JP4919272B2 - カーボンナノチューブ形成装置、カーボンナノチューブ形成方法 - Google Patents
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Description
真空排気系124によって真空槽111内を真空排気し、ガス導入系116から原料ガスと水素ガスを導入しながら電源125によって下部電極112と上部電極113の間に交流電圧を印加すると、下部電極112と上部電極113の間にグロー放電が生じ、原料ガスが電離する。電離した原料ガス中に含まれる炭素が基板121表面に到達すると、基板121の表面にカーボンナノチューブが成長する。
また、本発明は、前記下部電極は、筒状のガス流制御部材の内部に配置され、前記中間電極と前記下部電極の間の空間の周囲は、前記ガス流制御部材で取り囲まれたカーボンナノチューブ形成装置である。
また、本発明は、前記上部電極には複数のシャワー孔が設けられ、前記炭化水素ガスは前記シャワー孔から導入されるカーボンナノチューブ形成装置である。
また、本発明は、真空槽内に配置された下部電極上に、表面に触媒金属層が形成された基板を配置し、前記真空槽内に炭化水素ガスを含むガスを導入し、前記下部電極と対面する位置に配置された上部電極に電圧を印加して前記炭化水素ガスのプラズマを生成し、前記基板の前記触媒金属層表面にカーボンナノチューブを成長させるカーボンナノチューブ形成方法であって、前記下部電極と前記上部電極の間に複数の通気孔を有する中間電極を配置し、前記上部電極には、前記中間電極に対する負電圧と、前記中間電極に対する正電圧であって、前記負電圧よりも絶対値が大きい正電圧とを交互に印加するカーボンナノチューブ形成方法である。
また、本発明は、前記中間電極と前記下部電極の間の空間を、ガス流制御部材で取り囲み、前記通気孔を通ったガスが前記基板に到達するようにされたカーボンナノチューブ形成方法である。
そのため、基板表面が高エネルギーのイオンや電子に曝されず、欠陥の少ないカーボンナノチューブを成長させることができる。
また、水素ラジカルの寿命はカーボン系ラジカルの寿命より短いため、中間電極と基板との間隔を長くすることにより、水素ラジカルの量を減らし、水素ラジカルによるカーボンナノチューブのエッチングを防止することができる。
ガス流制御部材15は、筒形状両端部のうち、一端が真空槽11の壁面に向けられ、他端が真空槽11の内部空間に向けられている。真空槽11の内部空間に向けられた端部には、中間電極14が配置されている。
中間電極14は大きさ100mm、100メッシュの網状部材であり、網目が通気孔となり、気体が中間電極14を透過できるように構成されている。図1の符号18は、通気孔を示している。中間電極14を板状部材で構成し、通気孔として複数の貫通孔を設けてもよい。要するに、中間電極14は導電性を有し、複数の通気孔が設けられていればよい。
真空槽11には、真空排気系24が接続されており、真空槽11内は真空排気系24によって真空雰囲気にされている。
上部電極13は、ガス導入系16に接続されており、ガス導入系16から上部電極13の内部に原料ガスを供給すると、供給された原料ガスは、シャワー孔22から真空槽11の内部に導入される。導入された気体は中間電極14が位置する方向に向かって散布される。
真空槽11内に基板を搬入し、下部電極12上に配置した状態で真空排気系24によって真空槽11内を真空排気し、10-1Paの真空雰囲気にする。図1の符号21はその状態の基板を示している。
ヒータ27内の発熱体28に通電して発熱させ、ヒータ27を650℃に昇温させる。基板21は550℃に加熱される。
CH4 → CH3 + H ……(1)
上部電極13に印加される正電圧が負電圧よりも大きく、印加時間も長いので、主として上部電極13がアノード、中間電極14がそれに対するカソードとなり、上部電極13の表面近傍には、主に陽光柱(グロー)が形成され、中間電極14の上部電極13と対面する表面近傍には主にカソードグローが形成される。
CH3 → C+3H ……(2)
(1)および(2)式によって生成された水素ラジカルは、基板21の表面のクリーニングを継続する。
真空槽11内部の雰囲気の組成を分析したところ、(1)式によって生成された水素により、CNTの成長中、真空槽11の内部の水素分圧は20〜40%に維持されていた。
従来方法では、金属触媒層の触媒金属がカーボンナノチューブの上層部に付着していたが、上記顕微鏡写真から分かるように、本発明によればそのような不都合は生じていない。また、屈曲等の欠陥も観察されない。
いずれの場合においてもCNTの成長は良くなかった。
従って、CNT成長時の水素は多くても少なくても都合が悪く、上記結果から、水素の分圧は、20%以上40%以下の範囲、特に30%程度がよいと推測される。
なお、CNT成長時の水素分圧を測定すれば、20%未満の場合、水素が不足しているので真空槽11内に水素ガスを導入することもできる。
11……真空槽
12……下部電極
13……上部電極
14……中間電極
15……ガス流制御部材
16……原料ガス導入系
18……通気孔
21……基板
22……シャワー孔
25……電源装置
Claims (5)
- 真空槽と、
前記真空槽内に配置され、基板が載置される下部電極と、
前記下部電極と対面する位置に配置された上部電極と、
前記下部電極と前記上部電極の間に位置し、複数の通気孔が形成された中間電極と、
前記真空槽内の前記上部電極と前記中間電極の間に炭化水素ガスを導入する原料ガス導入系と、
前記上部電極に接続され、前記中間電極に対する正電圧と負電圧を、前記上部電極に交互に印加する電源装置とを有し、
前記正電圧の絶対値の方が、前記負電圧の絶対値よりも大きくされたカーボンナノチューブ形成装置。 - 前記下部電極は、筒状のガス流制御部材の内部に配置され、
前記中間電極と前記下部電極の間の空間の周囲は、前記ガス流制御部材で取り囲まれた請求項1記載のカーボンナノチューブ形成装置。 - 前記上部電極には複数のシャワー孔が設けられ、前記炭化水素ガスは前記シャワー孔から導入される請求項1又は2のいずれか1項記載のカーボンナノチューブ形成装置。
- 真空槽内に配置された下部電極上に、表面に触媒金属層が形成された基板を配置し、前記真空槽内に炭化水素ガスを含むガスを導入し、前記下部電極と対面する位置に配置された上部電極に電圧を印加して前記炭化水素ガスのプラズマを生成し、前記基板の前記触媒金属層表面にカーボンナノチューブを成長させるカーボンナノチューブ形成方法であって、
前記下部電極と前記上部電極の間に複数の通気孔を有する中間電極を配置し、
前記上部電極には、前記中間電極に対する負電圧と、前記中間電極に対する正電圧であって、前記負電圧よりも絶対値が大きい正電圧とを交互に印加するカーボンナノチューブ形成方法。 - 前記中間電極と前記下部電極の間の空間を、ガス流制御部材で取り囲み、前記通気孔を通ったガスが前記基板に到達するようにされた請求項4記載のカーボンナノチューブ形成方法。
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