JP4933348B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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Description
保持部によって保持された被加工物に対してレーザ光を照射するレーザ照射部と、
保持部によって保持された被加工物に対してレーザ照射部と反対側に配置され、レーザ照射部からのレーザ光によって被加工物から発生する加工塵を集塵する集塵管と、を備え、
集塵管内に、被加工物を通過したレーザ光を受けて、このレーザ光が集塵管内部に入射することを防止する、少なくとも一対の遮光体が設けられ、
各遮光体が、レーザ光の進行方向に沿って互い違いに配置されて排出路を形成し、
レーザ光の進行方向に沿って見た場合に、一対の遮光体によって集塵管の内径全体が覆われていることを特徴とするレーザ加工装置である。
一対の遮光体が、前記上部管内に設けられていることを特徴とするレーザ加工装置である。
レーザ照射部と集塵管とは、一体となって水平方向に移動可能であることを特徴とするレーザ加工装置である。
一対の遮光体が、集塵管が加工塵を吸引する際に発生する吸引気流によって冷却されることを特徴とするレーザ加工装置である。
レーザ照射部によって、保持部により保持された被加工物に対してレーザ光を照射する工程と、
集塵管によって、レーザ照射部からのレーザ光によって被加工物から発生する加工塵を集塵する工程と、を備え、
集塵管内に、レーザ光の進行方向に沿って互い違いに配置されて排出路を形成するとともに、レーザ光の進行方向に沿って見た場合に集塵管の内径全体が覆う、少なくとも一対の遮光体が設けられており、
レーザ光を照射する際、被加工物を通過したレーザ光が一対の遮光体により遮られることを特徴とするレーザ加工方法である。
以下、本発明に係るレーザ加工装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図1(a)(b)および図2は本発明の実施の形態を示す図である。なお、本実施の形態においては、被加工物の一例として基板を用いて説明する。
3 保持部
10 集塵管
11a,11b 遮光体
14 集塵受け
15 上部管
17 ダクトホース(下部管)
40 吸引ポンプ
60 基板(被加工物)
D 加工塵
E 排出路
LB レーザ光
S 吸引気流
Claims (7)
- 被加工物を保持する保持部と、
保持部によって保持された被加工物に対してレーザ光を照射するレーザ照射部と、
保持部によって保持された被加工物に対してレーザ照射部と反対側に配置され、レーザ照射部からのレーザ光によって被加工物から発生する加工塵を集塵する集塵管と、を備え、
集塵管内に、被加工物を通過したレーザ光を受けて、このレーザ光が集塵管内部に入射することを防止する、少なくとも一対の遮光体が設けられ、
各遮光体は、レーザ光の進行方向に沿って互い違いに配置されて排出路を形成し、
レーザ光の進行方向に沿って見た場合に、一対の遮光体によって集塵管の内径全体が覆われていることを特徴とするレーザ加工装置。 - 一対の遮光体は、レーザ照射部からのレーザ光を拡散反射する拡散反射機能を有することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 一対の遮光体は、レーザ照射部からのレーザ光を吸収する吸収機能を有することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 集塵管は、耐熱性を持つ上部管と、当該上部管の下端に連結された下部管とを有し、
一対の遮光体は、前記上部管内に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 集塵管は、上部管と、当該上部管の下端に連結され、可塑性を持つ下部管とを有し、
レーザ照射部と集塵管とは、一体となって水平方向に移動可能であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 集塵管は、レーザ照射部からのレーザ光によって被加工物から発生する加工塵を吸引して集塵し、
一対の遮光体は、集塵管が加工塵を吸引する際に発生する吸引気流によって冷却されることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 保持部によって、被加工物を保持する工程と、
レーザ照射部によって、保持部により保持された被加工物に対してレーザ光を照射する工程と、
集塵管によって、レーザ照射部からのレーザ光によって被加工物から発生する加工塵を集塵する工程と、を備え、
集塵管内に、レーザ光の進行方向に沿って互い違いに配置されて排出路を形成するとともに、レーザ光の進行方向に沿って見た場合に集塵管の内径全体が覆う、少なくとも一対の遮光体が設けられており、
レーザ光を照射する際、被加工物を通過したレーザ光は一対の遮光体により遮られることを特徴とするレーザ加工方法。
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