JP4936467B2 - Co2センサ - Google Patents
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Description
また特許文献2:特開2004−239831は、SnO2等の金属酸化物半導体と炭酸Li等の金属炭酸塩との混合物からなる検知極を提案している。
特に好ましくはジルコン酸塩はLi2ZrO3もしくはLi6Zr2O7で、最も好ましくはLi2ZrO3である。
2Li+(electrode)+2e-(electrode)+CO2(gas)+1/2O2(gas)=Li2CO3
の電極反応がLi2ZrO3等の表面で容易に進行することを意味する。このことは他のアルカリ金属ジルコン酸塩でも同様と考えられ、また上記の電極反応は可逆である。
実施例 図 作用極の組成 サンプル数
実施例1 図4〜図7 Li2ZrO3+Au (1:1) 5
実施例2 図6 Li6Zr2O7+Au (1:1) 5
実施例3 図6 Na6Zr2O7+Au (1:1) 5
実施例4 図7 (Li2ZrO3+Li2CO3 98:2)+Au (1:1) 5
実施例5 図7 (Li2ZrO3+Li2CO3 95:5)+Au (1:1) 5
比較例 図8,図9 (Li2ZrO3+Li2CO3 50:50)+Au(1:1) 8
従来例 図6,図7 Li2CO3+Au (1:1) 5
4 ナシコン焼結体
6 作用極
8 対極
10 ヒータ基板
12 ヒータ
14〜16 リード
18 封止ガラス
20 Li2ZrO3層
21 貴金属層
84 ナシコン膜
Claims (3)
- アルカリイオン伝導体に接続した対極と検知極と、該アルカリイオン伝導体を加熱するヒータとを設けたCO2センサにおいて、
前記検知極が貴金属と、Li 2 ZrO 3 ,Li 6 Zr 2 O 7 ,Na 2 ZrO 3 ,もしくはNa 6 Zr 2 O 7 からなるアルカリ金属のジルコン酸塩とからなることを特徴とするCO2センサ。 - 前記ジルコン酸塩がLi2ZrO3もしくはLi6Zr2O7であることを特徴とする、請求項1のCO2センサ。
- 前記ジルコン酸塩がLi2ZrO3であることを特徴とする、請求項2のCO2センサ。
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