JP5616741B2 - エンコーダ - Google Patents
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- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24471—Error correction
- G01D5/24476—Signal processing
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Description
110、210、310、410、510、610A、610B…スケール
112、212、213、312、313…トラック
114…光学格子
120、320…検出ヘッド
124…ノイズフィルタ・増幅回路
126…A/D回路
128…処理回路
302…光源
304…レンズ
Claims (3)
- スケールと該スケールに対して相対変位可能な検出ヘッドとを備えるエンコーダにおいて、
前記検出ヘッドは前記相対変位可能な方向に並ぶ複数の検出アレイ部を備え、該検出アレイ部から出力される出力信号で該検出ヘッドの位置を示す位置信号がそれぞれ算出され、
該複数の位置信号を合成し前記スケールに対する該検出ヘッドの位置を決定するのに、前記検出アレイ部毎の該位置信号に前記出力信号の大きさに従う重みづけがそれぞれ行われ、重みづけされた該位置信号の平均が取られる際に、
前記位置信号への重みづけは、前記出力信号である前記検出アレイ部を構成する個々の検出素子から出力される信号強度のデータで隣接する該データの差分の絶対値若しくは該差分の2乗値の該検出アレイ部毎の総和を、前記位置信号の係数とすることでなされることを特徴とするエンコーダ。 - スケールと該スケールに対して相対変位可能な検出ヘッドとを備えるエンコーダにおいて、
前記検出ヘッドは前記相対変位可能な方向に並ぶ複数の検出アレイ部を備え、該検出アレイ部から出力される出力信号で該検出ヘッドの位置を示す位置信号がそれぞれ算出され、
該複数の位置信号を合成し前記スケールに対する該検出ヘッドの位置を決定するのに、前記検出アレイ部毎の該位置信号に前記出力信号の大きさに従う重みづけがそれぞれ行われ、重みづけされた該位置信号の平均が取られる際に、
前記位置信号への重みづけは、前記出力信号である前記検出アレイ部を構成する個々の検出素子から出力される信号強度のデータに正弦波フィッティングを行い、該フィッティングで求められた正弦波の振幅値と前記検出アレイ部のアレイ幅との積を、前記位置信号の係数とすることでなされることを特徴とするエンコーダ。 - スケールと該スケールに対して相対変位可能な検出ヘッドとを備えるエンコーダにおいて、
前記検出ヘッドは前記相対変位可能な方向に並ぶ複数の検出アレイ部を備え、該検出アレイ部から出力される出力信号で該検出ヘッドの位置を示す位置信号がそれぞれ算出され、
該複数の位置信号を合成し前記スケールに対する該検出ヘッドの位置を決定するのに、前記検出アレイ部毎の該位置信号に前記出力信号の大きさに従う重みづけがそれぞれ行われ、重みづけされた該位置信号の平均が取られる際に、
前記位置信号への重みづけは、前記出力信号である2相正弦波信号から求められるリサージュ波形の直径と前記検出アレイ部のアレイ幅との積を、前記位置信号の係数とすることでなされることを特徴とするエンコーダ。
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