JP4901200B2 - 溶剤回収システム - Google Patents
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Description
また、真空ポンプの下流側に液化トラップが設けられているので、真空ポンプの負荷にならず、減圧乾燥装置を減圧するまでの時間が長くなることもない。
図1は本発明に係る溶剤回収システムの一実施の形態を示す概略図、図2は溶剤の再利用箇所である塗布装置の概略側面図である。
本実施の形態の場合、図1に示すように、溶剤回収システムはガラス基板Wの搬送ラインに沿った被膜形成装置に適用されている。即ち、搬送ラインに沿って上流側から順に、基板投入部1、塗布装置2及び減圧乾燥装置3が配置されている。
液化トラップ4は、具体的に、減圧乾燥装置3と真空ポンプ32との間の配管31ではなく、真空ポンプ32の下流側、つまり真空ポンプ32よりも排気側に設けられている。この理由としては、真空ポンプ32の負荷にならず効率よく排気が行えること。また、真空ホンプ32後に溶剤は気体から液体へ戻ることがあり配管33内に滞留してしまうこと。また、滞留しない場合でも液体が工場排気側へ流れてしまうこと等が考えられ、これらの問題を防ぐことができるためである。
このような構成により、液化トラップ本体内を冷却させて低い温度にすることが可能になる。これにより、配管33を通じて真空ポンプ32より液化トラップ4内へと入ってきた揮発溶剤は冷却され液状化される。
本実施の形態においては、バッファタンク9へと回収された溶剤が、例えば循環液シャワーノズル26から噴出される洗浄液として使用される。これによりプライミングローラ22には新たな洗浄液を用いずに済み洗浄液の削減につながる。
本実施の形態においては、バッファタンク9へと回収された溶剤が、洗浄液供給部の開口41より傾斜面42に供給される洗浄液として用いられる。これによりプライミングローラ22の場合と同様にノズル洗浄部23においても新たな洗浄液を用いずに済み洗浄液の削減につながる。
また、フィルタ8は回収した溶剤を濾過してごみ等を除去するために用いるものである。このフィルタ8も必要に応じて設けることができる。
(実施例1)
塗布液:プロピレンモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
塗布量:100cc
減圧到達圧:66Pa
基板サイズ:1100×1250mm
上記の条件にて、20枚連続(1枚あたり100cc)塗布し、塗布後に液化トラップから捕集した溶剤を回収した。その結果、1.44kgであった。
PGMEAの比重は0.965であるので、塗布重量は100×0.965×20=1.93kgである。従って、回収率は1.44/1.93=75%
であった。
塗布液:3−メトキシブチルアセテート(MA:比重0.956)
プロピレンモノメチルエーテルアセテート(PGMEA:比重0.965)
プロピレンモノメチルエーテル(PGME:比重0.9234)
上記の3種の溶剤を1:1:1で混合した。
塗布量:99cc
減圧到達圧:66Pa
基板サイズ:1100×1250mm
上記の条件にて、20枚連続(1枚あたり99cc)塗布し、塗布後に液化トラップから捕集した溶剤を回収した。その結果、1.34kgであった。
溶剤の平均比重は0.948であるので、塗布重量は99×0.948×20=1.89kgである。従って、回収率は1.34/1.89=70%
であった。
塗布液: ポジ型レジスト(TFR-6000PM:東京応化工業製)
塗布量:99cc
減圧到達圧:66Pa
基板サイズ:1100×1250mm
上記の条件にて、10枚連続(1枚あたり99cc)塗布し、塗布後に液化トラップから捕集した溶剤を回収した。その結果、0.56kgであった。
溶剤の平均比重は0.965、塗布液中の固形分濃度は12.5%であるので、溶剤(PGMEA)の塗布重量は99×0.956×10×(1−0.125)=0.84kgである。従って、回収率は0.56/0.84=67%であった。
この際、必要があれば回収した溶剤に新液を加えることも可能である。この場合は、回収システム中に新液供給装置(手段)を加えることにより可能である。
Claims (3)
- 塗布装置に近傍して減圧乾燥装置が配置され、前記減圧乾燥装置内で揮発した基板表面の塗布液中の溶剤を回収する溶剤回収システムであって、
前記減圧乾燥装置内を減圧させる真空ポンプの下流側に溶剤を液状化して回収する液化トラップが設けられ、この液化トラップ本体内に導入された冷却管の一部が液化トラップ本体から外部に出ていることを特徴とする溶剤回収システム。 - 請求項1に記載の溶剤回収システムにおいて、前記液化トラップで液状化された溶剤が送液ポンプにて再利用箇所に送られる構成とされていることを特徴とする溶剤回収システム。
- 請求項1に記載の溶剤回収システムにおいて、前記塗布装置には予備塗布用のプライミングローラ及びノズル洗浄部が付設され、前記液状化されて回収された溶剤が、送液ポンプにより前記プライミングローラ又はノズル洗浄部へ送られることを特徴とする溶剤回収システム。
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