JP4138138B2 - 絶対変位測定装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、リニアエンコーダや光波干渉測長器等に適用される絶対変位測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、検出対象の機械的変位を検出するものとして、スケール式リニアエンコーダや光波干渉測長器が知られている。これらの変位検出原理には、相対変位検出方式(インクリメンタル式)と絶対変位検出方式(アブソリュート式)とがある。相対変位検出方式は、機械的変位に応じて正弦波状信号を出力する変位検出器を用いて、得られる正弦波状信号の周期数を計数することにより変位を求める。絶対変位検出方式は、信号周期の異なる複数の正弦波状信号を出力する変位検出器を用いて、各正弦波状信号の位相検出を行い、得られた位相情報を合成することにより、絶対変位を求める。
【0003】
具体的に絶対変位検出方式の場合は例えば、周期が大きく異なる3つの正弦波状信号を出力する変位検出器が用いられる。最も周期の大きな正弦波状信号は粗分解能信号であり、これより周期の小さい信号が中分解能信号、更に周期の小さい信号が微分解能信号である。求める変位に対応する粗分解能信号における位相情報を中分解能信号で内挿し、更に微分解能信号で内挿するという処理を行うことにより、粗分解能信号の周期内で高精度の絶対変位を求めることが行われる。
【0004】
上述のように絶対変位測定装置では、周期が大きく異なる正弦波状信号を出力する複数個の変位検出器が必要になる。しかし、予め用意されている変位検出器の測定レンジを超える測定レンジについては、原理的に絶対測定を行うことはできない。そこで、周期が近い二つの正弦波状信号を出力する変位検出器を用意しておき、それらの出力を合成することによって、周期の大きな正弦波状信号を得て、これによりもともと変位検出器では予定されていない大きな測定レンジでの絶対測定を可能とする波長合成法が提案されている(例えば、特開昭59−79114号)。
【0005】
従来提案されている波長合成法は、図12(a)に示すように周期P1の三角波信号と、同図(b)に示すような周期P2の三角波信号との差分をとり、同図(c)に示すように、周期P2×P1/(P2−P1)なる周期の合成信号を得るものである。周期P1,P2が近いものであれば、合成された信号の周期P2×P1/(P2−P1)は大きいものとなり、これを粗分解能信号として、粗分解能信号内での周期P1又はP2の数と端数距離を演算することにより、粗分解能信号周期内で絶対位置を求めることができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述した従来提案されている波長合成法では、単純に二つの信号の差分をとった場合には、図12(d)に示すように、周期の切り替わりにおいて誤差が生じるため、この誤差を修正して図12(c)に示すような合成信号を得るという修正演算が不可欠になる。この様な修正演算を行う代わりに、変調のかかった二つの信号を混合して発生するビート信号を自乗し、ローパスフィルタを通して検波する方式もあるが、これは正確な変調を必要とするという難点がある。
【0007】
また、従来の波長合成法では、合成により得られた周期信号を更に別の周期信号と合成するという多重合成は考えられていない。これは、合成波長の周期がもとの信号周期に比べて極端に大きくなると、上述した修正演算や変調の正確性がより強く要求されるようになるためである。そしてこの様な多重合成を行わないとすると、測定レンジの大きな周期信号を得るためには、周期が極めて近い二つの変位検出器が必要になる。その様な変位検出器を用意することは、例えば電気的変位検出器の場合であれば、スケール目盛の加工精度の限界から微小な目盛差のスケールを得ることが難しい。また光学式変位検出器の場合にも光源波長を任意に選択することが難しいことから、大きな測定レンジを実現することが困難となる。
【0008】
この発明は、上記事情を考慮してなされたもので、単純な演算に従って波長合成を行って長周期信号を得て、正確な絶対位置測定を行うことを可能とした絶対変位測定装置を提供することを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る絶対変位測定装置は、検出対象の変位Lに対応して周期P1の正弦波状信号S1A及び余弦波状信号S1Bを出力する第1の変位検出器と、この第1の変位検出器と併設されて、前記検出対象の変位Lに対応して周期P2(≠P1)の正弦波状信号S2A及び余弦波状信号S2Bを出力する第2の変位検出器と、前記第1及び第2の変位検出器と併設されて、前記検出対象の変位Lに対応して周期P3(≠P2,P1であり、且つ|P3−P2|≠|P2−P1|)の正弦波状信号S3A及び余弦波状信号S3Bを出力する第3の変位検出器と、前記第1及び第2の変位検出器から得られる正弦波状信号S1A,S2A及び余弦波状信号S1B,S2Bを合成して、周期P1とP2の最小公倍数値の周期Pxを持つ正弦波状信号SxA=S1A×S2B−S1B×S2A及び余弦波状信号SxB=S1B×S2B+S1A×S2Aを得る第1の波長合成手段と、前記第2及び第3の変位検出器から得られる正弦波状信号S2A,S3A及び余弦波信号S2B,S3Bを合成して、周期P2とP3の最小公倍数値の周期Pyを持つ正弦波状信号SyA=S2A×S3B−S2B×S3A及び余弦波状信号SyB=S2B×S3B+S2A×S3Aを得る第2の波長合成手段と、前記第1及び第2の波長合成手段から得られる正弦波状信号SxA,SyA及び余弦波信号SxB,SyBを合成して、周期PxとPyの最小公倍数値の周期PIを持つ正弦波状信号SIA=SxA×SyB−SxB×SyA及び余弦波状信号SIB=SxB×SyB+SxA×SyAを得る第3の波長合成手段と、前記第1乃至第3の変位検出器のいずれかの出力信号、前記第1又は第2の波長合成手段の出力信号、及び前記第3の波長合成手段の出力信号をそれぞれ微分解能信号、中分解能信号及び粗分解能信号として、それぞれの位相を検出する位相検出手段と、この位相検出手段により検出された前記微分解能信号、中分解能信号及び粗分解能信号の位相情報に基づいて前記変位Lを前記周期PI内の絶対位置として求める距離演算手段と、を備えたことを特徴とする。
【0012】
ここで前記距離演算手段は、例えば、前記位相検出手段により検出された位相情報を内挿処理して、前記微分解能信号、中分解能信号及び粗分解能信号の周期内のそれぞれの端数距離を求める端数距離演算手段と、この端数距離演算手段により粗分解能信号について得られた距離に含まれる中分解能信号の周期数と端数距離とから予備的な全距離を求め、この予備的な全距離に含まれる微分解能信号の周期数と端数距離とから最終的な全距離を求める演算を行う全距離演算手段とを備えて構成される。
【0013】
またこの場合好ましくは、前記全距離演算手段は、前記予備的な全距離を求める際に、粗分解能信号に基づいて得られる距離を中分解能信号の周期で除することにより得られる剰余分としての想定端数距離と中分解能信号に基づいて得られる端数距離との差分の大きさと、その想定端数距離の中分解能信号の周期における位相関係に応じて周期数を補正すると共に、前記最終的な全距離を求める際に、予備的な全距離を微分解能信号の周期で除することにより得られる剰余分としての想定端数距離と微分解能信号に基づいて得られる端数距離との差分の大きさと、その想定端数距離の微分解能信号の周期における位相関係に応じて周期数を補正する周期数補正手段を有するものとする。
【0014】
この発明によると、2相正弦波状信号の乗算と加減算という単純な演算により波長合成された長周期の2相正弦波状信号を得て、この合成された2相正弦波状信号の周期内で正確な絶対位置を求めることができる。
またこの発明によると、3つの2相正弦波状信号の間で波長合成して得られる2つの2相正弦波状信号を更に波長合成するという多重波長合成を行うことにより、周期精度の高い粗分解能信号を得ることができる。これにより、大きな測定レンジでの正確な絶対位置測定が可能になる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、この発明の実施例を説明する。
[参考例]
図1及び図2は、二つの変位検出器1,2を用いた場合の参考例の構成を示している。図1は二つの変位検出器1,2と、それらの出力信号を波長合成する合成回路3までの構成であり、図2はその合成回路3で得られた出力信号と、変位検出器1,2のいずれか一方の出力を用いて変位(位置)算出を行う回路部の構成を示している。
【0016】
この参考例において用いる変位検出器1,2は、検出対象の機械的変位に対して所定周期の2相正弦波状信号を出力するものであればよい。その具体例は後述する。これらの変位検出器1,2の出力信号の1周期に対応する機械的変位量はそれぞれP1,P2とし、これらは近いが異なる値、具体的にこの実施例の場合、P1<P2とする。検出対象の変位量をLとすると、一方の変位検出器1の2相正弦波状信号(正弦波状信号S1Aと余弦波状信号S1B)は、次の数1で表される。
【0017】
【数1】
【0018】
この2相正弦波状信号S1A,S1Bを図3に示す。もう一方の変位検出器2の2相正弦波状信号(正弦波状信号S2Aと余弦波状信号S2B)は、次の数2で表される。
【0019】
【数2】
【0020】
この2相正弦波状信号S2A,S2Bを図4に示す。
これらの数式において、φ1,φ2はそれぞれ初期位相、k1,k2は信号振幅であり、基本的には一定である。
波長合成回路3では、これらの変位検出器1,2の出力信号を次の数3の演算式に従って合成して、正弦波状信号SxAと余弦波状信号SxBを得る。
【0021】
【数3】
【0022】
図5は、この様にして合成される2相正弦波状信号SxA,SxBを示している。数3は具体的に、数1及び数2を代入すると、次の数4のように表される。
【0023】
【数4】
【0024】
この様な波長合成によって、もとの2相正弦波状信号の周期P1,P2に対して、その最小公倍数の周期P2P1/(P2−P1)を持つ2相正弦波状信号SxA,SxBが得られる。新たな2相正弦波状信号の周期をPx=P2P1/(P2−P1)とおけば、数4は数5と表される。
【0025】
【数5】
【0026】
この参考例の波長合成法では、検出された2相正弦波状信号を単純に演算するだけであり、位相比較による修正や変調処理、フィルタリングも必要がない。しかも、演算式は乗算と加減算のみで、割り算を用いないので、桁落ちすることもない。また、二つの2相正弦波状信号のS1AとS1Bの間、及びS2AとS2Bの間で振幅と位相が等しければ、(S1A,S1B)と(S2A,S2B)の間で振幅と位相が等しくなくても、合成された2相正弦波状信号SxAとSxBの振幅と位相は等しい。
【0027】
この様にして合成された2相正弦波状信号SxA,SxBを粗分解能信号、変位検出器1,2のいずれかの出力である2相正弦波状信号を微分解能信号として用いて、変位Lを粗分解能信号の周期内での絶対変位として求めることができる。具体的にこの参考例では、変位検出器1,2のうち周期の小さい出力を出す変位検出器1の出力信号S1A,S1Bを微分解能信号S0A,S0Bとし、合成された2相正弦状信号SxA,SxBを粗分解能信号として、それらの位相検出と内挿処理を行い、合成することにより変位Lを求める。
【0028】
即ち、図2に示すように、位相検出部4では、微分解能信号である2相正弦波状信号S0A,S0Bと粗分解能信号である合成された2相正弦波状信号SxA,SxBについてそれぞれ、位相検出器41,42により位相φ0,φxを検出する。得られた位相情報に基づいて、端数距離演算部5及び全距離演算部6において、距離演算を行う。まず、得られた位相角φxを端数距離演算回路44に入れることにより、次の数6に基づく演算に従って、位相角φxに対応する距離Lxが求められる。
【0029】
【数6】
【0030】
数6により求められた距離Lxは、信号伝搬や内挿に基づく誤差を含むので、この値を参照して、微分解能信号であるS0A,S0Bを用いて、より高精度の検出を行う。但し、求めた距離Lxには、2相正弦波状信号S0A,S0Bの周期数を特定できるだけの精度(±P0/2)が必要である。得られた距離Lxを全距離演算部6の周期数演算回路51に入れることにより、次式7に示す、想定端数距離D0′と周期数N0′が求められる。
【0031】
【数7】
【0032】
数7の意味は、図6に示す通りであり、D0′は、LxをP0で除したときの剰余分を示し、N0′は同じくLxをP0で除したときの整数分を示している。一方、微分解能信号について得られた位相角φ0について、同様に端数距離演算回路43により演算して、端数距離D0を求める。先に得られた周期数N0′が正しいものであれば、これと端数距離D0とから、N0′×P0+D0なる演算で距離が求められる。しかし、周期数N0′は、距離Lxが含む誤差に起因する誤差を含むため、これを補正することが必要になる。これは、周期数補正回路52において、次のような場合分け補正として行われて、正しい周期数NOを求める。
【0033】
【数8】
【0034】
数8による周期数補正の意味は、具体的に図7を参照して説明すると、次のようになる。図7は、周期P0の微分解能信号を位相角で示したものである。想定端数距離D0′が図7(a)に示すように、微分解能信号の1周期内の後半にあったとする。このとき、端数距離D0と想定端数距離D0′の差分の絶対値が、誤差範囲±P0/2より大きいとすると、真の端数距離D0は、図7(a)に示したように、想定端数距離D0′が求められた周期数N0′に対応する周期より一つ上の周期内にあることになる。従って、正しい周期数N0は、N0′に+1すればよい。これが▲1▼である。
【0035】
一方、想定端数距離D0′が図7(b)に示すように、微分解能信号の1周期内の前半にあったとする。このとき、端数距離D0と想定端数距離D0′の差分の絶対値が、誤差範囲±P0/2より大きいとすると、真の端数距離D0は、図7(b)に示したように、想定端数距離D0′が求められた周期より一つ下の周期内にあることになる。従って、正しい周期数N0は、N0′−1とすればよい。これが▲2▼である。
【0036】
以上のようにして補正された周期数N0を用い、端数距離D0と微分解能信号の周期P0を用いて、距離演算回路53において、L=N0×P0+D0なる演算を行うことにより、正しい変位Lが求められる。
以上のようにこの参考例によれば、二つの変位検出器の正弦波状信号の単純な波長合成により長周期の合成信号を得て、この合成信号を粗分解能信号、もとの正弦波状信号を微分解能信号として高精度の絶対変位測定が可能になる。
【0037】
[実施例1]
上記参考例では二つの変位検出器を用いたが、測定レンジを更に拡大するためには、3つ以上の変位検出器を用い、複数段の波長合成を行えばよい。具体的に3つの変位検出器を用いた実施例を以下に説明する。図8は、その様な実施例の絶対変位測定装置における変位検出器からその出力の波長合成までの構成を示し、図9はその後の処理回路構成を示している。
【0038】
3つの変位検出器801,802,803は、同じ検出対象の変位Lを検出して、それぞれ2相正弦波状信号S1(正弦波状信号S1Aと余弦波状信号S1B)、S2(正弦波状信号S2Aと余弦波状信号S2B)、S3(正弦波状信号S3Aと余弦波状信号S3B)を出力する。ここで、2相正弦波状信号(S1A,S1B),(S2A,S2B),(S3A,S3B)の周期はそれぞれ、P1,P2,P3であり、これらは互いに近いが全て異なる値とする。具体的には例えば、P3>P2>P1とする。またこの場合、|P3−P2|≠|P2−P1|)の条件を満たすことが必要である。これらの信号を、数9に示す。
【0039】
【数9】
【0040】
第1の変位検出器801と第2の変位検出器802の出力2相正弦波状信号を先の参考例と同様に波長合成回路811により合成して、信号周期P1,P2の最小公倍数の周期Pxを持つ2相正弦波状信号Sx(正弦波状信号SxAと余弦波状信号SxB)を生成する。同様に、第2の変位検出器802と第3の変位検出器803の出力2相正弦波状信号を波長合成回路812により合成して、信号周期P2,P3の最小公倍数の周期Pyを持つ2相正弦波状信号Sy(正弦波状信号SyAと余弦波状信号SyB)を生成する。これらの合成された2相正弦波状信号SxA,SxB,SyA,SyBは、次のように表される。
【0041】
【数10】
【0042】
前述のように、|P3−P2|≠|P2−P1|の条件から、周期PxとPyは異なる値をとる。そしてこの実施例においては、合成された二つの2相正弦波状信号(SxA,SxB)と(SyA,SyB)を、同様の手法で波長合成回路813により合成する。これにより得られる2相正弦波状信号SIA,SIBは、次式のように表される。
【0043】
【数11】
【0044】
そしてこの実施例においては、変位検出器801〜803のいずれかの出力正弦波状信号を微分解能信号、波長合成回路811,812のいずれかの出力正弦波状信号を中分解能信号、最後の波長合成回路813の出力正弦波状信号を粗分解能信号として用いて、絶対変位検出を行う。具体的に図8では、第1の変位検出器801の出力の周期P1が最も小さいものとして、これを微分解能信号とする場合を示している。波長合成回路811,812の出力正弦波状信号(SxA,SxB),(SyA,SyB)の周期Px,Pyの大小関係は、|P3−P2|と|P2−P1|の大小関係で決まるが、これらのいずれを中分解能信号としてもよく、図8では信号SxA,SxBを中分解能信号とする場合を示している。
【0045】
こうして得られた各分解能信号の処理は、基本的に先の参考例と同様に処理される。即ち図9に示すように、微分解能信号S1A,S1B、中分解能信号SxA,SxB、粗分解能信号SIA,SIBについて、それぞれ位相検出回路901,902,903で位相角検出を行う。次いで、得られた位相角φ1,φx,φIについてそれぞれ、端数距離演算回路911,912,913において、端数距離を求める。その原理も先の参考例で説明したのと同じである。粗分解能信号SIA,SIBにたいての端数距離演算回路913からは、求めようとする変位Lに対する粗い距離LIbが得られる。
【0046】
次に、得られた距離LIbに基づいて、全距離演算部6において、中分解能信号による内挿、更にその結果につき微分解能信号による内挿を行って、全距離を算出する。即ち、距離LIbに基づいて、先の参考例と同様の手法で中分解能信号の周期数を周期数演算回路921で求め、その周期数と中分解能信号の周期Px及び端数距離Dxとから、全距離演算回路923で全距離Lx(予備的な全距離)を求める。この際、やはり先の参考例と同様に、周期数補正回路922で満周期数の補正を行う。全距離演算回路923から得られた予備的な全距離Lxに基づいて、更に微分解能信号の周期数を周期数演算回路924で求め、その周期数と微分解能信号の周期P1及び端数距離D1とから、全距離演算回路926で最終的な全距離L1を求める。ここでも、周期数補正回路925により、満周期数の補正を行う。
【0047】
周期数補正回路922での補正は、周期数演算回路921で得られる周期数Nx′を、粗分解能信号に基づいて得られる距離LIbを中分解能信号の周期Pxで除することにより得られる剰余分としての想定端数距離Dx′と中分解能信号に基づいて得られる端数距離Dxとの差分の大きさと、その想定端数距離Dx′の中分解能信号の周期Pxにおける位相関係に応じて補正する。その場合分け補正は、次のようになる。
【0048】
【数12】
【0049】
以上の補正により、補正された予備的な全距離Lxが求められる。次に、周期数補正回路925での補正は、周期数演算回路924で得られる周期数N1′を、距離Lxを微分解能信号の周期P1で除することにより得られる剰余分としての想定端数距離D1′と微分解能信号に基づいて得られる端数距離D1との差分の大きさと、その想定端数距離D1′の微分解能信号の周期P1における位相関係に応じて補正する。その場合分け補正は、次のようになる。
【0050】
【数13】
【0051】
以上の補正を行うことにより、全距離演算回路926により、最終的な全距離L1は、L1=P1×N1+D1として求められる。以上により、粗分解能信号に基づいて得られた距離LIbを修正して、正確な変位Lを算出することができる。
この実施例によると、多重波長合成を利用することにより、もとの変位検出器として出力の信号周期が極端に近いものを用いなくても、大きな測定レンジを実現することができる。従って、電気的変位検出器の場合にはスケール加工が容易になる。任意の光源波長を選択することが困難な光学式変位検出器の場合にも、簡単に大きな測定レンジの装置を得ることが可能になる。
【0052】
[実施例2]
図10は、実施例1の方式を具体的に適用したリニアエンコーダの構成を示している。スケール101には、格子ピッチの異なる3種のスケール格子111,112,113が平行に形成されている。このスケール101に対して、測長方向に相対移動可能にセンサヘッド102が取り付けられ、センサヘッド102にはスケール格子111,112,113にそれぞれ対向する変位センサ121,122,123が設けられる。変位センサ121,122,123は、センサヘッド102のスケール101に対する相対変位に応じて、光学的、電気的或いは磁気的なスケール格子との結合が変化して、格子ピッチに対応して異なる信号周期の2相正弦波状信号が得られるものである。
【0053】
なおスケール101では、3つのスケール格子111,112,112の目盛が図に示す原点位置で揃うようにする。これにより、変位検出器121,122,123から得られる正弦波状信号は、原点位置で位相がゼロとなり、初期位相の調整は不要となる。これらの2相正弦波状信号をアブソリュート演算装置103に取り込んで、実施例1で説明した波長合成、位相検出、端数距離演算及び全距離演算を行うことにより、絶対変位を測定することができる。
【0054】
[実施例3]
図11は、実施例1の方式を光波干渉式測長器に適用した実施例である。二光束型干渉計測用として典型的なマイケルソン干渉光学系を用いて、光源波長がλ1,λ2,λ3と異なる3つの干渉光源201,202,203の光束を同時に入射させて、干渉した光の強度変化から、固体側コーナーキューブ204に対する移動側コーナーキューブ206の変位に対応する3種の2相正弦波状信号信号を得るものである。
【0055】
各光源201,202,203からの光束は、偏光ビームスプリッタ205で一部反射、一部透過する。これらの反射光と透過光の固定側コーナーキューブ204及び移動側コーナーキューブ206での反射光が、相対変位Lに対応した光路長差をもって干渉して光検出器211,212,213に入る。これらの検出器211,212,213の出力2相正弦波状信号をアブソリュート演算手段214に取り込んで、実施例1で説明したと同様の演算処理を行うことにより、絶対変位を算出することができる。
【0056】
この実施例の場合、3種の二光束の光路長差は、光学部品の形状が理想的であれば、固定側コーナーキューブ204と移動側コーナーキューブ206が接している変位L=0においてゼロとなる。これは、光源201,202,203の位置や、光検出器211,212,213の位置とは無関係に成り立つから、零点設定のための特別な調整は要らない。
【0057】
この発明は上記実施例に限られない。例えば、実施例1で説明した多重波長合成により得られる最大信号周期PIを用いても測定レンジが足りない場合には、更に第4の変位検出器を用意して、波長合成を行うことも可能である。また、最大信号周期の合成信号SIを粗分解能信号とし、この粗分解能信号における中分解能信号の周期数を特定について、別個の測長手段を用いることもできる。例えば、図11の構成において3種の光源を、594nmHe−Neレーザ、612nmHe−Neレーザ、及び633nmHe−Neレーザであるとする。このとき、得られる3種の2相正弦波状信号の周期は、P1=594/2=297[nm]、P2=612/2=306[nm]、P3=633/2=316.5[nm]である。
【0058】
実施例1で説明した手法でこれらの信号の合成を行って得られる合成信号の周期Px,Py,PIはそれぞれ、Px=10.1[μm]、Py=9.2[μm]、PI=106.7[μm]である。この程度に拡大された信号周期になると、周期数演算によらず、例えばノギスによる測定で周期数を特定することが可能である。また、612nmHe−Neレーザと633nmHe−Neレーザは波長安定化が可能である。従って、最終的な絶対測長を633nm波長安定化He−Neレーザ光源を用いて行えば、波長安定度が10-8程度であるので、例えば100mmの測定値の不確かさは、100[mm]×10-8=1[nm]となり、極めて高精度の測定が可能になる。また、波長安定化He−Neレーザ光源の波長の絶対値は基準光源を用いて正確な校正ができるので、国際的なトレーサブル体系に則った絶対測定が可能になる。
【0059】
【発明の効果】
以上述べたようにこの発明によれば、2相正弦波状信号の乗算と加減算という単純な演算により波長合成された長周期の2相正弦波状信号を得て、この合成された2相正弦波状信号の周期内で正確な絶対位置を求めることができると共に、3つの2相正弦波状信号の間で波長合成して得られる2つの2相正弦波状信号を更に波長合成するという多重波長合成を行うことにより、周期精度の高い粗分解能信号を得ることができる。これにより、大きな測定レンジでの正確な絶対位置測定が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の参考例による絶対変位測定装置における変位検出器とその出力の波長合成回路の構成を示す図である。
【図2】 同参考例の信号処理回路の構成を示す図である。
【図3】 同参考例の一方の変位検出器の出力信号波形を示す図である。
【図4】 同参考例の他方の変位検出器の出力信号波形を示す図である。
【図5】 同参考例の合成信号波形を示す図である。
【図6】 同参考例の距離演算の原理を説明するための図である。
【図7】 同参考例の周期数補正の原理を説明するための図である。
【図8】 この発明の実施例1による絶対変位測定装置における変位検出器とその出力の波長合成回路の構成を示す図である。
【図9】 同実施例の信号処理回路の構成を示す図である。
【図10】 実施例1の方式を適用した実施例2の測定装置の構成を示す図である。
【図11】 実施例1の方式を適用した実施例3の測定装置の構成を示す図である。
【図12】 従来の波長合成法を説明するための図である。
【符号の説明】
1,2…変位検出器、3…波長合成回路、4…位相検出部、5…端数演算部、6…全距離演算部。
Claims (3)
- 検出対象の変位Lに対応して周期P1の正弦波状信号S1A及び余弦波状信号S1Bを出力する第1の変位検出器と、
この第1の変位検出器と併設されて、前記検出対象の変位Lに対応して周期P2(≠P1)の正弦波状信号S2A及び余弦波状信号S2Bを出力する第2の変位検出器と、
前記第1及び第2の変位検出器と併設されて、前記検出対象の変位Lに対応して周期P3(≠P2,P1であり、且つ|P3−P2|≠|P2−P1|)の正弦波状信号S3A及び余弦波状信号S3Bを出力する第3の変位検出器と、
前記第1及び第2の変位検出器から得られる正弦波状信号S1A,S2A及び余弦波状信号S1B,S2Bを合成して、周期P1とP2の最小公倍数値の周期Pxを持つ正弦波状信号SxA=S1A×S2B−S1B×S2A及び余弦波状信号SxB=S1B×S2B+S1A×S2Aを得る第1の波長合成手段と、
前記第2及び第3の変位検出器から得られる正弦波状信号S2A,S3A及び余弦波信号S2B,S3Bを合成して、周期P2とP3の最小公倍数値の周期Pyを持つ正弦波状信号SyA=S2A×S3B−S2B×S3A及び余弦波状信号SyB=S2B×S3B+S2A×S3Aを得る第2の波長合成手段と、
前記第1及び第2の波長合成手段から得られる正弦波状信号SxA,SyA及び余弦波信号SxB,SyBを合成して、周期PxとPyの最小公倍数値の周期PIを持つ正弦波状信号SIA=SxA×SyB−SxB×SyA及び余弦波状信号SIB=SxB×SyB+SxA×SyAを得る第3の波長合成手段と、
前記第1乃至第3の変位検出器のいずれかの出力信号、前記第1又は第2の波長合成手段の出力信号、及び前記第3の波長合成手段の出力信号をそれぞれ微分解能信号、中分解能信号及び粗分解能信号として、それぞれの位相を検出する位相検出手段と、
この位相検出手段により検出された前記微分解能信号、中分解能信号及び粗分解能信号の位相情報に基づいて前記変位Lを前記周期PI内の絶対位置として求める距離演算手段と、
を備えたことを特徴とする絶対変位測定装置。 - 前記距離演算手段は、
前記位相検出手段により検出された位相情報を内挿処理して、前記微分解能信号、中分解能信号及び粗分解能信号の周期内のそれぞれの端数距離を求める端数距離演算手段と、
この端数距離演算手段により粗分解能信号について得られた距離に含まれる中分解能信号の周期数と端数距離とから予備的な全距離を求め、この予備的な全距離に含まれる微分解能信号の周期数と端数距離とから最終的な全距離を求める演算を行う全距離演算手段と
を有することを特徴とする請求項1記載の絶対変位測定装置。 - 前記全距離演算手段は、
前記予備的な全距離を求める際に、粗分解能信号に基づいて得られる距離を中分解能信号の周期で除することにより得られる剰余分としての想定端数距離と中分解能信号に基づいて得られる端数距離との差分の大きさと、その想定端数距離の中分解能信号の周期における位相関係に応じて周期数を補正すると共に、前記最終的な全距離を求める際に、予備的な全距離を微分解能信号の周期で除することにより得られる剰余分としての想定端数距離と微分解能信号に基づいて得られる端数距離との差分の大きさと、その想定端数距離の微分解能信号の周期における位相関係に応じて周期数を補正する周期数補正手段を有する
ことを特徴とする請求項1記載の絶対変位測定装置。
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