JP4888128B2 - 電子源用チップ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
2 先端突起部
3 下部突起
4 上部突起
10 チップ
11 突起部
12 上部突起原型部
Claims (7)
- 導電性を有する非金属材料からなる電子源用チップであって、電子を放出する先端突起部が上部突起と下部突起からなり、これら上部突起と下部突起の継ぎ目の間は段差が設けられて不連続になっており、且つ該先端突起部の上部突起を含む少なくとも一部に曲面形状を有することを特徴とする電子源用チップ。
- 前記曲面形状がほぼ球面であることを特徴とする、請求項1に記載の電子源用チップ。
- 前記先端突起部は、先端を中心とする上部突起下面の開き角が10°以上40°以下であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の電子源用チップ。
- 前記非金属材料がダイヤモンドであることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の電子源用チップ。
- 前記先端突起部の曲面形状部分の表面にGaイオンが含まれていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の電子源用チップ。
- 前記先端突起部の曲面形状部分の表面精度が0.1μm以下の非晶質層であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の電子源用チップ。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の電子源用チップの製造方法であって、前記先端突起部の上部突起を含む少なくとも一部に曲面形状を形成する方法として、収束イオンビーム法を用いることを特徴とする電子源用チップの製造方法。
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