JP4925681B2 - 耐食性部材 - Google Patents
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Description
使用されている。
る金属であるBの含有量が金属換算で0.8質量%以下、特に0.5質量%以下であることも重要である。このような低融点の金属ハロゲン化物を形成し得る金属の含有量が金属換算で0.8質量%よりも多量に含有されると、低融点の金属ハロゲン化物が分解・揮発して部材に空孔が形成されてしまい、耐腐食性が局所的に低下してしまうためである。さらにはこれらの金属は、部材中に偏在していないことが好ましい。これは、低融点の金属ハロゲン化物がプラズマ照射面に偏在して存在した場合には、その部分を起点として腐食が更に進行してしまうためである。
表1に示すような種々の化合物からなる直径25mm、厚み3mmの大きさの酸化物の焼結体または単結晶からなる試料を作製した。なお、蛍光X線による測定の結果、いずれの試料もSi、B、MoおよびWの不純物量の合計は0.5質量%以下であった。
実施例1と同様にして作製した表2の各試料に対して、リアクティブイオンエッチング装置内にHBrガスを導入し、高周波にてプラズマを発生させ、室温で臭素プラズマ照射テストを行なった。装置内圧力は10Paに保持し、13.56MHz、1kWの高周波を利用した。
実施例1と同様にして作製した表3の各試料に対して、リアクティブイオンエッチング装置内にHIガスを導入し、高周波にてプラズマを発生させ、室温でヨウ素プラズマ照射テストを行なった。装置内圧力は10Paに保持し、13.56MHz、1kWの高周波を利用した。評価方法は実施例1と同様である。
/min以下の優れた耐食性を示した。
Claims (1)
- 塩素系、臭素系およびヨウ素系ガスのいずれかのガスあるいはそのプラズマに曝される部位が、Mgの酸化物の焼結体からなり、前記ガスあるいは前記プラズマとの反応によって、高融点の金属ハロゲン化物を形成するとともに、低融点の金属ハロゲン化物を形成し得る金属であるBの含有量が金属換算で0.8質量%以下であることを特徴とする耐食性部材。
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