JP4907233B2 - 基板搬送方法および基板搬送装置 - Google Patents
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Description
2 アイランド
3 ダイ
4 ダイボンド材
15 フィーダ
16 駆動手段
17 制御手段
18 ディスペンス位置変更手段
25 データ検出手段
26 設定手段
27 位置検出手段
28 補正手段
A ディスペンス位置
B ボンディング位置
c 所定寸
P 所定ピッチ
Claims (5)
- 長手方向に沿って所定ピッチで複数個のアイランドが形成された短冊状基板を、その長手方向に沿って複数枚を順次搬送して、上流側のディスペンス位置で、短冊状基板のアイランドにダイボンド材を塗布した後、下流側のボンディング位置で前記短冊状基板のアイランドにダイをボンディングする基板搬送方法であって、
搬送される複数枚の短冊状基板はその隣合う上流側と下流側とで所定寸だけ離され、アイランドの所定ピッチ分の間欠送りを行って、予め設定された一つの基板のアイランドピッチ数分の搬送を終了した後に、前記所定ピッチに前記所定寸を加えた異ピッチの基板送りを行い、ボンディング位置に各短冊状基板のアイランドを順次対応させるとともに、搬送中におけるディスペンス位置と短冊状基板のアイランドとの所定寸分の位置ずれを、前記ディスペンス位置を前記所定寸分シフトさせて解消することを特徴とする基板搬送方法。 - 長手方向に沿って所定ピッチで複数個のアイランドが形成された短冊状基板を、その長手方向に沿って複数枚を順次搬送して、上流側のディスペンス位置で、短冊状基板のアイランドにダイボンド材を塗布した後、下流側の位置を不変としたボンディング位置で前記短冊状基板のアイランドにダイをボンディングする基板搬送装置であって、
複数枚の短冊状基板をその隣合う上流側と下流側とで所定寸だけ離して搬送するフィーダと、
前記フィーダを駆動させて任意のピッチ量だけ前記基板を下流側に送る駆動手段と、
前記駆動手段を制御して、アイランドの所定ピッチ分の間欠送りを行って、予め設定された一つの基板のアイランドピッチ数分の搬送を終了した後に、前記所定ピッチに前記所定寸を加えた異ピッチの基板送りを行わせ、位置を不変とした前記ボンディング位置にボンディングされるアイランドを対応させるとともに、ダイボンド材を塗布すべきアイランドを前記所定寸分だけシフトさせる制御手段と、
前記ディスペンス位置を前記所定寸分シフトさせて各短冊状基板のアイランドをディスペンス位置に順次対応させるディスペンス位置変更手段とを備えたことを特徴とする基板搬送装置。 - 前記アイランドの位置を監視して、ディスペンス位置変更手段の変更によるディスペンス位置と、実際のアイランド位置とにずれを有するときに、そのずれを補正する補正手段を備えたことを特徴とする請求項2の基板搬送装置。
- 前記短冊状基板の長手方向長さ及びアイランドの配置ピッチを含む基板データに基づいて決定した所定ピッチ及び所定寸を、前記制御手段に手動入力することを特徴とする請求項2又は請求項3の基板搬送装置。
- 前記短冊状基板の長手方向長さ及びアイランドの配置ピッチを含む基板データを検出するデータ検出手段と、この検出手段にて検出された基板データに基づいて前記所定ピッチ及び所定寸を設定する設定手段とを備えたことを特徴とする請求項2又は請求項3の基板搬送装置。
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