JP4924878B2

JP4924878B2 - アブソリュートエンコーダ

Info

Publication number: JP4924878B2
Application number: JP2006300214A
Authority: JP
Inventors: 進牧野内
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2006-11-06
Filing date: 2006-11-06
Publication date: 2012-04-25
Anticipated expiration: 2026-11-06
Also published as: JP2008116343A; WO2008056546A1

Description

本発明はアブソリュートエンコーダに係り、更に詳しくは、移動する物体の変位を計測するアブソリュートエンコーダに関する。

従来より、アブソリュートエンコーダとしては、例えば特許文献１に記載されているようなアブソリュートエンコーダがある。

このアブソリュートエンコーダは、アブソリュートパターンのトラックとインクリメンタルパターンのトラックを略平行に有する符号板と、この符号板に対してトラックの長手方向に相対移動可能な検出器とを備えており、アブソリュートパターンを介して検出器から出力される信号とインクリメンタルパターンを介して検出器から出力される信号とを処理して、符号板と検出器との位置関係（絶対的な位置）を、例えばｊ進数（ｊ目盛り）で表すことが可能なものである。

しかるに、この種のアブソリュートエンコーダでは、その測長距離は、ビットの分解能（１目盛りの長さ）と、ビット長ｊ（ｊ進数）の積で決まるため、アブソリュートエンコーダの測長距離を伸ばすためには、１ビットの分解能を低下させる（１目盛りの長さを大きくする）か、あるいはビット長ｊを大きくする必要がある。

しかしながら、ビットの分解能を低下させると高精度な計測ができなくなり、ビット長ｊを大きくすると位置検出のために用いられる回路、及び検出器に設けられる受光素子の構成が複雑になり、ひいては検出器の大型化、複雑化を招くおそれがある。

特開平２−１６８１１５号公報

本発明は、上述した事情の下になされたものであり、一軸方向に関する絶対位置情報を計測するアブソリュートエンコーダであって、前記一軸方向に関して所定周期を有するアブソリュートコードから構成された第１のアブソリュートパターンが、前記一軸方向に沿って複数配列された第１のトラックと、前記一軸方向に関して前記所定周期の整数倍でない周期を有するアブソリュートコードから構成された第２のアブソリュートパターンが、前記一軸方向に沿って複数配列された第２のトラックと、を有する符号板と；前記符号板を介した光を受光する受光器と；を備えるアブソリュートエンコーダである。

これによれば、第１のアブソリュートパターンを介した光を受光器で受光するとともに、第２のアブソリュートパターンを介した光を受光器で受光するので、これらそれぞれの受光結果から、複数の絶対位置情報を算出することができる。したがって、これらの絶対位置情報の関係を用いることにより、新たな絶対位置情報を算出することができるので、複数の絶対位置情報の組み合わせの分だけ、測長距離を長くすることが可能となる。

以下、本発明の一実施形態について、図１〜図６に基づいて説明する。図１には、本実施形態の光学式エンコーダ（アブソリュートエンコーダ）１０の全体構成が示されている。

この光学式エンコーダ１０は、スケール（符号板）１１と、検出部２０と、該検出部２０からの信号を処理してスケール１１の絶対位置（検出部２０を基準とした絶対位置）を表すデータに変換する信号処理系４０と、を含んでいる。

前記スケール１１は、透明基板からなり、その表面には、金属の蒸着などによる不透明部分と透明部分とが形成されている。このスケール１１には、Ｙ軸方向に所定間隔をあけてＸ軸方向を長手方向とする４つのトラックが形成されている。具体的には、スケール１１には、その最も＋Ｙ側に、第１のアブソリュートパターンを有する第１のトラック１３が形成され、その−Ｙ側に、第１のインクリメンタルパターンを有する第２のトラック１５が形成され、その−Ｙ側に、第２のアブソリュートパターンを有する第３のトラック１１３が形成され、更に、その−Ｙ側（最も−Ｙ側）に、第２のインクリメンタルパターンを有する第４のトラック１１５が形成されている。

前記第１のトラック１３の前記第１のアブソリュートパターンは、幅（周期）Ｈａ内を１６の最小読み取り単位パターン（以下、「第１単位パターン」と呼ぶ）で分割して目盛り数を１６とした４ビットのアブソリュートコードであり、全配置配列と呼ばれる「００００１０１１００１１１１０１」のパターンを有するものである。すなわち、第１のトラック１３の幅Ｈａ内には、−Ｘ側から＋Ｘ側にかけて、透明部分による連続した４つの「０」ビット、不透明部分による１つの「１」ビット、透明部分による１つの「０」ビット、不透明部分による連続した２つの「１」ビット、透明部分による連続した２つの「０」ビット、不透明部分による連続した４つの「１」ビット、透明部分による１つの「０」ビット、不透明部分による１つの「１」ビットのパターンが形成されている。なお、本実施形態では、例えば、１ビットの幅（Ｘ軸方向に関する幅）は１．０〔ｍｍ〕であるものとし、幅Ｈａは、例えば１６〔ｍｍ〕であるものとする。また、第１のトラック１３上には、スケール１１全体を示す図５（Ａ）から分かるように、上記配列を１周期としたパターンが５周期分（Ａ０〜Ａ４）だけ配列されている。したがって、本実施形態では、第１のトラック１３のパターン部分の全長（Ｘ軸方向に関する全長）は、８０〔ｍｍ〕となっている。

図１に戻り、前記第２のトラック１５の前記第１のインクリメンタルパターンは、幅Ｈａを３２等分して、各分割領域を不透明部分と透明部分とで交互に繰り返したパターンである。この第１のインクリメンタルパターンは、第１のアブソリュートパターンに対して、所定の位相差（前述した第１単位パターンのＸ軸方向に関する幅の１／４に相当する位相差）をつけて配置されている。なお、本実施形態では、不透明部分及び透明部分のＸ軸方向に関する幅は、０．５〔ｍｍ〕であり、位相差は、０．２５〔ｍｍ〕であるものとする。

前記第３のトラック１１３の前記第２のアブソリュートパターンは、前述した第１のアブソリュートパターンと比較して、１ビットの幅は異なるが、その配列などに関してはほぼ同一とされている。すなわち、第２のアブソリュートパターンは、幅Ｈｂ（＞Ｈａ）内を１６の最小読み取り単位パターン（以下、「第２単位パターン」と呼ぶ）で分割して目盛り数を１６とした４ビットのアブソリュートコードであり、第１のアブソリュートパターンと同様、全配置配列「００００１０１１００１１１１０１」のパターンを有するものである。本実施形態では、１ビットの幅（Ｘ軸方向に関する幅）が１．２５〔ｍｍ〕であるものとし、幅Ｈｂが、例えば２０〔ｍｍ〕であるものとする。本実施形態では、第３のトラック１１３上には、この配列を１周期としたパターンが図５（Ａ）に示されるように４周期分（Ｂ０〜Ｂ３）配列されているため、第３のトラック１３のパターン部分の全長（Ｘ軸方向に関する全長）は、第１のトラック１３と同様、８０[ｍｍ]となっている。

図１に戻り、前記第４のトラック１１５の前記第２のインクリメンタルパターンは、幅Ｈｂを３２等分して、各分割領域を不透明部分と透明部分とに交互に繰り返したパターンである。なお、本実施形態では、不透明部分及び透明部分のＸ軸方向に関する幅は、０．６２５〔ｍｍ〕であるものとする。この第２のインクリメンタルパターンは、前述した第２のアブソリュートパターンに対して、前述した第２単位パターンのＸ軸方向に関する幅の１／４に相当する位相差をつけて配置されている。

前記検出部２０は、第１のアブソリュート信号用検出器２９と、単一のフォトダイオードから成る第１のインクリメンタル信号用検出器２５と、第２のアブソリュート信号用検出器１２９と、単一のフォトダイオードから成る第２のインクリメンタル信号用検出器１２５と、を含んでいる。

前記第１のアブソリュート信号用検出器２９は、フォトダイオードアレイを構成する８つのフォトダイオード２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂを含んでいる。また、前記第２のアブソリュート信号用検出器１２９は、フォトダイオードアレイを構成する８つのフォトダイオード１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ，１２２ｂ，１２３ａ，１２３ｂ，１２４ａ，１２４ｂを含んでいる。

この検出器２０は、例えば、スケール１１の−Ｚ側に配置されており、スケール１１に＋Ｚ側から光が照射され、スケール１１の透明部分を透過した光を受光したときには信号「０」を信号処理系４０に出力し、スケール１１の不透明部分で遮光され、光を受光しなかったときには信号処理系４０に「１」を出力するものとする。

前記信号処理系４０は、第１の信号処理部３０、第２の信号処理部１３０、演算部５０を含んでいる。

前記第１の信号処理部３０は、図２に示されるような回路を有している。すなわち、第１の信号処理部３０は、８つのフォトダイオード２１ａ〜２４ｂからの出力をそれぞれ増幅する８つの増幅器３１ａ、３１ｂ、３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂ，３４ａ，３４ｂと、各増幅器から出力された信号を波型整形して矩形波信号からなるパルス列を形成するコンパレータ４１ａ、４１ｂ、４２ａ，４２ｂ，４３ａ，４３ｂ，４４ａ，４４ｂと、トライステートバッファ回路５１ａ、５１ｂ、５２ａ，５２ｂ，５３ａ，５３ｂ，５４ａ，５４ｂとを含んでいる。また、第１のインクリメンタル信号用検出器２５からの出力を増幅する増幅器３５と、増幅器３５から出力された信号を方形波に整形し、二値信号を出力するコンパレータ４５とを含んでいる。このコンパレータ４５からの出力は、トライステートバッファ回路５１ａ〜５４ｂに入力するようになっている。

このように構成される第１の信号処理部３０では、コンパレータ４５からの出力（二値信号）が低レベルの場合には、トライステートバッファ回路５１ａ，５２ａ，５３ａ，５４ａが、フォトダイオード２１ａ，２２ａ，２３ａ，２４ａによる検出信号に基づくパルス列（パルス列７１ａ，７２ａ，７３ａ，７４ａ）を出力端子６１，６２，６３，６４に出力し、出力（二値信号）が高レベルの場合にはトライステートバッファ回路５１ｂ，５２ｂ，５３ｂ，５４ｂが、フォトダイオード２１ｂ，２２ｂ，２３ｂ，２４ｂによる検出信号に基づくパルス列（パルス列７１ｂ，７２ｂ，７３ｂ，７４ｂ）を出力端子６１，６２，６３，６４に出力する。

これについて、図４に基づいて、具体的に説明する。図４には、第１の信号処理部３０における各コンパレータの出力波形と最終出力信号との関係が示されている。このうち、センサ選択信号（ａ又はｂ）は、コンパレータ４５からの出力（二値信号７５（図２参照））が低レベルのときに「ａ」、二値信号７５が高レベルのときに「ｂ」を出力するものとされており、センサ選択信号が「ａ」のときには、コンパレータ４１ａ，４２ａ，４３ａ，４４ａから出力されるフォトダイオード２１ａ，２２ａ，２３ａ，２４ａの検出出力によるパルス列７１ａ，７２ａ，７３ａ，７４ａが最終出力として選択される。逆に、センサ選択信号が「ｂ」のときには、コンパレータ４１ｂ，４２ｂ，４３ｂ，４４ｂから出力されるフォトダイオード２１ｂ，２２ｂ，２３ｂ，２４ｂの検出出力によるパルス列７１ｂ，７２ｂ，７３ｂ，７４ｂが最終出力として選択される。

そして、第１の信号処理部３０では、これら最終出力のうち、パルス列７１ａ（又は７１ｂ）の出力には２³を掛け、パルス列７２ａ（又は７２ｂ）の出力には２²を掛け、パルス列７１ａ（又は７１ｂ）の出力には２¹を掛け、パルス列７１ａ（又は７１ｂ）の出力には２⁰を掛け、各値の和（１６進数）を、演算部５０に送る。

なお、図４においては、最終信号が「５，２，１，０，８，４，１０，１３，６，３，９，１２，１４，１５，７，１１」と数字が昇順（又は降順）に並んでいないが、これを図４に示されるように「０〜１５」の数列に置き換える（変換する）こととする。すなわち、本実施形態では、スケール１１の幅（周期）Ｈａ（図１参照）内に、絶対的な位置を計測することが可能な１６等分の目盛りが備えられていると看做すことができる。

前記第２の信号処理部１３０は、図３に示されるように、前述した第１の信号処理部３０と同様の構成となっている。すなわち、第２の信号処理部１３０は、８つのフォトダイオード１２１ａ〜１２４ｂに接続された８つの増幅器１３１ａ〜１３４ｂと、８つのコンパレータ１４１ａ〜１４４ｂと、８つのトライステートバッファ回路１５１ａ〜１５４ｂと、第２のインクリメンタル信号用検出器１２５に接続された増幅器１３５と、コンパレータ１４５と、を含んでいる。

このように構成される第２の信号処理部１３０では、第１の信号処理部３０と同様に、コンパレータ１４５からの出力（二値信号）が低レベルの場合には、トライステートバッファ回路１５１ａ，１５２ａ，１５３ａ，１５４ａが、フォトダイオード１２１ａ，１２２ａ，１２３ａ，１２４ａによる検出信号に基づくパルス列（パルス列１７１ａ，１７２ａ，１７３ａ，１７４ａ）を出力端子１６１，１６２，１６３，１６４に出力し、出力（二値信号）が高レベルの場合にはトライステートバッファ回路１５１ｂ，１５２ｂ，１５３ｂ，１５４ｂが、フォトダイオード１２１ｂ，１２２ｂ，１２３ｂ，１２４ｂによる検出信号に基づくパルス列（パルス列１７１ｂ，１７２ｂ，１７３ｂ，１７４ｂ）を出力端子１６１，１６２，１６３，１６４に出力する。従って、各コンパレータの出力波形と最終出力信号との関係は、図４と同様となる。すなわち、幅Ｈｂ（図１参照）の間に絶対的な位置を計測することが可能な１６等分の目盛りが備えられていると看做すことができる。

前述したように、本実施形態では、スケール１１上に、図５（Ａ）に示されるように、第１のアブソリュートパターンがＸ軸に沿って５周期分（Ａ０〜Ａ４）、第２のアブソリュートパターンがＸ軸に沿って４周期分（Ｂ０〜Ｂ３）配列されていることから、スケール１１上には、図５（Ｂ）に示されるような目盛りが振られたのと同様の機能を有することとなる。

したがって、例えば、検出器２０が点Ｄの直下に存在する場合には、第１の信号処理部３０と第２の信号処理部１３０とからは「４，０」という値が、演算部５０に対して出力される。また、例えば、検出器２０が点Ｅの直下に存在する場合には、第１の信号処理部３０と第２の信号処理部１３０とからは「７，１２」という値が演算部５０に対して出力される。

演算部５０では、これらの出力（「Ａ，Ｂ」とする）を用いて、まず、次式（１）により、「Ｂ区間番号」Ｎを算出する。ここで、「Ｂ区間番号」とは、検出器２０が周期Ｂ０、Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３のどの範囲内にあるかを示す番号であり、Ｎは、０，１，２，３のいずれかの番号である。

Ｎ＝int（Ａ(-)int（Ｂ×５／４））／４ …（１）
なお、「int」は整数部分をとる演算子であるものとし、また、「(-)」は１６の補数減算、すなわち、減算結果が負であった場合に１６を加える演算子であるものとする。

したがって、例えば、上記点ＤにおけるＢ区間番号Ｎは、
Ｎ＝int（４(-)int（０×５／４））／４＝１
となり、例えば、上記点ＥにおけるＢ区間番号Ｎは、
Ｎ＝int（７(-)int（１２×５／４））／４＝２
となる。

次いで、演算部５０では、上記のようにして算出されたＢ区間番号Ｎを用いて、スケール１１上における絶対位置（ＡＢＳ）を次式（２）により、算出する。

ＡＢＳ＝Ｎ×１６＋Ｂ …（２）

したがって、例えば、上記点Ｄにおける絶対位置（ＡＢＳ）は、
ＡＢＳ＝１×１６＋０＝１６
となり、例えば、上記点Ｅにおける絶対位置（ＡＢＳ）は、
ＡＢＳ＝２×１６＋１２＝４４
となる。

図６には、上式（１）、（２）を用いて算出される、スケール１１上における絶対位置（ＡＢＳ）を纏めた表が示されている。この図６から分かるように、本実施形態においては、スケール１１上に、絶対位置（ＡＢＳ）が０〜６３まで順に並ぶこととなる。

すなわち、本実施形態では、スケール１１上には、実質的に、第２のアブソリュートパターンの１ビットの幅と同一のビット幅（１．２５〔ｍｍ〕）で、かつビット長が６４のアブソリュートパターンが形成されていると看做すことができる。

すなわち、スケール１１によると、最大測長距離が幅Ｈａ（１６〔ｍｍ〕），幅Ｈｂ（２０〔ｍｍ〕）の最小公倍数である８０〔ｍｍ〕であり、その８０〔ｍｍ〕の間隔内で分解能１．２５〔ｍｍ〕にて計測することが可能となっている。

以上、説明したように、本実施形態のアブソリュートエンコーダ１０によると、演算部５０が、第１のアブソリュートパターンを用いて第１の信号処理部３０から出力された絶対位置情報と、第１のアブソリュートパターンの周期の整数倍でない周期を有する第２のアブソリュートパターンを用いて第２の信号処理部１３０から出力された絶対位置情報とを用いて、新たな絶対位置情報を算出する。したがって、演算部５０では、分解能を低下することなく、それぞれの絶対位置情報の組み合わせの数だけ、新たな絶対位置を算出することができることから、いずれかの絶対位置情報をそのまま用いる場合に比べ、測長距離を伸ばすことが可能となる。

なお、上記実施形態では、第１のアブソリュートパターンと、第２のアブソリュートパターンの幅（周期）を１６〔ｍｍ〕と２０〔ｍｍ〕と設定した場合について説明したが、これに限られるものではなく、第１のアブソリュートパターンの周期が第２のアブソリュートパターンの周期の整数倍、又は（１／整数）倍の関係に無ければ、種々の周期を採用することができる。この場合、測長距離は、第１のアブソリュートパターンの周期と第２のアブソリュートパターンの周期の最小公倍数となるので、最小公倍数が大きくなればなるほど（例えば、周期の差が小さいほど）測長距離が伸びる。例えば、第１のアブソリュートパターンの周期を１６〔ｍｍ〕、第２のアブソリュートパターンの周期を１７〔ｍｍ〕とすれば、最大２７２〔ｍｍ〕の測長が可能である。

ただし、周期の差を小さくした場合、検出部２０の傾きなどで、第１のアブソリュートパターンと第２のアブソリュートパターンの検出位置に誤差が生じると、絶対位置を誤検出するおそれが高まる。すなわち、上記実施形態を用いて説明すると、例えば、実際にはＢ区間番号Ｎが「０」となるはずが、検出部２０の傾きなどにより、誤検出が生じ、「３」と算出される可能性がある。そこで、このように、誤検出の傾向が分かっている場合には、該誤検出を低減するために、例えば、第２のアブソリュートパターンのうちの周期「Ｂ３」内のパターンを使用しないこととし、演算部５０における上式（１）を用いた算出結果が「３」になった場合には、例えば、Ｂ区間番号Ｎを必ず「０」に置き換えるように設定しておくこととする。

このようにすることで、第１、第２のアブソリュートパターンの周期の差が小さい場合であっても、検出部２０の傾きの影響を受けずに、高精度な絶対位置計測を行うことが可能となる。

なお、上記実施形態では、スケール１１上に、周期の異なるアブソリュートパターンが２つ設けられる場合について説明したが、これに限られるものではなく、例えば、スケール上に３つ以上のアブソリュートパターンが設けられることとしても良い。この場合、各アブソリュートパターン同士の周期が整数倍、又は（１／整数）倍の関係にないようにする必要がある。

また、上記実施形態では、スケール１１上に、各アブソリュートパターンのそれぞれに対応して、インクリメンタルパターンが設けられる場合について説明したが、これに限られるものではなく、例えば、インクリメンタルパターンの分解能を第１のアブソリュートパターンの第１単位パターン及び第２のアブソリュートパターンの第２単位パターンの公約数とする、第１、第２アブソリュートパターンそれぞれに共通のインクリメンタルパターンを１つのみ設けることとしても良い。

なお、上記実施形態では、第１、第２のアブソリュートパターンとして、４ビットのものを用いることとしたが、これに限らず、その他のビット数のアブソリュートパターンを用いることとしても良い。

なお、上記実施形態で示した、式（１）、（２）は、例示であって、これらとは異なる式を用いて、絶対位置を算出することとしても良い。勿論、Ｂ区間番号を算出することなく、直接絶対位置を算出することとしても良い。また、上記実施形態では、式（１）、（２）を用いて、第１のアブソリュートパターンと第２のアブソリュートパターンのうち、第２のアブソリュートパターンの分解能と同一の分解能で新たな絶対位置（ＡＢＳ）を計測する場合について説明したが、これに限らず、第１のアブソリュートパターンの分解能と同一の分解能で新たな絶対位置を計測することができるような式を採用することとしても良い。

なお、上記実施形態では、リニアエンコーダに本発明が適用された場合について説明したが、これに限られるものではなく、例えば、ロータリエンコーダに本発明を適用することも可能である。

以上説明したように、本発明のアブソリュートエンコーダは、移動する物体の変位を計測するのに適している。

一実施形態に係るアブソリュートエンコーダを示す概略図である。図１の第１の信号処理部３０を説明するための図である。図１の第２の信号処理部１３０を説明するための図である。第１の信号処理部３０における各コンパレータの出力波形と最終出力信号との関係を示す図である。図５（Ａ）は、スケール１１の全体を概略的に示す図であり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）のスケール１１を用いた出力結果を示す図である。スケール１１上における絶対位置（ＡＢＳ）の計算結果を示す表である。

符号の説明

１０…アブソリュートエンコーダ、１１…スケール（符号板）、１３…第１のトラック、１５…第１のインクリメンタルトラック（第２のトラック）、２０…検出器、２１ａ〜２４ｂ…フォトダイオード（受光器）、３０…第１の信号処理部（検出器）、５０…演算部、１１３…第２のトラック、１１５…第４のトラック（第２のインクリメンタルトラック）、１２１ａ〜１２４ｂ…フォトダイオード（受光器）、１３０…第２の信号処理部（検出器）。

Claims

一軸方向に関する絶対位置情報を計測するアブソリュートエンコーダであって、
前記一軸方向に関して所定周期を有するアブソリュートコードから構成された第１のアブソリュートパターンが、前記一軸方向に沿って複数配列された第１のトラックと、前記一軸方向に関して前記所定周期の整数倍でない周期を有するアブソリュートコードから構成された第２のアブソリュートパターンが、前記一軸方向に沿って複数配列された第２のトラックと、を有する符号板と；
前記符号板を介した光を受光する受光器と；を備えるアブソリュートエンコーダ。
前記第１のトラックを介した光の受光結果から第１の絶対位置情報を検出し、前記第２のトラックを介した光の受光結果から第２の絶対位置情報を検出する検出器を更に備える請求項１に記載のアブソリュートエンコーダ。
前記検出器にて検出された前記第１、第２の絶対位置情報に基づいて、新たな絶対位置情報を算出する演算部を更に備える請求項１又は２に記載のアブソリュートエンコーダ。
前記符号板は、前記第２のトラックを複数種類有し、
前記各第２のトラックを構成する第２のアブソリュートパターンの周期は、互いに整数倍の関係にないことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダ。
前記符号板は、前記第２のトラックを１つ有し、
前記第１のアブソリュートパターンの周期と、前記第２のアブソリュートパターンの周期の比がｍ：ｎ（ｍ、ｎは整数、かつｎ≠ｋ・ｍ（ただし、ｋは整数））であり、
前記第１のトラックでは、前記第１のアブソリュートパターンが前記一軸方向にｎ個配列され、前記第２のトラックでは、前記第２のアブソリュートパターンが、前記一軸方向にｍ個配列されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダ。
前記演算部は、前記第１の絶対位置情報と前記第２の絶対位置情報との関係から、前記ｍ個の第２のアブソリュートパターンのうちのいずれのパターンを用いて計測が行われているかを特定し、
該特定結果と前記第２の絶対位置情報とから、新たな絶対位置情報を算出することを特徴とする請求項５に記載のアブソリュートエンコーダ。
前記演算部は、
前記第２のアブソリュートパターンのうちの少なくとも１つのパターンを、計測に使用しない不使用パターンに設定し、
前記特定結果が前記不使用パターンであった場合には、前記不使用パターンとは異なるパターンが特定されたものと読み替えることを特徴とする請求項６に記載のアブソリュートエンコーダ。
前記符号板は、
前記第１のトラックに対応して設けられた第１のインクリメンタルトラックと、
前記第２のトラックに対応して設けられた第２のインクリメンタルトラックと、を更に有することを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダ。
前記符号板は、
前記第１のトラックと前記第２のトラックの両方に共通するインクリメンタルトラックを更に有することを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載のアブソリュートエンコーダ。