KR100543959B1 - 쉘 형상의 탄소 미세입자를 이용하여 전계 방출을유도하는 방법 - Google Patents
쉘 형상의 탄소 미세입자를 이용하여 전계 방출을유도하는 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100543959B1 KR100543959B1 KR1020030058653A KR20030058653A KR100543959B1 KR 100543959 B1 KR100543959 B1 KR 100543959B1 KR 1020030058653 A KR1020030058653 A KR 1020030058653A KR 20030058653 A KR20030058653 A KR 20030058653A KR 100543959 B1 KR100543959 B1 KR 100543959B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- shell
- field emission
- shaped carbon
- flame
- carbon microparticles
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
- H01J1/304—Field-emissive cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/022—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes
- H01J9/025—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes of field emission cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
- H01J2329/02—Electrodes other than control electrodes
- H01J2329/04—Cathode electrodes
- H01J2329/0407—Field emission cathodes
- H01J2329/041—Field emission cathodes characterised by the emitter shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
- H01J2329/02—Electrodes other than control electrodes
- H01J2329/04—Cathode electrodes
- H01J2329/0407—Field emission cathodes
- H01J2329/0439—Field emission cathodes characterised by the emitter material
- H01J2329/0444—Carbon types
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Abstract
Description
Claims (7)
- 전극 구조체를 고진공 챔버내에 삽입함으로써 전계 방출을 유도하는 방법에 있어서, 전극 구조체가 음전극(cathode)으로서 쉘 형상의 탄소 미세입자가 부착된 금속 코팅 기판을 포함하는 것임을 특징으로 하는 방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 음전극이 화염중에서 쉘 형상의 탄소 미세입자를 금속 코팅 기판에 직접 부착시킴으로써 제조된 것임을 특징으로 하는 방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 음전극이 쉘 형상의 탄소 미세입자를 유기 용매와 혼합하여 액적의 형태로 금속 코팅 기판상에 코팅한 후 건조시킴으로써 제조된 것임을 특징으로 하는 방법.
- 제 1항에 있어서, 쉘 형상의 탄소 미세입자가 화염중에서 탄화수소 물질로부터 형성된 매연 전구체에 레이저를 조사하여 제조된 것임을 특징으로 하는 방법.
- 제 4항에 있어서, 쉘 형상의 탄소 미세입자 제조시에 사용되는 화염이 수소-산소 확산 화염 또는 아세틸렌(C2H2) 화염인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 1항에 있어서, 고진공 챔버 내의 진공도가 3 내지 5 x 10-7 mbar로 유지되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제 1항에 있어서, 금속 코팅 기판이 금(Au)이 코팅된 실리콘 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030058653A KR100543959B1 (ko) | 2003-08-25 | 2003-08-25 | 쉘 형상의 탄소 미세입자를 이용하여 전계 방출을유도하는 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030058653A KR100543959B1 (ko) | 2003-08-25 | 2003-08-25 | 쉘 형상의 탄소 미세입자를 이용하여 전계 방출을유도하는 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050021662A KR20050021662A (ko) | 2005-03-07 |
KR100543959B1 true KR100543959B1 (ko) | 2006-01-23 |
Family
ID=37229857
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020030058653A KR100543959B1 (ko) | 2003-08-25 | 2003-08-25 | 쉘 형상의 탄소 미세입자를 이용하여 전계 방출을유도하는 방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100543959B1 (ko) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3920273A1 (en) | 2014-04-25 | 2021-12-08 | South Dakota Board of Regents | High capacity electrodes |
US10468674B2 (en) | 2018-01-09 | 2019-11-05 | South Dakota Board Of Regents | Layered high capacity electrodes |
-
2003
- 2003-08-25 KR KR1020030058653A patent/KR100543959B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20050021662A (ko) | 2005-03-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6057637A (en) | Field emission electron source | |
US7294248B2 (en) | Fabrication and activation processes for nanostructure composite field emission cathodes | |
US7811149B2 (en) | Method for fabricating carbon nanotube-based field emission device | |
US5977697A (en) | Field emission devices employing diamond particle emitters | |
US7129513B2 (en) | Field emission ion source based on nanostructure-containing material | |
US8039042B2 (en) | Low voltage electron source with self aligned gate apertures, fabrication method thereof, and luminous display using the electron source | |
JP3569135B2 (ja) | 電界放出陰極の製造方法 | |
KR20030059291A (ko) | 카본 나노튜브의 패턴 형성 방법 및 전계 방출형 냉음극과그 제조 방법 | |
KR20090093655A (ko) | 전자방출원, 이를 적용한 전자장치 및 전자방출원의제조방법 | |
US20020053864A1 (en) | Carbon body, process for producing the carbon body, and electric field emission electron source using the carbon body. | |
JP3573273B2 (ja) | 電子放出素子、及びその製造方法 | |
JP2008078081A (ja) | 電界放出電子源及びその製造方法 | |
KR100543959B1 (ko) | 쉘 형상의 탄소 미세입자를 이용하여 전계 방출을유도하는 방법 | |
Minh et al. | Selective growth of carbon nanotubes on Si microfabricated tips and application for electron field emitters | |
KR20020021412A (ko) | 전계 이미터 및 디바이스 | |
EP4075473A1 (en) | Carbon nanotube (cnt) paste emitter, method for manufacturing same, and x-ray tube apparatus using same | |
JP3590007B2 (ja) | 電子放出素子およびその製造方法並びに該電子放出素子を用いた画像表示装置 | |
KR20070104809A (ko) | 전기영동을 이용한 수평으로 배열된 탄소나노튜브 필드에미터의 제조방법 | |
KR20210086388A (ko) | 탄소나노튜브(cnt) 페이스트 에미터, 그 제조 방법 및 이를 이용하는 엑스선 튜브 장치 | |
TWI309428B (en) | Emission source having carbon nanotube | |
JP4590631B2 (ja) | フィールドエミッタアレイ及びその製造方法 | |
KR100898071B1 (ko) | 전자 방출 소자, 이를 구비한 전자 방출 디스플레이 장치 및 이의 제조방법 | |
KR100372168B1 (ko) | 삼극형 탄소나노튜브의 전계 방출 표시소자의 제조방법 | |
KR20070046629A (ko) | 전자 방출원 및 이를 구비하는 전기 방출 소자 | |
KR20060013379A (ko) | 전계 방출 전극의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130110 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131231 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141223 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160112 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170104 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180104 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181219 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200103 Year of fee payment: 15 |