JP4914486B2 - 電動真空弁による排気速度制御方法、電動真空弁による排気速度制御システム、排気速度制御に用いられる電動真空弁の弁開度設定点決定方法、及び、排気速度制御に用いられる排気速度決定プログラム - Google Patents
電動真空弁による排気速度制御方法、電動真空弁による排気速度制御システム、排気速度制御に用いられる電動真空弁の弁開度設定点決定方法、及び、排気速度制御に用いられる排気速度決定プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP4914486B2 JP4914486B2 JP2009293937A JP2009293937A JP4914486B2 JP 4914486 B2 JP4914486 B2 JP 4914486B2 JP 2009293937 A JP2009293937 A JP 2009293937A JP 2009293937 A JP2009293937 A JP 2009293937A JP 4914486 B2 JP4914486 B2 JP 4914486B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- pressure
- valve opening
- exhaust speed
- electric vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
Description
また、特許文献2記載の排気速度制御方法では、フィードバック制御を行うために、複雑な制御基板や制御プログラムなどを必要とし、装置コストがかかっていた。
よって、上記発明によれば、チャンバ室の圧力を目標圧力降下勾配に近づけるように電動真空弁の弁開度を切り換える設定点を簡単かつ安価に設定できる。
図25は、減圧乾燥装置1の概略構成を示す図である。
本実施形態の排気速度制御方法は、例えば図25に示す減圧乾燥装置1に使用される。減圧乾燥装置1は、チャンバ室10内を減圧状態、すなわち、真空状態に保ちながら、基板の塗膜乾燥を行うものである。減圧乾燥装置1は、チャンバ室10と真空ポンプ13との間に排気配管系16が設けられている。排気配管系16は、電動真空弁21と大口径真空遮断弁12が並列に設けられている。減圧乾燥装置1は、排気配管系16と大口径真空遮断弁12と電動真空弁21の設置数が、チャンバ室10の大きさにより増減される。このような減圧乾燥装置1は、電動真空弁21と大口径真空遮断弁12によりチャンバ室10から真空ポンプ13へガスを排気する排気流量を制御する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る排気速度制御システム66の概略構成図である。
図1に示す排気速度制御システム66は、サーバ61と、インターネット62と、パーソナルコンピュータ(以下「パソコン」という。)63と、減圧乾燥装置1のコントローラ65と、圧力センサ15と、電動真空弁21と、真空ポンプ13とから構成されている。
パソコン63は、周知のコンピュータである。パソコン63は、サーバ61に接続して、排気速度決定プログラムをダウンロードする。また、パソコン63は、排気速度を制御する場合に電動真空弁21の弁開度を変化させる等比倍数と、チャンバ室10の圧力を降下させる目標圧力降下勾配を、設定するために用いられる。パソコン63は、ダウンロードした排気速度決定プログラムと、設定された等比倍数と、設定された目標圧力降下勾配とをUSBメモリ64に記憶させる。
このようなコントローラ65は、「圧力実測手段」と「排気速度決定手段」と「真空圧力制御手段」の一例に該当する。
図2は、電動真空弁21の断面図であって、弁閉状態を示す。
電動真空弁21は、バルブボディ24とシリンダボディ25がボルト55で一体化され、シリンダボディ25とカバー26とステッピングモータ27がボルト28で一体化され、外観が構成されている。
弁部22は、バルブボディ24に開口する第1ポート51と第2ポート52が弁室53を介して連通している。弁室53は、第1ポート51が開口する開口部外周に、弁座54が平坦に設けられている。弁室53には、弁座54に当接又は離間する弁体42が収納されている。
駆動部23は、ステッピングモータ27の回転運動を直線運動に変換して弁体42に伝達する。ステッピングモータ27の出力軸30は、カバー26とシリンダボディ25との間に形成される収納空間部31に突出している。カバー26とシリンダボディ25の間には、ベアリング32が挟持され、そのベアリング32にホルダー33が回転自在に保持されている。ホルダー33は、上端部に出力軸30がカップリング58に連結され、下端部に送りねじナット34が複数の固定ねじ35で固定されており、送りねじナット34の回転量をステッピングモータ27の回転量により制御できるようになっている。
図3は、大気圧近傍の粘性流領域(大気圧(105Pa)以下100Pa以上)において、弁開度を同じ割合で変化させた場合の圧力降下カーブY1,Y2,Y3,Y4,Y5,Y6,Y7,Y8を示す図である。縦軸に真空圧力(Pa)を示し、横軸に時間(sec)を示す。図4は、図3に示す圧力降下カーブY1,Y2,Y3,Y4,Y5,Y6,Y7,Y8を目標圧力降下勾配Xに近似させるように時間的にずらした状態を示す図である。縦軸に真空圧力を示し、横軸に時間を示す。
図3及び図4の縦軸に記載する真空圧力が無次元化してあり、1.0が大気圧で1.01325×105Paとしている。また、図3の横軸に記載する時間の数字は便宜的に付けており、必ずしも、この時間に限定されるものではない。図3及び図4に示すY1〜Y8は、電動真空弁21の弁開度を一定の大きさで広げた場合の弁開度別の圧力降下カーブを示す。圧力降下カーブY1〜Y8は、電動真空弁21の能力を無次元化して表しており、アルファベットYに添えた数字の大きさが流せる能力の大きさを示している。図4のXは、チャンバ室10の圧力の目標変化率を示す目標圧力降下勾配である。図3及び図4のX1〜X8は、圧力降下カーブY1〜Y8のうち目標圧力降下勾配Xに近似する部分を探した結果を示している。
上記のように、電動真空弁21の弁開度を変更して圧力降下カーブを実測するうちに、発明者らは、弁開度を等比倍数で広げ、各弁開度で得られる圧力降下カーブを目標圧力降下勾配Xに近似させるように、電動真空弁21の弁開度を切り換えるタイミングを設定すれば、圧力降下カーブのうち目標圧力降下勾配Xに近似する部分をオーバーラップさせることなく、チャンバ室10内の圧力を目標圧力降下勾配Xに近似させた状態で降下させるように排気速度を制御できることを発見した。以下、具体的に説明する。
図5のY1,Y2,Y4,Y8は、電動真空弁21の弁開度を2倍等比倍数に従って設定し、チャンバ室10の圧力を圧力センサ15で測定した結果を示す圧力降下カーブである。図6のXは、チャンバ室10の圧力の目標変化率を示す目標圧力降下勾配である。図5のX1,X2,X4,X8は、圧力降下カーブY1,Y2,Y4.Y8のうち目標圧力勾配Xに近似する部分を探した結果を示す。圧力降下カーブY1,Y2,Y4,Y8は、電動真空弁21の能力を無次元化して表しており、アルファベットYに添えた数字の大きさが流せる能力の大きさとして表している。
図7のY1,Y1.41,Y2,Y2.82,Y4,Y5.64,Y8は、電動真空弁21の弁開度を√2倍等比倍数に従って設定し、チャンバ室10の圧力を圧力センサ15で測定した結果を示す圧力降下カーブである。図8のXは、チャンバ室10の圧力の目標変化率を示す目標圧力降下勾配である。図7のX1,X1.41,X2,X2.82,X4,X5.64,X8は、圧力降下カーブY1,Y1.41,Y2,Y2.82,Y4,Y5.64,Y8のうち目標圧力勾配Xに近似する部分を探した結果を示す。図7及び図8の圧力降下カーブY1,Y1.41,Y2,Y2.82,Y4,Y5.64,Y8は、電動真空弁21の能力を無次元化して表しており、アルファベットYに添えた数字の大きさが流せる能力の大きさとして表している。
上記真空圧力特性を利用した電動真空弁による排気速度制御方法について説明する。図9は、排気速度決定プログラムのダウンロード動作のフロー図である。図10〜図16は、ディスプレイ63aに表示される画面の一例を示す図である。図17は、排気速度決定プログラムのフロー図である。図18は、真空圧力制御プログラムのフロー図である。
パソコン63は、ユーザからの要求に従い、図9のステップ1(以下「S1」と略記する。)において、パソコン63のディスプレイ63aに、図10に示すダウンロード確認画面を表示させる。ダウンロード確認画面には、「排気速度決定プログラムをダウンロードしますが、よろしいですか?」と表示されているので、ダウンロードするならば、ユーザは「はい」のボタンB1をマウス等でクリックする。すると、パソコン63は、インターネット62を介してサーバ61に接続し、サーバ61から排気速度決定プログラムをダウンロードし始める。パソコン63は排気速度決定プログラムのダウンロードが完了するまで待機する(図9のS2:No)。
図18は、コントローラ65に記憶された真空圧力制御プログラムのフロー図である。
ユーザがコントローラ65の選択手段65aにより実行モードを選択すると、コントローラ65は、図18に示す真空圧力制御プログラムを起動する。そして、まずS20において、チャンバ室10にウエハを搬入する。そして、S21において、排気速度制御データにより設定される弁開度の設定点(図6のP11〜P13)に従って電動真空弁21の弁開度を切り換え、チャンバ室10の圧力を大気圧から絶対真空へ減圧させる。具体的には、図6に示すように、コントローラ65は、電動真空弁21の弁開度を12.5%に設定する弁開度制御信号を電動真空弁21に送信し、電動真空弁21を弁開させ、大気圧から真空引きを開始する。真空引きを開始してから弁開度切換時間t11が経過すると、コントローラ65は、電動真空弁21の弁開度を25%に設定する弁開度制御信号を電動真空弁21に送信し、電動真空弁21の弁開度を直前の弁開度の2倍に広げ、排気系のコンダクタンスを大きくする。そして、コントローラ65は、真空引きを開始してから弁開度切換時間t12が経過すると、電動真空弁21の弁開度を50%に設定する弁開度制御信号を電動真空弁21に送信し、電動真空弁21の弁開度を直前の弁開度の2倍に広げ、排気系のコンダクタンスを大きくする。そして、コントローラ65は、真空引きを開始してから弁開度切換時間t13が経過すると、電動真空弁21の弁開度を100%に設定する弁開度制御信号を電動真空弁21に送信し、電動真空弁21の弁開度を直前の弁開度の2倍に広げ、排気系のコンダクタンスを大きくする。この結果、チャンバ室10の圧力は、図6に示すように、ユーザが設定した目標圧力降下勾配Xに近似した状態で大気圧から絶対真空へ減圧される。
また、弁開度の設定点の最大段数(ここでは弁開度100%の場合)において、系のコンダクタンスの影響を受ける領域(例えば中間流領域)に入ることがある。しかしこの場合、図6の圧力降下カーブY4に示すように、少なくとも、排気速度が、設定された目標圧力降下勾配Xを超えて速くなることはなく、安全サイドへ速度がずれるのみである。
従って、上記実施形態の電動真空弁による排気速度制御方法、排気速度制御システム66、弁開度決定方法、弁開度決定プログラムは、以下の作用効果を奏する。
真空ポンプ13やチャンバ室10や排気配管系16による制御成績を排気速度に直接反映させるために、電動真空弁21の弁開度を等比倍数に従って段階的に制御し、弁開度毎に、真空ポンプ13により粘性流領域から排気を行わせ、圧力センサ15がチャンバ室10の圧力を測定した圧力測定データを取得する。つまり、電動真空弁21の設置先の装置を使って弁開度別に圧力測定データを実測する。弁開度別に実測した圧力測定データから圧力降下カーブY1,Y2,Y3,Y4を求め、圧力降下カーブY1,Y2,Y3,Y4を目標圧力降下勾配Xに近似させるように時間的にずらすと、圧力降下カーブY2,Y3,Y4が直前の弁開度の圧力降下カーブY1,Y2,Y3とそれぞれ交差する。そこで、圧力降下カーブ同士の交点を電動真空弁21の弁開度を切り換える設定点P11.P12,P13に決定する。このように、弁開度を等比倍数に従って変化させると、各弁開度に対応する圧力降下カーブY1,Y2,Y3,Y4の目標圧力降下勾配Xに近似する部分がオーバーラップしないため、設定点P11,P12,P13が無駄に設定されない。真空圧力制御時には、設定点P11,P12,P13に基づいて電動真空弁21の弁開度を切り換えることにより、排気配管系16のコンダクタンスを変更し、粘性流領域における排気速度を制御する。このとき、電動真空弁21は、チャンバ室10の圧力が目標圧力降下勾配Xに近似する部分から外れると同時に弁開度を等比倍数分だけ広げられ、チャンバ室10の圧力を目標圧力降下勾配に再び近づけて降下させるため、チャンバ室10の圧力は粘性流領域でも目標圧力降下勾配Xに近似した状態で降下する。
続いて、本発明の第2実施形態について説明する。図19は、本発明の第2実施形態に係る排気速度制御システム72の概略構成図である。
本実施形態の排気速度制御システム72は、コントローラ71が実測した圧力測定データを用いて圧力降下カーブを求め、その圧力降下カーブを用いてパソコン63が弁開度の設定点を決定し、決定した設定点に従いコントローラ71がチャンバ室10の真空圧力を制御する。この意味で、パソコン63とコントローラ71は「圧力実測手段」の一例となり、パソコン63は「排気速度決定手段」の一例となり、コントローラ71は「真空圧力制御手段」の一例となる。本実施形態の排気速度制御システム72は、弁開度の設定点を決定する方法が第1実施形態と相違している。ここでは第1実施形態との相違点を中心に説明し、第1実施形態と共通する点は図面及び説明に第1実施形態と同一符号を用いて説明を適宜省略する。
従って、本実施形態の排気速度制御方法は、第1実施形態で説明した作用効果に加え、パソコン63上で決定した弁開度の設定点をコントローラ71にコピーするので、コントローラ71が自動的に圧力測定データを取得して弁開度の設定点を決定する必要がなく、コントローラ71の回路構成を第1実施形態のコントローラ65より単純且つ安価にすることができる。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。
第3実施形態の排気速度制御方法は、真空圧力制御工程を除き、第1実施形態の排気速度制御方法と同様である。よって、ここでは、第1実施形態と相違する点を中心に説明する。
上記排気速度制御方法は、圧力センサ15の圧力測定データを排気速度制御データに照合し、弁開度を切り換える。そのため、上記排気速度制御方法が、排気速度制御データに設定された弁開度の設定点P11が外乱(コンダクタンスの合成等)により時間的にずれた場合に、そのずれに合わせて当該設定点P11以降の弁開度の設定点P12,P13をずらす補正を行わなくても、チャンバ室10の圧力をリニアな目標圧力降下勾配Xに近似させた状態で排気速度を制御することができる。
(1)例えば、上記実施形態では、電動真空弁による排気速度制御方法を減圧乾燥装置1に使用したが、半導体製造分野のCVD装置やプラズマ装置など他の作業工程に使用される装置や、半導体製造分野と異なる分野の装置(例えば、食用パンを袋に詰めて袋内を真空にする装置や乾燥食品用の乾燥装置)などに使用しても良い。
(2)例えば、上記実施形態では、電動真空弁21の駆動部23にステッピングモータ27を使用したが、駆動部23は、ソレノイド式やエアオペレイト式であっても良い。
(3)例えば、上記実施形態では、排気速度制御データをマッピングデータとして取得したが、テーブルや関数による排気速度制御データを取得しても良い。
(4)例えば、上記実施形態では、排気速度決定プログラムを用いて排気速度制御データをパソコン63やコントローラ65に作成させた。これに対して、ユーザが、カタログの説明などを見ながら排気速度制御データを作成しても良い。例えば、ユーザは、電動真空弁21の弁開度を所望の等比倍数に従って切り換えて圧力降下カーブを実測し、取得した圧力降下カーブを所望の目標圧力降下勾配Xに照らし合わせて近似する部分を探索し、探索した部分から弁開度の設定点を手作業で設定して排気速度制御データを作成しても良い。この場合、排気速度決定プログラムが不要となり、コストを安くできる。逆に、排気速度決定プログラムを予めコントローラ65に記憶させておき、コントローラ65の排気速度制御データ取得モードを設定すれば、自動的に等比倍数に従って電動真空弁21の弁開度が制御されて圧力降下カーブが取得され、排気速度制御データが作成されるようにしても良い。この場合、排気速度制御データの作成にユーザが携わる時間が短くなり、使い勝手が良い。
(5)例えば、上記実施形態では、粘性流領域における排気速度制御を電動真空弁21に行わせ、粘性流領域を超えたら、大口径真空遮断弁12により排気速度を制御することにより、排気時間の短縮を図っている。これに対して、例えば、チャンバ容量が小さい場合には、電動真空弁21だけをチャンバに接続し、電動真空弁21のみで排気速度を制御するようにしても良い。この場合、電動真空弁21が大気圧から粘性流領域を超える目標真空圧力までチャンバ室10の圧力を制御することにより、より確実に堆積物の巻き上げ等を防止して排気速度を制御できるようにしても良い。
(6)例えば、上記実施形態では、粘性流領域を脱した後に大口径真空遮断弁12の弁開度を調整して真空圧力を制御した。これに対して、粘性流領域の粘性が低下するのに従い、パーティクルが巻き上がりにくくなるので、粘性流領域の粘性が低くなった後に大口径真空遮断弁12の弁開度を調整して真空圧力を制御するようにしても良い。この場合、粘性流領域を脱した後に大口径真空遮断弁12により真空圧力を制御する場合と比べ、大口径真空遮断弁12を早く使用し、排気速度をより一層短縮させることができる。
13 真空ポンプ
15 圧力センサ
21 電動真空弁
63 パソコン(圧力実測手段、排気速度決定手段の一例)
65 コントローラ(圧力実測手段、排気速度決定手段、真空圧力制御手段の一例)
66 排気速度制御システム
71 コントローラ(真空圧力制御手段の一例)
72 排気速度制御システム
Claims (10)
- チャンバ室と真空ポンプを接続する排気配管系に配設された電動真空弁の弁開度を制御することにより、排気速度を制御する電動真空弁による排気速度制御方法において、
前記電動真空弁の弁開度を等比倍数に従って段階的に制御し、弁開度毎に、前記真空ポンプにより粘性流領域から排気を行わせ、圧力センサにより前記チャンバ室の真空圧力を測定して圧力降下カーブを実測する圧力実測工程と、
前記圧力実測工程で実測した弁開度別の前記圧力降下カーブを目標圧力降下勾配に近似させるように時間的にずらし、前記圧力降下カーブ同士の交点を前記電動真空弁の弁開度を切り換える設定点に決定する排気速度決定工程と、
前記排気速度決定工程で決定した前記設定点に基づいて前記電動真空弁の弁開度を切り換え、前記粘性流領域における前記排気速度を制御する真空圧力制御工程と
を有することを特徴とする電動真空弁による排気速度制御方法。 - 請求項1に記載する電動真空弁による排気速度制御方法において、
前記等比倍数を設定する等比倍数設定工程を有する
ことを特徴とする電動真空弁による排気速度制御方法。 - 請求項1又は請求項2に記載する電動真空弁による排気速度制御方法において、
前記目標圧力降下勾配を設定する目標圧力降下勾配設定工程を有する
ことを特徴とする電動真空弁による排気速度制御方法。 - 請求項1乃至請求項3の何れか1つに記載する電動真空弁による排気速度制御方法において、
前記真空圧力制御工程は、前記圧力センサに前記チャンバ室の圧力を測定させ、前記圧力センサが前記設定点に対応する真空圧力を測定した場合に、前記電動真空弁の弁開度を切り換える
ことを特徴とする電動真空弁による排気速度制御方法。 - 請求項1乃至請求項4の何れか1つに記載する電動真空弁による排気速度制御方法において、
前記電動真空弁と並列に設けられて前記チャンバ室に接続されるものであって、前記電動真空弁より大流量を制御可能な大口径真空遮断弁を有し、
前記真空圧力制御工程にて、前記粘性流領域においては前記大口径真空遮断弁を弁閉した状態で前記電動真空弁の弁開度を切り換えて前記排気速度を制御し、前記粘性流領域から脱した後、又は、前記粘性流領域の粘性が低くなった後に前記大口径真空遮断弁の弁開度を調整して前記排気速度を制御する
ことを特徴とする電動真空弁による排気速度制御方法。 - 請求項1乃至請求項4の何れか1つに記載する電動真空弁による排気速度制御方法において、
前記真空圧力制御工程にて、前記粘性流領域から脱した後に前記電動真空弁の弁開度を調整して前記排気速度を制御する
ことを特徴とする電動真空弁による排気速度制御方法。 - チャンバ室と真空ポンプを接続する排気配管系に配設された電動真空弁の弁開度を制御することにより、排気速度を制御する排気速度制御システムにおいて、
チャンバ室の圧力を測定する圧力センサと、
前記電動真空弁の弁開度を等比倍数に従って段階的に制御し、弁開度毎に、前記真空ポンプにより粘性流領域から排気を行わせ、前記圧力センサにより前記チャンバ室の真空圧力を測定して圧力降下カーブを実測する圧力実測手段と、
前記圧力実測手段が実測した弁開度別の前記圧力降下カーブを目標圧力降下勾配に近似させるように時間的にずらし、前記圧力降下カーブ同士の交点を前記電動真空弁の弁開度を切り換える設定点に決定する排気速度決定手段と、
前記排気速度決定手段が決定した前記設定点に基づいて前記電動真空弁の弁開度を切り換え、前記粘性流領域における前記排気速度を制御する真空圧力制御手段と
を有することを特徴とする排気速度制御システム。 - 請求項7に記載する排気速度制御システムにおいて、
前記電動真空弁と並列に設けられて前記チャンバ室に接続されるものであって、前記電動真空弁より大流量を制御可能な大口径真空遮断弁を有し、
前記真空圧力制御手段は、前記粘性流領域においては前記大口径真空遮断弁を弁閉した状態で前記電動真空弁の弁開度を切り換えて前記排気速度を制御し、前記粘性流領域から脱した後、又は、前記粘性流領域の粘性が低くなった後に前記大口径真空遮断弁の弁開度を調整して前記排気速度を制御する
ことを特徴とする排気速度制御システム。 - チャンバ室と真空ポンプを接続する排気配管系に配設された電動真空弁の弁開度を制御することにより排気速度を制御する場合における前記電動真空弁の弁開度を切り換える設定点を決定する弁開度設定点決定方法であって、
前記電動真空弁の弁開度を等比倍数に従って段階的に制御し、弁開度毎に、前記真空ポンプにより粘性流領域から排気を行わせ、圧力センサが測定した前記チャンバ室の真空圧力から圧力降下カーブを求める圧力実測工程と、
前記圧力実測工程で求められた弁開度別の前記圧力降下カーブを目標圧力降下勾配に近似させるように時間的にずらし、前記圧力降下カーブ同士の交点を前記電動真空弁の弁開度を切り換える設定点に決定する排気速度決定工程と、
を有することを特徴とする弁開度設定点決定方法。 - チャンバ室と真空ポンプを接続する排気配管系に配設された電動真空弁の弁開度を制御することにより排気速度を制御する場合における前記電動真空弁の弁開度を切り換える設定点を設定する排気速度決定プログラムであって、
コンピュータを、
前記電動真空弁の弁開度を等比倍数に従って段階的に制御し、弁開度毎に、前記真空ポンプにより粘性流領域から排気を行わせ、圧力センサが測定した前記チャンバ室の真空圧力から圧力降下カーブを求める圧力実測手段と、
前記圧力実測手段が求めた弁開度別の前記圧力降下カーブを目標圧力降下勾配に近似させるように時間的にずらし、前記圧力降下カーブ同士の交点を前記電動真空弁の弁開度を切り換える設定点に決定する排気速度決定手段として機能させる
ことを特徴とする排気速度決定プログラム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009293937A JP4914486B2 (ja) | 2009-12-25 | 2009-12-25 | 電動真空弁による排気速度制御方法、電動真空弁による排気速度制御システム、排気速度制御に用いられる電動真空弁の弁開度設定点決定方法、及び、排気速度制御に用いられる排気速度決定プログラム |
TW99135700A TWI441001B (zh) | 2009-12-25 | 2010-10-20 | The exhaust speed control method of the electric vacuum valve is controlled by the exhaust speed control system of the electric vacuum valve, the valve opening degree determination point determination method for the electric vacuum valve for the exhaust speed control, and the exhaust speed control method for the exhaust speed control Determination of exhaust speed |
CN 201010603574 CN102169352B (zh) | 2009-12-25 | 2010-12-22 | 电动真空阀的排气速度控制方法、排气速度控制系统及阀开度设定点决定方法 |
KR20100132966A KR101199945B1 (ko) | 2009-12-25 | 2010-12-23 | 전동진공밸브에 의한 배기속도 제어방법, 전동진공밸브에 의한 배기속도 제어 시스템, 배기속도 제어에 이용되는 전동진공밸브의 밸브 개도 설정점 결정방법 및 기록매체 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009293937A JP4914486B2 (ja) | 2009-12-25 | 2009-12-25 | 電動真空弁による排気速度制御方法、電動真空弁による排気速度制御システム、排気速度制御に用いられる電動真空弁の弁開度設定点決定方法、及び、排気速度制御に用いられる排気速度決定プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011134164A JP2011134164A (ja) | 2011-07-07 |
JP4914486B2 true JP4914486B2 (ja) | 2012-04-11 |
Family
ID=44346814
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009293937A Expired - Fee Related JP4914486B2 (ja) | 2009-12-25 | 2009-12-25 | 電動真空弁による排気速度制御方法、電動真空弁による排気速度制御システム、排気速度制御に用いられる電動真空弁の弁開度設定点決定方法、及び、排気速度制御に用いられる排気速度決定プログラム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4914486B2 (ja) |
KR (1) | KR101199945B1 (ja) |
CN (1) | CN102169352B (ja) |
TW (1) | TWI441001B (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101470455B1 (ko) * | 2013-12-06 | 2014-12-08 | 주식회사파워테크 | 공기식 제어 밸브 자가 진단 경보 시스템 장치 |
TWI509379B (zh) * | 2014-07-31 | 2015-11-21 | China Pneumatic Corp | 扭力控制方法及其扭力控制裝置 |
EP3318787A1 (de) * | 2016-11-03 | 2018-05-09 | VAT Holding AG | Vakuumventilsystem zum geregelten betrieb eines vakuumprozesses |
JP6834501B2 (ja) * | 2017-01-12 | 2021-02-24 | 株式会社島津製作所 | バルブ制御装置 |
CN107422754B (zh) * | 2017-09-01 | 2023-11-14 | 中国人民解放军军事科学院军事医学研究院 | 一种微量气体流速控制装置及控制方法 |
JP2020024638A (ja) * | 2018-08-08 | 2020-02-13 | 株式会社島津製作所 | 真空バルブ、バルブシステム、バルブシステムの制御装置および校正装置 |
JP7014123B2 (ja) * | 2018-10-05 | 2022-02-01 | 株式会社島津製作所 | 推定装置およびバルブ制御装置 |
JP7134856B2 (ja) * | 2018-12-13 | 2022-09-12 | 株式会社アルバック | ベント装置 |
CN109944974B (zh) * | 2019-03-01 | 2020-12-25 | 中国恩菲工程技术有限公司 | 开关阀设备及控制方法、装置、电子设备和计算机可读介质 |
KR102165270B1 (ko) * | 2019-09-23 | 2020-10-13 | (주)하이비젼시스템 | 압력챔버를 이용한 테스트 압력 공급 장치 및 방법 |
JP7384860B2 (ja) | 2021-06-28 | 2023-11-21 | 本田技研工業株式会社 | 減圧システム及び減圧方法 |
US20230287993A1 (en) * | 2022-03-09 | 2023-09-14 | Pfeiffer Vacuum Technology AG | Vacuum valve |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5682914A (en) | 1979-12-11 | 1981-07-07 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Automatic control evacuating device |
JP3606754B2 (ja) * | 1998-11-27 | 2005-01-05 | シーケーディ株式会社 | 真空圧力制御弁 |
JP3568930B2 (ja) * | 2001-12-04 | 2004-09-22 | Smc株式会社 | 流量制御装置 |
JP4699948B2 (ja) * | 2006-06-30 | 2011-06-15 | 高周波熱錬株式会社 | バルブの制御装置 |
JP2008069787A (ja) * | 2007-10-03 | 2008-03-27 | Ckd Corp | 真空圧力制御システム |
JP5059583B2 (ja) * | 2007-12-26 | 2012-10-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空装置、真空処理システムおよび真空室の圧力制御方法 |
JP4288297B1 (ja) * | 2008-01-09 | 2009-07-01 | 三菱重工業株式会社 | 圧力制御装置および圧力制御方法 |
-
2009
- 2009-12-25 JP JP2009293937A patent/JP4914486B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-10-20 TW TW99135700A patent/TWI441001B/zh not_active IP Right Cessation
- 2010-12-22 CN CN 201010603574 patent/CN102169352B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-12-23 KR KR20100132966A patent/KR101199945B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20110074688A (ko) | 2011-07-01 |
TW201128340A (en) | 2011-08-16 |
CN102169352B (zh) | 2013-04-24 |
KR101199945B1 (ko) | 2012-11-13 |
JP2011134164A (ja) | 2011-07-07 |
CN102169352A (zh) | 2011-08-31 |
TWI441001B (zh) | 2014-06-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4914486B2 (ja) | 電動真空弁による排気速度制御方法、電動真空弁による排気速度制御システム、排気速度制御に用いられる電動真空弁の弁開度設定点決定方法、及び、排気速度制御に用いられる排気速度決定プログラム | |
JP5455371B2 (ja) | ターボポンプを使用する広範囲圧力制御 | |
US6966967B2 (en) | Variable speed pump control | |
JP5001757B2 (ja) | 流体混合システム及び流体混合装置 | |
JP4502590B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
US10619761B2 (en) | Valve and a method of operating a valve | |
WO2015064035A1 (ja) | 圧力式流量制御装置 | |
JP2003195948A (ja) | 改良型圧力式流量制御装置 | |
US9939825B2 (en) | HVAC actuator with line voltage input | |
JP2013519840A (ja) | ポンプ速度の調整装置及び方法 | |
JP2006316711A (ja) | 薬液供給システム及び薬液供給ポンプ | |
CN112695297B (zh) | 一种半导体工艺中腔室压力的控制方法 | |
JP2016173159A (ja) | ポジショナ | |
EP3734397B1 (en) | Mass flow controller having high precision sensors and an advanced diagnostics system | |
CN110244143A (zh) | 电子膨胀阀检测系统 | |
CN113944799A (zh) | 自动确定控制阀的摩擦的方法和装置 | |
JP5854335B2 (ja) | 処理チャンバの圧力制御方法及び処理チャンバの圧力制御装置 | |
TWI689689B (zh) | 智慧型空調之多模定時控制器及其方法 | |
US7073771B2 (en) | Porous valve assembly | |
JP3711268B2 (ja) | バルブ用ポジショナ | |
US11609589B2 (en) | HVAC actuator with automatic line voltage input selection | |
JP2012160168A (ja) | 真空圧力制御装置 | |
JP2015511296A (ja) | 油圧流体システム用電子式負荷降下保護装置 | |
JP7122994B2 (ja) | 液圧システム制御装置 | |
KR101620395B1 (ko) | 복수의 진자식 자동압력제어밸브의 압력제어방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110805 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120106 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120117 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120120 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4914486 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150127 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |