JP2019211361A - エンコーダ - Google Patents
エンコーダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019211361A JP2019211361A JP2018108358A JP2018108358A JP2019211361A JP 2019211361 A JP2019211361 A JP 2019211361A JP 2018108358 A JP2018108358 A JP 2018108358A JP 2018108358 A JP2018108358 A JP 2018108358A JP 2019211361 A JP2019211361 A JP 2019211361A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- encoder
- light receiving
- region
- slit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 27
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 15
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 11
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 11
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 3
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
- G01D5/34715—Scale reading or illumination devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/3473—Circular or rotary encoders
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34776—Absolute encoders with analogue or digital scales
- G01D5/34784—Absolute encoders with analogue or digital scales with only analogue scales or both analogue and incremental scales
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34776—Absolute encoders with analogue or digital scales
- G01D5/34792—Absolute encoders with analogue or digital scales with only digital scales or both digital and incremental scales
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
Description
[エンコーダの概要]
本実施の形態のエンコーダ10は、絶対角度を検出可能なアブソリュート型のロータリエンコーダである。図1は、エンコーダ10の模式図である。エンコーダ10は、モータ等の回転体と一体に回転するディスク12、ディスク12に向けて光を照射し、また、ディスク12の反射光を受光する光学ユニット15を有している。
図2は、ディスク12を回転軸O方向から見た模式図である。ディスク12は、円盤状であって、その一方の面にインクリメントパターン18aおよびアブソリュートパターン18bが設けられている。インクリメントパターン18aおよびアブソリュートパターン18bは、それぞれディスク12の全周にわたって同心円状に設けられている。
図4は、光学ユニット15の模式図である。光学ユニット15は、ディスク12に向かって光を照射する発光素子14、インクリメントパターン18aのスリット20aの反射光を受光するインクリメント受光部16a、および、アブソリュートパターン18bのスリット20bの反射光を受光するアブソリュート受光部16bを有している。インクリメント受光部16aおよびアブソリュート受光部16bは、円弧状に設けられるが、図4では模式的に直線状に記載されている。
エンコーダ10の分解能を高めるためには、インクリメントパターン18aのスリット20aのピッチP1は狭く形成され、スリット20aのピッチP1に応じてインクリメント受光部16aの受光素子24A、24B、24XA、24XBのピッチP3も狭く形成される必要がある。
第1の実施の形態では、受光素子24A、24XAは、第1領域26aと第1領域26bの2つの領域に配置され、受光素子24B、24XBは、第2領域28aと第2領域28bの2つの領域に配置されていた。これに代えて、受光素子24A、24XAは、1つの第1領域26に配置され、受光素子24B、24XBは、1つの第2領域28に配置されるようにしてもよい。
第1の実施の形態では、発光素子14は、第1領域26a、26bおよび第2領域28a、28bに対して径方向内側に設けられていたが、他の位置に設けられるようにしてもよい。
変形例1では、発光素子14は、第1領域26および第2領域28に対して径方向内側に設けられていたが、他の位置に設けられるようにしてもよい。
第1の実施の形態では、第1領域26aと第2領域28aとは、同一平面上であって径方向に分離して設けられ、第1領域26bと第2領域28bとは、同一平面上であって径方向に分離して設けられている。第1領域26aと第2領域28a、第1領域26bと第2領域28bは、径方向に限らず周方向に交差する方向に分離して設けられていてもよい。
変形例1では、第1領域26と第2領域28とは、径方向に分離して設けられていたが、第1領域26と第2領域28とが、周方向に分離して設けられてもよい。
第1の実施の形態では、受光素子24A、24XAは基板22上の第1領域26a、26bに配置され、受光素子24B、24XBは基板22上の第2領域28a、28bに配置されている。これに加え、受光素子240、242、244、246、248が基板22上の第3領域30に配置され、受光素子241、243、245、247が基板22上の第4領域32に配置されるようにしてもよい。
第1の実施の形態では、スリット20を反射スリットとしたが、反射スリットに代えて、光を透過する透過スリットを用いるようにしてもよい。
第1の実施の形態のエンコーダ10は、アブソリュート型のロータリエンコーダであるが、エンコーダ10はインクリメント型のロータリエンコーダであってもよい。エンコーダ10がインクリメント型のロータリエンコーダである場合には、ディスク12にアブソリュートパターン18bが設けられる必要はなく、また、アブソリュート受光部16bも設けられる必要はない。
第1の実施の形態のエンコーダ10は、ロータリエンコーダであるが、リニアエンコーダであってもよい。
上記実施の形態から把握しうる技術的思想について、以下に記載する。
14…発光素子 18…パターン
18a…インクリメントパターン 18b…アブソリュートパターン
20…スリット 24A…第1受光素子
24B…第2受光素子 26a、26b…第1領域
28a、28b…第2領域
Claims (9)
- 一方向に沿ってスリットが並べられたパターンが形成されたディスクと、
前記ディスクの前記パターンに向かって光を照射する発光素子と、
前記発光素子から照射されて前記スリットを経由して届いた前記光を受光し、受光した前記光の光量に応じた信号を出力する複数の第1受光素子と、
前記発光素子から照射されて前記スリットを経由して届いた前記光を、前記第1受光素子が前記光を受光する位相と異なる位相で受光し、受光した前記光の光量に応じた信号を、出力する複数の第2受光素子と、
を有し、
複数の前記第1受光素子が配置される第1領域と、複数の前記第2受光素子が配置される第2領域とが分離して設けられる、エンコーダ。 - 請求項1に記載のエンコーダであって、
前記第1受光素子および前記第2受光素子は同一平面上に設けられ、
前記第1領域と前記第2領域とは、前記スリットが並べられる方向に対して交差する方向に分離して設けられる、エンコーダ。 - 請求項1に記載のエンコーダであって、
前記第1受光素子および前記第2受光素子は同一平面上に設けられ、
前記第1領域と前記第2領域とは、前記スリットが並べられる方向に分離して設けられる、エンコーダ。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のエンコーダであって、
前記光が前記発光素子から前記スリットを経由して前記第1領域に到達するまでの光路の平均距離と、前記光が前記発光素子から前記スリットを経由して前記第2領域に到達するまでの光路の平均距離との差が所定距離以内となるように、前記第1領域と前記第2領域とを配置する、エンコーダ。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載のエンコーダであって、
前記第1領域は複数設けられ、前記第2領域は前記第1領域と同数設けられる、エンコーダ。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載のエンコーダであって、
前記パターンは、少なくともインクリメントパターンを含む、エンコーダ。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載のエンコーダであって、
前記パターンは、少なくともアブソリュートパターンを含む、エンコーダ。 - 請求項1〜7のいずれか1項に記載のエンコーダであって、
前記スリットは、前記発光素子から照射された前記光を反射する反射スリットである、エンコーダ。 - 請求項1〜8のいずれか1項に記載のエンコーダであって、
前記スリットは、前記発光素子から照射された前記光を透過させる透過スリットである、エンコーダ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018108358A JP2019211361A (ja) | 2018-06-06 | 2018-06-06 | エンコーダ |
DE102019114799.9A DE102019114799A1 (de) | 2018-06-06 | 2019-06-03 | Encoder |
US16/430,561 US20190376817A1 (en) | 2018-06-06 | 2019-06-04 | Encoder |
CN201910490936.XA CN110567497A (zh) | 2018-06-06 | 2019-06-06 | 编码器 |
CN201920850574.6U CN210036764U (zh) | 2018-06-06 | 2019-06-06 | 编码器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018108358A JP2019211361A (ja) | 2018-06-06 | 2018-06-06 | エンコーダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019211361A true JP2019211361A (ja) | 2019-12-12 |
Family
ID=68652198
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018108358A Pending JP2019211361A (ja) | 2018-06-06 | 2018-06-06 | エンコーダ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20190376817A1 (ja) |
JP (1) | JP2019211361A (ja) |
CN (2) | CN110567497A (ja) |
DE (1) | DE102019114799A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW202225642A (zh) * | 2020-12-29 | 2022-07-01 | 財團法人工業技術研究院 | 反射式光編碼器 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0552590A (ja) * | 1991-08-22 | 1993-03-02 | Nikon Corp | アブソリユ−ト・エンコ−ダ用検出素子 |
JP2001194185A (ja) * | 2000-01-14 | 2001-07-19 | Fuji Electric Co Ltd | 光学式絶対値エンコーダ |
JP2002168655A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-14 | Mitsutoyo Corp | 直線位置絶対値検出器 |
JP2007155720A (ja) * | 2005-12-01 | 2007-06-21 | Agilent Technol Inc | 改良形補間エンコーダ |
JP2007218907A (ja) * | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | エンコーダ |
JP2008116343A (ja) * | 2006-11-06 | 2008-05-22 | Sendai Nikon:Kk | アブソリュートエンコーダ |
JP2011520100A (ja) * | 2008-05-02 | 2011-07-14 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 位置測定装置 |
JP4816988B1 (ja) * | 2011-02-10 | 2011-11-16 | 株式会社安川電機 | エンコーダ、光学モジュール及びサーボシステム |
JP2012103032A (ja) * | 2010-11-08 | 2012-05-31 | Yaskawa Electric Corp | 反射型エンコーダ、サーボモータ及びサーボユニット |
JP2015232448A (ja) * | 2014-06-09 | 2015-12-24 | 株式会社安川電機 | エンコーダ、サーボシステム、エンコーダの位置データ生成方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5999584B2 (ja) | 2013-11-05 | 2016-09-28 | 株式会社安川電機 | エンコーダ、エンコーダ付きモータ、サーボシステム |
-
2018
- 2018-06-06 JP JP2018108358A patent/JP2019211361A/ja active Pending
-
2019
- 2019-06-03 DE DE102019114799.9A patent/DE102019114799A1/de not_active Withdrawn
- 2019-06-04 US US16/430,561 patent/US20190376817A1/en not_active Abandoned
- 2019-06-06 CN CN201910490936.XA patent/CN110567497A/zh active Pending
- 2019-06-06 CN CN201920850574.6U patent/CN210036764U/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0552590A (ja) * | 1991-08-22 | 1993-03-02 | Nikon Corp | アブソリユ−ト・エンコ−ダ用検出素子 |
JP2001194185A (ja) * | 2000-01-14 | 2001-07-19 | Fuji Electric Co Ltd | 光学式絶対値エンコーダ |
JP2002168655A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-14 | Mitsutoyo Corp | 直線位置絶対値検出器 |
JP2007155720A (ja) * | 2005-12-01 | 2007-06-21 | Agilent Technol Inc | 改良形補間エンコーダ |
JP2007218907A (ja) * | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | エンコーダ |
JP2008116343A (ja) * | 2006-11-06 | 2008-05-22 | Sendai Nikon:Kk | アブソリュートエンコーダ |
JP2011520100A (ja) * | 2008-05-02 | 2011-07-14 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 位置測定装置 |
JP2012103032A (ja) * | 2010-11-08 | 2012-05-31 | Yaskawa Electric Corp | 反射型エンコーダ、サーボモータ及びサーボユニット |
JP4816988B1 (ja) * | 2011-02-10 | 2011-11-16 | 株式会社安川電機 | エンコーダ、光学モジュール及びサーボシステム |
JP2015232448A (ja) * | 2014-06-09 | 2015-12-24 | 株式会社安川電機 | エンコーダ、サーボシステム、エンコーダの位置データ生成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102019114799A1 (de) | 2019-12-12 |
CN210036764U (zh) | 2020-02-07 |
US20190376817A1 (en) | 2019-12-12 |
CN110567497A (zh) | 2019-12-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4945674B2 (ja) | 反射型エンコーダ、サーボモータ及びサーボユニット | |
JP4780825B2 (ja) | 回転部材用回転角センサー | |
US20160164383A1 (en) | Encoder and motor with encoder | |
US20160178407A1 (en) | Encoder and motor with encoder | |
JP5999584B2 (ja) | エンコーダ、エンコーダ付きモータ、サーボシステム | |
JP5804273B2 (ja) | 反射型エンコーダ、サーボモータ及びサーボユニット | |
JP2019211361A (ja) | エンコーダ | |
JP2019211360A (ja) | エンコーダ | |
CN105987714B (zh) | 光学编码器 | |
US20160161295A1 (en) | Encoder and motor with encoder | |
JP6010876B1 (ja) | エンコーダ及びエンコーダ付きモータ | |
JP5716358B2 (ja) | 反射型エンコーダ、サーボモータ及びサーボユニット | |
JP6037258B2 (ja) | エンコーダ及びエンコーダ付きモータ | |
JP4315323B2 (ja) | 投影型ロータリエンコーダ | |
TWI845566B (zh) | 光學式旋轉編碼器,伺服馬達及致動器 | |
JP6004193B2 (ja) | エンコーダ、エンコーダ付きモータ、サーボシステム | |
US11808612B2 (en) | Optical rotary encoder, servo motor, and actuator | |
JP4409269B2 (ja) | 光式エンコーダ | |
WO2022264734A1 (ja) | 受光素子及び回転検出器 | |
WO2022264735A1 (ja) | 受光素子及び回転検出器 | |
JP5787124B2 (ja) | エンコーダ及びサーボモータ | |
JPWO2022264734A5 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191112 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20200121 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20200203 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200218 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200407 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200616 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20201208 |