸化工程により形成された絶縁膜であることを特徴とするMOS型半導体装置。 - 前記トレンチが、前記シリコン基板の主面に垂直な{100}面の側壁と、{111}面の傾斜により形成されるV字形溝からなる底部とを有することを特徴とする請求項1記載のMOS型半導体装置。
- 前記トレンチが、前記シリコン基板の主面に垂直な{100}面の側壁と、{111}面の傾斜と、前記シリコン基板の主面に平行な底面とを有することを特徴とする請求項1記載のMOS型半導体装置。
- 請求項1に記載のMOS型半導体装置の製造方法において、
前記(100)面を主面とするシリコン基板上で、前記{111}面との交差線を主要な辺とする前記トレンチ形成用絶縁膜パターンを形成し、面方位依存性を有するアルカリエッチングと前記シリコン基板の主面に垂直にエッチングするドライエッチングとを用いて前記トレンチを形成する工程を含むことを特徴とするMOS型半導体装置の製造方法。 - 前記トレンチを形成する工程が前記ドライエッチングを行った後、前記アルカリエッチンッグを行うことを特徴とする請求項4記載のMOS型半導体装置の製造方法。
- 前記トレンチを形成する工程が前記アルカリエッチングを行った後、前記ドライエッチングを行うことを特徴とする請求項4記載のMOS型半導体装置の製造方法。
- 前記ドライエッチングがRIEエッチングであることを特徴とする請求項4乃至6のいずれか一項に記載のMOS型半導体装置の製造方法。
- 前記アルカリエッチングが面方位依存性を有するテトラメチルアンモニウムまたはアンモニア水を用いて行われることを特徴とする請求項4乃至6のいずれか一項に記載のMOS型半導体装置の製造方法。
- トレンチの底部をV字形状にエッチングすることを特徴とする請求項4乃至8のいずれか一項に記載のMOS型半導体装置の製造方法。
- トレンチの底部を逆台形状にエッチングすることを特徴とする請求項4乃至8のいずれか一項に記載のMOS型半導体装置の製造方法。
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