JP4608692B2 - 大気中電子放出特性を有する電子放出素子とその製造方法、および、この素子を使用した電子放出方法 - Google Patents
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Description
さらに詳しくは、本発明は、電界放出電子源を用いたランプ型光源デバイス、フィールドエミッション型ディスプレイ等の分野に応用される目的・用途をもつ、破格の電界電子放出特性(電流密度が従来比1000倍以上)を有する前記特有な構成をしてなる電子放出部材とその製造方法に関する。
そこには使用電界強度には限界があり、これを超えたところでは、材料の劣化、剥落が生じ、高電圧、長時間にわたる使用には耐えられないものであった。一方、この種電界電子放出技術が今後、ますます盛んになることが予想され、高い耐電界強度を有し、長時間使用して電子を大きな電流密度で安定して放出することができ、しかも材料の劣化、損傷のない安定した高い電界電子放出を可能とする材料が求められていた。
方向に自己組織的に生成、成長すること、そしてその得られてなる膜は、これに電界をかけると容易に電子を放出し、しかもこれまでのこの種材料から考えると、破格といってもいい大電流密度を保ちながら、材料の劣化、損傷、脱落のない極めて安定した状態、性能を維持し得る、極めて優れた電子放出材料であることを確認、知見し、その成果を先に特許出願した(特許文献1、2参照)。
(2) 前記先端の尖ったBNで示される結晶を含む窒化ホウ素材料が、電子放出に適した間隔、密度で素子基板に自己造形的に形成されている、(1)項に記載する電界電子放出素子。
(3) 前記先端の尖ったBNで示される結晶を含む窒化ホウ素材料が、sp3結合性
BN、または、sp3結合性BNとsp2結合性BNとの混合物からなる、(1)又は(2)項に記載する電界電子放出素子。
(4) 前記先端の尖ったBNで示される結晶を含む窒化ホウ素材料が、紫外光によって励起され、気相からの反応によって形成されてなる、(1)ないし(3)の何れか1項に記載する電界電子放出素子。
(5) 前記電子放出素子が発光表示装置に使用される電子放出素子である、(1)ないし(4)の何れか1項に記載する電界電子放出素子。
(6) 前記電子放出素子が照明装置に使用される電子放出素子である、(1)ないし(4)の何れか1項に記載する電界電子放出素子。
(9) 前記電子放出素子に電圧を印加して電子を放出させる際、該電子放出素子を極性ガスを含んだ雰囲気と接触させることにより、該電子放出素子の電子放出性を向上させる、(8)項に記載する電子放出方法。
(10) 極性ガスが、水、アルコールである、(9)項に記載する電子放出方法。
、装置・デバイスの真空封入を要する等、何れも電子放出させるには、コストのかかる特別の構成を必要としていたところ、本発明は、電子部材を構成する基板に、紫外光を照射することによって、先端の尖った形状を自己造形的に生成し、有してなる、BNで示され、sp3結合、またはこれとsp2結合との混合物による電界電子放出特性に優れた薄膜であって、未加工(as grown)のままでも、電圧を印加するだけで大気中でも安定して電界電子を放出しうるという、特有且つ格別な性質を発現する薄膜を提供することができる。
本発明の電界電子放出特性に優れたsp3結合、またはこれとsp2結合との混合物を得るためには、図1に示す構造のCVD反応容器を使用することができる。
図1において、反応容器1は、反応ガス及びその希釈ガスを導入するためのガス導入口2と、導入された反応ガス等を容器外へ排気するためのガス流出口3とを備え、真空ポンプに接続され、大気圧以下に減圧維持されている。容器内のガスの流路には窒化ホウ素析出基板4が設定され、その基板に面した反応容器の壁体の一部には光学窓5が取り付けられ、この窓を介して基板に紫外光が照射されるよう、エキシマ紫外光レーザー装置6が設定されている。
を主体とし、あるいは、これにsp2結合との混合物を含む電界電子放出素子とその製造
方法を提供し、さらに、前記素子を使用した電子放出方法を提供するものであり、その目的が達成しうる限りで、反応条件等は適宜変更、設定することができることはいうまでもない。
アルゴン流量3SLMの希釈ガス流中にジボラン流量5sccm及び、アンモニア流量10sccmを導入し、同時にポンプにより排気することで圧力10Torrに保った雰囲気中にて、加熱により900℃に保持した直径25mmの円盤状のニッケル基板上に、エキシマレーザー紫外光を照射した(図1参照)。この際、上記ガスは、図のように、13.56MHzの電界により誘導結合的にプラズマ化されている(プラズマ化されない場合にも同様なモルフォロジーが得られ、優れた電界電子放出特性が得られることがわかっているが、成長速度などに差が出る)。60分の合成時間により、目的とする物質を得た。X線回折法により決定したこの試料の結晶系は六方晶であり、sp3結合による5H型
多形構造で、格子定数は、a=2.50Å、c=10.40Åであった。
実施例1で得られた試料面に10μm程度の厚さでZnO:Zn蛍光体を塗布し、さらにその表面から40μm程離して、ITOガラスを陽極として対面させて電界放出ディスプレイFED(Field Emission Display)を作製した。試料を陰極として電圧をかけ、大気中、1気圧の下で電子放出量を測定した。ここでも、ITO電極に多量の電流が流れるのを防ぐために、測定デバイスと直列に1MΩの抵抗を挿入した。その結果を図5に示す。図4と同程度に大気中でも良好な電子放出が見られる。
実施例2と同様の実験を大気中、1気圧で行った。ただし、ここでは、密閉された測定チャンバー内に水で濡れたスポンジを置き、測定チャンバー内の空気の湿度が90%近くになるよう調整した。結果を図6に示す。作動雰囲気の湿度調整により電子放出量、電流値が実施例1、2に比較して、200倍近く増加していることが分かる。これは表面吸着水による表面電気双極子層の形成に起因する電子放出閾値の低下によるものと、本発明者らにおいては考えているが、学問的な詳細な検討は今後の研究に待つ。しかし、経験的・実験的事実としては、ここに湿度調整による電子放出特性の向上が確立された。なお、上記実施例に置いて、陽極・陰極間の絶縁が保たれていたことは、テスターなどにより確認されている。
実施例2と同様の実験を大気中、1気圧で行った。ただし、ここでは、密閉された測定チャンバー内にエチルアルコール又はメチルアルコールで濡れたスポンジを置き、測定チャンバー内にアルコールを含む空気が満ちるよう調整した。結果を図7に示す。作動雰囲気のアルコール添加により電子放出量・電流値が実施例1・2に比較して、300倍近く増加していることが分かる。これは表面吸着水による表面電気双極子層の形成による電子放出閾値の低下により、電子放出特性の増大につながったものと推測している。即ち、水と同様にアルコールは分極性であり、BN表面への物理吸着特性があり、吸着層が表面電荷二重層を形成することにより、電子放出が容易になったものと考えられる。学問的な詳細な検討は今後の研究に待つ。しかし、経験的・実験的事実としては、ここに作動雰囲気のアルコール添加による電子放出特性の向上が確立された。
結合、あるいはこれとsp2結合との混合物を含む材料からなる、電界電子放出素子とそ
の製造方法、および、この素子を使用した電子放出方法を提供するものであって、これによって、電界電子放出閾値が低く、電流密度の高い、また、電子放出寿命の長い極めて良好な電界電子放出素子を、提供することが可能としたもので、その意義は極めて大きい。その応用範囲は極めて多様で、表示装置、照明装置を始めとして、電子放出現象を利用する分野において、今後大いに利用され、以って産業の発展に寄与することが期待される。
2. ガス導入口
3. ガス流出口
4. 窒化ホウ素析出基板
5. 光学窓
6. エキシマ紫外レーザー装置
7. プラズマトーチ
Claims (7)
- 先端の尖ったBNで示される結晶を含む窒化ホウ素材料が素子基板に形成されてなり、電圧を印加することによって大気中でも安定に電子放出性を発現する、大気中での電子放出用電界電子放出素子に電圧を印加して電子を放出させる電子放出方法において、
前記大気中での電子放出用電界電子放出素子に電圧を印加して電子を放出させる際、該大気中での電子放出用電界電子放出素子を極性溶媒ガスを含んだ作動雰囲気と接触させることによって、該大気中での電子放出用電界電子放出素子の電子放出性を向上させる、電子放出方法。 - 前記先端の尖ったBNで示される結晶を含む窒化ホウ素材料が、電子放出に適した間隔、密度で素子基板に自己造形的に形成されている、請求項1項に記載する電子放出方法。
- 前記先端の尖ったBNで示される結晶を含む窒化ホウ素材料が、sp3結合性BN、または、sp3結合性BNとsp2結合性BNとの混合物からなる、請求項1又は2項に記載する電子放出方法。
- 前記先端の尖ったBNで示される結晶を含む窒化ホウ素材料が、紫外光によって励起され、気相からの反応によって形成されてなる、請求項1ないし3の何れか1項に記載する電子放出方法。
- 前記大気中での電子放出用電界電子放出素子が発光表示装置に使用される電子放出素子である、請求項1ないし4の何れか1項に記載する電子放出方法。
- 前記大気中での電子放出用電界電子放出素子が照明装置に使用される電子放出素子である、請求項1ないし4の何れか1項に記載する電子放出方法。
- 前記極性溶媒ガスが、水、アルコールである、請求項1ないし6の何れかに記載する電子放出方法。
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