JP4899747B2 - パターニング方法 - Google Patents
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Description
生じさせない利点がある。
C.H.Yi,Y.Shigesato,I.Yasui and S.Takaki:Jpn.J.Appl.Phys.34(1995)L244.
102・・・不純物ドープ酸化インジウム薄膜
103・・・レジストパターン
201・・・ドライエッチ
202・・・ウェットエッチ
301・・・上部(結晶質の成分が多い層)
302・・・下部(非晶質の成分が多い層)
Claims (3)
- 200nm以上の膜厚を有する、結晶質と非晶質が混在している不純物ドープ酸化インジウム薄膜のパターニング方法において、
少なくとも、ドライエッチング法により該不純物ドープ酸化インジウム薄膜のエッチングを行う工程と、
ウェットエッチング法により前記ドライエッチング法を行った不純物ドープ酸化インジウム薄膜のエッチングを行う工程とを含み、
かつ、ドライエッチング終了時の不純物ドープ酸化インジウム薄膜の残り膜厚が1〜50nmの範囲にあるようにドライエッチングを行うこと特徴とするパターニング方法。 - 請求項1に記載のパターニング方法であって、
ドライエッチング法として、スパッタエッチングを用いることを特徴するパターニング方法。 - 請求項1または2のいずれかに記載のパターニング方法であって、
不純物ドープ酸化インジウム薄膜として、錫ドープ酸化インジウム(ITO)を用いることを特徴するパターニング方法。
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