JP3837451B2 - カーボンナノチューブの作製方法 - Google Patents
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Description
に関する。
Mi CHEN et al., Catalyzed growth model of carbon nanotubes by microwave plasma chemical vapor・・・mixtures, Diamond and Related Materials, 2003年, Vol. 12, pp.1829-1835
所定の基材上に、厚さ0.1nm〜20nmのチタン膜と、Fe、Co及びNiの少なくとも一種を含む金属からなり、厚さが0.1nm〜20nmの触媒金属膜をこの順に形成した基板を準備する工程と、
前記基板を、成膜容器内に設けられたカソード電極に配置する工程と、
前記カソード電極と対向させてアノード電極を設ける工程と、
前記カソード電極と前記アノード電極との間に、グリッド電極を設ける工程と、
前記成膜容器内に、圧力が500Pa〜5000Paとなるように原料ガスを流すとともに、前記成膜容器内にマイクロ波又は高周波を導入して前記原料ガスをプラズマ化し、前記基板上にカーボンナノチューブを形成する工程と、
を具えることを特徴とする、カーボンナノチューブの作製方法に関する。
11 成膜容器
12 カソード電極
13 アノード電極
14 マイクロ波生成装置
15 電源
17 グリッド電極
S 基板
Claims (5)
- 所定の基材上に、厚さ0.1nm〜20nmのチタン膜と、Fe、Co及びNiの少なくとも一種を含む金属からなり、厚さが0.1nm〜20nmの触媒金属膜をこの順に形成した基板を準備する工程と、
前記基板を、成膜容器内に設けられたカソード電極に配置する工程と、
前記カソード電極と対向させてアノード電極を設ける工程と、
前記カソード電極と前記アノード電極との間に、グリッド電極を設ける工程と、
前記成膜容器内に、圧力が500Pa〜5000Paとなるように原料ガスを流すとともに、前記成膜容器内にマイクロ波又は高周波を導入して前記原料ガスをプラズマ化し、前記基板上にカーボンナノチューブを形成する工程と、
を具えることを特徴とする、カーボンナノチューブの作製方法。 - 前記触媒金属膜は、Fe膜であることを特徴とする、請求項1に記載のカーボンナノチューブの作製方法
- 前記グリッド電極に対してバイアス電圧を印加する工程を具えることを特徴とする、請求項1又は2に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
- 前記グリッド電極を電気的に浮いた状態にすることを特徴とする、請求項1又は2に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
- 前記基板を400℃以上に加熱する工程を具えることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一に記載のカーボンナノチューブの作製方法。
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