JP4934099B2 - ペリクルおよびペリクルの製造方法 - Google Patents
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Description
12 支持基板(ベース基板)
12a 補強枠
12b 窓枠状に形成された壁部
13 酸化膜
14 ペリクルフレーム
15 ULPAフィルタ
16 保護膜
Claims (14)
- シリコン単結晶膜をペリクル膜として備えたペリクルであって、
前記ペリクル膜と該ペリクル膜を支持するベース基板が単一基板から形成されたものであり、
前記ベース基板には、該ペリクルをフォトマスクに使用した際の露光領域に占める割合(開口比)が60%以上となる開口部が設けられており、前記ベース基板の非露光領域に補強枠が設けられていることを特徴とするペリクル。 - 前記開口部は、前記露光領域に窓枠状に形成された壁部により囲まれている請求項1に記載のペリクル。
- 前記シリコン単結晶膜は、13.5nmの波長の光に対する吸収係数が0.005/nm以下である請求項1又は2に記載のペリクル。
- 前記シリコン単結晶膜の主面は、{100}面群および{111}面群に属する何れかの格子面から3〜5°傾斜した結晶面であることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載のペリクル。
- 前記格子面は{100}面群に属し、前記結晶面は<111>方向に3〜5°傾斜していることを特徴とする請求項4に記載のペリクル。
- 前記格子面は{111}面群に属し、前記結晶面は<110>方向に3〜5°傾斜していることを特徴とする請求項4に記載のペリクル。
- 前記単一基板は、SOI基板、SOQ基板、またはSOG基板である請求項1乃至6の何れか1項に記載のペリクル。
- 前記シリコン単結晶膜の少なくとも一方の面に保護膜を備えている請求項1乃至7の何れか1項に記載のペリクル。
- 前記保護膜は、13.5nmの波長の光に対する吸収係数が0.05/nm以下である請求項8に記載のペリクル。
- 前記保護膜は、SiC、SiO2、Si3N4、SiON、Y2O3、YN、Mo、Ru、及びRhからなる群のうちの少なくとも1つの材料からなるものである請求項8又は9に記載のペリクル。
- ベース基板上にシリコン単結晶膜を有する単一基板から該シリコン単結晶膜からなるペリクル膜および該ペリクル膜を支持するベース基板を備えたペリクルを製造する方法であって、
前記ベース基板の部分的除去により前記ペリクルをフォトマスクに使用した際の非露光領域のベース基板部に補強枠となる壁部を形成する工程と、
該ペリクルをフォトマスクに使用した際の露光領域のベース基板部に、該露光領域に占める割合(開口比)が60%以上となるように開口部を設ける工程と、
を備えていることを特徴とするペリクルの製造方法。 - 前記シリコン単結晶膜の少なくとも一方の面に保護膜を形成する工程を更に備えている請求項11に記載のペリクルの製造方法。
- 前記保護膜の形成が、SiC、SiO2、Si3N4、SiON、Y2O3、YN、Mo、Ru、及びRhからなる群のうちの少なくとも1つの材料からなる膜を被膜することにより実行される請求項12に記載のペリクルの製造方法。
- 前記保護膜の被膜方法がガスクラスタ・イオンビーム蒸着法である請求項13に記載のペリクルの製造方法。
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